本實用新型的實施例涉及一種移載臺以及貼附裝置。
背景技術(shù)：
：：隨著顯示技術(shù)的不斷發(fā)展，液晶顯示裝置(LiquidCrystalDisplay，LCD)具有輕薄、低功耗、無輻射以及顯示效果好等眾多優(yōu)點，得到了廣泛的應(yīng)用。通常，液晶顯示面板包括相對設(shè)置的兩塊基板、設(shè)置在兩塊基板之間的液晶層、以及分別設(shè)置在兩塊基板上的偏光片。液晶顯示面板可通過液晶層改變光的偏轉(zhuǎn)特性，并配合設(shè)置在兩塊基板上的偏光片以實現(xiàn)亮態(tài)和暗態(tài)。因此，在制作液晶顯示面板時，不僅需要將液晶顯示面板的各基板(例如，玻璃基板)進行搬運以經(jīng)過多道工序，還需要對各基板貼附偏光片以實現(xiàn)顯示功能。技術(shù)實現(xiàn)要素：本實用新型至少一個實施例提供一種移載臺、貼附裝置及其貼附方法，可解決在基板上進行膜層貼附的過程中產(chǎn)生氣泡的問題，并且不用增加額外的脫泡設(shè)備，從而可降低成本。本實用新型至少一個實施例提供一種移載臺，其包括：載臺，被配置為承載物體；溫度傳感器，設(shè)置在所述載臺上；以及加熱裝置，設(shè)置在所述載臺上。例如，本實用新型一實施例提供的移載臺還包括：溫度控制器，與所述溫度傳感器和所述加熱裝置分別通信相連并被配置為根據(jù)所述溫度傳感器感測的溫度來控制所述加熱裝置的功率。例如，在本實用新型一實施例提供的移載臺中，所述溫度控制器被配置為控制所述加熱裝置以使所述載臺的溫度范圍為50-60度。例如，在本實用新型一實施例提供的移載臺中，所述加熱裝置包括多個子加熱裝置，所述多個子加熱裝置被配置為獨立進行加熱。例如，在本實用新型一實施例提供的移載臺中，所述多個子加熱裝置在所述載臺上分區(qū)設(shè)置。例如，在本實用新型一實施例提供的移載臺中，所述多個子加熱裝置在所述載臺上嵌套設(shè)置。例如，在本實用新型一實施例提供的移載臺中，所述載臺的形狀包括矩形，各所述多個子加熱裝置的形狀為L形并沿所述矩形的對角線方向嵌套設(shè)置。例如，在本實用新型一實施例提供的移載臺中，所述載臺包括多個L型溝槽，所述多個子加熱裝置設(shè)置在所述多個L型溝槽內(nèi)。例如，在本實用新型一實施例提供的移載臺中，所述溫度傳感器包括多個子溫度傳感器，所述多個子溫度傳感器被配置為獨立進行溫度檢測。例如，在本實用新型一實施例提供的移載臺中，所述多個子溫度傳感器與所述多個子加熱裝置一一對應(yīng)設(shè)置。例如，在本實用新型一實施例提供的移載臺中，所述加熱裝置包括電熱絲以及設(shè)置在所述電熱絲外圍的導(dǎo)熱絕緣層，所述電熱絲的材料包括鎳鉻合金，所述導(dǎo)熱絕緣層的材料包括柔性云母板。例如，本實用新型一實施例提供的移載臺還包括：吸附裝置，設(shè)置在所述載臺上并被配置為固定所述承載物體。例如，本實用新型一實施例提供的移載臺還包括：驅(qū)動機構(gòu)，與所述載臺相對固定設(shè)置并被配置為驅(qū)動所述載臺移動。本實用新型至少一個實施例提供一種貼附裝置，其包括：第一移載臺；第二移載臺，被配置為搭載貼附材料；以及移動機構(gòu)，被配置為移動所述第一移載臺和所述第二移載臺至少之一以使所述第一移載臺和所述第二移載臺彼此相對運動，所述第一移載臺包括根據(jù)上述任一項所述的移載臺，所述物體為待貼附物體。例如，在本實用新型一實施例提供的貼附裝置中，所述第二移載臺包括根據(jù)上述任一項所述的移載臺。例如，在本實用新型一實施例提供的貼附裝置中，所述待貼附物體包括顯示基板，所述貼附材料包括偏光片。本實用新型至少一各實施例提供的貼附裝置的貼附方法，所述貼附裝置包括第一移載臺、第二移載臺以及移動機構(gòu)，所述第一移載臺包括上述任一項所述的移載臺，所述物體包括待貼附物體，所述第二移載臺被配置為搭載貼附材料，所述移動機構(gòu)被配置為移動所述第一移載臺和所述第二移載臺至少之一以使所述第一移載臺和所述第二移載臺彼此靠近，所述貼附方法包括：使用所述加熱裝置和所述溫度傳感器加熱所述待貼附物體并控制所述待貼附物體的溫度；以及使用所述移動機構(gòu)移動所述第一移載臺和所述第二移載臺至少之一以使所述第一移載臺和所述第二移載臺彼此靠近以將所述貼附材料貼附在所述待貼附物體上。