本發(fā)明涉及一種對(duì)準(zhǔn)裝置及方法，尤其是一種直寫式光刻機(jī)曝光對(duì)準(zhǔn)裝置及方法，具體地說是并置式雙臺(tái)面曝光對(duì)準(zhǔn)方法，屬于直寫式光刻機(jī)的技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

直寫式（LDI：Laser Direct Imaging）光刻機(jī)設(shè)備又稱影像直接轉(zhuǎn)移設(shè)備，可應(yīng)用于半導(dǎo)體及PCB生產(chǎn)領(lǐng)域。區(qū)別于傳統(tǒng)半自動(dòng)曝光設(shè)備，它利用圖形發(fā)生器取代傳統(tǒng)光刻機(jī)的掩模板，從而可以直接將計(jì)算機(jī)的圖形數(shù)據(jù)曝光到晶圓或PCB板上，節(jié)省制板時(shí)間和制作掩模板的費(fèi)用。為了提升直寫式曝光機(jī)的曝光效率，并置式雙臺(tái)面曝光設(shè)備應(yīng)運(yùn)而生。由于傳統(tǒng)曝光機(jī)只有一個(gè)臺(tái)面，對(duì)準(zhǔn)時(shí)，一般采用一個(gè)對(duì)準(zhǔn)CCD固定，另一個(gè)對(duì)準(zhǔn)CCD移動(dòng)的方式，雙臺(tái)面曝光設(shè)備由于兩個(gè)并置臺(tái)面上的PCB板均需要對(duì)準(zhǔn)，所以兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)CCD都需要移動(dòng)，覆蓋兩個(gè)臺(tái)面上PCB板的圖形范圍。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種直寫式光刻機(jī)曝光對(duì)準(zhǔn)裝置及方法，其結(jié)構(gòu)緊湊，對(duì)準(zhǔn)方便，提升曝光效率，安全可靠。

按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案，所述直寫式光刻機(jī)曝光對(duì)準(zhǔn)裝置，包括呈并置式分布的第一臺(tái)面以及第二臺(tái)面；在所述第一臺(tái)面、第二臺(tái)面的上方設(shè)置對(duì)準(zhǔn)圖像抓取機(jī)構(gòu)，所述對(duì)準(zhǔn)圖像抓取機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)軌以及設(shè)置于導(dǎo)軌上的第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)與第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)，第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)能在所述導(dǎo)軌上進(jìn)行所需的運(yùn)動(dòng)，并在運(yùn)動(dòng)到所需的位置后，能抓取第一臺(tái)面、第二臺(tái)面上相應(yīng)靶標(biāo)的圖像。

所述第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)包括用于與導(dǎo)軌連接的第一相機(jī)安裝底座以及安裝于所述第一相機(jī)安裝底座上的第一對(duì)準(zhǔn)鏡頭，所述第一對(duì)準(zhǔn)鏡頭上設(shè)有第一對(duì)準(zhǔn)鏡筒。

所述第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)包括用于與導(dǎo)軌連接的第二相機(jī)安裝底座以及安裝于所述第二相機(jī)安裝底座上的第二對(duì)準(zhǔn)鏡頭，所述第二對(duì)準(zhǔn)鏡頭上設(shè)有第二對(duì)準(zhǔn)鏡筒。

所述第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)在導(dǎo)軌上運(yùn)動(dòng)時(shí)，第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)在導(dǎo)軌上的間距不小于安全距離。

一種直寫式光刻機(jī)曝光對(duì)準(zhǔn)方法，所述曝光對(duì)準(zhǔn)方法包括如下步驟：

步驟1、提供呈并置式分布的第一臺(tái)面以及第二臺(tái)面，并在第一臺(tái)面、第二臺(tái)面的上方設(shè)置對(duì)準(zhǔn)圖像抓取機(jī)構(gòu)，所述對(duì)準(zhǔn)圖像抓取機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)軌以及設(shè)置于導(dǎo)軌上的第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)與第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)，第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)能在所述導(dǎo)軌上進(jìn)行所需的運(yùn)動(dòng)；

步驟2、在上述第一臺(tái)面、第二臺(tái)面上放置所需的PCB板，在對(duì)第一臺(tái)面或第二臺(tái)面上的PCB板利用第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)時(shí)，對(duì)第二臺(tái)面或第一臺(tái)面上的PCB板進(jìn)行曝光。

