本發(fā)明涉及調(diào)制在半導(dǎo)體制造工序以及平板顯示器制造工序等中用于抗蝕劑的剝離的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置以及調(diào)制非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體制造工序、平板顯示器基板的制造工序中的光刻工序的最終階段，需要將抗蝕劑從基板完全剝離的工序。在半導(dǎo)體、平板顯示器基板的抗蝕劑剝離工序中，一并實(shí)施基于氧等離子體的干灰化工序和基于抗蝕劑剝離液的濕式剝離工序。在經(jīng)過基于氧等離子體的干灰化工序的基板上生成硅氧化物、鋁氧化物，在之后的濕式剝離工序中不僅需要?jiǎng)冸x抗蝕劑，還需要完全去除金屬氧化物。

在半導(dǎo)體、平板顯示器基板的抗蝕劑剝離工序中，作為抗蝕劑剝離液，主要使用將有機(jī)堿、有機(jī)溶劑組合而成的溶液(以下，也稱作“非水系抗蝕劑剝離液”)。另外，使用向該溶液添加適量的水而成的溶液(以下，也稱作“水系抗蝕劑剝離液”)。在本說明書中，在無需明確區(qū)分“水系抗蝕劑剝離液”與“非水系抗蝕劑剝離液”的情況下，有時(shí)也簡(jiǎn)稱作“抗蝕劑剝離液”。

作為管理抗蝕劑剝離液的濃度的抗蝕劑剝離液管理裝置，例如已知下述的專利文獻(xiàn)1、專利文獻(xiàn)2。

在專利文獻(xiàn)1中記載了如下的抗蝕劑剝離液管理裝置，該抗蝕劑剝離液管理裝置具備：抗蝕劑剝離液排出機(jī)構(gòu)，其通過吸光光度計(jì)檢測(cè)抗蝕劑剝離液的溶解抗蝕劑濃度，并排出抗蝕劑剝離液；第一補(bǔ)給機(jī)構(gòu)，其通過液位儀檢測(cè)抗蝕劑剝離液的液位，并補(bǔ)給有機(jī)溶劑和烷醇胺，或者補(bǔ)給將有機(jī)溶劑與烷醇胺預(yù)先調(diào)配而成的抗蝕劑剝離新液；以及第二補(bǔ)給機(jī)構(gòu)，其通過吸光光度計(jì)檢測(cè)抗蝕劑剝離液的烷醇胺濃度，并補(bǔ)給有機(jī)溶劑以及烷醇胺中的至少一方。

另外，在下述的專利文獻(xiàn)2中記載了如下的抗蝕劑剝離液管理裝置，該抗蝕劑剝離液管理裝置具備：抗蝕劑剝離液排出機(jī)構(gòu)，其通過吸光光度計(jì)檢測(cè)抗蝕劑剝離液的溶解抗蝕劑濃度，并排出抗蝕劑剝離液；第一補(bǔ)給機(jī)構(gòu)，其通過液位儀檢測(cè)抗蝕劑剝離液的液位，并補(bǔ)給抗蝕劑剝離液和純水，或者補(bǔ)給將抗蝕劑剝離原液與純水預(yù)先調(diào)配而成的抗蝕劑剝離新液；以及第二補(bǔ)給機(jī)構(gòu)，其通過吸光光度計(jì)檢測(cè)抗蝕劑剝離液的水分濃度，并補(bǔ)給抗蝕劑剝離原液以及純水中的至少一方。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開平7-235487號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開平10-22261號(hào)公報(bào)

如專利文獻(xiàn)1、2所記載那樣，已經(jīng)提出了將抗蝕劑剝離液維持管理為規(guī)定的成分濃度的管理裝置。但是，并不存在根據(jù)成分濃度的測(cè)定值而由抗蝕劑剝離液的原料自動(dòng)地調(diào)制規(guī)定的成分濃度的抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置。其原因在于，在管理裝置與調(diào)制裝置之間存在如下的根本的不同。

在管理裝置的情況下，如專利文獻(xiàn)1、2那樣，管理裝置的應(yīng)用對(duì)象是最初處于應(yīng)當(dāng)管理成的規(guī)定的成分濃度的抗蝕劑剝離液。通過使用抗蝕劑剝離液，抗蝕劑剝離液的成分濃度逐漸偏離最初的成分濃度。對(duì)此，管理裝置通過向抗蝕劑剝離液補(bǔ)充補(bǔ)充液等動(dòng)作，想要使抗蝕劑剝離液的成分濃度恢復(fù)最初的應(yīng)當(dāng)管理成的規(guī)定的濃度。換句話說，管理裝置是基于如下技術(shù)思想而形成的，該技術(shù)思想為：通過導(dǎo)入成分濃度的恢復(fù)裝置，構(gòu)筑以應(yīng)當(dāng)管理成的規(guī)定的成分濃度為中心的成分濃度的穩(wěn)定控制系統(tǒng)。

另一方面，調(diào)制裝置是通過將各種原料混合而調(diào)制出規(guī)定的成分濃度的抗蝕劑剝離液的裝置。調(diào)制裝置所應(yīng)用的對(duì)象原本不處于想要調(diào)制出的規(guī)定的成分濃度。因此，無法將管理裝置的技術(shù)思想直接用于調(diào)制裝置。調(diào)制裝置與管理裝置不存在能夠從管理裝置馬上想到調(diào)制裝置的技術(shù)關(guān)系。

由于這種根本的不同，因此即便存在專利文獻(xiàn)1、2這樣的管理裝置，但至今仍不存在以測(cè)定成分濃度并形成規(guī)定的成分濃度的方式調(diào)制抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置。以往的抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置根據(jù)原料的容量或者重量來調(diào)整濃度。因此，由以往的調(diào)制裝置調(diào)制出的抗蝕劑剝離液的成分濃度的調(diào)整精度不佳。若抗蝕劑剝離液未被調(diào)整為規(guī)定的濃度，則無法得到良好的剝離速度，產(chǎn)生剝離殘?jiān)约敖饘傺趸锏臍堅(jiān)?，從而成為成品率降低的原因。另外，若在光刻工序的最終階段即抗蝕劑剝離工序中產(chǎn)生不合格品，則存在損失金額變大的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明所要解決的課題

本發(fā)明是鑒于這種情況而完成的。本發(fā)明的目的在于提供能夠高精度、自動(dòng)且連續(xù)地調(diào)制規(guī)定的濃度的抗蝕劑剝離液的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置以及非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置。

用于解決課題的方案

為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供一種水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置，具備：調(diào)制槽，其調(diào)制規(guī)定的成分濃度的水系抗蝕劑剝離液；測(cè)定機(jī)構(gòu)，對(duì)于調(diào)制槽內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液，測(cè)定機(jī)構(gòu)測(cè)定與水系抗蝕劑剝離液的成分濃度具有相關(guān)關(guān)系的水系抗蝕劑剝離液的物性值、以及水系抗蝕劑剝離液的成分濃度中的至少一方；以及控制機(jī)構(gòu)，其根據(jù)由測(cè)定機(jī)構(gòu)測(cè)定出的測(cè)定值，控制向調(diào)制槽供給的水系抗蝕劑剝離液的原料的供給量，以使得調(diào)制槽內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液成為規(guī)定的成分濃度。

本發(fā)明的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行水系抗蝕劑剝離液的與成分濃度具有相關(guān)的物性值或成分濃度中的至少任一方的測(cè)定，從而調(diào)制水系抗蝕劑剝離液。因此，根據(jù)本發(fā)明的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置，與根據(jù)容量、重量進(jìn)行調(diào)制的以往的調(diào)制裝置相比，能夠調(diào)制出成分濃度更加準(zhǔn)確的水系抗蝕劑剝離液。

為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供一種水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置，具備：調(diào)制槽，其調(diào)制規(guī)定的胺濃度的水系抗蝕劑剝離液；關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)，對(duì)于調(diào)制槽內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液，關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)測(cè)定與水系抗蝕劑剝離液的胺濃度具有相關(guān)關(guān)系的水系抗蝕劑剝離液的物性值、以及水系抗蝕劑剝離液的胺濃度中的至少一方；以及關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)，其根據(jù)由關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)測(cè)定出的測(cè)定值，控制向調(diào)制槽供給的水系抗蝕劑剝離液的原料的供給量，以使得調(diào)制槽內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液成為規(guī)定的胺濃度。

本發(fā)明的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行水系抗蝕劑剝離液的與胺濃度具有相關(guān)的物性值或胺濃度中的至少一方的測(cè)定，從而調(diào)制水系抗蝕劑剝離液。因此，根據(jù)本發(fā)明的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置，與根據(jù)容量、重量進(jìn)行調(diào)制的以往的調(diào)制裝置相比，能夠調(diào)制出胺濃度更加準(zhǔn)確的水系抗蝕劑剝離液。

為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供一種水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置，具備：調(diào)制槽，其調(diào)制規(guī)定的水分濃度的水系抗蝕劑剝離液；關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)，對(duì)于調(diào)制槽內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液，關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)測(cè)定與水系抗蝕劑剝離液的水分濃度具有相關(guān)關(guān)系的水系抗蝕劑剝離液的物性值、以及水系抗蝕劑剝離液的水分濃度中的至少一方；以及關(guān)于水分的控制機(jī)構(gòu)，其根據(jù)由關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)測(cè)定出的測(cè)定值，控制向調(diào)制槽供給的水系抗蝕劑剝離液的原料的供給量，以使得調(diào)制槽內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液成為規(guī)定的水分濃度。

本發(fā)明的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行水系抗蝕劑剝離液的與水分濃度具有相關(guān)的物性值或水分濃度中的至少一方的測(cè)定，從而調(diào)制水系抗蝕劑剝離液。因此，根據(jù)本發(fā)明的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置，與根據(jù)容量、重量進(jìn)行調(diào)制的以往的調(diào)制裝置相比，能夠調(diào)制出水分濃度更加準(zhǔn)確的水系抗蝕劑剝離液。

為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供一種水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置，具備：調(diào)制槽，其調(diào)制具有規(guī)定的胺濃度、以及規(guī)定的水分濃度的水系抗蝕劑剝離液；關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)，對(duì)于調(diào)制槽內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液，關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)測(cè)定與水系抗蝕劑剝離液的胺濃度具有相關(guān)關(guān)系的水系抗蝕劑剝離液的物性值、以及水系抗蝕劑剝離液的胺濃度中的至少一方；關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)，對(duì)于調(diào)制槽內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液，關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)測(cè)定與水系抗蝕劑剝離液的水分濃度具有相關(guān)關(guān)系的水系抗蝕劑剝離液的物性值、以及水系抗蝕劑剝離液的水分濃度中的至少一方；以及控制機(jī)構(gòu)，其根據(jù)由關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)測(cè)定出的測(cè)定值、以及由關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)測(cè)定出的測(cè)定值，控制向調(diào)制槽供給的水系抗蝕劑剝離液的原料的供給量，以使得調(diào)制槽內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液成為規(guī)定的胺濃度以及規(guī)定的水分濃度。

本發(fā)明的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行水系抗蝕劑剝離液的與胺濃度具有相關(guān)的物性值或胺濃度中的至少一方的測(cè)定，從而調(diào)制水系抗蝕劑剝離液。同時(shí)，本發(fā)明的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行水系抗蝕劑剝離液的與水分濃度具有相關(guān)的物性值或水分濃度中的至少一方的測(cè)定，從而調(diào)制水系抗蝕劑剝離液。因此，根據(jù)本發(fā)明的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置，與根據(jù)容量、重量進(jìn)行調(diào)制的以往的調(diào)制裝置相比，能夠調(diào)制出胺濃度更加準(zhǔn)確且水分濃度更加準(zhǔn)確的水系抗蝕劑剝離液。

在本發(fā)明的優(yōu)選的方式中，關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)具備吸光光度計(jì)、電導(dǎo)率計(jì)、密度計(jì)、超聲波濃度計(jì)、以及粘度計(jì)中的任一個(gè)。由上述測(cè)定裝置測(cè)定出的水系抗蝕劑剝離液的吸光度、電導(dǎo)率、密度、超聲波傳播速度以及粘度與水系抗蝕劑剝離液的胺濃度具有相關(guān)，因此能夠使胺濃度高精度地與規(guī)定的濃度一致。

在本發(fā)明的更優(yōu)選的方式中，關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)具備吸光光度計(jì)，在胺為單乙醇胺的情況下，吸光光度計(jì)的測(cè)定波長(zhǎng)為從1000～1600nm的波長(zhǎng)區(qū)域中選出的特定的波長(zhǎng)，在胺為羥胺的情況下，吸光光度計(jì)的測(cè)定波長(zhǎng)為從1050～1090nm的波長(zhǎng)區(qū)域中選出的特定的波長(zhǎng)。

上述波長(zhǎng)區(qū)域中測(cè)定出的水系抗蝕劑剝離液的吸光度與其胺濃度之間能夠得到比較良好的直線關(guān)系。因此，在該波長(zhǎng)區(qū)域中測(cè)定出的吸光度、或者通過該測(cè)定出的吸光度和該直線關(guān)系得到的胺濃度適合用于將水系抗蝕劑剝離液中的胺濃度準(zhǔn)確地形成為規(guī)定的濃度。在胺為單乙醇胺的情況下，特別是將1048nm作為測(cè)定波長(zhǎng)而測(cè)定出的吸光度在上述的波長(zhǎng)區(qū)域中靈敏度特別好，在與胺濃度之間能夠得到良好的直線關(guān)系，因此更加優(yōu)選。在胺為羥胺的情況下，特別是將1074nm作為測(cè)定波長(zhǎng)而測(cè)定出的吸光度在上述的波長(zhǎng)區(qū)域中靈敏度特別好，與胺濃度之間能夠得到良好的直線關(guān)系，因此更加優(yōu)選。

在本發(fā)明的優(yōu)選的方式中，關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)具備吸光光度計(jì)、電導(dǎo)率計(jì)、密度計(jì)、超聲波濃度計(jì)、以及粘度計(jì)中的任一個(gè)。由上述測(cè)定裝置測(cè)定出的水系抗蝕劑剝離液的吸光度、電導(dǎo)率、密度、超聲波傳播速度以及粘度與水系抗蝕劑剝離液的水分濃度具有相關(guān)，因此能夠使水分濃度高精度地與規(guī)定的濃度一致。

在本發(fā)明的更優(yōu)選的方式中，關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)為吸光光度計(jì)，吸光光度計(jì)的測(cè)定波長(zhǎng)為從950～2000nm的波長(zhǎng)區(qū)域中選出的特定的波長(zhǎng)。

