技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種環(huán)形反射式波導(dǎo)光柵濾波器及其制作方法，解決現(xiàn)有光子集成技術(shù)無法單片集成環(huán)形器的問題。所述反射式波導(dǎo)光柵濾波器包含輸入波導(dǎo)，輸出波導(dǎo)，波導(dǎo)光柵，輸入波導(dǎo)一端包含輸入光口，另一端與波導(dǎo)光柵相連，輸出波導(dǎo)一端與輸入波導(dǎo)通過耦合段形成非對(duì)稱定向耦合器，輸出波導(dǎo)另一端包含輸出光口，波導(dǎo)光柵用于對(duì)所述輸入光實(shí)現(xiàn)模式變換，產(chǎn)生反射光，非對(duì)稱定向耦合器用于實(shí)現(xiàn)反射光模式的進(jìn)一步變換，產(chǎn)生輸出光。所述反射式波導(dǎo)光柵濾波器制作方法，包括采用電子束曝光方法制作絕緣體上硅波導(dǎo)材料體系濾波器；本發(fā)明還包括一種取樣光柵制作方法。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了環(huán)形器功能，從而實(shí)現(xiàn)了波導(dǎo)光柵在光子集成芯片中的有效使用。

技術(shù)研發(fā)人員：施躍春;肖如磊;鄭吉林;陳向飛;陸駿
受保護(hù)的技術(shù)使用者：南京大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.12
技術(shù)公布日：2017.09.15