在對(duì)PCB板進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)時(shí)，包括內(nèi)層對(duì)準(zhǔn)步驟以及外層對(duì)準(zhǔn)步驟；其中，

內(nèi)層對(duì)準(zhǔn)步驟為：將PCB板的A面朝上放置，并開啟當(dāng)前PCB板所在臺(tái)面用于形成靶標(biāo)的光源，在對(duì)PCB板的A面曝光時(shí)，在PCB板的B面打兩個(gè)靶標(biāo)；

在PCB板的A面曝光完成后，將PCB板翻面，利用第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)分別抓取并記錄B面上靶標(biāo)的位置，根據(jù)B面上靶標(biāo)的位置確定PCB板B面的曝光初始位置，并根據(jù)所述曝光初始位置對(duì)所述PCB板的B面進(jìn)行曝光；

外層對(duì)準(zhǔn)時(shí)，利用PCB板上的四個(gè)定位孔作為外層對(duì)準(zhǔn)的靶標(biāo)，根據(jù)四個(gè)定位孔的位置范圍，控制當(dāng)前PCB板所在臺(tái)面移動(dòng)到所需的位置，以使得靠近第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)的兩個(gè)定位孔處于第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)的視場內(nèi)，并利用第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)抓取并記錄所述兩個(gè)作為靶標(biāo)的定位孔位置；

控制當(dāng)前PCB板所在臺(tái)面移動(dòng)至所需的位置，以使得遠(yuǎn)離第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)的兩個(gè)定位孔處于第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)的視場內(nèi)，利用第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)抓取并記錄所述兩個(gè)作為靶標(biāo)的定位孔位置；

根據(jù)上述獲取四個(gè)靶標(biāo)的位置，確定PCB板外層的曝光初始位置。

所述第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)在導(dǎo)軌上運(yùn)動(dòng)時(shí)，第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)在導(dǎo)軌上的間距不小于安全距離。

所述第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)包括用于與導(dǎo)軌連接的第一相機(jī)安裝底座以及安裝于所述第一相機(jī)安裝底座上的第一對(duì)準(zhǔn)鏡頭，所述第一對(duì)準(zhǔn)鏡頭上設(shè)有第一對(duì)準(zhǔn)鏡筒。

所述第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)包括用于與導(dǎo)軌連接的第二相機(jī)安裝底座以及安裝于所述第二相機(jī)安裝底座上的第二對(duì)準(zhǔn)鏡頭，所述第二對(duì)準(zhǔn)鏡頭上設(shè)有第二對(duì)準(zhǔn)鏡筒。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)：第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)安裝在導(dǎo)軌上，并能在導(dǎo)軌上進(jìn)行所需的運(yùn)動(dòng)，第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)在導(dǎo)軌上移動(dòng)后，能滿足實(shí)際對(duì)準(zhǔn)需求的同時(shí)，減少了運(yùn)動(dòng)軸的數(shù)量，保證了運(yùn)動(dòng)的精度以及可重復(fù)性要求，簡化了結(jié)構(gòu)、節(jié)省了成本。對(duì)第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)在導(dǎo)軌上的運(yùn)動(dòng)過程更容易進(jìn)行運(yùn)動(dòng)控制，第一端對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)抓取的靶標(biāo)相對(duì)位置關(guān)系更容易標(biāo)定和換算，使對(duì)準(zhǔn)流程簡便；一個(gè)臺(tái)面上的對(duì)準(zhǔn)過程是在另一個(gè)臺(tái)面曝光過程這個(gè)時(shí)間段內(nèi)實(shí)現(xiàn)的，因此，可以忽略對(duì)準(zhǔn)時(shí)間對(duì)曝光效率的影響，大幅提升了曝光效率。

附圖說明

圖1為本發(fā)明對(duì)第一臺(tái)面上的PCB板進(jìn)行內(nèi)層對(duì)準(zhǔn)的示意圖。

圖2為本發(fā)明對(duì)第二臺(tái)面上PCB板進(jìn)行曝光的示意圖。

圖3為本發(fā)明對(duì)第一臺(tái)面上PCB板進(jìn)行外層對(duì)準(zhǔn)時(shí)抓取兩個(gè)靶標(biāo)位置的示意圖。