例如，在本實用新型一實施例提供的貼附裝置的貼附方法中，使用所述加熱裝置和所述溫度傳感器控制所述待貼附物體的溫度范圍為50-60度。例如，在本實用新型一實施例提供的貼附裝置的貼附方法中，所述多個子加熱裝置在所述載臺上分區(qū)并嵌套設(shè)置，所述貼附方法還包括：根據(jù)所述待貼附物體的尺寸調(diào)整所述多個子加熱器的工作狀態(tài)。附圖說明為了更清楚地說明本公開實施例的技術(shù)方案，下面將對實施例的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅涉及本公開的一些實施例，而非對本公開的限制。圖1為本實用新型一實施例提供的一種移載臺的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型一實施例提供的另一種移載臺的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型一實施例提供的一種移載臺中溫度控制器的連接關(guān)系圖；圖4為本實用新型一實施例提供的一種移載臺的平面示意圖；圖5為本實用新型一實施例提供的另一種移載臺的剖視示意圖；圖6為圖5中移載臺的AA區(qū)域的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本實用新型一實施例提供的一種貼附裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；以及圖8為本實用新型一實施例提供的一種貼附裝置的貼附方法的流程圖。具體實施方式為使本公開實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本公開實施例的附圖，對本公開實施例的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實施例是本公開的一部分實施例，而不是全部的實施例。基于所描述的本公開的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在無需創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本公開保護的范圍。除非另外定義，本公開使用的技術(shù)術(shù)語或者科學(xué)術(shù)語應(yīng)當為本公開所屬領(lǐng)域內(nèi)具有一般技能的人士所理解的通常意義。本公開中使用的“第一”、“第二”以及類似的詞語并不表示任何順序、數(shù)量或者重要性，而只是用來區(qū)分不同的組成部分?！鞍ā被蛘摺鞍钡阮愃频脑~語意指出現(xiàn)該詞前面的元件或者物件涵蓋出現(xiàn)在該詞后面列舉的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件?！斑B接”或者“相連”等類似的詞語并非限定于物理的或者機械的連接，而是可以包括電性的連接，不管是直接的還是間接的。在研究中，本申請的實用新型人發(fā)現(xiàn)：在顯示裝置的制備工藝中，需要使用移載臺(搬送table)來將各種基板(例如，玻璃基板)在不同的加工單元進行搬運，以完成不同的加工工序。另一方面，在基板上貼附膜層時，例如，在陣列基板或彩膜基板上貼附偏光片時，不可避免地會產(chǎn)生各種氣泡(例如，先端氣泡或末端氣泡)；因此，需要額外的脫泡設(shè)備來將上述的氣泡去除，一方面導(dǎo)致成本的增加，另一方面還增加了工序，降低了生產(chǎn)效率。本實用新型實施例提供一種移載臺、貼附裝置及其貼附方法。該移載臺包括載臺、溫度傳感器以及加熱裝置；載臺用于承載物體，溫度傳感器和加熱裝置均設(shè)置在載臺上。