以該近紅外線區(qū)域的測(cè)定波長(zhǎng)測(cè)定出的水系抗蝕劑剝離液的吸光度與其水分濃度之間能夠得到比較良好的直線關(guān)系。因此，在該波長(zhǎng)區(qū)域中測(cè)定出的吸光度、或者通過該測(cè)定出的吸光度和該直線關(guān)系得到的水分濃度適合用于將水系抗蝕劑剝離液中的水分濃度準(zhǔn)確地形成為規(guī)定的濃度。特別是將1940nm和976nm作為測(cè)定波長(zhǎng)而測(cè)定出的吸光度在該波長(zhǎng)區(qū)域中靈敏度特別好，與水分濃度之間能夠得到良好的直線關(guān)系，因此更加優(yōu)選。

在本發(fā)明的優(yōu)選的方式中，水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置還具備貯存槽，該貯存槽貯存在調(diào)制槽中調(diào)制好的水系抗蝕劑剝離液。

根據(jù)該方式，調(diào)制成規(guī)定的成分濃度的水系抗蝕劑剝離液始終貯存于貯存槽，因此在需要水系抗蝕劑剝離液時(shí)能夠隨時(shí)得到規(guī)定的成分濃度的水系抗蝕劑剝離液。

在本發(fā)明的優(yōu)選的方式中，水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置具備多個(gè)調(diào)制槽。

根據(jù)該方式，即便一個(gè)調(diào)制槽因故障等而無法運(yùn)行，也能夠通過其他調(diào)制槽維持水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制。另外，即便一個(gè)調(diào)制槽變空，也能夠從其他調(diào)制槽接受水系抗蝕劑剝離液的供給。

在本發(fā)明的優(yōu)選的方式中，調(diào)制槽與貯存槽通過連通管連接。

根據(jù)該方式，即便因供給水系抗蝕劑剝離液而使貯存槽內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液減少，也從調(diào)制槽向貯存槽自動(dòng)且連續(xù)地移送被調(diào)制成規(guī)定濃度的水系抗蝕劑剝離液。此時(shí)，不需要送液泵等設(shè)備。

在本發(fā)明的優(yōu)選的方式中，水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置具備預(yù)備混合機(jī)構(gòu)，該預(yù)備混合機(jī)構(gòu)將向調(diào)制槽供給的水系抗蝕劑剝離液的原料預(yù)先混合。

在本發(fā)明的優(yōu)選的方式中，水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置針對(duì)每個(gè)調(diào)制槽而具備預(yù)備混合機(jī)構(gòu)，該預(yù)備混合機(jī)構(gòu)將向調(diào)制槽供給的水系抗蝕劑剝離液的原料預(yù)先混合。

根據(jù)該方式，水系抗蝕劑剝離液的原料被預(yù)先混合，因此調(diào)制槽內(nèi)的混合、攪拌的負(fù)擔(dān)減輕，能夠更加迅速地調(diào)制濃度均勻的水系抗蝕劑剝離液。另外，即便在根據(jù)所測(cè)定的成分濃度、物性值而僅能在比較窄的濃度范圍得到相關(guān)關(guān)系的情況下，通過使用預(yù)備混合機(jī)構(gòu)，也能夠準(zhǔn)確地調(diào)制出規(guī)定的成分濃度的水系抗蝕劑剝離液。

為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供一種非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置，具備：調(diào)制槽，其調(diào)制規(guī)定的成分濃度的非水系抗蝕劑剝離液；測(cè)定機(jī)構(gòu)，對(duì)于調(diào)制槽內(nèi)的非水系抗蝕劑剝離液，測(cè)定機(jī)構(gòu)測(cè)定與非水系抗蝕劑剝離液的成分濃度具有相關(guān)關(guān)系的非水系抗蝕劑剝離液的物性值、以及非水系抗蝕劑剝離液的成分濃度中的至少一方；以及控制機(jī)構(gòu)，其根據(jù)由測(cè)定機(jī)構(gòu)測(cè)定出的測(cè)定值，控制向調(diào)制槽供給的非水系抗蝕劑剝離液的原料的供給量，以使得調(diào)制槽內(nèi)的非水系抗蝕劑剝離液成為規(guī)定的成分濃度。

本發(fā)明的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行非水系抗蝕劑剝離液的與成分濃度具有相關(guān)的物性值或成分濃度中的至少任一方的測(cè)定，從而調(diào)制非水系抗蝕劑剝離液。因此，根據(jù)本發(fā)明的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置，與根據(jù)容量、重量進(jìn)行調(diào)制的以往的調(diào)制裝置相比，能夠調(diào)制出成分濃度更加準(zhǔn)確的非水系抗蝕劑剝離液。

為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供一種非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置，具備：調(diào)制槽，其調(diào)制規(guī)定的胺濃度的非水系抗蝕劑剝離液；關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)，對(duì)于調(diào)制槽內(nèi)的非水系抗蝕劑剝離液，關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)測(cè)定與非水系抗蝕劑剝離液的胺濃度具有相關(guān)關(guān)系的非水系抗蝕劑剝離液的物性值、以及非水系抗蝕劑剝離液的胺濃度中的至少一方；以及關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)，其根據(jù)由關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)測(cè)定出的測(cè)定值，控制向調(diào)制槽供給的非水系抗蝕劑剝離液的原料的供給量，以使得調(diào)制槽內(nèi)的非水系抗蝕劑剝離液成為規(guī)定的胺濃度。

本發(fā)明的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置測(cè)定與非水系抗蝕劑剝離液的胺濃度具有相關(guān)關(guān)系的物性值以及非水系抗蝕劑剝離液的胺濃度中的至少一方，并根據(jù)該測(cè)定值調(diào)制非水系抗蝕劑剝離液。因此，根據(jù)本發(fā)明的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置，與根據(jù)容量、重量進(jìn)行調(diào)制的以往的調(diào)制裝置相比，能夠調(diào)制出胺濃度更加準(zhǔn)確的非水系抗蝕劑剝離液。

在本發(fā)明的優(yōu)選的方式中，關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)具備吸光光度計(jì)、電導(dǎo)率計(jì)、密度計(jì)、超聲波濃度計(jì)、以及粘度計(jì)中的任一個(gè)。由上述測(cè)定裝置測(cè)定出的非水系抗蝕劑剝離液的吸光度、電導(dǎo)率、密度、超聲波傳播速度以及粘度與非水系抗蝕劑剝離液的胺濃度具有相關(guān)，因此能夠使胺濃度高精度地與規(guī)定的濃度一致。

在本發(fā)明的更優(yōu)選的方式中，關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)具備吸光光度計(jì)，在胺為單乙醇胺的情況下，吸光光度計(jì)的測(cè)定波長(zhǎng)為從1000～1600nm的波長(zhǎng)區(qū)域中選出的特定的波長(zhǎng)，在胺為羥胺的情況下，吸光光度計(jì)的測(cè)定波長(zhǎng)為從1050～1090nm的波長(zhǎng)區(qū)域中選出的特定的波長(zhǎng)。

上述波長(zhǎng)區(qū)域中測(cè)定出的非水系抗蝕劑剝離液的吸光度與其胺濃度之間能夠得到比較良好的直線關(guān)系。因此，在該波長(zhǎng)區(qū)域中測(cè)定出的吸光度、或者通過該測(cè)定出的吸光度和該直線關(guān)系得到的胺濃度適合用于將非水系抗蝕劑剝離液中的胺濃度準(zhǔn)確地形成為規(guī)定的濃度。在胺為單乙醇胺的情況下，特別是將1048nm作為測(cè)定波長(zhǎng)而測(cè)定出的吸光度在上述的波長(zhǎng)區(qū)域中靈敏度特別好，在與胺濃度之間能夠得到良好的直線關(guān)系，因此更加優(yōu)選。在胺為羥胺的情況下，特別是將1074nm作為測(cè)定波長(zhǎng)而測(cè)定出的吸光度在上述的波長(zhǎng)區(qū)域中靈敏度特別好，與胺濃度之間能夠得到良好的直線關(guān)系，因此更加優(yōu)選。

在本發(fā)明的優(yōu)選的方式中，非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置還具備貯存槽，該貯存槽貯存在調(diào)制槽中調(diào)制好的非水系抗蝕劑剝離液。

根據(jù)該方式，調(diào)制成規(guī)定的成分濃度的非水系抗蝕劑剝離液始終貯存于貯存槽，因此在需要非水系抗蝕劑剝離液時(shí)能夠隨時(shí)得到規(guī)定的成分濃度的非水系抗蝕劑剝離液。

在本發(fā)明的優(yōu)選的方式中，水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置具備多個(gè)調(diào)制槽。

根據(jù)該方式，即便一個(gè)調(diào)制槽因故障等而無法運(yùn)行，也能夠通過其他調(diào)制槽維持非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制。另外，即便一個(gè)調(diào)制槽變空，也能夠從其他調(diào)制槽接受非水系抗蝕劑剝離液的供給。

在本發(fā)明的優(yōu)選的方式中，調(diào)制槽與貯存槽通過連通管連接。

根據(jù)該方式，即便因供給非水系抗蝕劑剝離液而使貯存槽內(nèi)的非水系抗蝕劑剝離液減少，也從調(diào)制槽向貯存槽自動(dòng)且連續(xù)地移送被調(diào)制成規(guī)定濃度的非水系抗蝕劑剝離液。此時(shí)，不需要送液泵等設(shè)備。

在本發(fā)明的優(yōu)選的方式中，非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置具備預(yù)備混合機(jī)構(gòu)，該預(yù)備混合機(jī)構(gòu)將向調(diào)制槽供給的非水系抗蝕劑剝離液的原料預(yù)先混合。

在本發(fā)明的優(yōu)選的方式中，非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置針對(duì)每個(gè)調(diào)制槽而具備預(yù)備混合機(jī)構(gòu)，該預(yù)備混合機(jī)構(gòu)將向調(diào)制槽供給的非水系抗蝕劑剝離液的原料預(yù)先混合。

根據(jù)該方式，非水系抗蝕劑剝離液的原料被預(yù)先混合，因此調(diào)制槽內(nèi)的混合、攪拌的負(fù)擔(dān)減輕，能夠更加迅速地調(diào)制濃度均勻的非水系抗蝕劑剝離液。另外，即便在根據(jù)所測(cè)定的成分濃度、物性值而僅能在比較窄的濃度范圍得到相關(guān)關(guān)系的情況下，通過使用預(yù)備混合機(jī)構(gòu)，也能夠準(zhǔn)確地調(diào)制出規(guī)定的成分濃度的非水系抗蝕劑剝離液。

發(fā)明效果

本發(fā)明的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置測(cè)定與水系抗蝕劑剝離液的成分濃度具有相關(guān)關(guān)系的物性值、以及水系抗蝕劑剝離液的成分濃度中的至少一方，并根據(jù)該測(cè)定值，以調(diào)制槽內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液成為規(guī)定的成分濃度的方式調(diào)制水系抗蝕劑剝離液。因此，根據(jù)本發(fā)明的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置，與利用容量、重量進(jìn)行調(diào)制的以往的調(diào)制裝置相比，能夠調(diào)制出成分濃度準(zhǔn)確的水系抗蝕劑剝離液。另外，根據(jù)本發(fā)明的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置，同樣地能夠調(diào)制出胺濃度、水分濃度更加準(zhǔn)確的水系抗蝕劑剝離液。此外，根據(jù)本發(fā)明的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置，在需要時(shí)能夠隨時(shí)得到規(guī)定的成分濃度的水系抗蝕劑剝離液。能夠自動(dòng)且連續(xù)地調(diào)制規(guī)定的成分濃度的水系抗蝕劑剝離液。

本發(fā)明的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置測(cè)定與非水系抗蝕劑剝離液的成分濃度具有相關(guān)關(guān)系的物性值、以及非水系抗蝕劑剝離液的成分濃度中的至少一方，并根據(jù)該測(cè)定值，以調(diào)制槽內(nèi)的非水系抗蝕劑剝離液成為規(guī)定的成分濃度的方式調(diào)制非水系抗蝕劑剝離液。因此，根據(jù)本發(fā)明的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置，與利用容量、重量進(jìn)行調(diào)制的以往的調(diào)制裝置相比，能夠調(diào)制出成分濃度準(zhǔn)確的非水系抗蝕劑剝離液。另外，根據(jù)本發(fā)明的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置，同樣地能夠調(diào)制出胺濃度更加準(zhǔn)確的水系抗蝕劑剝離液。此外，根據(jù)本發(fā)明的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置，在需要時(shí)能夠隨時(shí)得到規(guī)定的成分濃度的非水系抗蝕劑剝離液。能夠自動(dòng)且連續(xù)地調(diào)制規(guī)定的成分濃度的非水系抗蝕劑剝離液。

另外，本發(fā)明的調(diào)制裝置能夠組裝于使用抗蝕劑剝離液的設(shè)備而使用。在該情況下，能夠向使用抗蝕劑剝離液的設(shè)備始終供給濃度準(zhǔn)確的抗蝕劑剝離液。

附圖說明

圖1是用于對(duì)第一實(shí)施方式的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。

圖2是用于對(duì)第二實(shí)施方式的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。

圖3是示出抗蝕劑剝離液的單乙醇胺濃度與吸光度之間的關(guān)系的曲線圖。

圖4是示出抗蝕劑剝離液的羥胺濃度與吸光度之間的關(guān)系的曲線圖。

圖5是用于對(duì)第三實(shí)施方式的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。

圖6是示出水系抗蝕劑剝離液的水分濃度與吸光度之間的關(guān)系的曲線圖。

圖7是用于對(duì)第四實(shí)施方式的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。

圖8是用于對(duì)第五實(shí)施方式的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。

圖9是用于對(duì)第六實(shí)施方式的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。

圖10是用于對(duì)第七實(shí)施方式的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。

圖11是用于對(duì)第八實(shí)施方式的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。

圖12是用于對(duì)第九實(shí)施方式的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。

圖13是用于對(duì)第十實(shí)施方式的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。

圖14是用于對(duì)第十一實(shí)施方式的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。

圖15是用于對(duì)第十二實(shí)施方式的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。

附圖標(biāo)記說明

1、101、201、301、401、501、601、701、801、901、1001、1101…控制機(jī)構(gòu)，2、102、202、302、431、531、702、802、931、1031…測(cè)定機(jī)構(gòu)，3、503、703、1003…調(diào)制槽，4、304…水系抗蝕劑剝離液供給配管(供給配管)，10、110、210、310、410、510、610…水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置，17、18、19、313a、313b、314a、314b、315a、315b、316a、316b、326、517、518、519、617、618、619、718、719、813a、813b、814a、814b、815a、815b、816a、816b、826、1018、1019、1118、1119…控制閥，32、432、532、732、932、1032…液面計(jì)，33、433、533、733、933、1033…循環(huán)攪拌泵，34、434、534、734、934、1034…循環(huán)管路，36、736…攪拌機(jī)構(gòu)，41…純水供給配管(原料供給配管)，42、742…胺原料供給配管(原料供給配管)，43、743…有機(jī)溶劑原料供給配管(原料供給配管)，46、47、48、147、247、349、392、447、448、546、547、548、646、746、747、748、847、849、892、947、948、1046、1047、1048、1146…信號(hào)線，51…純水導(dǎo)入口(原料導(dǎo)入口)，52、752…胺原料導(dǎo)入口(原料導(dǎo)入口)，53、753…有機(jī)溶劑原料導(dǎo)入口(原料導(dǎo)入口)，54、354…抗蝕劑剝離液供給口，121、321、821…關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)，123、323、823…關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)，222、322…關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)，224、324…關(guān)于水分的控制機(jī)構(gòu)，311a、311b、811a、811b…胺貯存容器，312a、312b、812a、812b…有機(jī)溶劑貯存容器，320、820…原料貯存容器，325、825…送液泵，342、842…胺原料補(bǔ)充配管，343、843…有機(jī)溶劑原料補(bǔ)給配管，344、844…胺供給配管，345、845…有機(jī)溶劑供給配管，402、902…貯存槽，435、535、935、1035…連通管，605、1105…混合準(zhǔn)備槽，606、1106…配管，704、804…非水系抗蝕劑剝離液供給配管(供給配管)，710、810、910、1010、1110…非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置，754、854…非水系抗蝕劑剝離液供給口。

