本發(fā)明涉及光學(xué)應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種激光合束光學(xué)系統(tǒng)。
背景技術(shù):
半導(dǎo)體激光器具有電光轉(zhuǎn)換效率高、體積小、質(zhì)量輕以及可靠性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),備受業(yè)界關(guān)注,主要應(yīng)用于工業(yè)、醫(yī)療、國(guó)防等領(lǐng)域。
但目前,激光加工領(lǐng)域中使用到的大功率激光器大部分仍為co2激光器和光纖激光器,主要是由于半導(dǎo)體激光器的輸出功率水平,達(dá)不到工業(yè)要求。但co2激光器和光纖激光器的電光轉(zhuǎn)換效率較低,導(dǎo)致其耗電量大,使用成本偏高,因此如何提高半導(dǎo)體激光器的輸出功率以達(dá)到工業(yè)應(yīng)用要求,已迫在眉睫。
近年來(lái),為提高半導(dǎo)體激光器的輸出功率水平,空間合束、偏振合束及波長(zhǎng)合束等相關(guān)技術(shù)逐漸應(yīng)用到半導(dǎo)體激光器中,但現(xiàn)有技術(shù)中,對(duì)于空間合束和偏振合束,會(huì)限制合束光源的數(shù)量。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
鑒于此,本發(fā)明提供一種激光合束光學(xué)系統(tǒng),克服了現(xiàn)有技術(shù)對(duì)合束單元數(shù)量限制的問(wèn)題,可有效提高激光輸出功率。
為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:
一種激光合束光學(xué)系統(tǒng),包括激光合束組件,所述激光合束組件包括n個(gè)激光器和合束鏡,其中n為大于等于2的正整數(shù);
n個(gè)所述激光器并行排列,分別用于產(chǎn)生不同波長(zhǎng)光;
所述合束鏡包括相互平行的第一鏡面和第二鏡面,各所述激光器產(chǎn)生的光平行傳播,并斜入射至所述合束鏡的第一鏡面,在所述合束鏡的所述第一鏡面和所述第二鏡面上由各激光器產(chǎn)生光的照射位置處分別設(shè)置有光學(xué)膜;
第i激光器產(chǎn)生的光從所述第一鏡面透射入所述合束鏡,并經(jīng)所述合束鏡各鏡面依序多次反射后,從第n激光器產(chǎn)生的光在所述第二鏡面上的照射位置處透射出,1≤i≤n,i為正整數(shù)。
可選地,在所述合束鏡的所述第一鏡面上第i激光器產(chǎn)生光的照射位置處設(shè)置用于增透第i激光器產(chǎn)生光的增透膜以及用于反射第1激光器至第i-1激光器所產(chǎn)生光的反射膜,1≤i≤n;
在所述合束鏡的第二鏡面上第j激光器產(chǎn)生光的照射位置處設(shè)置用于反射第1激光器至第j激光器所產(chǎn)生光的反射膜,1≤j≤n-1;
在所述合束鏡的第二鏡面上第n激光器產(chǎn)生光的照射位置處設(shè)置用于增透所有光的增透膜。
可選地,所述增透膜的光透過(guò)率大于等于99%,所述反射膜的反射率大于等于99%。
可選地,每?jī)蓚€(gè)激光器產(chǎn)生光束的間距l(xiāng)與所述合束鏡的折射率n、厚度d、所述激光器產(chǎn)生光照射到所述合束鏡的入射角θ具有如下關(guān)系:
可選地,在每一所述激光器與所述合束鏡之間光路上設(shè)置反射元件,所述激光器產(chǎn)生光入射至所述反射元件,所述反射元件將光反射至所述合束鏡的所述第一鏡面。
可選地,所述反射元件的反射率大于等于99%。
可選地,還包括匯聚鏡和光纖,所述匯聚鏡用于將由所述合束鏡輸出的合束光匯聚,耦合入所述光纖。
可選地,所述匯聚鏡包括球面透鏡或者非球面透鏡,或者所述匯聚鏡包括兩個(gè)可分離的柱面鏡。
可選地,所述光纖為多模光纖,所述光纖的纖芯直徑的范圍為50μm~1000μm,包括端點(diǎn)值,數(shù)值孔徑的范圍為0.1~0.3,包括端點(diǎn)值。