圖4為本發(fā)明對(duì)第一臺(tái)面上PCB板進(jìn)行外層對(duì)準(zhǔn)時(shí)抓取另外兩個(gè)靶標(biāo)位置的示意圖。

圖5為本發(fā)明僅利用第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)抓取靶標(biāo)位置的示意圖。

圖6為本發(fā)明僅利用第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)抓取靶標(biāo)位置的示意圖。

圖7為本發(fā)明第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)與導(dǎo)軌的配合示意圖。

附圖標(biāo)記說明：1-導(dǎo)軌、2-第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、3-第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)、4-第一臺(tái)面、5-第二臺(tái)面、6-靶標(biāo)、7-PCB板、8-第一相機(jī)安裝底座、9-第一對(duì)準(zhǔn)鏡頭、10-第一對(duì)準(zhǔn)鏡筒、11-第二相機(jī)安裝底座、12-第二對(duì)準(zhǔn)鏡頭以及13-第二對(duì)準(zhǔn)鏡筒。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。

如圖1、圖2、圖3、圖4、圖5和圖6所示：對(duì)并置式雙臺(tái)面曝光設(shè)備，為了能實(shí)現(xiàn)有效對(duì)準(zhǔn)，提升曝光效率，本發(fā)明包括呈并置式分布的第一臺(tái)面4以及第二臺(tái)面5；在所述第一臺(tái)面4、第二臺(tái)面5的上方設(shè)置對(duì)準(zhǔn)圖像抓取機(jī)構(gòu)，所述對(duì)準(zhǔn)圖像抓取機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)軌1以及設(shè)置于導(dǎo)軌1上的第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2與第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3，第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3能在所述導(dǎo)軌1上進(jìn)行所需的運(yùn)動(dòng)，并在運(yùn)動(dòng)到所需的位置后，能抓取第一臺(tái)面4、第二臺(tái)面5上相應(yīng)靶標(biāo)6的圖像。

具體地，第一臺(tái)面4以及第二臺(tái)面5呈并置式分布，利用第一臺(tái)面4、第二臺(tái)面5能同時(shí)實(shí)現(xiàn)對(duì)兩塊PCB板7同時(shí)進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)、曝光的操作，對(duì)準(zhǔn)圖像抓取機(jī)構(gòu)位于第一臺(tái)面4、第二臺(tái)面5的上方，導(dǎo)軌1的長度方向與第一臺(tái)面4、第二臺(tái)面5的并置方向相平行，第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3能在導(dǎo)軌1上運(yùn)動(dòng)，第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3在導(dǎo)軌1上的運(yùn)動(dòng)相互獨(dú)立，以便利用第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3實(shí)現(xiàn)對(duì)所需靶標(biāo)6圖像的抓取。本發(fā)明實(shí)施例中，利用第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3抓取靶標(biāo)6的圖像，能為后續(xù)的對(duì)準(zhǔn)提供依據(jù)。

如圖7所示，所述第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2包括用于與導(dǎo)軌1連接的第一相機(jī)安裝底座8以及安裝于所述第一相機(jī)安裝底座8上的第一對(duì)準(zhǔn)鏡頭9，所述第一對(duì)準(zhǔn)鏡頭9上設(shè)有第一對(duì)準(zhǔn)鏡筒10。

所述第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3包括用于與導(dǎo)軌1連接的第二相機(jī)安裝底座11以及安裝于所述第二相機(jī)安裝底座11上的第二對(duì)準(zhǔn)鏡頭12，所述第二對(duì)準(zhǔn)鏡頭12上設(shè)有第二對(duì)準(zhǔn)鏡筒13。

本發(fā)明實(shí)施例中，第一對(duì)準(zhǔn)鏡頭9、第二對(duì)準(zhǔn)鏡頭12均可采用CCD鏡頭，第一相機(jī)安裝底座8能帶動(dòng)第一對(duì)準(zhǔn)鏡頭9以及第一對(duì)準(zhǔn)鏡筒10在導(dǎo)軌1上的運(yùn)動(dòng)，第二相機(jī)安裝底座11能帶動(dòng)第二對(duì)準(zhǔn)鏡頭12以及第二對(duì)準(zhǔn)鏡筒13在導(dǎo)軌1上運(yùn)動(dòng)，對(duì)準(zhǔn)鏡頭與對(duì)準(zhǔn)鏡筒間的具體配合關(guān)系為本技術(shù)領(lǐng)域人員所熟知，此處不再贅述。具體實(shí)施時(shí)，第一相機(jī)安裝底座8上還安裝有第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，第二相機(jī)安裝底座11上還安裝有第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)能實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)第一相機(jī)安裝底座8在導(dǎo)軌1上的運(yùn)動(dòng)，通過第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)能實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)第二相機(jī)安裝底座11在導(dǎo)軌1上的運(yùn)動(dòng)，第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可以采用本技術(shù)領(lǐng)域常用的驅(qū)動(dòng)形式，只要能滿足驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)即可，具體為本技術(shù)領(lǐng)域人員根據(jù)需要進(jìn)行選擇，此處不再贅述。