具體實(shí)施方式

以下，適當(dāng)參照附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。其中，上述實(shí)施方式所記載的構(gòu)成設(shè)備的形狀、大小、尺寸比、其相對(duì)配置等在無特別說明的情況下不限定于圖示本發(fā)明的范圍的上述參數(shù)。作為單純的說明例，僅示意性地進(jìn)行圖示。

〔水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置〕

[第一實(shí)施方式]

圖1是用于對(duì)本實(shí)施方式的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。本實(shí)施方式的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置10主要包括調(diào)制槽3、測(cè)定機(jī)構(gòu)2、以及控制機(jī)構(gòu)1等。

調(diào)制槽3是經(jīng)由配管等接受供給且用于調(diào)配水系抗蝕劑剝離液的原料從而調(diào)制規(guī)定的成分濃度的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)配容器。為了接受水系抗蝕劑剝離液的原料的供給，調(diào)制槽3除連接有各原料供給配管41、42、43等以外，還具備用于將原料均勻地混合的攪拌機(jī)構(gòu)36。另外，具備用于供給調(diào)制出的規(guī)定的成分濃度的水系抗蝕劑剝離液的供給配管4。

測(cè)定機(jī)構(gòu)2測(cè)定在調(diào)制槽3內(nèi)調(diào)制的水系抗蝕劑剝離液的物性值或者成分濃度中的至少任一方。由測(cè)定機(jī)構(gòu)2測(cè)定的水系抗蝕劑剝離液的物性值是與該水系抗蝕劑剝離液的成分濃度之間具有相關(guān)的物性值。若使用該相關(guān)關(guān)系，則能夠根據(jù)測(cè)定出的物性值得到成分濃度，也能夠?qū)⑺悼刮g劑剝離液調(diào)整為規(guī)定的成分濃度。

控制機(jī)構(gòu)1通過信號(hào)線47等與測(cè)定機(jī)構(gòu)2連接，從而能夠接收測(cè)定機(jī)構(gòu)2的測(cè)定信號(hào)。另外，控制機(jī)構(gòu)1與控制閥17、18、19連接，該控制閥17、18、19設(shè)置于用于向調(diào)制槽3供給原料的原料供給配管41、42、43。控制機(jī)構(gòu)1通過控制上述控制閥，從而以水系抗蝕劑剝離液的成分濃度成為規(guī)定的成分濃度的方式調(diào)節(jié)向調(diào)制槽3供給的原料的供給量。

水系抗蝕劑剝離液以胺、有機(jī)溶劑以及純水為主要成分。胺從胺原料導(dǎo)入口52經(jīng)由胺原料供給配管42供給至調(diào)制槽3。有機(jī)溶劑從有機(jī)溶劑原料導(dǎo)入口53經(jīng)由有機(jī)溶劑原料供給配管43供給至調(diào)制槽3。同樣地，純水從純水導(dǎo)入口51經(jīng)由純水供給配管41供給至調(diào)制槽3。除上述以外，在存在添加劑等其他原料的情況下，準(zhǔn)備用于供給該原料的導(dǎo)入口、供給配管、控制閥等來進(jìn)行供給即可。在圖1中未示出添加劑等其他原料的供給線。另外，各原料不限于直接向調(diào)制槽3供給的情況。例如，在對(duì)調(diào)制槽3內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液進(jìn)行循環(huán)攪拌的情況下，也可以以使各原料在供液體循環(huán)的循環(huán)管路34中匯合的方式向調(diào)制槽3供給各原料。

在各原料供給配管41、42、43設(shè)置有經(jīng)由信號(hào)線46與控制機(jī)構(gòu)1連接的控制閥17、18、19。各控制閥接收由控制機(jī)構(gòu)1發(fā)出的控制信號(hào)而被控制動(dòng)作。優(yōu)選各控制閥例如以增減每單位時(shí)間的流量的方式被控制機(jī)構(gòu)1控制。各控制閥將流量的缺省值預(yù)先設(shè)定為，對(duì)以該缺省值的流量供給的原料進(jìn)行調(diào)配而得到的水系抗蝕劑剝離液的成分濃度進(jìn)入由測(cè)定機(jī)構(gòu)2測(cè)定出的物性值與成分濃度具有相關(guān)關(guān)系的濃度范圍。

從原料導(dǎo)入口51、52、53導(dǎo)入的各原料經(jīng)由原料供給配管41、42、43以及控制閥17、18、19供給至調(diào)制槽3。供給至調(diào)制槽3內(nèi)的原料被攪拌機(jī)構(gòu)36攪拌，從而形成濃度均勻的水系抗蝕劑剝離液。

攪拌機(jī)構(gòu)36將調(diào)制槽3內(nèi)攪拌成均勻的濃度。在圖1中繪出了如下的循環(huán)攪拌方式：從調(diào)制槽3的底部經(jīng)由呈環(huán)狀地與調(diào)制槽3的側(cè)部連接的循環(huán)管路34抽取調(diào)制槽3內(nèi)的液體的一部分，通過循環(huán)攪拌泵33使該液體以在調(diào)制槽3內(nèi)產(chǎn)生攪拌流的方式再次返回調(diào)制槽3內(nèi)，但循環(huán)攪拌方式不限于此。也可以為利用電動(dòng)機(jī)使攪拌葉片旋轉(zhuǎn)的攪拌裝置，還可以使攪拌件在調(diào)制槽3內(nèi)旋轉(zhuǎn)。

在調(diào)制槽3內(nèi)調(diào)制出的水系抗蝕劑剝離液由測(cè)定機(jī)構(gòu)2進(jìn)行測(cè)定。所測(cè)定的參數(shù)為在調(diào)制槽3內(nèi)中調(diào)制出的水系抗蝕劑剝離液的物性值或者成分濃度中的至少任一方。也可以為雙方。在此，測(cè)定出的成分濃度是關(guān)于想要調(diào)節(jié)成規(guī)定的濃度的水系抗蝕劑剝離液的成分的濃度。同樣，所測(cè)定的物性值是與想要調(diào)節(jié)成規(guī)定的濃度的水系抗蝕劑剝離液的成分具有相關(guān)的水系抗蝕劑剝離液的物性值。由測(cè)定機(jī)構(gòu)2測(cè)定出的物性值、與成分濃度對(duì)應(yīng)的水系抗蝕劑剝離液的成分不限于一個(gè)，也可以是多個(gè)。

成分濃度無法直接測(cè)定，因此通常測(cè)定與成分濃度具有相關(guān)的物性值，根據(jù)該測(cè)定值并利用相關(guān)關(guān)系來計(jì)算成分濃度。因此，測(cè)定機(jī)構(gòu)2具備測(cè)定水系抗蝕劑剝離液的物性值的測(cè)定裝置。在僅測(cè)定物性值的情況下，測(cè)定機(jī)構(gòu)2可以為測(cè)定裝置本身。在根據(jù)測(cè)定出的物性值來計(jì)算成分濃度的情況下，需要將測(cè)定出的物性值運(yùn)算加工為成分濃度，因此測(cè)定機(jī)構(gòu)2除具備測(cè)定裝置以外，還具備根據(jù)測(cè)定值來運(yùn)算成分濃度的運(yùn)算裝置等。

對(duì)于測(cè)定機(jī)構(gòu)2所具備的物性值的測(cè)定裝置而言，根據(jù)應(yīng)當(dāng)調(diào)節(jié)濃度的水系抗蝕劑剝離液的成分、所測(cè)定的物性值來選擇最佳的裝置。采用測(cè)定如下的物性值的測(cè)定裝置即可，對(duì)于想要調(diào)節(jié)濃度的水系抗蝕劑剝離液的成分，在包含想要調(diào)節(jié)的該規(guī)定的成分濃度的濃度范圍，該物性值能夠與該成分濃度得到良好的相關(guān)關(guān)系。例如，作為這種測(cè)定裝置，優(yōu)選吸光光度計(jì)、電導(dǎo)率計(jì)、密度計(jì)、超聲波濃度計(jì)、粘度計(jì)等。

測(cè)定機(jī)構(gòu)2對(duì)在調(diào)制槽3內(nèi)調(diào)制出的水系抗蝕劑剝離液進(jìn)行抽樣，并測(cè)定其物性值。優(yōu)選在測(cè)定前對(duì)抽樣的水系抗蝕劑剝離液進(jìn)行溫度調(diào)整等，以使得始終在相同的測(cè)定條件下進(jìn)行測(cè)定。因此，優(yōu)選測(cè)定機(jī)構(gòu)2具備抽樣管、抽樣泵(未圖示)、以及溫度控制器(未圖示)等。

但是，測(cè)定的方法不限于對(duì)試料進(jìn)行抽樣的方式?？梢圆捎脤鞲衅鞑拷n于水系抗蝕劑剝離液內(nèi)的方式、在循環(huán)管路34等設(shè)置測(cè)定裝置的方式等，根據(jù)所采用的測(cè)定裝置利用最佳的方式進(jìn)行測(cè)定即可。

在測(cè)定機(jī)構(gòu)2測(cè)定成分濃度的情況下，根據(jù)由測(cè)定機(jī)構(gòu)2所具備的測(cè)定裝置測(cè)定出的物性值來計(jì)算成分濃度。在成分濃度的計(jì)算中，使用物性值與成分濃度的相關(guān)關(guān)系。該相關(guān)關(guān)系是物性值與成分濃度的對(duì)應(yīng)關(guān)系，若兩者一對(duì)一地對(duì)應(yīng)，則能夠根據(jù)該相關(guān)關(guān)系而由測(cè)定出的物性值求出對(duì)應(yīng)的成分濃度。

為了得到規(guī)定的靈敏度，優(yōu)選相關(guān)關(guān)系具備一定程度的斜率，但也可以不必是直線。若在包含想要調(diào)節(jié)的成分濃度的濃度范圍內(nèi)，成分濃度與物性值具有形成為一對(duì)一地對(duì)應(yīng)的連續(xù)函數(shù)的相關(guān)關(guān)系，則能夠根據(jù)測(cè)定出的物性值來計(jì)算對(duì)應(yīng)的成分濃度。

測(cè)定機(jī)構(gòu)2將測(cè)定出的物性值或者成分濃度向控制機(jī)構(gòu)1發(fā)送?？刂茩C(jī)構(gòu)1從測(cè)定機(jī)構(gòu)2接收測(cè)定值。測(cè)定機(jī)構(gòu)2與控制機(jī)構(gòu)1通過信號(hào)線47連接。測(cè)定值的發(fā)送接收經(jīng)由該信號(hào)線47進(jìn)行。但是，不限于此。也可以借助無線進(jìn)行測(cè)定值的發(fā)送接收。另外，在對(duì)于多個(gè)成分測(cè)定物性值、成分濃度的情況下，可以針對(duì)各個(gè)成分而具備將測(cè)定裝置與控制機(jī)構(gòu)1連接的信號(hào)線。

控制機(jī)構(gòu)1在濃度控制中設(shè)定作為目標(biāo)的成分濃度的值。控制機(jī)構(gòu)1對(duì)接收到的成分濃度的測(cè)定值與設(shè)定的成分濃度的目標(biāo)值進(jìn)行比較。在比較的結(jié)果是應(yīng)當(dāng)調(diào)節(jié)的成分的濃度比目標(biāo)值低的情況下，控制對(duì)應(yīng)的控制閥，以使得該成分的供給量相對(duì)于其他成分的供給量而相對(duì)地增加。反之，在應(yīng)當(dāng)調(diào)節(jié)的成分的濃度比目標(biāo)值高的情況下，控制對(duì)應(yīng)的控制閥，以使得該成分的供給量相對(duì)于其他成分的供給量而相對(duì)地減少。對(duì)于將哪個(gè)控制閥控制為何種程度而言，控制機(jī)構(gòu)1根據(jù)偏離成分濃度的目標(biāo)值的程度、原料的構(gòu)成、各原料的濃度等諸條件，利用控制程序適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行計(jì)算。但是，控制的方法不限于此。除上述這種對(duì)控制量的目標(biāo)值與當(dāng)前值進(jìn)行比較而進(jìn)行控制的比例控制(p控制)以外，還能夠采用所謂的積分控制(i控制)、微分控制(d控制)等。優(yōu)選通過將上述控制方法適當(dāng)組合而成的pid控制(proportional-integral-differential控制)進(jìn)行控制。

設(shè)置于水系抗蝕劑剝離液的原料供給配管的各控制閥17、18、19通過信號(hào)線46與控制機(jī)構(gòu)1連接。在圖1中繪出了各控制閥17、18、19通過信號(hào)線46以串聯(lián)的方式連接，但各控制閥也可以分別單獨(dú)地通過信號(hào)線與控制機(jī)構(gòu)1連接。也可以不基于信號(hào)線，而通過無線來進(jìn)行控制。

另外，在圖1中，控制機(jī)構(gòu)1控制控制閥，但作為控制機(jī)構(gòu)1優(yōu)選采用計(jì)算機(jī)。也可以代替計(jì)算機(jī)，而使用通用的控制器進(jìn)行控制。也可以將控制機(jī)構(gòu)1構(gòu)成為針對(duì)每個(gè)調(diào)節(jié)濃度的成分而單獨(dú)準(zhǔn)備的控制器的集合體。另外，也可以代替測(cè)定機(jī)構(gòu)2和控制機(jī)構(gòu)1，而使用將測(cè)定機(jī)構(gòu)2與控制機(jī)構(gòu)1構(gòu)成為一個(gè)裝置的所謂的濃度管理裝置。在使用濃度管理裝置的情況下，使?jié)舛裙芾硌b置控制控制閥，以使得調(diào)制槽3內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液始終成為規(guī)定的成分濃度即可。

