1.一種振鏡單元，包括鍵合設(shè)置的第一基板和第二基板，所述第一基板具有凹槽，所述第二基板具有空腔結(jié)構(gòu)，所述第二基板包括容置于所述空腔結(jié)構(gòu)內(nèi)的振鏡結(jié)構(gòu)，所述振鏡結(jié)構(gòu)具有轉(zhuǎn)動軸，所述轉(zhuǎn)動軸與所述空腔結(jié)構(gòu)固定，其中，所述第一基板包括：
2.如權(quán)利要求1所述的振鏡單元，其中，所述振鏡結(jié)構(gòu)在接地后分別與所述第一主電極和所述第二主電極構(gòu)成兩個平板電容。
3.如權(quán)利要求1所述的振鏡單元，其中，所述靜電驅(qū)動結(jié)構(gòu)，包括：
4.如權(quán)利要求3所述的振鏡單元，其中，所述動梳齒電極包括：相對設(shè)置的第一梳齒基板和第二梳齒基板、多個動梳齒、連接所述第一梳齒基板與所述第二梳齒基板的連接部、以及多個第一懸臂梁；
5.如權(quán)利要求4所述的振鏡單元，其中，所述靜梳齒電極包括：相對設(shè)置的第三梳齒基板和第四梳齒基板、多個靜梳齒，所述第三梳齒基板與所述第四梳齒基板絕緣設(shè)置；
6.如權(quán)利要求5所述的振鏡單元，其中，所述連接部為一個，且所述連接部連接于所述第一梳齒基板與所述第二梳齒基板的中部位置；
7.如權(quán)利要求5所述的振鏡單元，其中，所述連接部為兩個，兩個所述連接部分別連接于所述第一梳齒基板與所述第二梳齒基板的端部，所述第一梳齒基板、所述第二梳齒基板和兩個所述連接部依次連接圍成閉合圖案；
8.如權(quán)利要求7所述的振鏡單元，其中，所述多個靜梳齒和所述多個動梳齒在所述第一襯底基板的正投影均位于所述閉合圖案內(nèi)部時，所述靜梳齒電極還包括：
9.如權(quán)利要求4-8任一項所述的振鏡單元，其中，所述第一梳齒基板和所述第二梳齒基板具有鏤空結(jié)構(gòu)。
10.如權(quán)利要求4-8任一項所述的振鏡單元，其中，所述第一基板還包括：位于所述動梳齒電極與所述平板電極之間的第一隔離層，所述第一隔離層在所述第一襯底基板上的正投影覆蓋所述第一梳齒基板和所述第二梳齒基板以及所述多個第一懸臂梁。
11.如權(quán)利要求4-10任一項所述的振鏡單元，其中，所述平板電極，還包括：多個第二懸臂梁；
12.如權(quán)利要求11所述的振鏡單元，其中，所述第一主電極和所述第二主電極還分別覆蓋與所述第一梳齒基板、所述第二梳齒基板連接的動梳齒的一部分。
13.如權(quán)利要求12所述的振鏡單元，其中，所述平板電極還包括：第一副電極和第二副電極；所述第一副電極在所述第一襯底基板上的正投影覆蓋所述第三梳齒基板及與第三梳齒基板連接的靜梳齒的一部分，所述第二副電極在所述第一襯底基板上的正投影覆蓋所述第四梳齒基板及與與第四梳齒基板連接的靜梳齒的一部分；在所述動梳齒電極帶動所述平板電極往復(fù)運動的過程中，所述第一副電極與所述第一主電極接觸，或所述第二副電極與所述第一主電極接觸。
14.如權(quán)利13所述的振鏡單元，其中，所述第一隔離層還覆蓋所述第一副電極和第二副電極，所述第一隔離層面向所述第一襯底基板的一側(cè)表面具有多個凹陷結(jié)構(gòu)，所述凹陷結(jié)構(gòu)覆蓋多個對應(yīng)的梳齒。
15.如權(quán)利要求1-14任一項所述振鏡單元，其中，所述第一襯底基板的一側(cè)表面具有與所述凹槽重合的凹陷結(jié)構(gòu)，所述靜梳齒電極位于所述凹陷結(jié)構(gòu)內(nèi)。
16.如權(quán)利要求1-15任一項所述的振鏡單元，其中，所述振鏡結(jié)構(gòu)，還包括：
17.一種掃描鏡，包括一個或呈陣列排布的多個如權(quán)利要求1-16任一項的振鏡單元。
18.一種振鏡單元的制備方法，其中，包括：
19.如權(quán)利要求18所述的制備方法，其中，在第一襯底基板的一側(cè)，形成靜電驅(qū)動結(jié)構(gòu)，包括：
20.如權(quán)利要求19所述的制備方法，其中，在所述靜電驅(qū)動結(jié)構(gòu)遠離所述第一襯底基板的一側(cè)，形成平板電極，包括：
21.一種雷達系統(tǒng)，其中，包括：