本發(fā)明涉及一種液晶面板生產(chǎn)技術(shù)，特別是一種用于檢查玻璃基板表面的基板宏觀檢查機(jī)。

背景技術(shù)：

現(xiàn)今ltps(低溫多晶硅技術(shù))的手機(jī)(mobile)產(chǎn)品對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)要求越來(lái)越高，對(duì)產(chǎn)品制作過(guò)程中的particle(微粒)管控越來(lái)越嚴(yán)格，當(dāng)彩膜產(chǎn)品上有掉落大于1000um²面積的particle時(shí)，就會(huì)造成液晶盒內(nèi)的暗點(diǎn)，使人看到的產(chǎn)品有瑕疵。目前，彩膜單制程的流程如下：玻璃基板通過(guò)洗凈裝置-涂布裝置-真空干燥裝置-預(yù)烘烤裝置-曝光裝置-顯影裝置-烘烤裝置，最后得到完成后的玻璃基板，為了能夠避免玻璃基板膜面顏色不均，會(huì)在彩膜黃光線上(即顯影裝置與烘烤裝置之間)外掛一臺(tái)設(shè)備，對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行宏觀色不均勻的抽樣檢查，簡(jiǎn)稱(chēng)macro，此設(shè)備需要人員進(jìn)入設(shè)備內(nèi)進(jìn)行操作，通過(guò)人員手動(dòng)操作旋轉(zhuǎn)載臺(tái)，載臺(tái)上的燈照射到玻璃基板上，用人眼靠近觀察產(chǎn)品上是否有膜面顏色不均的現(xiàn)象，從而對(duì)玻璃基板的品質(zhì)進(jìn)行判定，但是進(jìn)行人員容易帶入particle從而污染玻璃基板，造成產(chǎn)品異常。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供一種基板宏觀檢查機(jī)，將玻璃基板表面清潔干凈后再流出，有效防止微粒附著在玻璃表面上，避免產(chǎn)品異常。

本發(fā)明提供了一種基板宏觀檢查機(jī)，包括設(shè)于顯影裝置以及烘烤裝置之間的機(jī)架，在機(jī)架上設(shè)有用于支撐玻璃基板的支撐部，在支撐部上方設(shè)有光源，所述機(jī)架上位于支撐部與光源之間設(shè)有可沿玻璃基板表面水平移動(dòng)的抽氣裝置，抽氣裝置通過(guò)設(shè)于抽氣裝置與機(jī)架之間的行走機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)。

進(jìn)一步地，所述抽氣裝置包括設(shè)于機(jī)架兩側(cè)上的支臂，在兩個(gè)支臂之間設(shè)有風(fēng)刀，風(fēng)刀的氣孔與支撐部相對(duì)，風(fēng)刀經(jīng)管道與抽風(fēng)機(jī)連接。

進(jìn)一步地，所述行走機(jī)構(gòu)包括設(shè)于支臂與機(jī)架之間的導(dǎo)軌，導(dǎo)軌的軌道固定于機(jī)架與支臂位置相對(duì)應(yīng)處，導(dǎo)軌的滑塊與支臂連接固定，在其中一側(cè)的導(dǎo)軌處設(shè)有與軌道平行的螺桿，在滑塊上設(shè)有螺孔，滑塊經(jīng)螺孔套在螺桿上并與其螺紋連接，在螺桿的一端通過(guò)聯(lián)軸器與驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸連接，驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過(guò)驅(qū)動(dòng)螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)從而實(shí)現(xiàn)帶動(dòng)抽氣裝置水平移動(dòng)。

進(jìn)一步地，所述行走機(jī)構(gòu)為電動(dòng)滑臺(tái)，電動(dòng)滑臺(tái)分別設(shè)于兩個(gè)支臂與機(jī)架之間，電動(dòng)滑臺(tái)的滑塊與支臂連接，電動(dòng)滑臺(tái)的導(dǎo)軌與機(jī)架連接固定。

進(jìn)一步地，所述風(fēng)刀與抽風(fēng)機(jī)之間的管道上設(shè)有電磁閥。

進(jìn)一步地，所述風(fēng)刀的兩端分別通過(guò)管道經(jīng)電磁閥與抽風(fēng)機(jī)連接。

進(jìn)一步地，所述支撐部包括網(wǎng)格狀的底板，在底板上設(shè)有數(shù)根用于支撐玻璃基板的支撐臂。

進(jìn)一步地，所述風(fēng)刀與玻璃基板的長(zhǎng)邊平行。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，通過(guò)在放置玻璃基板的支撐臂與光源之間設(shè)置用于吸附玻璃基板表面微粒的抽氣裝置，并通過(guò)行走機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)，使得檢查后的玻璃基板能夠通過(guò)抽氣裝置將表面的微粒吸附干凈，避免造成產(chǎn)品異常。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的主視圖；

圖2是本發(fā)明的俯視圖；

圖3是本發(fā)明的抽氣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本發(fā)明第一種行走機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是本發(fā)明的第二種行走機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。

如圖1和圖2所示，本發(fā)明公開(kāi)了一種基板宏觀檢查機(jī)，該基板宏觀檢查機(jī)設(shè)置在彩膜制程中最后兩道制程之間，即顯影裝置與烘烤裝置之間，這樣通過(guò)人工進(jìn)行玻璃基板19的宏觀檢查，用人眼靠近觀察玻璃基板19上的膜面顏色是否有不均勻的現(xiàn)象出現(xiàn)，該基板宏觀檢查機(jī)包括機(jī)架1，在機(jī)架1上設(shè)有用于支撐玻璃基板的支撐部2；具體地，該機(jī)架1包括設(shè)于兩側(cè)的主支架18，支撐部2設(shè)置在主支架18之間，支撐部2包括網(wǎng)格狀的底板15，在底板15上設(shè)有數(shù)根用于支撐玻璃基板19的支撐臂16，底板15與主支架18相對(duì)的兩側(cè)分別與主支架18焊接固定，支撐臂16分別固定在底板15的網(wǎng)格狀的十字交叉點(diǎn)上，支撐臂16通過(guò)焊接的方式與底板15連接固定；