在由測(cè)定機(jī)構(gòu)2測(cè)定的參數(shù)是物性值的情況下，控制機(jī)構(gòu)1進(jìn)行基于物性值的控制。即，由測(cè)定機(jī)構(gòu)測(cè)定的物性值與成分濃度具有相關(guān)關(guān)系，因此能夠在該相關(guān)關(guān)系上得到與應(yīng)當(dāng)調(diào)節(jié)成的規(guī)定的成分濃度對(duì)應(yīng)的“規(guī)定的物性值”?？刂茩C(jī)構(gòu)1以增減原料的供給量的方式控制控制閥17、18、19，以使得由測(cè)定機(jī)構(gòu)2測(cè)定出的物性值成為該“規(guī)定的物性值”即可。

本實(shí)施方式的調(diào)制裝置10通過反復(fù)連續(xù)地進(jìn)行上述的調(diào)配、測(cè)定、控制的循環(huán)，能夠自動(dòng)并且連續(xù)地調(diào)制出規(guī)定的成分濃度的水系抗蝕劑剝離液。一旦在調(diào)制槽3內(nèi)調(diào)制出規(guī)定的成分濃度的水系抗蝕劑剝離液，則之后以通過供給來補(bǔ)充減少的量的方式，維持規(guī)定的成分濃度并且追加調(diào)制水系抗蝕劑剝離液即可。

在調(diào)制槽3中調(diào)制好的水系抗蝕劑剝離液從與調(diào)制槽3的底部連接的水系抗蝕劑剝離液供給配管4向調(diào)制槽3的外部供給。調(diào)制裝置10可以單獨(dú)使用，也可以與利用水系抗蝕劑剝離液的其他剝離設(shè)備連接而使用。在該情況下，將水系抗蝕劑剝離液供給配管4與其他剝離設(shè)備的水系抗蝕劑剝離液供給口54連接。這樣一來，在需要的時(shí)候，隨時(shí)能夠自動(dòng)地向其他剝離設(shè)備供給新鮮狀態(tài)的規(guī)定的成分濃度的水系抗蝕劑剝離液。

優(yōu)選調(diào)制裝置10具備用于檢測(cè)調(diào)制槽3內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液的液面位置的液面計(jì)32。若調(diào)制裝置10供給的水系抗蝕劑剝離液的供給量始終大致恒定，則即便不存在液面計(jì)，通過使調(diào)制量與供給量平衡，也能夠不使調(diào)制槽3變空而進(jìn)行連續(xù)的調(diào)制。但是，在供給量增減的情況下，優(yōu)選利用液面計(jì)32檢測(cè)調(diào)制槽3內(nèi)的液面位置，以調(diào)制槽3不變空的方式進(jìn)行控制。

液面計(jì)32除以能夠檢測(cè)調(diào)制槽3內(nèi)的液面位置的方式設(shè)置于調(diào)制槽3以外，還經(jīng)由信號(hào)線48與控制機(jī)構(gòu)1連接。例如，液面計(jì)32檢測(cè)到調(diào)制槽3內(nèi)的液面低于下限值，然后向控制機(jī)構(gòu)1發(fā)出警報(bào)信號(hào)?？刂茩C(jī)構(gòu)1控制控制閥17、18、19增加原料的供給量，從而增加水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制量，以使液面位置恢復(fù)。當(dāng)液面位置超過下限值時(shí)停止警報(bào)信號(hào)，當(dāng)調(diào)制槽3內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液的量恢復(fù)至規(guī)定的量時(shí)，控制機(jī)構(gòu)1以維持該液面位置的方式進(jìn)行控制。這樣，能夠使調(diào)制槽3內(nèi)不變空。若相應(yīng)地設(shè)定液面位置的上限，則還能夠防止調(diào)制槽3的溢出。

需要說明的是，在圖1中繪出了供給水系抗蝕劑剝離液的各原料的原料供給配管41、42、43與調(diào)制槽3的側(cè)部連接的方式，但不限于此。根據(jù)狀況，也可以與調(diào)制槽3的上部、底部連接。還可以與循環(huán)管路34連接。另外，原料供給配管41、42、43無需與調(diào)制槽3連接成一體。例如，也可以以從上部滴下的方式向調(diào)制槽內(nèi)供給原料。另外，在原料不是液狀物而是粉狀物的情況下，也可以不連接配管而連接粉體供給裝置。

＜水系抗蝕劑剝離液的原料＞

在水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制中能夠使用包括胺、水、有機(jī)溶劑、以及其他添加劑的原料。

《胺》

作為水系抗蝕劑剝離液的原料所使用的胺，優(yōu)選使用烷醇胺。作為烷醇胺，可以列舉單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、n，n-二甲基乙醇胺、n，n-二乙基乙醇胺、氨乙基乙醇胺、n-甲基-n，n-二乙醇胺、n，n-二丁基乙醇胺、n-甲基乙醇胺、3-氨基-1-丙醇等。另外，作為其他胺，能夠使用羥胺、n-甲基二乙醇胺、正丙醇胺、單異丙醇胺、n-甲基二乙醇胺、烷基苯磺酸、二甘醇胺、甲基氨基乙醇、乙基氨基乙醇、2-(2-氨基乙氧基)乙醇、三亞乙基四胺、n，n二甲基乙酰胺、單甲基甲酰胺。

《有機(jī)溶劑》

作為有機(jī)溶劑，優(yōu)選使用乙二醇醚系的有機(jī)溶劑。作為乙二醇醚系的有機(jī)溶劑，可以列舉丁基二甘醇、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丙醚等。作為其他有機(jī)溶劑，能夠使用二甲基亞砜、烷基羥基苯、丁炔二醇、saa、甲基甲氧基丁醇、n-甲基-2-吡咯烷酮、phn、鄰二氯苯、三亞乙基四胺、甲基二甘醇。

《其他添加劑》

作為水系抗蝕劑剝離液，除胺、有機(jī)溶劑、水(純水)以外，還可以添加兒茶酚、麥芽酚、硅系消泡劑、p-硝基苯甲酸、還元?jiǎng)?山梨糖醇等)、防金屬腐蝕劑、螯合劑等作為添加劑。對(duì)于其他添加劑的濃度而言，在調(diào)制水系抗蝕劑剝離液時(shí)，通過與水系抗蝕劑剝離液的容量相應(yīng)地添加，能夠調(diào)節(jié)濃度。

[第二實(shí)施方式]

圖2是用于對(duì)本實(shí)施方式的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。本實(shí)施方式的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置110與第一實(shí)施方式的調(diào)制裝置10大致相同，主要包括調(diào)制槽3、測(cè)定機(jī)構(gòu)102、以及控制機(jī)構(gòu)101等。水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置110的特征在于，測(cè)定機(jī)構(gòu)102具備關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)121；控制機(jī)構(gòu)101具備關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)123；以及在調(diào)制槽3中調(diào)制規(guī)定的胺濃度的水系抗蝕劑剝離液。

在本實(shí)施方式中，測(cè)定機(jī)構(gòu)102具備關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)121。關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)121用于測(cè)定調(diào)制槽3內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液的物性值或者胺濃度中的至少一方。也可以測(cè)定雙方。在調(diào)制裝置110僅測(cè)定胺濃度并將該胺濃度調(diào)節(jié)為規(guī)定的濃度值的情況下，測(cè)定機(jī)構(gòu)102與關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)121相同即可。但是，通常，測(cè)定機(jī)構(gòu)102除關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)121以外，還另外具備用于進(jìn)行關(guān)于其他成分的測(cè)定的測(cè)定機(jī)構(gòu)。

關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)121所測(cè)定的物性值是與胺濃度具有相關(guān)關(guān)系的物性值。作為與胺濃度具有相關(guān)關(guān)系的物性值，優(yōu)選使用從吸光度、電導(dǎo)率、密度、超聲波傳播速度以及粘度中選出的物性值。在該情況下，關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)121分別為吸光光度計(jì)、電導(dǎo)率計(jì)、密度計(jì)、超聲波濃度計(jì)、以及粘度計(jì)等。

作為關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)121，其中優(yōu)選吸光光度計(jì)。若使用適當(dāng)?shù)臏y(cè)定波長(zhǎng)，則能夠在水系抗蝕劑剝離液的吸光度值與胺濃度之間，得到比較良好的直線關(guān)系。

作為與胺濃度具有直線關(guān)系的物性值的一例，能夠示出圖3以及圖4。圖3是示出單乙醇胺(mea：monoethanolamine)濃度與吸光度(測(cè)定波長(zhǎng)λ＝1048nm)之間的關(guān)系的曲線圖，圖4是示出羥胺濃度與吸光度(測(cè)定波長(zhǎng)λ＝1074nm)之間的關(guān)系的曲線圖。

如圖3所示，在水系抗蝕劑剝離液所含有的胺是作為烷醇胺的一種的單乙醇胺的情況下，水系抗蝕劑剝離液的單乙醇胺的濃度相對(duì)于位于近紅外部的波長(zhǎng)區(qū)域的特定波長(zhǎng)(例如，1048nm)的水系抗蝕劑剝離液的吸光度具有高度的直線關(guān)系。另外，如圖4所示，水系抗蝕劑剝離液的羥胺的濃度也相對(duì)于位于近紅外部的波長(zhǎng)區(qū)域的特定波長(zhǎng)(例如，1074nm)的水系抗蝕劑剝離液的吸光度具有高度的直線關(guān)系。因此，通過測(cè)定水系抗蝕劑剝離液的吸光度，能夠準(zhǔn)確地測(cè)定胺濃度。在胺為單乙醇胺的情況下，優(yōu)選所測(cè)定的波長(zhǎng)是從1000～1600nm的波長(zhǎng)區(qū)域中選出的特定的波長(zhǎng)。在其他成分的影響小的1048nm附近靈敏度大而尤其良好。另外，在為羥胺的情況下，優(yōu)選是從1050～1090nm的波長(zhǎng)區(qū)域中選出的特定的波長(zhǎng)。在其他成分的影響小的1074nm附近靈敏度大而尤其良好。

在本實(shí)施方式的調(diào)制裝置110中，關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)121測(cè)定例如測(cè)定波長(zhǎng)為1048nm的水系抗蝕劑剝離液的吸光度。該波長(zhǎng)的吸光度與胺濃度(mea濃度)具有如圖3這樣的直線關(guān)系，因此使用該直線關(guān)系，能夠根據(jù)吸光度的測(cè)定值準(zhǔn)確地得到水系抗蝕劑剝離液的胺濃度(mea濃度)。

本實(shí)施方式的控制機(jī)構(gòu)101具備關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)123。在本實(shí)施方式的調(diào)制裝置110僅將胺濃度調(diào)節(jié)為規(guī)定的濃度的情況下，控制機(jī)構(gòu)101與關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)123相同即可。在本實(shí)施方式的調(diào)制裝置110對(duì)于胺以外的成分也調(diào)節(jié)濃度的情況下，控制機(jī)構(gòu)101不僅具備關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)123，還另外具備關(guān)于其他成分的控制機(jī)構(gòu)。

關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)123通過信號(hào)線147與關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)121連接等，從而從關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)121接收關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)121所得到的測(cè)定值。在關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)123中，將應(yīng)當(dāng)調(diào)節(jié)成的規(guī)定的胺濃度設(shè)定為濃度控制中的目標(biāo)值的胺濃度。關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)123對(duì)接收到的胺濃度的測(cè)定值與目標(biāo)值的胺濃度進(jìn)行比較。關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)123通過信號(hào)線46與設(shè)置于各原料供給配管41、42、43的控制閥17、18、19連接等，從而與濃度的比較的結(jié)果相應(yīng)地，對(duì)控制閥17、18、19進(jìn)行適當(dāng)?shù)膭?dòng)作控制。

例如，在由測(cè)定機(jī)構(gòu)102的關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)121測(cè)定出的胺濃度低于目標(biāo)值的胺濃度的情況下，控制機(jī)構(gòu)101的關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)123增加控制閥18的流量、或者減少控制閥17、19的流量，從而增加胺原液的相對(duì)的供給量。反之，在胺濃度高于目標(biāo)值的胺濃度的情況下，關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)123減少控制閥18的流量、或者增加控制閥17、19的流量，從而相對(duì)增加純水以及有機(jī)溶劑中的至少一方的供給量，減少胺原液的相對(duì)的供給量，由此控制胺濃度。但是，控制方法不限于此。也可以適當(dāng)采用pid控制等各種控制方法。

需要說明的是，也可以利用關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)121測(cè)定出的物性值，對(duì)測(cè)定出的物性值與相關(guān)關(guān)系上的同目標(biāo)值的胺濃度對(duì)應(yīng)的物性值進(jìn)行比較，由此控制胺濃度。

例如，在如能夠得到如圖3、圖4所示的直線關(guān)系的情況這樣，物性值與胺濃度具有一對(duì)一地對(duì)應(yīng)的相關(guān)關(guān)系的情況下，能夠根據(jù)該相關(guān)關(guān)系而得到與胺濃度對(duì)應(yīng)的物性值。因此，存在與應(yīng)當(dāng)調(diào)節(jié)成的規(guī)定的胺濃度對(duì)應(yīng)的“規(guī)定的物性值”。通過關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)123控制原料的供給量，以使得關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)121測(cè)定出的物性值成為該“規(guī)定的物性值”，從而能夠使在調(diào)制槽3中調(diào)制出的水系抗蝕劑剝離液成為規(guī)定的胺濃度。

對(duì)于本實(shí)施方式的與第一實(shí)施方式共用的其他結(jié)構(gòu)，由于與第一實(shí)施方式相同，因此省略其說明。

[第三實(shí)施方式]

圖5是用于對(duì)本實(shí)施方式的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。本實(shí)施方式的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置210與第一實(shí)施方式的調(diào)制裝置10大致相同，主要包括調(diào)制槽3、測(cè)定機(jī)構(gòu)202、以及控制機(jī)構(gòu)201等。水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置210的特征在于，測(cè)定機(jī)構(gòu)202具備關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)222；控制機(jī)構(gòu)201具備關(guān)于水分的控制機(jī)構(gòu)224；以及在調(diào)制槽3中調(diào)制規(guī)定的水分濃度的水系抗蝕劑剝離液。

在本實(shí)施方式中，測(cè)定機(jī)構(gòu)202具備關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)222。關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)222用于測(cè)定調(diào)制槽3內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液的物性值或者水分濃度中的至少一方。也可以測(cè)定雙方。在調(diào)制裝置210僅測(cè)定水分濃度并將該水分濃度調(diào)節(jié)為規(guī)定的濃度值的情況下，測(cè)定機(jī)構(gòu)202與關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)222相同即可。但是，通常，測(cè)定機(jī)構(gòu)202除關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)222以外，還另外具備用于進(jìn)行關(guān)于其他成分的測(cè)定的測(cè)定機(jī)構(gòu)。

關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)222所測(cè)定的物性值是與水分濃度具有相關(guān)關(guān)系的物性值。對(duì)于與水分濃度具有相關(guān)關(guān)系的物性值，也優(yōu)選使用從吸光度、電導(dǎo)率、密度、超聲波傳播速度以及粘度中選出的與水分濃度能夠得到直線關(guān)系的物性值。在該情況下，關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)222分別為吸光光度計(jì)、電導(dǎo)率計(jì)、密度計(jì)、超聲波濃度計(jì)、以及粘度計(jì)等。