由此，該移載臺可通過對承載物體，例如基板進行加熱，從而在貼附膜層或者搬運完成膜層貼附工藝的過程中大大降低氣泡的發(fā)生率，從而達到脫泡的效果，并且不用增加額外的脫泡設(shè)備，從而可降低成本，增加生產(chǎn)效率。下面結(jié)合附圖對本實用新型實施例提供的移載臺、貼附裝置及其貼附方法進行說明。實施例一本實施例提供一種移載臺。圖1為根據(jù)該實施例的一種移載臺的立體示意圖。該移載臺包括載臺110、溫度傳感器120以及加熱裝置130；載臺110用于承載物體，例如基板；溫度傳感器120設(shè)置在載臺110上，用于感測載臺110的溫度，當載臺110承載有物體，例如基板時，也可感測物體的溫度；加熱裝置130設(shè)置在載臺110上，用于加熱載臺110上承載的物體。在本實施例提供的移載臺中，可通過對承載物體，例如基板進行加熱，從而在貼附膜層或者搬運完成膜層貼附工藝的過程中大大降低氣泡的發(fā)生率，從而達到脫泡的效果。例如，在本實施例提供的移載臺用于在基板上貼附偏光片時，由于偏光片和基板通常通過膠層進行粘合，經(jīng)過移載臺加熱的基板具有一定的溫度(大于室溫的溫度，例如，50-60度)，從而可使膠層更加易于粘在基板的表面上，從而大大降低氣泡的發(fā)生率。又例如，在本實施例提供的移載臺用于搬運貼附有偏光片的基板時，在移載臺進行搬運的整個過程中，貼附有偏光片的基板始終具有一定的溫度(大于室溫的溫度，例如，50-60度)，同樣可大大降低氣泡的發(fā)生率；并且，當貼附有偏光片的基板從一個移載臺轉(zhuǎn)移到另一個移載臺的過程中，可通過兩個移載臺的靠近和夾持，使得貼附有偏光片的基板受到兩個移載臺的作用，貼附有偏光片的基板具有一定的溫度(大于室溫的溫度，例如，50-60度)并受到兩個移載臺的壓力，從而可將氣泡完全去除。由此，本實施例提供的移載臺不用增加額外的脫泡設(shè)備，在貼附膜層或者搬運完成膜層貼附工藝的過程中便可完成脫泡工藝，從而可降低成本，增加生產(chǎn)效率。例如，如圖1所示，本實施例一示例提供的移載臺還包括：吸附裝置160吸附裝置160設(shè)置在載臺110上并可固定載臺110上承載的物體。例如，吸附裝置160可為設(shè)置在載臺110承載面上的多個吸附孔，通過負壓吸附來固定載臺110上承載的物體。由此，既可減少用于吸附的耗材的使用，又可避免在載臺上承載的物體的表面留下痕跡。例如，圖2為根據(jù)該實施例的另一種移載臺的立體示意圖。在本實施例一示例提供的移載臺中，如圖2所示，該移載臺還包括驅(qū)動機構(gòu)190，驅(qū)動機構(gòu)190與載臺110相對固定設(shè)置并可驅(qū)動載臺110移動。例如，驅(qū)動機構(gòu)可為機械臂、傳送帶、絲杠等。例如，本實施例一示例提供的移載臺還可包括溫度控制器。圖3為根據(jù)該實施例的一種移載臺中溫度控制器的連接關(guān)系圖。如圖3所示，溫度控制器140與溫度傳感器120和加熱裝置130分別通信相連，從而根據(jù)溫度傳感器120感測的溫度控制加熱裝置130的功率，從而控制載臺上的溫度。需要說明的是，當移載臺承載有物體，例如基板時，控制載臺上的溫度即控制載臺上承載的物體的溫度。另外，上述的控制加熱裝置的功率不僅包括調(diào)節(jié)加熱裝置功率的大小，也可包括關(guān)閉和開啟加熱裝置。另外，溫度控制器可設(shè)置在載臺上，也可不設(shè)置在載臺上，本實用新型實施例在此不作限制。例如，在本實施例一示例提供的移載臺中，溫度控制器控制該加熱裝置以是載臺的溫度范圍為50-60度，此時可具有較好的脫泡效果。例如，在本實施例一示例提供的移載臺中，加熱裝置可包括多個子加熱裝置，多個子加熱裝置可獨立進行加熱。由此，可通過設(shè)置多個子加熱裝置以靈活地控制加熱裝置的功率以及加熱范圍，也就是說，可以通過打開或關(guān)閉一部分子加熱裝置來控制加熱裝置總的功率，或者，通過打開或關(guān)閉一部分子加熱裝置來控制加熱裝置在載臺上的加熱范圍，從而可提高能源的利用效率。