技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種方法，尤其是一種實現(xiàn)激光直接成像圖形均勻性的方法，屬于激光直接成像的技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明對數(shù)字微鏡裝置DMD一行像素點進行切分，得到若干等分區(qū)域，每個等分區(qū)域具有一個控制參數(shù)，在利用數(shù)字微鏡裝置DMD進行曝光時，測量整個曝光圖形的線寬以及每個等分區(qū)域?qū)?yīng)圖形的線寬，從而能得到圖形目標(biāo)線寬以及補償調(diào)整值，F(xiàn)PGA根據(jù)圖形目標(biāo)線寬以及補償調(diào)整值，調(diào)整相應(yīng)等分區(qū)域的控制參數(shù)，從而使得數(shù)字微鏡裝置DMD再次掃描曝光得到整個曝光圖形的線寬與圖形目標(biāo)線寬相一致，安全可靠。

技術(shù)研發(fā)人員：尤鑫
受保護的技術(shù)使用者：無錫影速半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.07
技術(shù)公布日：2017.07.28