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一種面狀曝光系統(tǒng)及曝光部件的制作方法

文檔序號(hào):12716306閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種面狀曝光系統(tǒng),其特征在于:包括光源組件,所述光源組件在曝光面內(nèi)形成有面狀光斑,所述光源組件存在有至少一條移動(dòng)軌跡,以及存在有至少一個(gè)曝光行程,所述面狀光斑對(duì)應(yīng)的照射區(qū)域中存在有至少一個(gè)有效曝光區(qū)域,當(dāng)所述光源組件沿所述移動(dòng)軌跡移動(dòng)一個(gè)所述曝光行程時(shí),所述有效曝光區(qū)域內(nèi)的任意一點(diǎn)或任意一區(qū)域的光照能量積分,積分后在有效曝光區(qū)域內(nèi)任意一點(diǎn)或任意一區(qū)域的光照能量積分差值小于10%。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的面狀曝光系統(tǒng),其特征在于:所述光源組件沿所述移動(dòng)軌跡移動(dòng)一個(gè)所述曝光行程時(shí),所述有效曝光區(qū)域始終處于被照射狀態(tài)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的面狀曝光系統(tǒng),其特征在于:所述光源組件包括有若干個(gè)光源單元,每一個(gè)所述光源單元在所述曝光面上都形成有一個(gè)光斑單元,相鄰的所述光斑單元依次拼接或部分重疊或間隙配合的形成所述面狀光斑。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的面狀曝光系統(tǒng),其特征在于:所述光源組件還包括有若干個(gè)用于調(diào)整光源單元發(fā)出光線的光學(xué)透鏡,每一個(gè)所述光源單元與一個(gè)光學(xué)透鏡配合。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的面狀曝光系統(tǒng),其特征在于:相鄰所述光源單元光軸之間的距離為L(zhǎng),當(dāng)各個(gè)光源單元形成的光斑單元之間為間隙配合時(shí),相鄰光斑單元之間的距離小于0.1L。

6.根據(jù)權(quán)利要求3-5任意一項(xiàng)所述的面狀曝光系統(tǒng),其特征在于:所述光源單元的規(guī)格和型號(hào)相同,所述光學(xué)透鏡的尺寸和材質(zhì)相同。

7.根據(jù)權(quán)利要求3-5任意一項(xiàng)所述的面狀曝光系統(tǒng),其特征在于:所有光源單元為均布設(shè)置。

8.根據(jù)權(quán)利要求3-5任意一項(xiàng)所述的面狀曝光系統(tǒng),其特征在于:所述光斑單元的形狀為長(zhǎng)方形、正方形或者正六邊形。

9.根據(jù)權(quán)利要求3-5任意一項(xiàng)所述的面狀曝光系統(tǒng),其特征在于:所述光斑單元之間的配合部位相互錯(cuò)開布置。

10.根據(jù)權(quán)利要求3-5任意一項(xiàng)所述的面狀曝光系統(tǒng),其特征在于:所述光源單元為波長(zhǎng)從200納米到420納米的紫外LED光源。

11.一種曝光部件,其特征在于:包括驅(qū)動(dòng)部件和權(quán)利要求1-10任意一項(xiàng)所述的面狀曝光系統(tǒng),所述驅(qū)動(dòng)部件用于驅(qū)動(dòng)所述面狀曝光系統(tǒng)沿所述移動(dòng)軌跡移動(dòng)。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的曝光部件,其特征在于:當(dāng)所述光斑單元的形狀為正方形或者長(zhǎng)方形時(shí),所述移動(dòng)軌跡與所述光斑單元的對(duì)角線方向相平行,所述曝光行程等于或者大于一個(gè)光斑單元的對(duì)角線長(zhǎng)度。

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