本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種顯微鏡載物臺(tái)。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其是半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域，生產(chǎn)過程中，經(jīng)常需要將產(chǎn)品置于顯微鏡下檢測和分析，由于產(chǎn)品本身對(duì)靜電很敏感，極易受到靜電放電的損傷，且樣品表面往往比較脆弱，容易發(fā)生劃傷?，F(xiàn)有的顯微鏡載具往往不具有防靜電和防劃傷的能力，且受顯微鏡載物臺(tái)尺寸的影響，無法普適于不同大小和形狀的樣品，同時(shí)顯微鏡載物臺(tái)往往與顯微鏡為一體式結(jié)構(gòu)，無法分離，為放取樣品帶來不便，使用不夠靈活便捷。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)上述問題，本發(fā)明提供了一種顯微鏡載物臺(tái)，其安全可靠、可防止載物臺(tái)靜電荷聚集避免放在載物臺(tái)上的產(chǎn)品受到靜電放電的損傷，還可以避免產(chǎn)品表面劃傷，取放產(chǎn)品方便，且普遍適用于于不同大小和形狀的產(chǎn)品。

其技術(shù)方案是這樣的：一種顯微鏡載物臺(tái)，包括載物臺(tái)，其特征在于：所述載物臺(tái)為金屬載物臺(tái)，所述載物臺(tái)表面涂有防靜電涂層，所述載物臺(tái)的中央設(shè)有貫穿所述載物臺(tái)的通槽，所述通槽上設(shè)有透明面板，所述載物臺(tái)的側(cè)面設(shè)有接地引腳，所述載物臺(tái)上設(shè)有載物架，所述載物架包括垂直安裝在所述載物臺(tái)上的豎軸，所述豎軸的上端連接橫軸的一端，所述橫軸能夠以所述豎軸為圓心進(jìn)行360度轉(zhuǎn)動(dòng)，所述橫軸的另一端上設(shè)置有導(dǎo)電吸盤。

進(jìn)一步的，所述透明面板為玻璃面板。

進(jìn)一步的，在所述透明面板的四角的外側(cè)分別設(shè)有所述載物架。

進(jìn)一步的，所述橫軸為可伸縮橫軸。

進(jìn)一步的，所述載物臺(tái)的下表面的四角分別設(shè)有支撐腳。

進(jìn)一步的，所述支撐腳為可伸縮支撐腳。。

進(jìn)一步的，所述支撐腳為金屬支撐腳。

進(jìn)一步的，所述豎軸的下端設(shè)有螺紋，所述載物臺(tái)上對(duì)應(yīng)設(shè)有螺孔，所述豎軸通過螺紋配合安裝在所述載物臺(tái)上。

進(jìn)一步的，所述豎軸和所述橫軸分別為金屬豎軸和金屬橫軸。

本發(fā)明的顯微鏡載物臺(tái)采用金屬載物臺(tái)，載物臺(tái)的中心位置設(shè)有一塊透明面板，使光線可以從載物臺(tái)的下方透射到載物臺(tái)的上方，可用顯微鏡操作使用，載物臺(tái)下端四角設(shè)置有金屬支撐腳，與載物臺(tái)可形成良好的接觸，以實(shí)現(xiàn)靜電泄放通道，物臺(tái)的側(cè)面設(shè)有接地引腳，實(shí)現(xiàn)有效的接地，可防止載物臺(tái)靜電荷聚集避免放在載物臺(tái)上的產(chǎn)品受到靜電放電的損傷；載物臺(tái)上通過設(shè)置可調(diào)節(jié)的載物架，載物架的豎軸的安裝高度可以調(diào)節(jié)，橫軸的長度可以調(diào)節(jié)且橫軸可以進(jìn)行360度旋轉(zhuǎn)，使得載物架的垂直方向的高度和水平方向的長度都可以調(diào)節(jié)，導(dǎo)電吸盤用于固定產(chǎn)品，通過多個(gè)可調(diào)節(jié)載物架可實(shí)現(xiàn)固定各種尺寸和形狀的產(chǎn)品，取放產(chǎn)品方便，而不會(huì)導(dǎo)致樣品的大面積劃傷。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的顯微鏡載物的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明的載物架的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

