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一種基于等離激元納米結(jié)構(gòu)的偏振分束器的制作方法

文檔序號:11619635閱讀:544來源:國知局
一種基于等離激元納米結(jié)構(gòu)的偏振分束器的制造方法與工藝

本發(fā)明涉及一種偏振分束器,尤其是涉及一種基于等離激元納米結(jié)構(gòu)的偏振分束器。



背景技術(shù):

偏振分束器是偏振光學(xué)應(yīng)用相關(guān)系統(tǒng)中的核心器件,在光纖通信、激光調(diào)制、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)于處理、偏振檢測與分析等方面都有重要應(yīng)用。偏振分束器,即抑制一定偏振方向光的入射,增強(qiáng)另外偏振方向光的入射。傳統(tǒng)的偏振分束器由雙折射晶體或具有二向色性的物質(zhì)構(gòu)成。隨著納米領(lǐng)域的工程技術(shù)和學(xué)術(shù)研究的發(fā)展,對納米量級的位移傳感器的需求越來越大。目前,納米結(jié)構(gòu)的偏振分束器主要有:

一種基于亞波長硅光柵的偏振分束器,應(yīng)用亞波長光柵的泄露模共振效應(yīng)以及布儒斯特效應(yīng),偏振分束器在45度入射角附近對te偏振光具有很高的反射率同時(shí)對tm偏振光具有很高的透射率,同時(shí)具有一定的角度容差。

一種基于光子晶體自準(zhǔn)值效應(yīng)(沈曉鵬,韓奎,李海鵬,沈義峰,王子煜.光子晶體自準(zhǔn)直光束偏振分束器[j].物理學(xué)報(bào),2008,(03):1737-1741)的偏振分束器,自準(zhǔn)直效應(yīng)能有效地限制光子晶體中傳輸波的空間展寬,使其無衍射的準(zhǔn)直傳播.基于自準(zhǔn)直效應(yīng)容易實(shí)現(xiàn)光波的低損耗傳輸、大角度折彎和任意分束比的光分束。

然而這些偏振分束器大多對入射角度要求很高,結(jié)構(gòu)復(fù)雜,對制造技術(shù)要求高,難以對偏振光分束。而且結(jié)構(gòu)尺寸比工作波長大。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的在于克服上述現(xiàn)有偏振分束器存在的不足之處,提供能在大的入射角范圍內(nèi)工作的一種基于等離激元納米結(jié)構(gòu)的偏振分束器。

本發(fā)明由多層光學(xué)材料組成,依次為周期性陣列、中間介電層、薄膜;所述薄膜為金屬銀。

所述周期性陣列可采用金屬銀制備,周期性陣列的厚度可為30nm,寬度可為165nm,周期大小為200nm。

所述中間介電層可采用介電材料制備的平整均勻薄膜,中間介電層的厚度可為30nm。

所述薄膜的厚度可為25nm。

本發(fā)明的工作原理是:單個(gè)銀帶和單個(gè)連續(xù)銀膜僅對電磁輻射具有電響應(yīng),兩者阻抗相差很大。但是當(dāng)兩者組合在一起時(shí),當(dāng)入射波的電場沿y方向偏振時(shí),銀帶和銀膜之間的近場耦合產(chǎn)生相反方向的電流,然后形成電流回路并導(dǎo)致在特定頻率的磁共振。當(dāng)磁共振出現(xiàn)在特定的頻率時(shí),可以滿足y偏振波在真空中的阻抗匹配條件。在~200太赫茲的頻率下,阻抗為z=1.13~i0.14,其實(shí)部接近于1,虛部接近0。結(jié)果表明,設(shè)計(jì)的系統(tǒng)的阻抗幾乎與真空的阻抗匹配,導(dǎo)致反射可忽略。同時(shí),折射率的虛部相當(dāng)小(n=2.31+i0.10)在系統(tǒng)中引起很小的損耗并且導(dǎo)致高的透射系數(shù)。與y方向上的阻抗與真空匹配相反,該系統(tǒng)在x方向上的有效阻抗在為z=0.0014~i0.112這將引起強(qiáng)反射和很小的透射。

所述基于等離激元納米結(jié)構(gòu)的偏振分束器的工作方法包括如下步驟:

1)入射光:頻率在200thz左右的線偏振光,正入射或斜入射到周期性銀帶上。

2)透射光:透過偏振分束器的光即是所需的光。

本發(fā)明的各向異性透射在較高的入射角下也能產(chǎn)生,并且可以通過改變幾何尺寸進(jìn)行調(diào)整。此外,本發(fā)明有望用多層超材料中的先進(jìn)制造技術(shù)實(shí)現(xiàn),并可以用于光學(xué)組件和偏振選擇裝置。

附圖說明

圖1是本發(fā)明實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本發(fā)明實(shí)施例的透射-頻率曲線。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實(shí)施方式進(jìn)行說明,附圖僅用于解釋本發(fā)明,并不構(gòu)成對本發(fā)明保護(hù)范圍的限定。

如圖1所示,本發(fā)明實(shí)施例包括周期性陣列1、中間介電層2、薄膜3,光從周期性陣列1入射到偏振分束器,產(chǎn)生各向異性透射。

以下給出具體實(shí)施例。

設(shè)取周期性陣列的材料為銀,厚度為30nm,寬度為165nm,周期大小為200nm;中間介電層為氧化銀,厚度為30nm;薄膜的材料為銀,厚度為25nm;銀的等離激元頻率為碰撞頻率為2.73×1013hz。

當(dāng)本發(fā)明工作時(shí),光源處的光正入射或以一定角度斜入射到周期性陣列銀帶上,經(jīng)過偏振分束器作用后,不同偏振方向的光的透射系數(shù)不同,透射光既是所需的光。

圖2表面所述偏振分束器的工作頻率在200thz左右,在圖1的實(shí)施方式下,x方向偏振光完全不能透過,90%的y偏振光可以透過,本發(fā)明的基于等離激元納米結(jié)構(gòu)的偏振分束器在200thz附近都能取得不錯(cuò)的工作效果。



技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
一種基于等離激元納米結(jié)構(gòu)的偏振分束器,涉及一種偏振分束器。由多層光學(xué)材料組成,依次為周期性陣列、中間介電層、薄膜;所述薄膜為金屬銀。各向異性透射在較高的入射角下也能產(chǎn)生,并且可以通過改變幾何尺寸進(jìn)行調(diào)整。此外,本發(fā)明有望用多層超材料中的先進(jìn)制造技術(shù)實(shí)現(xiàn),并可以用于光學(xué)組件和偏振選擇裝置。結(jié)構(gòu)簡單,實(shí)用范圍廣,對角度不敏感,具有廣泛的應(yīng)用價(jià)值。

技術(shù)研發(fā)人員:宋爭勇;王武;柳清伙
受保護(hù)的技術(shù)使用者:廈門大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日:2017.06.08
技術(shù)公布日:2017.08.04
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