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基于石墨烯的電控波長可調(diào)的超窄帶通光濾波器的制作方法

文檔序號:12800101閱讀:460來源:國知局
基于石墨烯的電控波長可調(diào)的超窄帶通光濾波器的制作方法與工藝

本發(fā)明屬于帶通濾波器領(lǐng)域,具體涉及一種基于石墨烯的電控波長可調(diào)的超窄帶通光濾波器。



背景技術(shù):

帶通濾波器作為一個基礎(chǔ)核心器件在光纖通信、光纖激光器等領(lǐng)域有非常廣泛的應(yīng)用。目前對光纖式帶通濾波器進行波長調(diào)諧主要是通過改變光纖應(yīng)力以及溫度等方法改變其中心波長。但是這類機械或熱調(diào)諧的方法它在調(diào)諧精度、調(diào)諧響應(yīng)時間上都會受到機械步進距離以及溫度響應(yīng)時間的限制。由此可見,目前的帶通濾波器在中心波長調(diào)諧時存在調(diào)諧精度較低、響應(yīng)時間較長的問題;另外,目前帶寬濾波器還存在帶通濾波線寬較寬的問題。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本發(fā)明提供一種基于石墨烯的電控波長可調(diào)的超窄帶通光濾波器,以解決目前帶通濾波器存在的中心波長調(diào)諧精度較低、響應(yīng)時間較長以及帶通寬度較寬的問題。

根據(jù)本發(fā)明實施例的第一方面,提供一種基于石墨烯的電控波長可調(diào)的超窄帶通光濾波器,包括傳導(dǎo)體、石墨烯和電極,所述傳導(dǎo)體包括導(dǎo)芯以及包裹在所述導(dǎo)芯外的包層,所述包層中開設(shè)有位于所述導(dǎo)芯同一側(cè)的相同的至少兩個微諧振腔,在所述微諧振腔的腔口處鋪設(shè)有所述石墨烯,所述電極向所述石墨烯施加電壓,以對所述傳導(dǎo)體上傳輸?shù)男盘柾ㄟ^所述至少兩個微諧振腔后形成的干涉峰的中心波長進行調(diào)諧,從而實現(xiàn)所述信號在調(diào)諧后干涉峰波段內(nèi)的濾波。

在一種可選的實現(xiàn)方式中,在所述包層中開設(shè)有底面與所述導(dǎo)芯平行的結(jié)構(gòu),在所述包層中開設(shè)有垂直于所述底面并位于所述導(dǎo)芯同一側(cè),與所述導(dǎo)芯相對側(cè)距離相等的至少兩個微諧振腔,所述石墨烯鋪設(shè)在所述底面上。

在另一種可選的實現(xiàn)方式中,所述導(dǎo)芯位于所述至少兩個微諧振腔底端的側(cè)上方。

在另一種可選的實現(xiàn)方式中,所述導(dǎo)芯與各個微諧振腔相對側(cè)之間的距離小于1微米且大于或者等于0。

在另一種可選的實現(xiàn)方式中,所述底面與所述導(dǎo)芯相對側(cè)之間的距離在0.5至2.5微米之間。

在另一種可選的實現(xiàn)方式中,通過增加所述微諧振腔的數(shù)量,來實現(xiàn)所述信號在多個不同干涉峰波段的濾波。

在另一種可選的實現(xiàn)方式中,通過增大所述微諧振腔的半徑r,來實現(xiàn)所述信號在多個不同干涉峰波段的濾波。

在另一種可選的實現(xiàn)方式中,用于形成所述干涉峰的相鄰兩個微諧振腔中心軸之間的距離l與所述微諧振腔的半徑r有關(guān)。

在另一種可選的實現(xiàn)方式中,所述距離l為所述半徑r的3倍。

在另一種可選的實現(xiàn)方式中,所述半徑r在10至20微米之間。

本發(fā)明的有益效果是:

1、本發(fā)明通過在傳導(dǎo)體的包層中開設(shè)位于導(dǎo)芯同一側(cè)并相同的至少兩個微諧振腔,在微諧振腔的腔口鋪設(shè)石墨烯,并采用電極向石墨烯施加電壓來改變傳導(dǎo)體上傳輸信號通過至少兩個微諧振腔后形成的干涉峰的中心波長,從而可以實現(xiàn)信號在調(diào)諧后干涉峰波段內(nèi)的濾波,由于本發(fā)明是將電場作用于石墨烯,然后利用石墨烯的特性對微諧振腔之間的干涉效應(yīng)進行調(diào)節(jié),因此本發(fā)明帶通濾波器的中心波長調(diào)諧精度較高、響應(yīng)時間較短,并且?guī)▽挾容^窄;