另外，通過設(shè)置多個可獨立進行加熱的子加熱裝置還可提高該移載臺的可靠性，在部分子加熱裝置故障時仍可正常工作。例如，圖4為根據(jù)本實施例的一種移載臺的平面示意圖。如圖4所示，加熱裝置130可包括三個子加熱裝置1301、1302和1303。三個子加熱裝置1301、1302和1303均設(shè)置在載臺110上并可獨立進行加熱。例如，在本實施例一示例提供的移載臺中，多個子加熱裝置在載臺上可分區(qū)設(shè)置，也就是說，可將載臺劃分為多個區(qū)域，每個區(qū)域設(shè)置一個子加熱裝置。由此，可根據(jù)載臺上承載的物體的尺寸將物體設(shè)置在載臺上的不同區(qū)域或不同區(qū)域的組合并關(guān)閉其他沒有設(shè)置物體的區(qū)域中的子加熱器來減少能量的浪費，提高能量的利用效率。例如，如圖4所示，載臺110包括多個加熱區(qū)域171、172和173，子加熱裝置1301、1302和1303分別設(shè)置在加熱區(qū)域171、172和173中。此時，當載臺上承載的物體，例如基板的尺寸與加熱區(qū)域171的尺寸相近或相等時，可將該物體設(shè)置在加熱區(qū)域171中并關(guān)閉子加熱裝置1302和1303，從而可降低該移載臺的能耗，提高能量的利用效率。當載臺上承載的物體，例如基板的尺寸與加熱區(qū)域172的尺寸相近或相等時，可將該物體設(shè)置在加熱區(qū)域172中并關(guān)閉子加熱裝置1301和1303，從而可降低該移載臺的能耗，提高能量的利用效率。同樣地，當載臺上承載的物體，例如基板的尺寸與加熱區(qū)域173的尺寸相近或相等時，可將該物體設(shè)置在加熱區(qū)域173中并關(guān)閉子加熱裝置1301和1302，從而可降低該移載臺的能耗，提高能量的利用效率。需要說明的是，當載臺上承載的物體，例如基板的尺寸與載臺上不同區(qū)域的組合(例如，區(qū)域171和區(qū)域172的組合)的尺寸相近或相等時，也可通過關(guān)閉其他區(qū)域中的子加熱器來減少能耗，增加能量的利用效率。另外，本實用新型實施例包括但不限于上面所描述的移載臺包括三個子加熱裝置的情況，子加熱裝置的數(shù)量可根據(jù)實際情況進行設(shè)置。例如，圖5為根據(jù)本實施例的另一種移載臺的平面示意圖。如圖5所示，加熱裝置130也可包括四個子加熱裝置1301、1302、1303和1304。四個子加熱裝置1301、1302、1303和1304均設(shè)置在載臺110上并可獨立進行加熱。例如，在本實施例一示例提供的移載臺中，如圖5所示，多個子加熱裝置在載臺上嵌套設(shè)置，也就是說，子加熱裝置可設(shè)置在另一個子加熱裝置所圍成的區(qū)域內(nèi)部。例如，如圖5所示，子加熱裝置1303設(shè)置在子加熱裝置1304所圍成的區(qū)域內(nèi)部，子加熱裝置1302設(shè)置在子加熱裝置1302所圍成的區(qū)域內(nèi)部，子加熱裝置1301設(shè)置在子加熱裝置1302內(nèi)。由此，當載臺110上承載的物體，例如基板的尺寸與載臺的尺寸相近或相等時，可將四個子加熱裝置1301、1302、1303和1304都用于加熱，從而可提高加熱的均勻性；并且，當載臺110上承載的物體，例如基板的尺寸僅與某一個子加熱裝置所圍成的區(qū)域相近或相等時，可通過關(guān)閉該區(qū)域外的子加熱裝置來降低該移載臺的能耗，提高能量的利用效率。例如，如圖5所示，載臺110的形狀可包括矩形，此時各子加熱裝置1301、1302、1303和1304的形狀可為L形并沿該矩形的對角線方向嵌套設(shè)置。當然，本實用新型實施例包括但不限于此，載臺的形狀還可為其他形狀，例如圓形、六邊形、八邊形等；各子加熱裝置的形狀也可呈環(huán)形、折線形等。例如，在本實施例一示例提供的移載臺，溫度傳感器也可包括多個子溫度傳感器，多個子溫度傳感器可獨立進行溫度檢測。