由于第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3在導(dǎo)軌1上運(yùn)動(dòng)相互獨(dú)立，為了避免第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2與第三對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3工作時(shí)的碰撞，第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3在導(dǎo)軌1上運(yùn)動(dòng)時(shí)，第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3在導(dǎo)軌1上的間距不小于安全距離。本發(fā)明實(shí)施例中，所述第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3間的安全距離可以由直寫式光刻機(jī)的控制器進(jìn)行設(shè)定，所述直寫式光刻機(jī)的控制器還能控制第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)。當(dāng)然，為了確定你給第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3間的距離，還可以設(shè)置用于采集第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2與第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3間距離的傳感器，所述距離傳感器與直寫式光刻機(jī)的控制器連接，從而直寫式光刻機(jī)的控制器能實(shí)時(shí)獲取第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2與第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3間的距離。

根據(jù)上述的直寫式光刻機(jī)，所述曝光對(duì)準(zhǔn)方法包括如下步驟：

步驟1、提供呈并置式分布的第一臺(tái)面4以及第二臺(tái)面5，并在第一臺(tái)面4、第二臺(tái)面5的上方設(shè)置對(duì)準(zhǔn)圖像抓取機(jī)構(gòu)，所述對(duì)準(zhǔn)圖像抓取機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)軌1以及設(shè)置于導(dǎo)軌1上的第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2與第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3，第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3能在所述導(dǎo)軌1上進(jìn)行所需的運(yùn)動(dòng)；

步驟2、在上述第一臺(tái)面4、第二臺(tái)面5上放置所需的PCB板7，在對(duì)第一臺(tái)面4或第二臺(tái)面5上的PCB板7利用第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)時(shí)，對(duì)第二臺(tái)面5或第一臺(tái)面4上的PCB板7進(jìn)行曝光。

具體地，在對(duì)PCB板7進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)時(shí)，包括內(nèi)層對(duì)準(zhǔn)步驟以及外層對(duì)準(zhǔn)步驟；其中，

內(nèi)層對(duì)準(zhǔn)步驟為：將PCB板7的A面朝上放置，并開啟當(dāng)前PCB板7所在臺(tái)面用于形成靶標(biāo)6的光源，在對(duì)PCB板7的A面曝光時(shí)，在PCB板7的B面打兩個(gè)靶標(biāo)6；

在PCB板7的A面曝光完成后，將PCB板7翻面，利用第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3分別抓取并記錄B面上靶標(biāo)6的位置，根據(jù)B面上靶標(biāo)6的位置確定PCB板7B面的曝光初始位置，并根據(jù)所述曝光初始位置對(duì)所述PCB板7的B面進(jìn)行曝光；

本發(fā)明實(shí)施例中，PCB板7在第一臺(tái)面4或第二臺(tái)面5上進(jìn)行內(nèi)層對(duì)準(zhǔn)的過程相一致。一般地，一塊PCB板7在第一臺(tái)面4上進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)時(shí)，另一塊PCB板7在第二臺(tái)面5上進(jìn)行曝光，從而能提升效率。PCB板7在第一臺(tái)面4或第二臺(tái)面5上對(duì)準(zhǔn)時(shí)，第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3需要移動(dòng)到當(dāng)前需要對(duì)準(zhǔn)臺(tái)面的位置區(qū)域，以便抓取所需的靶標(biāo)6位置。具體實(shí)施時(shí)，第一臺(tái)面4以及第二臺(tái)面5上均設(shè)置兩個(gè)能發(fā)射紫外光束的LED燈，利用LED燈發(fā)射的紫外光束形成內(nèi)層對(duì)準(zhǔn)所需的靶標(biāo)6。