2、本發(fā)明通過首先在包層中開設(shè)底面與導(dǎo)芯平行的結(jié)構(gòu),然后在包層中開設(shè)垂直于底面并位于導(dǎo)芯同一側(cè),與導(dǎo)芯相對側(cè)距離相等的至少兩個微諧振腔,可以使微諧振腔與導(dǎo)芯平行,且腔體與導(dǎo)芯垂直,由此可以進一步提高干涉峰中心波長調(diào)諧準確度,另外,本發(fā)明通過首先在包層中開設(shè)底面與導(dǎo)芯平行的結(jié)構(gòu),然后將石墨烯鋪設(shè)在底面上,可以降低石墨烯鋪設(shè)的工藝要求;

3、本發(fā)明通過使導(dǎo)芯位于微諧振腔底部的側(cè)上方,可以保證導(dǎo)芯傳遞過來的信號準確地進行帶通濾波,從而提高帶通濾波的準確度,并且通過使導(dǎo)芯與各個微諧振腔相對側(cè)之間的距離小于1微米且大于或者等于0,可以進一步保證將導(dǎo)芯傳遞過來的信號準確地進行帶通濾波;

4、本發(fā)明通過將底面與導(dǎo)芯相對側(cè)之間的距離設(shè)置為0.5至2.5微米之間,可以在降低插損的同時,保證導(dǎo)芯傳遞過來的信號準確進行帶通濾波;

5、本發(fā)明通過增加微諧振腔的數(shù)量以及增加微諧振腔的半徑,可以實現(xiàn)傳導(dǎo)體上傳輸信號在多個不同干涉峰波段的濾波。

附圖說明

圖1是本發(fā)明基于石墨烯的電控波長可調(diào)的超窄帶通光濾波器的一個實施例俯視圖;

圖2是本發(fā)明包層中只開設(shè)有單個微諧振腔時,信號通過該微諧振腔后輸出的透射信號譜;

圖3是本發(fā)明包層中開設(shè)有兩個微諧振腔時,信號通過該兩個微諧振腔后輸出的透射信號譜;

圖4是本發(fā)明基于石墨烯的電控波長可調(diào)的超窄帶通光濾波器的另一個實施例側(cè)視圖。

具體實施方式

為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案,并使本發(fā)明實施例的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂,下面結(jié)合附圖對本發(fā)明實施例中技術(shù)方案作進一步詳細的說明。

在本發(fā)明的描述中,除非另有規(guī)定和限定,需要說明的是,術(shù)語“連接”應(yīng)做廣義理解,例如,可以是機械連接或電連接,也可以是兩個元件內(nèi)部的連通,可以是直接相連,也可以通過中間媒介間接相連,對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語的具體含義。

參見圖1,為本發(fā)明基于石墨烯的電控波長可調(diào)的超窄帶通光濾波器的一個實施例結(jié)構(gòu)示意圖。該基于石墨烯的電控波長可調(diào)的超窄帶通光濾波器可以包括傳導(dǎo)體、石墨烯2和電極3,所述傳導(dǎo)體包括導(dǎo)芯11以及包裹在所述導(dǎo)芯外的包層12,所述包層12中開設(shè)有位于所述導(dǎo)芯11同一側(cè)的相同的至少兩個微諧振腔4,在所述微諧振腔4的腔口處鋪設(shè)有所述石墨烯2,所述電極3向所述石墨烯2施加電壓,以對所述傳導(dǎo)體上傳輸?shù)男盘柾ㄟ^所述至少兩個微諧振腔4后形成的干涉峰的中心波長進行調(diào)諧,從而實現(xiàn)所述信號在調(diào)諧后干涉峰波段內(nèi)的濾波。

本實施例中,當包層12中開設(shè)單個微諧振腔時,傳導(dǎo)體上傳輸?shù)男盘柾ㄟ^該微諧振腔后輸出的透射信號譜如圖2所示,當包層12中開設(shè)有兩個微諧振腔時,傳導(dǎo)體上傳輸?shù)男盘柾ㄟ^該兩個微諧振腔后輸出的透射信號譜如圖3所示。比較圖2和圖3,可以看出當傳導(dǎo)體的包層12中開設(shè)有多個微諧振腔時,傳導(dǎo)體上傳輸?shù)男盘柾ㄟ^多個微諧振腔后將形成極窄的干涉峰,從而實現(xiàn)信號在干涉峰波段內(nèi)的濾波。在包層12中開設(shè)多個微諧振腔的基礎(chǔ)上,申請人研究發(fā)現(xiàn),當在微諧振腔4的腔口上鋪設(shè)石墨烯,并對石墨烯施加電壓,可以對干涉峰的中心波長進行調(diào)諧,由此可以實現(xiàn)傳導(dǎo)體上傳輸信號在不同干涉峰波段的濾波。