由此，通過多個子溫度傳感器可感應(yīng)到載臺上不同位置的溫度，從而可使溫度控制器通過控制加熱裝置載臺上不同位置的功率來提高整個載臺上的溫度均勻度，從而一方面可提高該載臺的脫泡效果，另一方面還可避免載臺上的物體因溫度不均而導(dǎo)致的各種不良。例如，如圖5所示，溫度傳感器120可包括四個子溫度傳感器1201、1202、1203和1204。四個子溫度傳感器1201、1202、1203和1204可與子加熱裝置301、1302、1303和1304一一對應(yīng)設(shè)置，從而可分別檢測子加熱裝置301、1302、1303和1304的加熱范圍內(nèi)的溫度。例如，如圖5所示，子加熱裝置1301、1302、1303和1304的形狀為L形，四個子溫度傳感器1201、1202、1203和1204分別設(shè)置在子加熱裝置1301、1302、1303和1304的L形的拐角處，從而更好地檢測子加熱裝置301、1302、1303和1304的加熱范圍內(nèi)的溫度。例如，圖6為圖5所示的移載臺AA區(qū)域的立體示意圖。如圖6所示，載臺110上可設(shè)置溝槽150，用于容置加熱裝置130。同樣地，溝槽160可包括多個子溝槽，例如子溝槽1501、1502、1503和1504以分別容納子加熱裝置1301、1302、1303和1304。例如，如圖6所示，加熱裝置130可包括電熱絲135以及設(shè)置在電熱絲135外圍的導(dǎo)熱絕緣層137，電熱絲135的材料包括鎳鉻合金，導(dǎo)熱絕緣層137的材料包括柔性云母板。由此，該加熱裝置可在保證安全性的前提下具有良好的導(dǎo)熱效果。并且，由于鎳鉻合金具有結(jié)構(gòu)不易改變，塑性較好，易修復(fù)、無磁性、耐腐蝕性強、使用壽命長等特點，該加熱裝置更適宜于應(yīng)用在顯示面板的制造中。實施例二本實施例提供一種貼附裝置，如圖7所示，該貼附裝置包括第一移載臺100和第二移載臺200以及移動機構(gòu)300。第一移載臺100包括載臺110、溫度傳感器120以及加熱裝置130；載臺110用于承載待貼附物體，例如基板；溫度傳感器120設(shè)置在載臺110上，用于感測載臺110的溫度，當載臺110承載有待貼附物體，例如基板時，也可感測待貼附物體的溫度；加熱裝置130設(shè)置在載臺110上，用于加熱載臺110上承載的物體；第二移載臺200可搭載貼附材料；移動機構(gòu)300可移動第一移載臺100和第二移載臺200至少之一以使第一移載臺100和第二移載臺200彼此相對運動，例如，如圖7所示，移動機構(gòu)300與第二移載臺200相對固定從而可移動第二移載臺200靠近第一移載臺100，當然，本實用新型實施例包括但不限于此，移動機構(gòu)也與第一移載臺相對固定從而可移動第一移載臺。在本實施例提供的貼附裝置中，可通過第一移載臺對待貼附物體，例如基板進行加熱，從而在向待貼附物體貼附貼附材料的過程中大大降低氣泡的發(fā)生率，從而達到脫泡的效果。例如，當待貼附物體為基板，貼附材料為偏光片時，由于偏光片和基板通常通過膠層進行粘合，經(jīng)過第一移載臺加熱的基板具有一定的溫度(大于室溫的溫度，例如，50-60度)，從而可使膠層更加易于粘在基板的表面上，從而大大降低氣泡的發(fā)生率。并且，當?shù)诙戚d臺靠近并將貼附材料壓合到第一移載臺時，貼附上偏光片的基板受到第一移載臺和第二移載臺的作用，貼附上偏光片的基板具有一定的溫度(大于室溫的溫度，例如，50-60度)并受到第一移載臺和第二移載臺的壓力，從而可將氣泡完全去除。由此，本實施例提供的貼附裝置不用增加額外的脫泡設(shè)備，在貼附的過程中便可完成脫泡工藝，從而可降低成本，增加生產(chǎn)效率。例如，本實施例一示例提供的貼附裝置中的第一移載臺還可包括吸附裝置。其具體的設(shè)置和有益效果可參見實施例一中的相關(guān)描述，在此不再贅述。例如，本實施例一示例提供的貼附裝置中的第一移載臺還可包括溫度控制器。