技術(shù)特征：

1.一種極紫外單極衍射光柵，其特征在于，包括：

透光襯底；

位于所述透光襯底上的不透光薄膜，所述不透光薄膜上開設(shè)有多個圓形透光通孔；

其中，所述圓形透光通孔在所述不透光薄膜上呈周期斜方格子分布方式排列，所述圓形透光通孔的圓心位于所述斜方格子的中心，所述圓形透光通孔的半徑隨機分布，存在最大值R_max和最小值R_min；

在所述不透光薄膜所在平面內(nèi)，沿第一方向上，所述斜方格子的周期為P_x，沿第二方向上，所述斜方格子的周期為P_y，所述第一方向與所述第二方向垂直；

所述斜方格子的周期與所述圓形透光通孔半徑的最大值和最小值之間具有預(yù)設(shè)比例。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的極紫外單極衍射光柵，其特征在于，所述預(yù)設(shè)比例為R_min＝P_x/6，R_max＝P_x/2。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的極紫外單極衍射光柵，其特征在于，所述隨機分布為均勻分布、正弦分布、t分布、正態(tài)分布或泊松分布。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的極紫外單極衍射光柵，其特征在于，所述斜方格子包括：正方格子、長方格子或三角格子。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任意一項所述的極紫外單極衍射光柵，其特征在于，所述不透光薄膜的材質(zhì)包括金、銀、鋁、鉻、硅、氮化硅或碳化硅。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-4任意一項所述的極紫外單極衍射光柵，其特征在于，所述不透光薄膜的厚度范圍為100nm-300nm，包括端點值。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-4任意一項所述的極紫外單極衍射光柵，其特征在于，所述透光襯底為熔融石英、玻璃或者有機玻璃。