另外,經(jīng)申請人研究發(fā)現(xiàn),隨著所述微諧振腔4數(shù)量的增加,所述傳導(dǎo)體上傳輸?shù)男盘柾ㄟ^所述至少兩個微諧振腔4后形成的干涉峰的數(shù)量也增加,因此本發(fā)明通過設(shè)置兩個以上的微諧振腔,可以實現(xiàn)多個不同干涉峰波段的濾波。本發(fā)明中隨著微諧振腔的半徑r的增加,所述傳導(dǎo)體上傳輸?shù)男盘柾ㄟ^所述至少兩個微諧振腔時形成的干涉峰的數(shù)量也會增加,因此本發(fā)明通過增大微諧振腔的半徑r,可以實現(xiàn)多個不同干涉峰波段的濾波。經(jīng)申請人研究發(fā)現(xiàn),為了保證形成超窄干涉峰,用于形成干涉峰的相鄰微諧振腔4中心軸之間的距離l與微諧振腔4的半徑r有關(guān),所述距離l等于所述半徑的3倍。需要注意的是:上述傳導(dǎo)體可以是光傳導(dǎo)體(例如光纖、光纜等),也可以是波傳導(dǎo)體,為了便于對干涉峰中心波長進行調(diào)諧,在向石墨烯施加電壓時,可以利用外加電場對石墨烯的費米能級進行調(diào)諧。

由上述實施例可見,本發(fā)明通過在傳導(dǎo)體的包層中開設(shè)位于導(dǎo)芯同一側(cè)并相同的至少兩個微諧振腔,在微諧振腔的腔口鋪設(shè)石墨烯,并采用電極向石墨烯施加電壓來改變傳導(dǎo)體上傳輸信號通過至少兩個微諧振腔后形成的干涉峰的中心波長,從而可以實現(xiàn)信號在調(diào)諧后干涉峰波段內(nèi)的濾波,由于本發(fā)明是將電場作用于石墨烯,然后利用石墨烯的特性對微諧振腔之間的干涉效應(yīng)進行調(diào)節(jié),因此本發(fā)明帶通濾波器的中心波長調(diào)諧精度較高、響應(yīng)時間較短,并且?guī)▽挾容^窄。

參見圖4,為本發(fā)明基于石墨烯的電控波長可調(diào)的超窄帶通光濾波器的另一個實施例側(cè)視圖。圖4與圖1所示該基于石墨烯的電控波長可調(diào)的超窄帶通光濾波器的區(qū)別在于,在所述包層12中開設(shè)有底面13與所述導(dǎo)芯11平行的結(jié)構(gòu),在所述包層12中開設(shè)有垂直于所述底面13并位于所述導(dǎo)芯11同一側(cè),與所述導(dǎo)芯11相對側(cè)距離相等的至少兩個微諧振腔4,所述石墨烯2鋪設(shè)在所述底面13上。本發(fā)明通過首先在包層中開設(shè)底面與導(dǎo)芯平行的結(jié)構(gòu),然后在包層中開設(shè)垂直于底面并位于導(dǎo)芯同一側(cè),與導(dǎo)芯相對側(cè)距離相等的至少兩個微諧振腔,可以使微諧振腔與導(dǎo)芯平行,且腔體與導(dǎo)芯垂直,由此可以進一步提高干涉峰中心波長調(diào)諧準確度,另外,本發(fā)明通過首先在包層中開設(shè)底面與導(dǎo)芯平行的結(jié)構(gòu),然后將石墨烯鋪設(shè)在底面上,可以降低石墨烯鋪設(shè)的工藝要求。