在支撐部2上方設(shè)有光源3，光源3照射到玻璃基板19上的光線為平行光，由于基板宏觀檢查機(jī)需要人眼靠近觀察玻璃基板，在進(jìn)入設(shè)備內(nèi)時(shí)，會(huì)帶入如微粒等污染玻璃基板19，造成產(chǎn)品異常，因此，在機(jī)架1上位于支撐部2與光源3之間設(shè)有可沿玻璃基板19表面水平移動(dòng)的抽氣裝置4，抽氣裝置4架設(shè)在兩個(gè)主支架18之上，抽氣裝置4通過(guò)設(shè)于抽氣裝置4與機(jī)架1之間的行走機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)，具體地，行走機(jī)構(gòu)是安裝在主支架18與抽氣裝置4之間。

如圖1和圖3所示，抽氣裝置4包括設(shè)于機(jī)架1兩側(cè)上的支臂5，在兩個(gè)支臂5之間設(shè)有風(fēng)刀6，風(fēng)刀6的氣孔與支撐部2相對(duì)，風(fēng)刀6經(jīng)管道與抽風(fēng)機(jī)7連接，具體地，支臂5設(shè)于主支架18上，支臂5為矩形或框架結(jié)構(gòu)，風(fēng)刀6的兩端分別固定在支臂5上，具體地，抽風(fēng)機(jī)7可與外部廠務(wù)排氣管連接，從而實(shí)現(xiàn)將吸附的微粒排走。

在風(fēng)刀6與抽風(fēng)機(jī)7之間的管道上設(shè)有電磁閥14，電磁閥14用于控制管道的開(kāi)閉；具體地，風(fēng)刀6的兩端分別通過(guò)管道經(jīng)電磁閥14與抽風(fēng)機(jī)7連接，這樣能夠保證抽氣的均一性。

本發(fā)明的風(fēng)刀6與玻璃基板的長(zhǎng)邊平行，這樣能夠節(jié)省吸附的時(shí)間。

本發(fā)明抽氣裝置的抽氣流程為抽風(fēng)機(jī)7透過(guò)電磁閥14的控制，使抽風(fēng)機(jī)7與風(fēng)刀6連通進(jìn)行抽氣，當(dāng)檢查結(jié)束時(shí)，電磁閥14打開(kāi)，風(fēng)刀6通過(guò)行走機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)在玻璃基板的表面掃過(guò)，將玻璃基板表面的微粒吸附干凈，當(dāng)掃描完成時(shí)，電磁閥14關(guān)閉，抽氣結(jié)束，玻璃基板輸送至下一制程。

本發(fā)明的行走機(jī)構(gòu)可以采用現(xiàn)有技術(shù)中常規(guī)的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)，如傳動(dòng)帶傳動(dòng)、齒條傳動(dòng)、螺桿傳動(dòng)、齒輪傳動(dòng)等，在此不做具體限定，下面列舉了兩種較佳的行走機(jī)構(gòu)并進(jìn)行詳細(xì)的描述。

如圖2和4所示，為本發(fā)明的第一種行走機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖，行走機(jī)構(gòu)包括設(shè)于支臂5與機(jī)架1之間的導(dǎo)軌8，導(dǎo)軌8的軌道9固定于機(jī)架1與支臂5位置相對(duì)應(yīng)處，導(dǎo)軌8的滑塊10與支臂5連接固定，具體地，導(dǎo)軌8的軌道9固定在主支架18上，軌道9與風(fēng)刀6垂直，在其中一側(cè)的導(dǎo)軌8處設(shè)有與軌道9平行的螺桿11，在該側(cè)的滑塊10上設(shè)有螺孔12，滑塊10經(jīng)螺孔12套在螺桿11上并與其螺紋連接，在螺桿11的一端通過(guò)聯(lián)軸器與驅(qū)動(dòng)電機(jī)13的輸出軸連接，驅(qū)動(dòng)電機(jī)13通過(guò)驅(qū)動(dòng)螺桿11轉(zhuǎn)動(dòng)從而實(shí)現(xiàn)帶動(dòng)抽氣裝置4水平移動(dòng)。

如圖5所示，為本發(fā)明的另一種行走機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖，行走機(jī)構(gòu)為電動(dòng)滑臺(tái)17，電動(dòng)滑臺(tái)17分別設(shè)于兩個(gè)支臂5與機(jī)架1之間，電動(dòng)滑臺(tái)17與風(fēng)刀6垂直，具體地，電動(dòng)滑臺(tái)17的滑塊與支臂5的底部連接，電動(dòng)滑臺(tái)17的導(dǎo)軌與主支架18連接固定。

通過(guò)上述兩種機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了抽氣裝置4在主支架18上水平移動(dòng)，這樣能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)化。

如圖1所示，本發(fā)明的風(fēng)刀6優(yōu)選為靠近玻璃基板的表面，具體地，風(fēng)刀6的下端面與玻璃基板表面的距離為小于100mm；風(fēng)刀6的氣孔正對(duì)玻璃基板的表面，這樣能夠保證吸附的效果。

雖然已經(jīng)參照特定實(shí)施例示出并描述了本發(fā)明，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員將理解：在不脫離由權(quán)利要求及其等同物限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可在此進(jìn)行形式和細(xì)節(jié)上的各種變化。