見圖1、圖2，本發(fā)明的一種顯微鏡載物臺(tái)，包括載物臺(tái)1，在本實(shí)施例中載物臺(tái)1呈矩形，載物臺(tái)1為金屬載物臺(tái)，載物臺(tái)1表面涂有防靜電涂層，載物臺(tái)1的中央設(shè)有貫穿載物臺(tái)的通槽，通槽上設(shè)有透明面板2，在本實(shí)施例中透明面板2為玻璃面板，載物臺(tái)1的側(cè)面設(shè)有接地引腳3，載物臺(tái)上的透明面板的四角的外側(cè)分別設(shè)有載物架4，載物架包括垂直安裝在載物臺(tái)1上的豎軸5，豎軸5的下端設(shè)有螺紋9，載物臺(tái)1上對(duì)應(yīng)設(shè)有螺孔，豎軸5通過螺紋配合安裝在載物臺(tái)1上，豎軸5的上端連接橫軸6的一端，橫軸6能夠以豎軸5為圓心進(jìn)行360度轉(zhuǎn)動(dòng)，橫軸6的另一端上設(shè)置有導(dǎo)電吸盤7，橫軸6的為可伸縮橫軸，橫軸6的長度可以調(diào)節(jié)，載物臺(tái)1的下表面的四角分別設(shè)有金屬支撐腳8，金屬支撐腳8為可伸縮支撐腳，金屬支撐腳8的高度可以調(diào)節(jié)。

本發(fā)明的顯微鏡載物臺(tái)采用金屬載物臺(tái)，載物臺(tái)的中心位置設(shè)有一塊透明面板，使光線可以從載物臺(tái)的下方透射到載物臺(tái)的上方，可用顯微鏡操作使用，載物臺(tái)下端四角設(shè)置有金屬支撐腳，與載物臺(tái)可形成良好的接觸，以實(shí)現(xiàn)靜電泄放通道，物臺(tái)的側(cè)面設(shè)有接地引腳，實(shí)現(xiàn)有效的接地，可防止載物臺(tái)靜電荷聚集避免放在載物臺(tái)上的產(chǎn)品受到靜電放電的損傷；載物臺(tái)上通過設(shè)置可調(diào)節(jié)的載物架，載物架的豎軸的安裝高度可以調(diào)節(jié)，橫軸的長度可以調(diào)節(jié)且橫軸可以進(jìn)行360度旋轉(zhuǎn)，使得載物架的垂直方向的高度和水平方向的長度都可以調(diào)節(jié)，導(dǎo)電吸盤用于固定產(chǎn)品，通過多個(gè)可調(diào)節(jié)載物架可實(shí)現(xiàn)固定各種尺寸和形狀的產(chǎn)品，取放產(chǎn)品方便，而不會(huì)導(dǎo)致樣品的大面積劃傷；支撐腳的高度可以調(diào)，可根據(jù)需求分別調(diào)節(jié)高度。

以上，僅為本發(fā)明較佳的具體實(shí)施方式，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉該技術(shù)的人在本發(fā)明所揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種顯微鏡載物臺(tái)，其安全可靠、可防止載物臺(tái)靜電荷聚集避免放在載物臺(tái)上的產(chǎn)品受到靜電放電的損傷，還可以避免樣品表面劃傷，取放產(chǎn)品方便，且普遍適用于于不同大小和形狀的產(chǎn)品，包括載物臺(tái)，所述載物臺(tái)為金屬載物臺(tái)，所述載物臺(tái)表面涂有防靜電涂層，所述載物臺(tái)的中央設(shè)有貫穿所述載物臺(tái)的通槽，所述通槽上設(shè)有透明面板，所述載物臺(tái)的側(cè)面設(shè)有接地引腳，所述載物臺(tái)上設(shè)有載物架，所述載物架包括垂直安裝在所述載物臺(tái)上的豎軸，所述豎軸的上端連接橫軸的一端，所述橫軸能夠以所述豎軸為圓心進(jìn)行360度轉(zhuǎn)動(dòng)，所述橫軸的另一端上設(shè)置有導(dǎo)電吸盤。

技術(shù)研發(fā)人員：畢秀文;胡光;楊軍;吳晉希;劉佳
受保護(hù)的技術(shù)使用者：全訊射頻科技(無錫)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.07.05
技術(shù)公布日：2017.10.20