作為關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)222，其中優(yōu)選吸光光度計(jì)。若使用適當(dāng)?shù)臏y(cè)定波長(zhǎng)，則能夠在水系抗蝕劑剝離液的吸光度值與水分濃度之間，得到比較良好的直線關(guān)系。

作為與水分濃度具有直線關(guān)系的物性值的一例，在圖6中示出了表示水系抗蝕劑剝離液的水分濃度與吸光度之間的關(guān)系的曲線圖。優(yōu)選呈現(xiàn)出與水分濃度的直線關(guān)系的吸光度的測(cè)定波長(zhǎng)為從近紅外線區(qū)域的950nm～2000nm的范圍中選出的特定的波長(zhǎng)。特別是在1940nm附近靈敏度大，故而優(yōu)選。另外，在950nm～1010nm的范圍，特別是976nm附近靈敏度大，故而優(yōu)選。圖6是示出測(cè)定波長(zhǎng)λ＝1940nm的水系抗蝕劑剝離液的吸光度與水分濃度之間的關(guān)系的曲線圖。需要說明的是，通過實(shí)驗(yàn)確認(rèn)了即便在測(cè)定波長(zhǎng)λ＝976nm的情況下，也與圖6所示的曲線圖同樣地具有高度的直線關(guān)系。這樣，通過檢測(cè)水系抗蝕劑剝離液的吸光度，能夠準(zhǔn)確地測(cè)定水分濃度。

在本實(shí)施方式的調(diào)制裝置210中，關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)222測(cè)定例如測(cè)定波長(zhǎng)為1940nm的水系抗蝕劑剝離液的吸光度。該波長(zhǎng)的吸光度與水分濃度具有如圖6這樣的直線關(guān)系，因此使用該直線關(guān)系，能夠根據(jù)吸光度的測(cè)定值準(zhǔn)確地得到水系抗蝕劑剝離液的水分濃度。

本實(shí)施方式的控制機(jī)構(gòu)201具備關(guān)于水分的控制機(jī)構(gòu)224。在本實(shí)施方式的調(diào)制裝置210僅將水分濃度調(diào)節(jié)為規(guī)定的濃度的情況下，控制機(jī)構(gòu)201與關(guān)于水分的控制機(jī)構(gòu)224相同即可。在本實(shí)施方式的調(diào)制裝置210對(duì)于水分以外的成分也調(diào)節(jié)濃度的情況下，控制機(jī)構(gòu)201不僅具備關(guān)于水分的控制機(jī)構(gòu)224，還另外具備關(guān)于其他成分的控制機(jī)構(gòu)。

關(guān)于水分的控制機(jī)構(gòu)224通過信號(hào)線247與關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)222連接等，從而從關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)222接收關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)222所得到的測(cè)定值。在關(guān)于水分的控制機(jī)構(gòu)224中，將應(yīng)當(dāng)調(diào)節(jié)成的規(guī)定的水分濃度設(shè)定為濃度控制中的目標(biāo)值的水分濃度。關(guān)于水分的控制機(jī)構(gòu)224對(duì)接收到的水分濃度的測(cè)定值與目標(biāo)值的水分濃度進(jìn)行比較。關(guān)于水分的控制機(jī)構(gòu)224通過信號(hào)線46與設(shè)置于各原料供給配管41、42、43的控制閥17、18、19連接等，從而與濃度的比較的結(jié)果相應(yīng)地，對(duì)控制閥17、18、19進(jìn)行適當(dāng)?shù)膭?dòng)作控制。

對(duì)于水分濃度而言，在由測(cè)定機(jī)構(gòu)202的關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)222測(cè)定出的水分濃度低于目標(biāo)值的水分濃度的情況下，控制機(jī)構(gòu)201增加控制閥17的流量、或者減少控制閥18、19的流量，從而增加純水的相對(duì)的供給量。反之，在水分濃度高于目標(biāo)值的水分濃度的情況下，關(guān)于水分的控制機(jī)構(gòu)224減少控制閥17的流量、或者增加控制閥18、19的流量，從而相對(duì)增加胺原液以及有機(jī)溶劑中的至少一方的供給量，減少純水的相對(duì)的供給量，由此控制水分濃度。但是，控制方法不限于此。也可以適當(dāng)采用pid控制等各種控制方法。

需要說明的是，對(duì)于水分濃度的調(diào)節(jié)而言，也可以利用關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)222測(cè)定出的物性值，對(duì)測(cè)定出的物性值與相關(guān)關(guān)系上的同目標(biāo)值的水分濃度對(duì)應(yīng)的物性值進(jìn)行比較，由此控制水分濃度。

例如，在如能夠得到如圖6所示的直線關(guān)系的情況這樣，物性值與水分濃度具有一對(duì)一地對(duì)應(yīng)的相關(guān)關(guān)系的情況下，能夠根據(jù)該相關(guān)關(guān)系而得到與水分濃度對(duì)應(yīng)的物性值。因此，存在與應(yīng)當(dāng)調(diào)節(jié)成的規(guī)定的水分濃度對(duì)應(yīng)的“規(guī)定的物性值”。通過關(guān)于水分的控制機(jī)構(gòu)224控制原料的供給量，以使得關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)222測(cè)定出的物性值成為該“規(guī)定的物性值”，從而能夠使在調(diào)制槽3中調(diào)制出的水系抗蝕劑剝離液成為規(guī)定的水分濃度。

對(duì)于本實(shí)施方式的與第一實(shí)施方式共用的其他結(jié)構(gòu)，由于與第一實(shí)施方式相同，因此省略其說明。

[第四實(shí)施方式]

圖7是用于對(duì)本實(shí)施方式的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。本實(shí)施方式的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置310與第一實(shí)施方式的調(diào)制裝置10大致相同，主要包括調(diào)制槽3、測(cè)定機(jī)構(gòu)302、以及控制機(jī)構(gòu)301等。但是，水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置310的特征在于，測(cè)定機(jī)構(gòu)302具備關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)321以及關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)322；控制機(jī)構(gòu)301控制原料的供給量，以使得調(diào)制槽3內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液的胺濃度成為規(guī)定的胺濃度、以及調(diào)制槽3內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液的水分濃度成為規(guī)定的水分濃度；以及在調(diào)制槽3中調(diào)制規(guī)定的胺濃度以及規(guī)定的水分濃度的水系抗蝕劑剝離液。

在本實(shí)施方式中，測(cè)定機(jī)構(gòu)302具備關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)321、以及關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)322。關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)321用于測(cè)定調(diào)制槽3內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液的物性值或者胺濃度中的至少一方。也可以測(cè)定雙方。關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)322用于測(cè)定調(diào)制槽3內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液的物性值或者水分濃度中的至少一方。也可以測(cè)定雙方。在調(diào)制裝置310僅測(cè)定胺濃度和水分濃度并將它們調(diào)節(jié)為規(guī)定的濃度值的情況下，測(cè)定機(jī)構(gòu)302可以僅為關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)321和關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)322。但是，一般，測(cè)定機(jī)構(gòu)302除上述測(cè)定機(jī)構(gòu)以外，還另外具備用于進(jìn)行關(guān)于其他成分的測(cè)定的測(cè)定機(jī)構(gòu)。

本實(shí)施方式的控制機(jī)構(gòu)301具備：關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)323、關(guān)于水分的控制機(jī)構(gòu)324、以及關(guān)于其他成分的控制機(jī)構(gòu)等?；蛘咭部梢詾閰R總具備與上述功能相當(dāng)?shù)墓δ艿囊粋€(gè)控制機(jī)構(gòu)。控制機(jī)構(gòu)301通過信號(hào)線347等與測(cè)定機(jī)構(gòu)302連接，從而能夠接收測(cè)定機(jī)構(gòu)302的測(cè)定信號(hào)。本實(shí)施方式的胺濃度的控制與第二實(shí)施方式相同。本實(shí)施方式的水分濃度的控制與第三實(shí)施方式相同。除此以外，對(duì)于與第一至第三實(shí)施方式共用的結(jié)構(gòu)，由于與在各個(gè)實(shí)施方式中說明的內(nèi)容相同，因此省略本實(shí)施方式中的它們的說明。

需要說明的是，在圖7中示出本實(shí)施方式的調(diào)制裝置310與原料貯存容器320、以及使用水系抗蝕劑剝離液的剝離設(shè)備390連接的方式。這樣，調(diào)制裝置310與原料貯存容器320以及剝離設(shè)備390連接，能夠?qū)崿F(xiàn)進(jìn)行剝離工序的工廠中的現(xiàn)場(chǎng)運(yùn)轉(zhuǎn)。

原料貯存容器320是用于暫時(shí)貯存水系抗蝕劑剝離液的原料的容器。該原料貯存容器320包括胺貯存容器311a、311b以及有機(jī)溶劑貯存容器312a、312b等。胺貯存容器311a、311b、有機(jī)溶劑貯存容器312a、312b可以分別為一個(gè)，但優(yōu)選如圖7所示分別具備兩個(gè)。胺貯存容器311a、311b從胺原料導(dǎo)入口52經(jīng)由胺原料補(bǔ)充配管342而始終貯存有胺。另外，有機(jī)溶劑貯存容器312a、312b從有機(jī)溶劑原料導(dǎo)入口53經(jīng)由有機(jī)溶劑原料補(bǔ)充配管343而始終貯存有有機(jī)溶劑。通過始終在原料貯存容器320中準(zhǔn)備好所需的原料，從而調(diào)制裝置310能夠不中斷地接受原料的供給，能夠連續(xù)地調(diào)制水系抗蝕劑剝離液。

胺貯存容器311a、311b以及有機(jī)溶劑貯存容器312a、312b通過胺供給配管344以及有機(jī)溶劑供給配管345與調(diào)制裝置310連接，從原料貯存容器320向調(diào)制槽3供給各種原料。供給的方式可以為基于送液泵的方式，也可以為容器的加壓壓送方式。根據(jù)需要，可以如圖7所示，在將原料貯存容器320與調(diào)制槽3連接的胺供給配管344以及有機(jī)溶劑供給配管345設(shè)置控制閥313a～316b，調(diào)制裝置310控制上述控制閥313a～316b。

另一方面，調(diào)制裝置310經(jīng)由連接于調(diào)制槽3的水系抗蝕劑剝離液供給配管304與剝離設(shè)備390連接。在水系抗蝕劑剝離液供給配管304設(shè)置有送液泵325以及控制閥326等。

在調(diào)制槽3中調(diào)制好的水系抗蝕劑剝離液利用送液泵325并通過水系抗蝕劑剝離液供給配管304從水系抗蝕劑剝離液供給口354供給至剝離設(shè)備390。剝離設(shè)備390經(jīng)由信號(hào)線392與控制機(jī)構(gòu)301連接?？刂茩C(jī)構(gòu)301經(jīng)由信號(hào)線392接收從剝離設(shè)備390發(fā)出的水系抗蝕劑剝離液供給請(qǐng)求信號(hào)。控制閥326經(jīng)由信號(hào)線349與控制機(jī)構(gòu)301連接。控制機(jī)構(gòu)301根據(jù)剝離設(shè)備390側(cè)的要求對(duì)控制閥326進(jìn)行開閉控制。由此，剝離設(shè)備390能夠在需要水系抗蝕劑剝離液時(shí)以所需的量自動(dòng)地接受水系抗蝕劑剝離液的供給。

[第五實(shí)施方式]

圖8是用于對(duì)第五實(shí)施方式的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。與第一至第四實(shí)施方式的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置10、110、210、310的不同之處在于，具備貯存在調(diào)制槽3中調(diào)制好的水系抗蝕劑剝離液的貯存槽402。

在第五實(shí)施方式的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置410中，也與第一實(shí)施方式的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置10同樣地，通過測(cè)定調(diào)制槽3內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液的物性值或成分濃度中的至少任一方，從而將調(diào)制槽3內(nèi)的抗蝕劑剝離液的成分濃度調(diào)節(jié)為規(guī)定的濃度。

在調(diào)制槽3中調(diào)制好的水系抗蝕劑剝離液從調(diào)制槽3向貯存槽402輸送，貯存于貯存槽402。送液的方法可以采用通過送液泵等移送的方式等，并不特別限定。如圖8所示，若通過連通管435將調(diào)制槽3與貯存槽402預(yù)先連結(jié)，則無需送液泵等而能夠自然送液，簡(jiǎn)單方便，故而優(yōu)選。

連通管435是供水系抗蝕劑剝離液流通的管路。如圖8所示，調(diào)制槽3設(shè)置在比貯存槽402高的位置。例如如圖8所示，連通管435將調(diào)制槽3的底部與貯存槽402的側(cè)部連接。當(dāng)由于從貯存槽402向剝離設(shè)備390供給水系抗蝕劑剝離液而使貯存在貯存槽402內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液量減少時(shí)，在調(diào)制槽3中調(diào)制好的水系抗蝕劑剝離液通過連通管435自然地向貯存槽402移動(dòng)。連通管435具有適當(dāng)?shù)拈L(zhǎng)度和配管內(nèi)徑，具有使在調(diào)制槽3中產(chǎn)生的水系抗蝕劑剝離液的濃度的變動(dòng)不會(huì)波及貯存槽402內(nèi)的緩沖作用。

優(yōu)選貯存槽402也與調(diào)制槽3同樣地具備測(cè)定機(jī)構(gòu)431以及液面計(jì)432。作為測(cè)定機(jī)構(gòu)431，能夠使用與調(diào)制槽3所具備的測(cè)定機(jī)構(gòu)相同的測(cè)定機(jī)構(gòu)。測(cè)定機(jī)構(gòu)431也可以還具備關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)以及關(guān)于水分的測(cè)定機(jī)構(gòu)中的任一方或雙方。通過上述裝置，能夠進(jìn)行貯存于貯存槽402的水系抗蝕劑剝離液的物性值或成分濃度的測(cè)定。

另外，測(cè)定機(jī)構(gòu)431以及液面計(jì)432也經(jīng)由信號(hào)線447、448與控制機(jī)構(gòu)401連接?？刂茩C(jī)構(gòu)401根據(jù)測(cè)定機(jī)構(gòu)431測(cè)定出的貯存槽402內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液的物性值或成分濃度、液面計(jì)432測(cè)定出的貯存槽402內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液的液面位置，與調(diào)制槽3的情況同樣地適當(dāng)控制控制閥17、18、19。貯存槽402內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液的濃度變動(dòng)非常小，因此實(shí)際上進(jìn)行貯存槽402內(nèi)部的水系抗蝕劑剝離液的濃度的監(jiān)視和液量管理。

貯存槽402內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液通過循環(huán)管路434所具備的循環(huán)攪拌泵433而被循環(huán)攪拌。由此，貯存槽402內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液維持為均勻的濃度。

[第六實(shí)施方式]

