技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)公開了一種極紫外高級(jí)抑制衍射光柵，通過在不透光薄膜上開設(shè)多個(gè)形狀和面積相同的多邊形透光通孔，且使多邊形透光通孔在所述不透光薄膜上呈準(zhǔn)三角陣列隨機(jī)分布。從而能夠使得光柵在可見光、極紫外光、紅外光各個(gè)波段都可以有效抑制高級(jí)衍射，包括2n、3n、4n、5n級(jí)的衍射(n為非零整數(shù))，消除諧波污染，完全抑制了背景噪聲，同時(shí)最大化的減少了噪點(diǎn)的影響，提高了分辨率和靈敏度，簡(jiǎn)化工藝難度，為極紫外波段的有效抑制提供了技術(shù)保證和工藝支持。

技術(shù)研發(fā)人員：劉子維;浦探超;史麗娜;謝常青;李海亮;牛潔斌;王冠亞;劉明
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)科學(xué)院微電子研究所
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.16
技術(shù)公布日：2017.08.15