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一種多焦點仿生復眼結構的成形方法與流程

文檔序號:12659592閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種多焦點仿生復眼結構的成形方法,其特征在于包含以下步驟:

步驟(1)基材的選擇以及光刻膠旋涂;

步驟(2)移動掩模曝光,實現(xiàn)平面連續(xù)面形多焦點復眼結構的光刻膠成形;

步驟(3)將平面多焦點復眼光刻膠結構刻蝕傳遞到基材上;

步驟(4)基于基材上多焦點復眼結構,制備與之互補的柔性多焦點復眼結構模板;

步驟(5)引入光固化材料,利用曲率相互匹配的結構裝置,將平面多焦點仿生復眼結構信息轉移變換為曲面結構,形成一體化的多焦點仿生復眼結構。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種多焦點仿生復眼結構的成形方法,其特征在于:步驟(1)中基材是石英、硅、鍺或硒化鋅。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種多焦點仿生復眼結構的成形方法,其特征在于:步驟(1)中旋涂的光刻膠的厚度由多焦點復眼結構的矢高設計要求決定。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種多焦點仿生復眼結構的成形方法,其特征在于:步驟(2)中移動掩模曝光中使用的掩模板,根據(jù)多焦點復眼結構的面形設計,分析曝光量與曝光深度之間的關系,調節(jié)掩模板的抽樣間隔、移動距離參數(shù),獲得制備連續(xù)面形多焦點復眼結構的掩模板。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種多焦點仿生復眼結構的成形方法,其特征在于:步驟(2)中多焦點復眼結構是通過移動掩模板對光刻膠進行曝光、顯影、定影成形。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種多焦點仿生復眼結構的成形方法,其特征在于:步驟(4)中柔性多焦點復眼結構模板通過壓印技術制備,采用澆注、固化及脫模的工藝生成,模板的材料為柔性的高分子聚合物材料,固化前為液態(tài)。

7.根據(jù)權利要求1所述的一種多焦點仿生復眼結構的成形方法,其特征在于:步驟(5)中所述光固化材料,在固化之前是液態(tài),可充分填充柔性多焦點復眼結構模板,通過曲率相互匹配的結構裝置,將柔性模板擠壓變形成曲面,再進行紫外光照射固化,脫模,形成曲面多焦點復眼結構。

8.根據(jù)權利要求1所述的一種多焦點仿生復眼結構的成形方法,其特征在于:步驟(5)中所述曲率相互匹配的結構裝置,其曲率可以根據(jù)需求自由設計。

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