可選地,至少包括第一激光合束組件和第二激光合束組件,還包括偏振合束器;
由所述第一激光合束組件輸出的合束光、由所述第二激光合束組件輸出的合束光分別入射至所述偏振合束器,所述偏振合束器將兩路光匯合為一束光出射。
由上述技術(shù)方案可知,本發(fā)明所提供的激光合束光學(xué)系統(tǒng),包括n個(gè)激光器和合束鏡,其中,n個(gè)激光器并行排列,用于產(chǎn)生不同波長(zhǎng)光;合束鏡包括相互平行的第一鏡面和第二鏡面。各激光器產(chǎn)生的光平行傳播,斜入射至合束鏡的第一鏡面,在合束鏡的第一鏡面和第二鏡面上各激光器產(chǎn)生光的照射位置處分別設(shè)置有光學(xué)膜,使得第i激光器產(chǎn)生的光從第一鏡面透射入合束鏡,經(jīng)過(guò)合束鏡各鏡面依序多次反射后,由第n激光器產(chǎn)生的光在第二鏡面的照射位置處透射出,各激光器產(chǎn)生的不同波長(zhǎng)光由合束鏡該位置處透射出,形成合束光出射。
本發(fā)明激光合束光學(xué)系統(tǒng)采用波長(zhǎng)合束方法,采用一個(gè)波長(zhǎng)合束元件,實(shí)現(xiàn)多波長(zhǎng)光合束。本激光合束光學(xué)系統(tǒng)對(duì)合束單元的數(shù)量不限制,克服了現(xiàn)有技術(shù)存在的缺點(diǎn),能夠有效提高激光輸出功率。
附圖說(shuō)明
為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見(jiàn)地,下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種激光合束光學(xué)系統(tǒng)的示意圖;
圖2為本發(fā)明又一實(shí)施例提供的一種激光合束光學(xué)系統(tǒng)的示意圖;
圖3為本發(fā)明又一實(shí)施例提供的一種激光合束光學(xué)系統(tǒng)的示意圖。
具體實(shí)施方式
為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本發(fā)明中的技術(shù)方案,下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都應(yīng)當(dāng)屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
本發(fā)明實(shí)施例提供一種激光合束光學(xué)系統(tǒng),包括激光合束組件,請(qǐng)參考圖1,所述激光合束組件包括n個(gè)激光器10和合束鏡11,其中n為大于等于2的正整數(shù);
n個(gè)所述激光器10并行排列,分別用于產(chǎn)生不同波長(zhǎng)光;
所述合束鏡11包括相互平行的第一鏡面和第二鏡面,各所述激光器10產(chǎn)生的光平行傳播,并斜入射至所述合束鏡11的第一鏡面,在所述合束鏡11的所述第一鏡面和所述第二鏡面上由各激光器產(chǎn)生光的照射位置處分別設(shè)置有光學(xué)膜;
第i激光器10產(chǎn)生的光從所述第一鏡面透射入所述合束鏡11,并經(jīng)所述合束鏡11各鏡面依序多次反射后,從第n激光器10產(chǎn)生的光在所述第二鏡面上的照射位置處透射出,1≤i≤n,i為正整數(shù)。
本光學(xué)系統(tǒng)中,n個(gè)激光器10并行排列,各激光器10產(chǎn)生不同波長(zhǎng)光。各激光器產(chǎn)生的光平行傳播,以相同入射角斜入射至合束鏡11的第一鏡面。
所述合束鏡11包括相互平行的第一鏡面和第二鏡面,在第一鏡面和第二鏡面上各激光器產(chǎn)生光的照射位置處分別設(shè)置有光學(xué)膜,各位置處的光學(xué)膜對(duì)不同波長(zhǎng)光具有特定的反射作用或者增透作用,以引導(dǎo)各波長(zhǎng)光在合束鏡11內(nèi)傳播。