如圖1所示，為對(duì)第一臺(tái)面4上PCB板7進(jìn)行內(nèi)層對(duì)準(zhǔn)的示意圖，此時(shí)，第二臺(tái)面5上的PCB板7進(jìn)行曝光過程。對(duì)第一臺(tái)面4上PCB板7進(jìn)行內(nèi)層對(duì)準(zhǔn)時(shí)，利用第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2以及第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3分別抓取一個(gè)靶標(biāo)6的圖像，根據(jù)靶標(biāo)6的圖像確定靶標(biāo)6的位置。如圖2所示，為第二臺(tái)面5上PCB板5曝光完成后，進(jìn)行下板，并放置另一塊PCB板7的示意圖，此時(shí)，第一臺(tái)面4上的PCB板7可以根據(jù)獲取靶標(biāo)6的位置，實(shí)現(xiàn)所需的曝光。

外層對(duì)準(zhǔn)時(shí)，利用PCB板7上的四個(gè)定位孔作為外層對(duì)準(zhǔn)的靶標(biāo)6，根據(jù)四個(gè)定位孔的位置范圍，控制當(dāng)前PCB板7所在臺(tái)面移動(dòng)到所需的位置，以使得靠近第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3的兩個(gè)定位孔處于第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3的視場內(nèi)，并利用第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3抓取并記錄所述兩個(gè)作為靶標(biāo)6的定位孔位置；

控制當(dāng)前PCB板7所在臺(tái)面移動(dòng)至所需的位置，以使得遠(yuǎn)離第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3的兩個(gè)定位孔處于第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3的視場內(nèi)，利用第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3抓取并記錄所述兩個(gè)作為靶標(biāo)6的定位孔位置；

根據(jù)上述獲取四個(gè)靶標(biāo)6的位置，確定PCB板7外層的曝光初始位置。

具體地，外層板制作時(shí)，由于PCB板7有四個(gè)定位孔，所述四個(gè)定位孔即可作為對(duì)準(zhǔn)的靶標(biāo)6。每種IC電路圖形都有一個(gè)料號(hào)，料號(hào)里有圖形所有的信息，包括四個(gè)定位孔的位置信息，所以曝光時(shí)，每個(gè)臺(tái)面上的PCB板7的四個(gè)定位孔位置范圍已知，對(duì)準(zhǔn)時(shí)，第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3移動(dòng)到對(duì)應(yīng)位置，可以實(shí)現(xiàn)預(yù)對(duì)準(zhǔn)。

第一臺(tái)面4上的PCB板7進(jìn)行曝光時(shí)，第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3移動(dòng)到與第二臺(tái)面5正對(duì)應(yīng)的位置，以便進(jìn)行靶標(biāo)6抓取，將第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3抓取的四個(gè)定位孔位置記錄下來，根據(jù)四個(gè)定位孔的位置，即能實(shí)現(xiàn)第二臺(tái)面5上PCB板7的外層對(duì)準(zhǔn)。具體實(shí)施時(shí)，在抓取四個(gè)定位孔的位置后，可以將四個(gè)定位孔的位置變換到同一坐標(biāo)系內(nèi)，即得到曝光的初始位置。由四個(gè)定位孔的位置，能實(shí)現(xiàn)對(duì)PCB板7外層對(duì)準(zhǔn)的具體過程為本技術(shù)領(lǐng)域人員所熟知，此處不再贅述。此外，在PCB7的外層對(duì)準(zhǔn)時(shí)，PCB板7的A面、B面均需要進(jìn)行上述的對(duì)準(zhǔn)過程，具體為本技術(shù)領(lǐng)域人員所熟知，此處不再贅述。

本發(fā)明實(shí)施例中，當(dāng)?shù)谝慌_(tái)面4上PCB板7的曝光結(jié)束后，取下PCB板7并放上另一片PCB板7，第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3需要移動(dòng)到與第一臺(tái)面4對(duì)應(yīng)的位置，以對(duì)第一臺(tái)面4上PCB板7的定位孔圖像進(jìn)行抓取，實(shí)現(xiàn)第一臺(tái)面4上PCB板7的對(duì)準(zhǔn)；與此同時(shí)，由于第二臺(tái)面5上PCB板7已進(jìn)行了對(duì)準(zhǔn)，根據(jù)記錄的靶標(biāo)6位置直接曝光。如上所述，一個(gè)臺(tái)面的對(duì)準(zhǔn)過程是在另一個(gè)臺(tái)面曝光過程這個(gè)時(shí)間段內(nèi)實(shí)現(xiàn)的，所以，本發(fā)明的對(duì)準(zhǔn)方式可以忽略對(duì)準(zhǔn)時(shí)間對(duì)曝光效率的影響。

