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受抑立方體形組件的制作方法

文檔序號:11499955閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種受抑立方體形組件,所述受抑立方體形組件包括:

第一棱鏡,其中所述第一棱鏡包括:

第一表面;

第二表面;以及

第一斜邊;

第二棱鏡,其中所述第二棱鏡包括:

第三表面;

第四表面;以及

第二斜邊,其中所述第一斜邊和所述第二斜邊面向彼此,并且其中所述第一斜邊和所述第二斜邊由第一氣隙隔開;以及

傾斜反射鏡,其中所述傾斜反射鏡與所述第二表面相鄰,并且其中所述傾斜反射鏡和所述第二表面由第二氣隙隔開。

2.如權(quán)利要求1所述的受抑立方體形組件,其進(jìn)一步包括:

數(shù)字微鏡器件,其中所述數(shù)字微鏡器件與所述第三表面相鄰。

3.如權(quán)利要求2所述的受抑立方體形組件,其特征在于,所述第一表面和所述第二表面以大于約90度的角度相交,并且其中所述第三表面和所述第四表面是垂直的。

4.如權(quán)利要求3所述的受抑立方體形組件,其特征在于,所述第二表面是窗口。

5.如權(quán)利要求4所述的受抑立方體形組件,其特征在于,所述第二表面相對于所述第三表面而傾斜。

6.如權(quán)利要求5所述的受抑立方體形組件,其特征在于,所述第二表面以與所述數(shù)字微鏡器件的數(shù)字微鏡的角度相同的角度傾斜。

7.如權(quán)利要求5所述的受抑立方體形組件,其特征在于,所述傾斜反射鏡與所述第二表面平行。

8.一種受抑立方體形組件,所述受抑立方體形組件包括:

第一棱鏡,其中所述第一棱鏡包括:

第一表面;

第二表面,其中所述第二表面是窗口,并且其中所述第二表面是傾斜的;以及

第一斜邊;

第二棱鏡,其中所述第二棱鏡包括:

第三表面;

第四表面;以及

第二斜邊,其中所述第一斜邊和所述第二斜邊面向彼此,并且其中所述第一斜邊和所述第二斜邊由第一氣隙隔開;

傾斜反射鏡,其中所述傾斜反射鏡與所述第二表面相鄰,并且其中所述傾斜反射鏡和所述第二表面由第二氣隙隔開;以及

數(shù)字微鏡器件,其中所述數(shù)字微鏡器件與所述第三表面相鄰。

9.如權(quán)利要求8所述的受抑立方體形組件,其特征在于,所述數(shù)字微鏡器件包括多個反射鏡。

10.如權(quán)利要求9所述的受抑立方體形組件,其特征在于,所述數(shù)字微鏡器件的所述多個反射鏡中的每個反射鏡可相對于所述數(shù)字微鏡器件的水平表面傾斜第一角度。

11.如權(quán)利要求10所述的受抑立方體形組件,其特征在于,所述傾斜反射鏡相對于所述第一表面成第二角度。

12.如權(quán)利要求11所述的受抑立方體形組件,其特征在于,所述第一角度和所述第二角度是相等的,并且是關(guān)于所述數(shù)字微鏡器件的表面的法線相對的。

13.如權(quán)利要求12所述的受抑立方體形組件,其特征在于,所述第二表面傾斜12度,使得中心照明射束以24度入射在所述數(shù)字微鏡器件上,并且其中所述第二表面與所述數(shù)字微鏡器件的所述多個反射鏡的傾斜軸垂直。

14.如權(quán)利要求13所述的受抑立方體形組件,其特征在于,所述傾斜反射鏡與所述第二表面平行。

15.一種受抑立方體形組件,所述受抑立方體形組件包括:

第一棱鏡,其中所述第一棱鏡包括:

第一表面;

第二表面,其中所述第二表面是反射衍射光柵;以及

第一斜邊;以及

第二棱鏡,其中所述第二棱鏡包括:

第三表面;

第四表面;以及

第二斜邊,其中所述第一斜邊和所述第二斜邊面向彼此,并且其中所述第一斜邊和所述第二斜邊由氣隙隔開。

16.如權(quán)利要求15所述的受抑立方體形組件,其特征在于,所述第一表面和所述第四表面是平行的。

17.如權(quán)利要求16所述的受抑立方體形組件,其特征在于,所述第二表面和所述第三表面是平行的。

18.如權(quán)利要求17所述的受抑立方體形組件,其特征在于,所述第一表面和所述第二表面彼此垂直。

19.如權(quán)利要求15所述的受抑立方體形組件,其特征在于,所述反射衍射光柵的光柵線的方向圍繞豎直軸線旋轉(zhuǎn)45度。

20.如權(quán)利要求15所述的受抑立方體形組件,其進(jìn)一步包括:

數(shù)字微鏡器件,其中所述數(shù)字微鏡器件與所述第三表面相鄰。

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