圖9是用于對(duì)第六實(shí)施方式的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。第六實(shí)施方式所涉及的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置510與之前說明的實(shí)施方式的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置的不同之處在于，具備兩個(gè)調(diào)制槽。

調(diào)制槽503也與調(diào)制槽3同樣地，具備測(cè)定機(jī)構(gòu)531以及液面計(jì)532，經(jīng)由信號(hào)線547以及信號(hào)線548與控制機(jī)構(gòu)501連接。調(diào)制槽503內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液的物性值或成分濃度、以及液面位置由控制機(jī)構(gòu)501監(jiān)視，通過與控制經(jīng)由信號(hào)線546連接的控制閥517、518、519從而調(diào)節(jié)調(diào)制槽3內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液的成分濃度的情況同樣的方法，進(jìn)行成分濃度、液面位置的調(diào)節(jié)。在調(diào)制槽503中調(diào)制好的水系抗蝕劑剝離液通過連通管535并貯存于貯存槽402。另外，調(diào)制槽503具備循環(huán)管路534，調(diào)制槽503內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液通過循環(huán)管路534所具備的循環(huán)攪拌泵533而被循環(huán)攪拌。

根據(jù)第六實(shí)施方式所涉及的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置，由于具備兩個(gè)調(diào)制槽，因此即便例如調(diào)制槽3因故障等而無法運(yùn)行，通過利用調(diào)制槽503調(diào)制水系抗蝕劑剝離液并向貯存槽402供給，能夠不使裝置停止而連續(xù)地進(jìn)行水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制和供給。另外，即便調(diào)制槽3內(nèi)變空，也能夠從調(diào)制槽503供給水系抗蝕劑剝離液。

需要說明的是，在圖9中記載了具備兩個(gè)調(diào)制槽的結(jié)構(gòu)，但調(diào)制槽的數(shù)量并不特別限定，也可以具備三個(gè)以上的多個(gè)槽。但是，考慮到裝置大型化、故障時(shí)的預(yù)備，對(duì)于一個(gè)貯存槽具備兩個(gè)調(diào)制槽便足夠。

[第七實(shí)施方式]

圖10是用于對(duì)第七實(shí)施方式的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。第七實(shí)施方式所涉及的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置610與之前說明的實(shí)施方式的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置的不同之處在于，具備混合準(zhǔn)備槽605作為將水系抗蝕劑剝離液的原料預(yù)先混合的預(yù)備混合機(jī)構(gòu)。

混合準(zhǔn)備槽605與純水供給配管41、胺供給配管344以及有機(jī)溶劑供給配管345連接。另外，混合準(zhǔn)備槽605通過配管606與調(diào)制槽3連接。

通過設(shè)置混合準(zhǔn)備槽605，將向調(diào)制槽3供給的原料在混合準(zhǔn)備槽605中混合然后向調(diào)制槽3供給，能夠以接近水系抗蝕劑剝離液的組成的濃度向調(diào)制槽3供給。因此，能夠防止調(diào)制槽3內(nèi)的水系抗蝕劑剝離液的濃度急劇地變化，并且能夠容易地進(jìn)行水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制。另外，水系抗蝕劑剝離液的原料被預(yù)先混合，因此調(diào)制槽3內(nèi)的混合、攪拌的負(fù)擔(dān)減輕，能夠更加迅速地調(diào)制濃度均勻的水系抗蝕劑剝離液。

對(duì)于混合準(zhǔn)備槽605中的混合而言，優(yōu)選通過控制機(jī)構(gòu)601控制經(jīng)由信號(hào)線646連接的控制閥617、618、619，從而控制純水、胺原液以及有機(jī)溶劑的流量，由此形成在調(diào)制槽3中調(diào)制的水系抗蝕劑剝離液的濃度。水系抗蝕劑剝離液的最終的濃度的調(diào)制在調(diào)制槽3中進(jìn)行，因此在混合準(zhǔn)備槽605中可以不高精度地進(jìn)行調(diào)制。以在混合準(zhǔn)備槽605中混合后的抗蝕劑剝離液的濃度進(jìn)入由測(cè)定機(jī)構(gòu)2測(cè)定出的物性值與成分濃度具有相關(guān)關(guān)系的濃度范圍的程度，進(jìn)行各原料的混合即可。但是，也可以與調(diào)制槽3同樣地，通過測(cè)定裝置測(cè)定物性值或成分濃度。

本實(shí)施方式的調(diào)制裝置610所具備的預(yù)備混合機(jī)構(gòu)不限于作為簡(jiǎn)易的混合槽而運(yùn)行的混合準(zhǔn)備槽605這樣的方式。例如，也可以采用如下方式：供給原料的純水供給配管41、胺供給配管344、有機(jī)溶劑供給配管345等在調(diào)制槽3的近前處匯合，從而使原料在匯合配管內(nèi)混合。在該情況下，還可以采用在線混合器、靜態(tài)混合器等配管型混合裝置。也可以在循環(huán)管路34中匯合。

另外，對(duì)于預(yù)備混合機(jī)構(gòu)而言，在如第六實(shí)施方式那樣具備多個(gè)調(diào)制槽的水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置中，也可以采用針對(duì)每個(gè)調(diào)制槽而具備預(yù)備混合機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)。

〔非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置〕

[第八實(shí)施方式]

圖11是用于對(duì)本實(shí)施方式的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。本實(shí)施方式的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置710主要包括調(diào)制槽703、測(cè)定機(jī)構(gòu)702、以及控制機(jī)構(gòu)701等。

調(diào)制槽703是經(jīng)由配管等接受供給且用于調(diào)配非水系抗蝕劑剝離液的原料從而調(diào)制規(guī)定的成分濃度的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)配容器。為了接受非水系抗蝕劑剝離液的原料的供給，調(diào)制槽703除連接有各原料供給配管742、743等以外，還具備用于將原料均勻地混合的攪拌機(jī)構(gòu)736。另外，具備用于供給調(diào)制出的規(guī)定的成分濃度的非水系抗蝕劑剝離液的供給配管704。

測(cè)定機(jī)構(gòu)702測(cè)定在調(diào)制槽703內(nèi)調(diào)制的非水系抗蝕劑剝離液的物性值或者成分濃度中的至少任一方。由測(cè)定機(jī)構(gòu)702測(cè)定的非水系抗蝕劑剝離液的物性值是與該非水系抗蝕劑剝離液的成分濃度之間具有相關(guān)的物性值。若使用該相關(guān)關(guān)系，則能夠根據(jù)測(cè)定出的物性值得到成分濃度，也能夠?qū)⒎撬悼刮g劑剝離液調(diào)整為規(guī)定的成分濃度。

控制機(jī)構(gòu)701通過信號(hào)線747等與測(cè)定機(jī)構(gòu)702連接，從而能夠接收測(cè)定機(jī)構(gòu)702的測(cè)定信號(hào)。另外，控制機(jī)構(gòu)701與控制閥718、719連接，該控制閥718、719設(shè)置于用于向調(diào)制槽703供給原料的原料供給配管742、743。控制機(jī)構(gòu)701通過控制上述控制閥，從而以水系抗蝕劑剝離液的成分濃度成為規(guī)定的成分濃度的方式調(diào)節(jié)向調(diào)制槽703供給的原料的供給量。

非水系抗蝕劑剝離液以胺以及有機(jī)溶劑為主要成分。胺從胺原料導(dǎo)入口752經(jīng)由胺原料供給配管742供給至調(diào)制槽703。有機(jī)溶劑從有機(jī)溶劑原料導(dǎo)入口753經(jīng)由有機(jī)溶劑原料供給配管743供給至調(diào)制槽703。除上述以外，在存在添加劑等其他原料的情況下，準(zhǔn)備用于供給該原料的導(dǎo)入口、供給配管、控制閥等來進(jìn)行供給即可。在圖11中未示出添加劑等其他原料的供給線。另外，各原料不限于直接向調(diào)制槽703供給的情況。例如，在對(duì)調(diào)制槽703內(nèi)的非水系抗蝕劑剝離液進(jìn)行循環(huán)攪拌的情況下，也可以以使各原料在供液體循環(huán)的循環(huán)管路734中匯合的方式向調(diào)制槽703供給各原料。

在各原料供給配管742、743設(shè)置有經(jīng)由信號(hào)線746與控制機(jī)構(gòu)701連接的控制閥718、719。各控制閥接收由控制機(jī)構(gòu)701發(fā)出的控制信號(hào)而被控制動(dòng)作。優(yōu)選各控制閥例如以增減每單位時(shí)間的流量的方式被控制機(jī)構(gòu)701控制。各控制閥將流量的缺省值預(yù)先設(shè)定為，對(duì)以該缺省值的流量供給的原料進(jìn)行調(diào)配而得到的非水系抗蝕劑剝離液的成分濃度進(jìn)入由測(cè)定機(jī)構(gòu)702測(cè)定出的物性值與成分濃度具有相關(guān)關(guān)系的濃度范圍。

從原料導(dǎo)入口752、753導(dǎo)入的各原料經(jīng)由原料供給配管742、743以及控制閥718、719供給至調(diào)制槽703。供給至調(diào)制槽703內(nèi)的原料被攪拌機(jī)構(gòu)736攪拌，從而形成濃度均勻的非水系抗蝕劑剝離液。

攪拌機(jī)構(gòu)736將調(diào)制槽703內(nèi)攪拌成均勻的濃度。在圖11中繪出了如下的循環(huán)攪拌方式：從調(diào)制槽703的底部經(jīng)由呈環(huán)狀地與調(diào)制槽703的側(cè)部連接的循環(huán)管路734抽取調(diào)制槽703內(nèi)的液體的一部分，通過循環(huán)攪拌泵733使該液體以在調(diào)制槽703內(nèi)產(chǎn)生攪拌流的方式再次返回調(diào)制槽703內(nèi)，但循環(huán)攪拌方式不限于此。也可以為利用電動(dòng)機(jī)使攪拌葉片旋轉(zhuǎn)的攪拌裝置，還可以使攪拌件在調(diào)制槽703內(nèi)旋轉(zhuǎn)。

在調(diào)制槽703內(nèi)調(diào)制出的非水系抗蝕劑剝離液由測(cè)定機(jī)構(gòu)702進(jìn)行測(cè)定。所測(cè)定的參數(shù)為在調(diào)制槽703內(nèi)中調(diào)制出的非水系抗蝕劑剝離液的物性值或者成分濃度中的至少任一方。也可以為雙方。在此，測(cè)定出的成分濃度是關(guān)于想要調(diào)節(jié)成規(guī)定的濃度的非水系抗蝕劑剝離液的成分的濃度。同樣，所測(cè)定的物性值是與想要調(diào)節(jié)成規(guī)定的濃度的非水系抗蝕劑剝離液的成分具有相關(guān)的非水系抗蝕劑剝離液的物性值。由測(cè)定機(jī)構(gòu)702測(cè)定出的物性值、與成分濃度對(duì)應(yīng)的非水系抗蝕劑剝離液的成分不限于一個(gè)，也可以是多個(gè)。

成分濃度無法直接測(cè)定，因此通常測(cè)定與成分濃度具有相關(guān)的物性值，根據(jù)該測(cè)定值并利用相關(guān)關(guān)系來計(jì)算成分濃度。因此，測(cè)定機(jī)構(gòu)702具備測(cè)定非水系抗蝕劑剝離液的物性值的測(cè)定裝置。在僅測(cè)定物性值的情況下，測(cè)定機(jī)構(gòu)702可以為測(cè)定裝置本身。在根據(jù)測(cè)定出的物性值來計(jì)算成分濃度的情況下，需要將測(cè)定出的物性值運(yùn)算加工為成分濃度，因此測(cè)定機(jī)構(gòu)702除具備測(cè)定裝置以外，還具備根據(jù)測(cè)定值來運(yùn)算成分濃度的運(yùn)算裝置等。

對(duì)于測(cè)定機(jī)構(gòu)702所具備的物性值的測(cè)定裝置而言，根據(jù)應(yīng)當(dāng)調(diào)節(jié)濃度的非水系抗蝕劑剝離液的成分、所測(cè)定的物性值來選擇最佳的裝置。采用測(cè)定如下的物性值的測(cè)定裝置即可，對(duì)于想要調(diào)節(jié)濃度的非水系抗蝕劑剝離液的成分，在包含想要調(diào)節(jié)的該規(guī)定的成分濃度的濃度范圍，該物性值能夠與該成分濃度得到良好的相關(guān)關(guān)系。例如，作為這種測(cè)定裝置，優(yōu)選吸光光度計(jì)、電導(dǎo)率計(jì)、密度計(jì)、超聲波濃度計(jì)、粘度計(jì)等。

測(cè)定機(jī)構(gòu)702對(duì)在調(diào)制槽703內(nèi)調(diào)制出的非水系抗蝕劑剝離液進(jìn)行抽樣，并測(cè)定其物性值。優(yōu)選在測(cè)定前對(duì)抽樣的非水系抗蝕劑剝離液進(jìn)行溫度調(diào)整等，以使得始終在相同的測(cè)定條件下進(jìn)行測(cè)定。因此，優(yōu)選測(cè)定機(jī)構(gòu)702具備抽樣管、抽樣泵(未圖示)、以及溫度控制器(未圖示)等。

但是，測(cè)定的方法不限于對(duì)試料進(jìn)行抽樣的方式?？梢圆捎脤鞲衅鞑拷n于非水系抗蝕劑剝離液內(nèi)的方式、在循環(huán)管路734等設(shè)置測(cè)定裝置的方式等，根據(jù)所采用的測(cè)定裝置利用最佳的方式進(jìn)行測(cè)定即可。

在測(cè)定機(jī)構(gòu)702測(cè)定成分濃度的情況下，根據(jù)由測(cè)定機(jī)構(gòu)702所具備的測(cè)定裝置測(cè)定出的物性值來計(jì)算成分濃度。在成分濃度的計(jì)算中，使用物性值與成分濃度的相關(guān)關(guān)系。該相關(guān)關(guān)系是物性值與成分濃度的對(duì)應(yīng)關(guān)系，若兩者一對(duì)一地對(duì)應(yīng)，則能夠根據(jù)該相關(guān)關(guān)系而由測(cè)定出的物性值求出對(duì)應(yīng)的成分濃度。

為了得到規(guī)定的靈敏度，優(yōu)選相關(guān)關(guān)系具備一定程度的斜率，但也可以不必是直線。若在包含想要調(diào)節(jié)的成分濃度的濃度范圍內(nèi)，成分濃度與物性值具有形成為一對(duì)一地對(duì)應(yīng)的連續(xù)函數(shù)的相關(guān)關(guān)系，則能夠根據(jù)測(cè)定出的物性值來計(jì)算對(duì)應(yīng)的成分濃度。