如圖3所示，為第一臺(tái)面4上PCB板7進(jìn)行外層對(duì)準(zhǔn)的示意圖，具體為獲取PCB板7上鄰近第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3的兩個(gè)定位孔的位置圖像，即獲取兩個(gè)靠近第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3的靶標(biāo)6的位置。對(duì)準(zhǔn)時(shí)，根據(jù)料號(hào)信息控制第一臺(tái)面4帶動(dòng)PCB板7移動(dòng)到合適位置，使靠近第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3的兩個(gè)定位孔分別第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第三對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3的視場內(nèi)，第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3分別抓取兩個(gè)作為靶標(biāo)6的定位孔的精確位置，記錄待用。

如圖4所示，為第一臺(tái)面4上PCB板7進(jìn)行外層對(duì)準(zhǔn)的示意圖，具體為獲取PCB板7上遠(yuǎn)離第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3的兩個(gè)定位孔的位置圖像，對(duì)準(zhǔn)時(shí)，控制第一臺(tái)面4帶動(dòng)PCB板7Y方向進(jìn)行移動(dòng)，直至遠(yuǎn)離第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3的定位孔進(jìn)入第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3的視場內(nèi)，第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3分別抓取兩個(gè)靶標(biāo)6的精確位置，記錄待用，四個(gè)靶標(biāo)6位置通過計(jì)算換算到同一坐標(biāo)系內(nèi)，完成外層對(duì)準(zhǔn)過程，具體變換過程為本技術(shù)領(lǐng)域人員所熟知，此處不再贅述。

如圖5和圖6所示，由于第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3共軸運(yùn)動(dòng)，考慮防撞，第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3的最小距離始終保持大于或等于安全距離。這種方式考慮小板曝光，PCB板7兩側(cè)的靶標(biāo)6若小于安全距離，需考慮運(yùn)動(dòng)方式：第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2移動(dòng)到左側(cè)靶標(biāo)6位置范圍，進(jìn)行靶標(biāo)6位置精確抓取，此時(shí)，若第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3離第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2的距離小于安全距離，則會(huì)自動(dòng)往右移動(dòng)，使第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3位置滿足安全要求，左側(cè)靶標(biāo)6精確定位后，記錄坐標(biāo)待用；控制第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2往導(dǎo)軌1的左側(cè)移動(dòng)，控制第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3往左側(cè)移動(dòng)至右測靶標(biāo)6位置，進(jìn)行精確定位，記錄右測靶6標(biāo)位置待用，將PCB板7兩側(cè)靶標(biāo)6通過計(jì)算，換算到同一坐標(biāo)系代待用，至此完成小尺寸PCB板7對(duì)準(zhǔn)過程。

本發(fā)明第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3安裝在導(dǎo)軌1上，并能在導(dǎo)軌1上進(jìn)行所需的運(yùn)動(dòng)，第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3在導(dǎo)軌1上移動(dòng)后，能滿足實(shí)際對(duì)準(zhǔn)需求的同時(shí)，減少了運(yùn)動(dòng)軸的數(shù)量，保證了運(yùn)動(dòng)的精度以及可重復(fù)性要求，簡化了結(jié)構(gòu)、節(jié)省了成本。對(duì)第一對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3在導(dǎo)軌1上的運(yùn)動(dòng)過程更容易進(jìn)行運(yùn)動(dòng)控制，第一端對(duì)準(zhǔn)相機(jī)2、第二對(duì)準(zhǔn)相機(jī)3抓取的靶標(biāo)6相對(duì)位置關(guān)系更容易標(biāo)定和換算，使對(duì)準(zhǔn)流程簡便；一個(gè)臺(tái)面上的對(duì)準(zhǔn)過程是在另一個(gè)臺(tái)面曝光過程這個(gè)時(shí)間段內(nèi)實(shí)現(xiàn)的，因此，可以忽略對(duì)準(zhǔn)時(shí)間對(duì)曝光效率的影響，大幅提升了曝光效率。