圖4與圖1所示該基于石墨烯的電控波長可調(diào)的超窄帶通光濾波器的區(qū)別還在于,所述導(dǎo)芯位于所述至少兩個微諧振腔底端的側(cè)上方,所述導(dǎo)芯與各個微諧振腔相對側(cè)之間的距離w小于1微米且大于或者等于0。本發(fā)明通過使導(dǎo)芯位于微諧振腔底部的側(cè)上方,可以保證導(dǎo)芯傳遞過來的信號準確地進行帶通濾波,從而提高帶通濾波的準確度,并且通過使導(dǎo)芯與各個微諧振腔相對側(cè)之間的距離小于1微米且大于或者等于0,可以進一步保證將導(dǎo)芯傳遞過來的信號準確地進行帶通濾波。

圖4與圖1所示該基于石墨烯的電控波長可調(diào)的超窄帶通光濾波器的區(qū)別還在于,所述底面13與所述導(dǎo)芯11相對側(cè)之間的距離為0.5至2.5微米。經(jīng)申請人研究發(fā)現(xiàn),當?shù)酌?3與導(dǎo)芯11相對側(cè)之間的距離過小時將會存在插損較大的問題,距離過大又會存在干涉峰不明顯的問題,因此本發(fā)明通過將底面與導(dǎo)芯相對側(cè)之間的距離設(shè)置為0.5至2.5微米之間,可以在降低插損的同時,保證導(dǎo)芯傳遞過來的信號準確進行帶通濾波。

下面以傳導(dǎo)體為光纖為例,來說明本發(fā)明基于石墨烯的電控波長可調(diào)的超窄帶通光濾波器的制成過程:

(1)預(yù)制d型光纖:利用研磨設(shè)備將單模光纖研磨為d型光纖。研磨后平面距離為距離光纖中心5-7微米(該類光纖的半徑為4.5微米),研磨長度以0.5-1厘米為宜。研磨后的損耗以1-3db為宜。

(2)預(yù)制超窄全光纖濾波器:利用飛秒加工或者類似刻蝕工藝,在d型上以圖1加工微諧振腔,根據(jù)需要微諧振腔的直徑可以在10-20微米變化。在需要多波長濾波器(即出現(xiàn)多個干涉峰)時,可以增大微諧振腔半徑r,需要單個波長濾波器時可以減小微諧振腔半徑r。然后根據(jù)選擇諧振腔半徑r,控制兩個諧振腔的相對距離l,使之產(chǎn)生對稱的類似電磁誘導(dǎo)透明效應(yīng)。其中,l約等于3倍的r。

(3)預(yù)制石墨烯片;將商用銅基pmma(柔性聚甲基丙烯酸甲酯)-石墨烯利用化學(xué)置換的方法將銅基去除。

(4)預(yù)制石墨烯布拉格光柵;將去除銅基的pmma-石墨烯包裹到光纖平面上,用丙酮蒸汽除去pmma。

(5)將金屬電極(如金、銅等)連接到石墨烯的兩邊,并外加電壓,通過調(diào)制石墨烯的能級實現(xiàn)對中心波長的調(diào)諧。

由上述實施例可見,本發(fā)明通過在傳導(dǎo)體的包層中開設(shè)位于導(dǎo)芯同一側(cè)并相同的至少兩個微諧振腔,在微諧振腔的腔口鋪設(shè)石墨烯,并采用電極向石墨烯施加電壓來改變傳導(dǎo)體上傳輸信號通過至少兩個微諧振腔后形成的干涉峰的中心波長,從而可以實現(xiàn)信號在調(diào)諧后干涉峰波段內(nèi)的濾波,由于本發(fā)明是將電場作用于石墨烯,然后利用石墨烯的特性對微諧振腔之間的干涉效應(yīng)進行調(diào)節(jié),因此本發(fā)明帶通濾波器的中心波長調(diào)諧精度較高、響應(yīng)時間較短,并且?guī)▽挾容^窄。

本領(lǐng)域技術(shù)人員在考慮說明書及實踐這里公開的發(fā)明后,將容易想到本發(fā)明的其它實施方案。本申請旨在涵蓋本發(fā)明的任何變型、用途或者適應(yīng)性變化,這些變型、用途或者適應(yīng)性變化遵循本發(fā)明的一般性原理并包括本發(fā)明未公開的本技術(shù)領(lǐng)域中的公知常識或慣用技術(shù)手段。說明書和實施例僅被視為示例性的,本發(fā)明的真正范圍和精神由下面的權(quán)利要求指出。

應(yīng)當理解的是,本發(fā)明并不局限于上面已經(jīng)描述并在附圖中示出的精確結(jié)構(gòu),并且可以在不脫離其范圍進行各種修改和改變。本發(fā)明的范圍僅由所附的權(quán)利要求來限制。

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