測(cè)定機(jī)構(gòu)702將測(cè)定出的物性值或者成分濃度向控制機(jī)構(gòu)701發(fā)送?？刂茩C(jī)構(gòu)701從測(cè)定機(jī)構(gòu)702接收測(cè)定值。測(cè)定機(jī)構(gòu)702與控制機(jī)構(gòu)701通過信號(hào)線747連接。測(cè)定值的發(fā)送接收經(jīng)由該信號(hào)線747進(jìn)行。但是，不限于此。也可以借助無線進(jìn)行測(cè)定值的發(fā)送接收。另外，在對(duì)于多個(gè)成分測(cè)定物性值、成分濃度的情況下，可以針對(duì)各個(gè)成分而具備將測(cè)定裝置與控制機(jī)構(gòu)701連接的信號(hào)線。

控制機(jī)構(gòu)701在濃度控制中設(shè)定作為目標(biāo)的成分濃度的值。控制機(jī)構(gòu)701對(duì)接收到的成分濃度的測(cè)定值與設(shè)定的成分濃度的目標(biāo)值進(jìn)行比較。在比較的結(jié)果是應(yīng)當(dāng)調(diào)節(jié)的成分的濃度比目標(biāo)值低的情況下，控制對(duì)應(yīng)的控制閥，以使得該成分的供給量相對(duì)于其他成分的供給量而相對(duì)地增加。反之，在應(yīng)當(dāng)調(diào)節(jié)的成分的濃度比目標(biāo)值高的情況下，控制對(duì)應(yīng)的控制閥，以使得該成分的供給量相對(duì)于其他成分的供給量而相對(duì)地減少。對(duì)于將哪個(gè)控制閥控制為何種程度而言，控制機(jī)構(gòu)701根據(jù)偏離成分濃度的目標(biāo)值的程度、原料的構(gòu)成、各原料的濃度等諸條件，利用控制程序適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行計(jì)算。但是，控制的方法不限于此。除上述這種對(duì)控制量的目標(biāo)值與當(dāng)前值進(jìn)行比較而進(jìn)行控制的比例控制(p控制)以外，還能夠采用所謂的積分控制(i控制)、微分控制(d控制)等。優(yōu)選通過將上述控制方法適當(dāng)組合而成的pid控制進(jìn)行控制。

設(shè)置于非水系抗蝕劑剝離液的原料供給配管的各控制閥718、719通過信號(hào)線746與控制機(jī)構(gòu)701連接。在圖11中繪出了各控制閥718、719通過信號(hào)線746以串聯(lián)的方式連接，但各控制閥也可以分別單獨(dú)地通過信號(hào)線與控制機(jī)構(gòu)701連接。也可以不基于信號(hào)線，而通過無線來進(jìn)行控制。

另外，在圖11中，控制機(jī)構(gòu)701控制控制閥，但作為控制機(jī)構(gòu)701優(yōu)選采用計(jì)算機(jī)。也可以代替計(jì)算機(jī)，而使用通用的控制器進(jìn)行控制。也可以將控制機(jī)構(gòu)701構(gòu)成為針對(duì)每個(gè)調(diào)節(jié)濃度的成分而單獨(dú)準(zhǔn)備的控制器的集合體。另外，也可以代替測(cè)定機(jī)構(gòu)702和控制機(jī)構(gòu)701，而使用將測(cè)定機(jī)構(gòu)702與控制機(jī)構(gòu)701構(gòu)成為一個(gè)裝置的所謂的濃度管理裝置。在使用濃度管理裝置的情況下，使?jié)舛裙芾硌b置控制控制閥，以使得調(diào)制槽703內(nèi)的非水系抗蝕劑剝離液始終成為規(guī)定的成分濃度即可。

在由測(cè)定機(jī)構(gòu)702測(cè)定的參數(shù)是物性值的情況下，控制機(jī)構(gòu)701進(jìn)行基于物性值的控制。即，由測(cè)定機(jī)構(gòu)測(cè)定的物性值與成分濃度具有相關(guān)關(guān)系，因此能夠在該相關(guān)關(guān)系上得到與應(yīng)當(dāng)調(diào)節(jié)成的規(guī)定的成分濃度對(duì)應(yīng)的“規(guī)定的物性值”。控制機(jī)構(gòu)701以增減原料的供給量的方式控制控制閥718、719，以使得由測(cè)定機(jī)構(gòu)702測(cè)定出的物性值成為該“規(guī)定的物性值”即可。

本實(shí)施方式的調(diào)制裝置710通過反復(fù)連續(xù)地進(jìn)行上述的調(diào)配、測(cè)定、控制的循環(huán)，能夠自動(dòng)并且連續(xù)地調(diào)制出規(guī)定的成分濃度的非水系抗蝕劑剝離液。一旦在調(diào)制槽703內(nèi)調(diào)制出規(guī)定的成分濃度的非水系抗蝕劑剝離液，則之后以通過供給來補(bǔ)充減少的量的方式，維持規(guī)定的成分濃度并且追加調(diào)制非水系抗蝕劑剝離液即可。

在調(diào)制槽703中調(diào)制好的非水系抗蝕劑剝離液從與調(diào)制槽703的底部連接的非水系抗蝕劑剝離液供給配管704向調(diào)制槽703的外部供給。調(diào)制裝置710可以單獨(dú)使用，也可以與利用非水系抗蝕劑剝離液的其他剝離設(shè)備連接而使用。在該情況下，將非水系抗蝕劑剝離液供給配管704與其他剝離設(shè)備的非水系抗蝕劑剝離液供給口754連接。這樣一來，在需要的時(shí)候，隨時(shí)能夠自動(dòng)地向其他剝離設(shè)備供給新鮮狀態(tài)的規(guī)定的成分濃度的非水系抗蝕劑剝離液。

優(yōu)選調(diào)制裝置710具備用于檢測(cè)調(diào)制槽703內(nèi)的非水系抗蝕劑剝離液的液面位置的液面計(jì)732。若調(diào)制裝置710供給的非水系抗蝕劑剝離液的供給量始終大致恒定，則即便不存在液面計(jì)，通過使調(diào)制量與供給量平衡，也能夠不使調(diào)制槽703變空而進(jìn)行連續(xù)的調(diào)制。但是，在供給量增減的情況下，優(yōu)選利用液面計(jì)732檢測(cè)調(diào)制槽703內(nèi)的液面位置，以調(diào)制槽703不變空的方式進(jìn)行控制。

液面計(jì)732除以能夠檢測(cè)調(diào)制槽703內(nèi)的液面位置的方式設(shè)置于調(diào)制槽703以外，還經(jīng)由信號(hào)線748與控制機(jī)構(gòu)701連接。例如，液面計(jì)732檢測(cè)到調(diào)制槽703內(nèi)的液面低于下限值，然后向控制機(jī)構(gòu)701發(fā)出警報(bào)信號(hào)?？刂茩C(jī)構(gòu)701控制控制閥718、719增加原料的供給量，從而增加非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制量，以使液面位置恢復(fù)。當(dāng)液面位置超過下限值時(shí)停止警報(bào)信號(hào)，當(dāng)調(diào)制槽3內(nèi)的非水系抗蝕劑剝離液的量恢復(fù)至規(guī)定的量時(shí)，控制機(jī)構(gòu)1以維持該液面位置的方式進(jìn)行控制。這樣，能夠使調(diào)制槽703內(nèi)不變空。若相應(yīng)地設(shè)定液面位置的上限，則還能夠防止調(diào)制槽703的溢出。

需要說明的是，在圖11中繪出了供給非水系抗蝕劑剝離液的各原料的原料供給配管742、743與調(diào)制槽703的側(cè)部連接的方式，但不限于此。根據(jù)狀況，也可以與調(diào)制槽703的上部、底部連接。還可以與循環(huán)管路34連接。另外，原料供給配管742、743無需與調(diào)制槽703連接成一體。例如，也可以以從上部滴下的方式向調(diào)制槽內(nèi)供給原料。另外，在原料不是液狀物而是粉狀物的情況下，也可以不連接配管而連接粉體供給裝置。

＜非水系抗蝕劑剝離液的原料＞

本實(shí)施方式的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置所使用的非水系抗蝕劑剝離液能夠使用包括胺、有機(jī)溶劑、以及其他添加劑的原料。

《胺》

作為非水系抗蝕劑剝離液的原料所使用的胺，優(yōu)選使用烷醇胺。作為烷醇胺，可以列舉單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、n，n-二甲基乙醇胺、n，n-二乙基乙醇胺、氨乙基乙醇胺、n-甲基-n，n-二乙醇胺、n，n-二丁基乙醇胺、n-甲基乙醇胺、3-氨基-1-丙醇等。另外，作為其他胺，能夠使用羥胺、n-甲基二乙醇胺、正丙醇胺、單異丙醇胺、n-甲基二乙醇胺、烷基苯磺酸、二甘醇胺、甲基氨基乙醇、乙基氨基乙醇、2-(2-氨基乙氧基)乙醇、三亞乙基四胺、n，n二甲基乙酰胺、單甲基甲酰胺。

《有機(jī)溶劑》

作為有機(jī)溶劑，優(yōu)選使用乙二醇醚系的有機(jī)溶劑。作為乙二醇醚系的有機(jī)溶劑，可以列舉丁基二甘醇、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丙醚等。作為其他有機(jī)溶劑，能夠使用二甲基亞砜、烷基羥基苯、丁炔二醇、saa、甲基甲氧基丁醇、n-甲基-2-吡咯烷酮、phn、鄰二氯苯、三亞乙基四胺、甲基二甘醇。

《其他添加劑》

作為非水系抗蝕劑剝離液，除胺以及有機(jī)溶劑，還可以添加兒茶酚、麥芽酚、硅系消泡劑、p-硝基苯甲酸、還元?jiǎng)?山梨糖醇等)、防金屬腐蝕劑、螯合劑等作為添加劑。對(duì)于其他添加劑的濃度而言，在調(diào)制非水系抗蝕劑剝離液時(shí)，通過與非水系抗蝕劑剝離液的容量相應(yīng)地添加，能夠調(diào)節(jié)濃度。

[第9實(shí)施方式]

圖12是用于對(duì)本實(shí)施方式的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。本實(shí)施方式的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置810與第八實(shí)施方式的調(diào)制裝置710大致相同，主要包括調(diào)制槽703、測(cè)定機(jī)構(gòu)802、以及控制機(jī)構(gòu)801等。但是，非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置810的特征在于，測(cè)定機(jī)構(gòu)802具備關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)821；控制機(jī)構(gòu)801具備關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)823；以及在調(diào)制槽703中調(diào)制規(guī)定的胺濃度的非水系抗蝕劑剝離液。

在本實(shí)施方式中，測(cè)定機(jī)構(gòu)802具備關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)821。關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)821用于測(cè)定調(diào)制槽703內(nèi)的非水系抗蝕劑剝離液的物性值或者胺濃度中的至少一方。也可以測(cè)定雙方。在調(diào)制裝置810僅測(cè)定胺濃度并將該胺濃度調(diào)節(jié)為規(guī)定的濃度值的情況下，測(cè)定機(jī)構(gòu)802與關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)821相同即可。但是，通常，測(cè)定機(jī)構(gòu)802除關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)821以外，還另外具備用于進(jìn)行關(guān)于其他成分的測(cè)定的測(cè)定機(jī)構(gòu)。

關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)821所測(cè)定的物性值是與胺濃度具有相關(guān)關(guān)系的物性值。作為與胺濃度具有相關(guān)關(guān)系的物性值，優(yōu)選使用從吸光度、電導(dǎo)率、密度、超聲波傳播速度以及粘度中選出的物性值。在該情況下，關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)821分別為吸光光度計(jì)、電導(dǎo)率計(jì)、密度計(jì)、超聲波濃度計(jì)、以及粘度計(jì)等。

作為關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)821，其中優(yōu)選吸光光度計(jì)。若使用適當(dāng)?shù)臏y(cè)定波長(zhǎng)，則能夠在非水系抗蝕劑剝離液的吸光度值與胺濃度之間，得到比較良好的直線關(guān)系。

作為能夠與胺濃度得到直線關(guān)系的物性值，能夠使用例如圖3以及圖4所示的吸光度。圖3是示出單乙醇胺(mea：monoethanolamine)濃度與吸光度(測(cè)定波長(zhǎng)λ＝1048nm)之間的關(guān)系的曲線圖，圖4是示出羥胺濃度與吸光度(測(cè)定波長(zhǎng)λ＝1074nm)之間的關(guān)系的曲線圖。需要說明的是，圖3以及圖4是示出水系抗蝕劑剝離液的胺濃度與吸光度之間的關(guān)系的曲線圖，但在非水系抗蝕劑剝離液中也能夠得到同樣的直線關(guān)系。

如圖3所示，在非水系抗蝕劑剝離液所含有的胺是作為烷醇胺的一種的單乙醇胺的情況下，非水系抗蝕劑剝離液的單乙醇胺的濃度相對(duì)于位于近紅外部的波長(zhǎng)區(qū)域的特定波長(zhǎng)(例如，1048nm)的非水系抗蝕劑剝離液的吸光度具有高度的直線關(guān)系。另外，如圖4所示，非水系抗蝕劑剝離液的羥胺的濃度也相對(duì)于位于近紅外部的波長(zhǎng)區(qū)域的特定波長(zhǎng)(例如，1074nm)的非水系抗蝕劑剝離液的吸光度具有高度的直線關(guān)系。因此，通過測(cè)定非水系抗蝕劑剝離液的吸光度，能夠準(zhǔn)確地測(cè)定胺濃度。在胺為單乙醇胺的情況下，優(yōu)選所測(cè)定的波長(zhǎng)是從1000～1600nm的波長(zhǎng)區(qū)域中選出的特定的波長(zhǎng)。在其他成分的影響小的1048nm附近靈敏度大而尤其良好。另外，在為羥胺的情況下，優(yōu)選是從1050～1090nm的波長(zhǎng)區(qū)域中選出的特定的波長(zhǎng)。在其他成分的影響小的1074nm附近靈敏度大而尤其良好。

在本實(shí)施方式的調(diào)制裝置810中，關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)821測(cè)定例如測(cè)定波長(zhǎng)為1048nm的非水系抗蝕劑剝離液的吸光度。該波長(zhǎng)的吸光度與胺濃度(mea濃度)具有如圖3這樣的直線關(guān)系，因此使用該直線關(guān)系，能夠根據(jù)吸光度的測(cè)定值準(zhǔn)確地得到非水系抗蝕劑剝離液的胺濃度(mea濃度)。

本實(shí)施方式的控制機(jī)構(gòu)801具備關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)823。在本實(shí)施方式的調(diào)制裝置810僅將胺濃度調(diào)節(jié)為規(guī)定的濃度的情況下，控制機(jī)構(gòu)801與關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)823相同即可。在本實(shí)施方式的調(diào)制裝置810對(duì)于胺以外的成分也調(diào)節(jié)濃度的情況下，控制機(jī)構(gòu)801不僅具備關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)823，還另外具備關(guān)于其他成分的控制機(jī)構(gòu)。