各激光器10產(chǎn)生的各波長(zhǎng)光在合束鏡11內(nèi)的傳播方式具體為:第i激光器10產(chǎn)生的光從第一鏡面透射入合束鏡11,并經(jīng)合束鏡11各鏡面依序多次反射后,從第n激光器10產(chǎn)生的光在第二鏡面上的照射位置處透射出。各激光器10產(chǎn)生的不同波長(zhǎng)光由合束鏡上第n激光器產(chǎn)生光在第二鏡面上的照射位置處透射出,形成合束光出射。
可以看出,本實(shí)施例激光合束光學(xué)系統(tǒng),采用波長(zhǎng)合束方法,采用一個(gè)波長(zhǎng)合束元件,實(shí)現(xiàn)多波長(zhǎng)光合束。本激光合束光學(xué)系統(tǒng)對(duì)合束單元的數(shù)量不限制,克服了現(xiàn)有技術(shù)存在的缺點(diǎn),能夠有效提高激光輸出功率。
下面結(jié)合具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)施例激光合束光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
本實(shí)施例激光合束光學(xué)系統(tǒng)中,包括激光合束組件,所述激光合束組件包括n個(gè)激光器10和合束鏡11,其中n為大于等于2的正整數(shù)。
n個(gè)激光器10并行排列,分別用于產(chǎn)生不同波長(zhǎng)光。所述激光器10可以是單管半導(dǎo)體激光器、線陣半導(dǎo)體激光器或者疊陣半導(dǎo)體激光器,或者也可以是半導(dǎo)體激光器模塊。
所述合束鏡11包括相互平行的第一鏡面和第二鏡面,在第一鏡面和第二鏡面上對(duì)應(yīng)各激光器產(chǎn)生光的照射位置處分別設(shè)置光學(xué)膜。
在一種具體實(shí)施方式中,在合束鏡11的第一鏡面上第i激光器產(chǎn)生光的照射位置處設(shè)置用于增透第i激光器產(chǎn)生光的增透膜以及用于反射第1激光器至第i-1激光器所產(chǎn)生光的反射膜,1≤i≤n;
在所述合束鏡11的第二鏡面上第j激光器產(chǎn)生光的照射位置處設(shè)置用于反射第1激光器至第j激光器所產(chǎn)生光的反射膜,1≤j≤n-1;
在所述合束鏡11的第二鏡面上第n激光器產(chǎn)生光的照射位置處設(shè)置用于增透所有光的增透膜。
其中,所述合束鏡11的折射率n、厚度d、毎兩個(gè)激光器產(chǎn)生光束的間距l(xiāng),光束入射到合束鏡第一鏡面的入射角θ滿足以下關(guān)系式:
合束鏡11根據(jù)上述方式在第一鏡面和第二鏡面上進(jìn)行分段鍍膜,使第i激光器產(chǎn)生的光從第一鏡面透射入合束鏡,并經(jīng)合束鏡各鏡面依序多次反射后,從第n激光器產(chǎn)生的光在第二鏡面上的照射位置處透射出,各激光器產(chǎn)生的不同波長(zhǎng)光最終都從第n激光器10產(chǎn)生光在第二鏡面上的照射位置處透射出,使各不同波長(zhǎng)光匯合為一束,形成合束光出射。
優(yōu)選的,在合束鏡11上設(shè)置的增透膜的光透過(guò)率大于等于99%,設(shè)置的反射膜的反射率大于等于99%,這樣減少各波長(zhǎng)光在傳播過(guò)程中的能量損失。各光學(xué)膜可通過(guò)鍍制的方式在鏡面上形成。
在本光學(xué)系統(tǒng)中,請(qǐng)參考圖2,還可在每一所述激光器10與所述合束鏡11之間光路上設(shè)置反射元件12,所述激光器10產(chǎn)生光入射至所述反射元件12,所述反射元件12將光反射至所述合束鏡11的所述第一鏡面。由于激光器位置受空間約束的影響,在實(shí)際應(yīng)用中有時(shí)需要在光路中對(duì)光傳播方向進(jìn)行調(diào)整,因此通過(guò)反射元件來(lái)調(diào)整激光器產(chǎn)生光的傳播方向。
優(yōu)選的,所述反射元件12的反射率大于等于99%,所述反射元件鍍制有反射膜,反射膜的反射率大于等于99%,以降低光在傳播過(guò)程中的能量損失,保證光通量。