其具體的設(shè)置和有益效果可參見實施例一中的相關(guān)描述，在此不再贅述。例如，在本實施例一示例提供的貼附裝置中的第一移載臺中，加熱裝置可包括多個子加熱裝置，多個子加熱裝置可獨立進行加熱。其具體的設(shè)置和有益效果可參見實施例一中的相關(guān)描述，在此不再贅述。例如，在本實施例一示例提供的貼附裝置中的第一移載臺中，溫度傳感器也可包括多個子溫度傳感器，多個子溫度傳感器可獨立進行溫度檢測。其具體的設(shè)置和有益效果可參見實施例一中的相關(guān)描述，在此不再贅述。例如，在本實施例一示例提供的貼附裝置中的第一移載臺中，加熱裝置可包括電熱絲以及設(shè)置在電熱絲外圍的導(dǎo)熱絕緣層，電熱絲的材料包括鎳鉻合金，導(dǎo)熱絕緣層的材料包括柔性云母板。其具體的設(shè)置和有益效果可參見實施例一中的相關(guān)描述，在此不再贅述。例如，在本實施例一示例提供的貼附裝置中，第二移載臺可與上述任一示例所描述第一移載臺具有相同的結(jié)構(gòu)。由此，第二移載臺可對貼附材料進行加熱，使得在貼附的過程中，貼附材料也具有一定溫度(大于室溫的溫度，例如，50-60度)，從而進一步大大降低氣泡的發(fā)生率，從而達到更好的脫泡的效果。實施例三在實施例二的基礎(chǔ)上，本實施例提供一種貼附裝置的貼附方法，貼附裝置為上述實施例二中任一示例所描述的貼附裝置，貼附方法包括以下步驟S301-S302。S301：使用加熱裝置和溫度傳感器加熱待貼附物體并控制待貼附物體的溫度。S302：使用移動機構(gòu)移動第一移載臺和第二移載臺至少之一以使第一移載臺和第二移載臺彼此靠近以將貼附材料貼附在待貼附物體上。在本實施例提供的貼附方法中，可通過第一移載臺對待貼附物體，例如基板進行加熱，從而在向待貼附物體貼附貼附材料的過程中大大降低氣泡的發(fā)生率，從而達到脫泡的效果。例如，當待貼附物體為基板，貼附材料為偏光片時，由于偏光片和基板通常通過膠層進行粘合，經(jīng)過第一移載臺加熱的基板具有一定的溫度(大于室溫的溫度，例如，50-60度)，從而可使膠層更加易于粘在基板的表面上，從而大大降低氣泡的發(fā)生率。并且，當?shù)诙戚d臺靠近并將貼附材料壓合到第一移載臺時，貼附上偏光片的基板受到第一移載臺和第二移載臺的作用，貼附上偏光片的基板具有一定的溫度(大于室溫的溫度，例如，50-60度)并受到第一移載臺和第二移載臺的壓力，從而可將氣泡完全去除。由此，本實施例提供的貼附方法不用增加額外的脫泡設(shè)備，在貼附的過程中便可完成脫泡工藝，從而可降低成本，增加生產(chǎn)效率。例如，在本實施例一示例提供的貼附裝置的貼附方法中，使用加熱裝置和溫度傳感器控制待貼附物體的溫度范圍為50-60度。由此，可具有較佳的脫泡效果。例如，在本實施例一示例提供的貼附裝置的貼附方法中，當該第一移載臺的多個子加熱裝置在載臺上分區(qū)設(shè)置時，貼附方法還包括：根據(jù)待貼附物體的尺寸調(diào)整多個子加熱器的工作狀態(tài)，例如，關(guān)閉一部分子加熱器，以降低功耗，提高能量利用效率，具體可參見實施例一中的相關(guān)描述，在此不再贅述。有以下幾點需要說明：(1)本實用新型實施例附圖中，只涉及到與本實用新型實施例涉及到的結(jié)構(gòu)，其他結(jié)構(gòu)可參考通常設(shè)計。(2)在不沖突的情況下，本實用新型同一實施例及不同實施例中的特征可以相互組合。以上所述，僅為本公開的具體實施方式，但本公開的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本
技術(shù)領(lǐng)域：
：的技術(shù)人員在本公開揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本公開的保護范圍之內(nèi)。因此，本公開的保護范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護范圍為準。當前第1頁1 2 3 當前第1頁1 2 3