關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)823通過信號(hào)線847與關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)821連接等，從而從關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)821接收關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)821所得到的測(cè)定值。在關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)823中，將應(yīng)當(dāng)調(diào)節(jié)成的規(guī)定的胺濃度設(shè)定為濃度控制中的目標(biāo)值的胺濃度。關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)823對(duì)接收到的胺濃度的測(cè)定值與目標(biāo)值的胺濃度進(jìn)行比較。關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)823通過信號(hào)線746與設(shè)置于各原料供給配管742、743的控制閥718、719連接等，從而與濃度的比較的結(jié)果相應(yīng)地，對(duì)控制閥718、719進(jìn)行適當(dāng)?shù)膭?dòng)作控制。

例如，在由測(cè)定機(jī)構(gòu)802的關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)821測(cè)定出的胺濃度低于目標(biāo)值的胺濃度的情況下，控制機(jī)構(gòu)801的關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)823增加控制閥718的流量、或者減少控制閥719的流量，從而增加胺原液的相對(duì)的供給量。反之，在胺濃度高于目標(biāo)值的胺濃度的情況下，關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)823減少控制閥718的流量、或者增加控制閥719的流量，從而相對(duì)增加有機(jī)溶劑的供給量，減少胺原液的相對(duì)的供給量，由此控制胺濃度。但是，控制方法不限于此。也可以適當(dāng)采用pid控制等各種控制方法。

需要說明的是，也可以利用關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)821測(cè)定出的物性值，對(duì)測(cè)定出的物性值與相關(guān)關(guān)系上的同目標(biāo)值的胺濃度對(duì)應(yīng)的物性值進(jìn)行比較，由此控制胺濃度。

例如，在如能夠得到如圖3、圖4所示的直線關(guān)系的情況這樣，物性值與胺濃度具有一對(duì)一地對(duì)應(yīng)的相關(guān)關(guān)系的情況下，能夠根據(jù)該相關(guān)關(guān)系而得到與胺濃度對(duì)應(yīng)的物性值。因此，存在與應(yīng)當(dāng)調(diào)節(jié)成的規(guī)定的胺濃度對(duì)應(yīng)的“規(guī)定的物性值”。通過關(guān)于胺的控制機(jī)構(gòu)823控制原料的供給量，以使得關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)821測(cè)定出的物性值成為該“規(guī)定的物性值”，從而能夠使在調(diào)制槽703中調(diào)制出的非水系抗蝕劑剝離液成為規(guī)定的胺濃度。

對(duì)于本實(shí)施方式的與第八實(shí)施方式共用的其他結(jié)構(gòu)，由于與第八實(shí)施方式相同，因此省略其說明。

需要說明的是，在圖12中示出本實(shí)施方式的調(diào)制裝置810與原料貯存容器820、以及使用非水系抗蝕劑剝離液的剝離設(shè)備890連接的方式。這樣，調(diào)制裝置810與原料貯存容器820以及剝離設(shè)備890連接，能夠?qū)崿F(xiàn)進(jìn)行剝離工序的工廠中的現(xiàn)場(chǎng)運(yùn)轉(zhuǎn)。

原料貯存容器820是用于暫時(shí)貯存非水系抗蝕劑剝離液的原料的容器。該原料貯存容器820包括胺貯存容器811a、811b以及有機(jī)溶劑貯存容器812a、812b等。胺貯存容器811a、811b、有機(jī)溶劑貯存容器812a、812b可以分別為一個(gè)，但優(yōu)選如圖12所示分別具備兩個(gè)。胺貯存容器811a、811b從胺原料導(dǎo)入口752經(jīng)由胺原料補(bǔ)充配管842而始終貯存有胺。另外，有機(jī)溶劑貯存容器812a、812b從有機(jī)溶劑原料導(dǎo)入口753經(jīng)由有機(jī)溶劑原料補(bǔ)充配管843而始終貯存有有機(jī)溶劑。通過始終在原料貯存容器820中準(zhǔn)備好所需的原料，從而調(diào)制裝置810能夠不中斷地接受原料的供給，能夠連續(xù)地調(diào)制非水系抗蝕劑剝離液。

胺貯存容器811a、811b以及有機(jī)溶劑貯存容器812a、812b通過胺供給配管844以及有機(jī)溶劑供給配管845與調(diào)制裝置810連接，從原料貯存容器820向調(diào)制槽703供給各種原料。供給的方式可以為基于送液泵的方式，也可以為容器的加壓壓送方式。根據(jù)需要，可以如圖12所示，在將原料貯存容器820與調(diào)制槽703連接的胺供給配管844以及有機(jī)溶劑供給配管845設(shè)置控制閥813a～816b，調(diào)制裝置810控制上述控制閥313a～316b。

另一方面，調(diào)制裝置810經(jīng)由連接于調(diào)制槽703的非水系抗蝕劑剝離液供給配管804與剝離設(shè)備890連接。在非水系抗蝕劑剝離液供給配管804設(shè)置有送液泵825以及控制閥826等。

在調(diào)制槽703中調(diào)制好的非水系抗蝕劑剝離液利用送液泵825并通過非水系抗蝕劑剝離液供給配管804從非水系抗蝕劑剝離液供給口854供給至剝離設(shè)備890。剝離設(shè)備890經(jīng)由信號(hào)線892與控制機(jī)構(gòu)801連接。控制機(jī)構(gòu)801經(jīng)由信號(hào)線892接收從剝離設(shè)備890發(fā)出的非水系抗蝕劑剝離液供給請(qǐng)求信號(hào)?？刂崎y826經(jīng)由信號(hào)線849與控制機(jī)構(gòu)801連接?？刂茩C(jī)構(gòu)801根據(jù)剝離設(shè)備890側(cè)的要求對(duì)控制閥826進(jìn)行開閉控制。由此，剝離設(shè)備890能夠在需要非水系抗蝕劑剝離液時(shí)以所需的量自動(dòng)地接受非水系抗蝕劑剝離液的供給。

[第十實(shí)施方式]

圖13是用于對(duì)第十實(shí)施方式所涉及的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。第十實(shí)施方式所涉及的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置與第八、九實(shí)施方式的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置710、810的不同之處在于，具備貯存在調(diào)制槽703中調(diào)制好的非水系抗蝕劑剝離液的貯存槽902。

在第十實(shí)施方式的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置910中，也與第八實(shí)施方式的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置710同樣地，通過測(cè)定調(diào)制槽703內(nèi)的非水系抗蝕劑剝離液的物性值或成分濃度中的至少任一方，從而將調(diào)制槽703內(nèi)的非水系抗蝕劑剝離液的成分濃度調(diào)節(jié)為規(guī)定的濃度。

在調(diào)制槽703中調(diào)制好的非水系抗蝕劑剝離液從調(diào)制槽703向貯存槽902輸送，貯存于貯存槽902。送液的方法可以采用通過送液泵等移送的方式等，并不特別限定。如圖13所示，若通過連通管935將調(diào)制槽703與貯存槽902預(yù)先連結(jié)，則無需送液泵等而能夠自然送液，簡(jiǎn)單方便，故而優(yōu)選。

連通管935是供非水系抗蝕劑剝離液流通的管路。如圖13所示，調(diào)制槽703設(shè)置在比貯存槽902高的位置。例如如圖13所示，連通管935將調(diào)制槽703的底部與貯存槽902的側(cè)部連接。當(dāng)由于從貯存槽902向剝離設(shè)備890供給非水系抗蝕劑剝離液而使貯存在貯存槽902內(nèi)的非水系抗蝕劑剝離液減少時(shí)，在調(diào)制槽703中調(diào)制好的非水系抗蝕劑剝離液通過連通管935自然地向貯存槽902移動(dòng)。連通管935具有適當(dāng)?shù)拈L(zhǎng)度和配管內(nèi)徑，具有使在調(diào)制槽703中產(chǎn)生的非水系抗蝕劑剝離液的濃度的變動(dòng)不會(huì)波及貯存槽902內(nèi)的緩沖作用。

優(yōu)選貯存槽902也與調(diào)制槽703同樣地具備測(cè)定機(jī)構(gòu)931以及液面計(jì)932。作為測(cè)定機(jī)構(gòu)931，能夠使用與調(diào)制槽703所具備的測(cè)定機(jī)構(gòu)相同的測(cè)定機(jī)構(gòu)。測(cè)定機(jī)構(gòu)931也可以還具備關(guān)于胺的測(cè)定機(jī)構(gòu)。通過上述裝置，能夠測(cè)定貯存于貯存槽902的非水系抗蝕劑剝離液的物性值或成分濃度。

另外，測(cè)定機(jī)構(gòu)931以及液面計(jì)932也經(jīng)由信號(hào)線947、948與控制機(jī)構(gòu)901連接?？刂茩C(jī)構(gòu)901根據(jù)測(cè)定機(jī)構(gòu)931測(cè)定出的貯存槽902內(nèi)的非水系抗蝕劑剝離液的物性值或成分濃度、液面計(jì)932測(cè)定出的貯存槽902內(nèi)的非水系抗蝕劑剝離液的液面位置，與調(diào)制槽703的情況同樣地適當(dāng)控制控制閥718、719。貯存槽902內(nèi)的非水系抗蝕劑剝離液的濃度變動(dòng)非常小，因此實(shí)際上進(jìn)行貯存槽902內(nèi)部的非水系抗蝕劑剝離液的濃度的監(jiān)視和液量管理。

貯存槽902內(nèi)的非水系抗蝕劑剝離液通過循環(huán)管路934所具備的循環(huán)攪拌泵933而被循環(huán)攪拌。由此，貯存槽902內(nèi)的非水系抗蝕劑剝離液維持為均勻的濃度。

[第十一實(shí)施方式]

圖14是用于對(duì)第十一實(shí)施方式所涉及的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。第十一實(shí)施方式所涉及的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置1010與第八至第十實(shí)施方式的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置710、810、910的不同之處在于，具備兩個(gè)調(diào)制槽。

調(diào)制槽1003也與調(diào)制槽703同樣地，具備測(cè)定機(jī)構(gòu)1031以及液面計(jì)1032，經(jīng)由信號(hào)線1047以及信號(hào)線1048與控制機(jī)構(gòu)1001連接。調(diào)制槽1003內(nèi)的非水系抗蝕劑剝離液的物性值或成分濃度、以及液面位置由控制機(jī)構(gòu)1001監(jiān)視，通過與控制經(jīng)由信號(hào)線1046連接的控制閥1018、1019從而調(diào)節(jié)調(diào)制槽703內(nèi)的非水系抗蝕劑剝離液的成分濃度的情況同樣的方法，進(jìn)行成分濃度、液面位置的調(diào)節(jié)。在調(diào)制槽1003中調(diào)制好的非水系抗蝕劑剝離液通過連通管1035并貯存于貯存槽902。另外，調(diào)制槽1003具備循環(huán)管路1034，調(diào)制槽1003內(nèi)的非水系抗蝕劑剝離液通過循環(huán)管路1034所具備的循環(huán)攪拌泵1033而被循環(huán)攪拌。

根據(jù)第十一實(shí)施方式所涉及的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置1010，由于具備兩個(gè)調(diào)制槽，因此即便例如調(diào)制槽703因故障等而無法運(yùn)行，通過利用調(diào)制槽1003調(diào)制非水系抗蝕劑剝離液并向貯存槽902供給，能夠不使裝置停止而連續(xù)地進(jìn)行非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制和供給。另外，即便調(diào)制槽703內(nèi)變空，也能夠從調(diào)制槽1003供給非水系抗蝕劑剝離液。

需要說明的是，在圖14中記載了具備兩個(gè)調(diào)制槽的結(jié)構(gòu)，但調(diào)制槽的數(shù)量并不特別限定，也可以具備三個(gè)以上的多個(gè)槽。但是，考慮到裝置大型化、故障時(shí)的預(yù)備，對(duì)于一個(gè)貯存槽具備兩個(gè)調(diào)制槽便足夠。

[第十二實(shí)施方式]

圖15是用于對(duì)第十二實(shí)施方式所涉及的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置進(jìn)行說明的示意圖。第十二實(shí)施方式所涉及的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置1110與第八至第十一實(shí)施方式的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置的不同之處在于，具備混合準(zhǔn)備槽1105作為將非水系抗蝕劑剝離液的原料預(yù)先混合的預(yù)備混合機(jī)構(gòu)。

混合準(zhǔn)備槽1105與胺供給配管844以及有機(jī)溶劑供給配管845連接。另外，混合準(zhǔn)備槽1105通過配管1106與調(diào)制槽703連接。

通過設(shè)置混合準(zhǔn)備槽1105，將向調(diào)制槽703供給的原料在混合準(zhǔn)備槽1105中混合然后向調(diào)制槽703供給，能夠以接近非水系抗蝕劑剝離液的組成的濃度向調(diào)制槽703供給。因此，能夠防止調(diào)制槽703內(nèi)的非水系抗蝕劑剝離液的濃度急劇地變化，并且能夠容易地進(jìn)行非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制。另外，非水系抗蝕劑剝離液的原料被預(yù)先混合，因此調(diào)制槽703內(nèi)的混合、攪拌的負(fù)擔(dān)減輕，能夠更加迅速地調(diào)制濃度均勻的非水系抗蝕劑剝離液。

對(duì)于混合準(zhǔn)備槽1105中的混合而言，優(yōu)選通過控制機(jī)構(gòu)1101控制經(jīng)由信號(hào)線1146連接的控制閥1118、1119，從而控制胺原液以及有機(jī)溶劑的流量，由此形成在調(diào)制槽703中調(diào)制的非水系抗蝕劑剝離液的濃度。非水系抗蝕劑剝離液的最終的濃度的調(diào)節(jié)在調(diào)制槽703中進(jìn)行，因此在混合準(zhǔn)備槽1105中可以不高精度地進(jìn)行調(diào)制。以在混合準(zhǔn)備槽1105中混合后的抗蝕劑剝離液的濃度進(jìn)入由測(cè)定機(jī)構(gòu)702測(cè)定出的物性值與成分濃度具有相關(guān)關(guān)系的濃度范圍的程度，進(jìn)行各原料的混合即可。但是，也可以與調(diào)制槽703同樣地，通過測(cè)定裝置測(cè)定物性值或成分濃度。

本實(shí)施方式的調(diào)制裝置1110所具備的預(yù)備混合機(jī)構(gòu)不限于作為簡(jiǎn)易的混合槽而運(yùn)行的混合準(zhǔn)備槽1105這樣的方式。例如，也可以采用如下方式：供給原料的原料供給配管742、743等在調(diào)制槽703的近前處匯合，從而使原料在匯合配管內(nèi)混合。在該情況下，還可以采用在線混合器、靜態(tài)混合器等配管型混合裝置。也可以在循環(huán)管路734中匯合。

另外，對(duì)于預(yù)備混合機(jī)構(gòu)而言，在如第十一實(shí)施方式那樣具備兩個(gè)以上的調(diào)制槽的非水系抗蝕劑剝離液的調(diào)制裝置中，也可以采用針對(duì)每個(gè)調(diào)制槽而設(shè)置預(yù)備混合機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)。