進(jìn)一步的,請(qǐng)參考圖2,本光學(xué)系統(tǒng)還包括匯聚鏡13和光纖14,所述匯聚鏡13用于將由所述合束鏡輸出的合束光匯聚,耦合入所述光纖14。匯合后的合束光匯聚入光纖,由光纖輸出高功率激光。
所述匯聚鏡13可以是球面透鏡或者非球面透鏡,或者匯聚鏡可以是由兩個(gè)可分離的柱面鏡構(gòu)成,或者也可以是其它類型的對(duì)光具有匯聚作用的光學(xué)鏡。
可選的,所述光纖14可采用多模光纖,示例性的,所述光纖的纖芯直徑的范圍為50μm~1000μm,包括端點(diǎn)值,數(shù)值孔徑的范圍為0.1~0.3,包括端點(diǎn)值。
本實(shí)施例激光合束光學(xué)系統(tǒng)采用波長(zhǎng)合束方法,采用一個(gè)分段鍍膜的波長(zhǎng)合束元件,實(shí)現(xiàn)多波長(zhǎng)光合束。本激光合束光學(xué)系統(tǒng)解決了空間合束和偏振合束技術(shù)中對(duì)合束單元數(shù)量的限制問(wèn)題,采用激光器并行排列方式節(jié)省更多空間,能夠大幅度提高激光輸出功率。另外,使散熱系統(tǒng)安排更集中方便。
在本發(fā)明激光合束光學(xué)系統(tǒng)的另一實(shí)施例中,所述激光合束光學(xué)系統(tǒng)至少包括第一激光合束組件和第二激光合束組件,還包括偏振合束器;由所述第一激光合束組件輸出的合束光、由所述第二激光合束組件輸出的合束光分別入射至所述偏振合束器,所述偏振合束器將兩路光匯合為一束光出射。
可參考圖3,為本實(shí)施例提供的一種激光合束光學(xué)系統(tǒng)的示意圖,在圖3所示光學(xué)系統(tǒng)中,包括第一激光合束組件20和第二激光合束組件21,由第一激光合束組件20和第二激光合束組件21分別輸出一路合束光,分別輸入偏振合束器22,偏振合束器22將兩路合束光匯合為一束光出射。
本實(shí)施例激光合束光學(xué)系統(tǒng)中,激光合束組件采用波長(zhǎng)合束方法,實(shí)現(xiàn)將不同波長(zhǎng)光匯合為一束光,并結(jié)合偏振合束方法,采用偏振合束器對(duì)光進(jìn)行合束,更有益于提高輸出功率及光束質(zhì)量。
具體本實(shí)施例中,由第一激光合束組件20和第二激光合束組件21輸出相同偏振態(tài)光,偏振合束器22將由第一激光合束組件20輸入的合束光透射出,將由第二激光合束組件21輸入的合束光反射出,兩路光匯合為一束光出射。
進(jìn)一步的,本實(shí)施例激光合束光學(xué)系統(tǒng)還包括匯聚鏡23和光纖24,所述匯聚鏡23用于將由所述偏振合束器輸出的合束光匯聚,耦合入所述光纖24,由光纖24輸出高功率激光。
本實(shí)施例激光合束光學(xué)系統(tǒng)中,通過(guò)光路設(shè)計(jì),可以靈活設(shè)置更多數(shù)量的激光合束組件和偏振合束元件,實(shí)現(xiàn)激光合束,提高激光輸出功率。
以上對(duì)本發(fā)明所提供的一種激光合束光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行了詳細(xì)介紹。本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本發(fā)明的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述,以上實(shí)施例的說(shuō)明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法及其核心思想。應(yīng)當(dāng)指出,對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō),在不脫離本發(fā)明原理的前提下,還可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行若干改進(jìn)和修飾,這些改進(jìn)和修飾也落入本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。