本公開涉及光波導(dǎo)的連接方法以及光波導(dǎo)連接裝置。

背景技術(shù)：

1、近年來，在高速通信、大容量通信以及感測的領(lǐng)域中，研究了光的活用。特別是，與半導(dǎo)體電子電路同樣，通過cmos（complementary?metal?oxide?semiconductor：互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體）工藝在硅基板上形成光電路的被稱為“硅光子學(xué)”的技術(shù)備受矚目。通過硅光子學(xué)形成的光電路是具有光控制功能的細(xì)微的尺寸的電路。光電路中形成有光輸入輸出部以及光調(diào)制器等。它們由亞微米級(jí)的細(xì)微的光波導(dǎo)相互連接。為了對(duì)該光波導(dǎo)高精度地連接光纖等外部傳輸體，積極地進(jìn)行著各種光接口的開發(fā)。

2、通常，作為進(jìn)行光纖對(duì)光電路基板上的光波導(dǎo)的連接（即，fiber-to-chip連接）的方法而采用以下方法：經(jīng)由粘接劑將形成于光電路基板的光輸入部端面、和捆扎1個(gè)以上的光纖的光纖陣列或者光纖塊的連接端面整體粘接固定。

3、已知在采用該方法將光纖塊固定于光電路基板的情況下，在使粘接劑固化時(shí)，由于粘接劑的固化收縮，光電路基板和光纖塊的相對(duì)位置偏移，產(chǎn)生連接損耗。

4、在專利文獻(xiàn)1中公開了如下技術(shù)：通過沿著對(duì)光纖進(jìn)行保持的套圈的下表面的端（周圍）設(shè)置槽，從而從套圈下表面溢出的粘接劑通過毛細(xì)管現(xiàn)象被槽吸收，防止在套圈側(cè)面附著粘接劑，抑制由固化收縮引起的套圈的平行方向的位置偏移。

5、在先技術(shù)文獻(xiàn)

6、專利文獻(xiàn)

7、專利文獻(xiàn)1：日本特開2019-144434號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本公開的一方式所涉及的光波導(dǎo)的連接方法包括：對(duì)光電路基板的位置進(jìn)行調(diào)整，將粘接劑供給到所述光電路基板上的光輸入部附近，將保持光纖的光纖塊相對(duì)于所述光電路基板對(duì)準(zhǔn)，使得從所述光電路基板射出的光的強(qiáng)度成為最大，在所述光纖塊相對(duì)于所述光電路基板對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下，開始所述粘接劑的固化，對(duì)所述粘接劑的固化度進(jìn)行測定，在所述粘接劑的固化中，計(jì)測粘接劑固化時(shí)間，參照所述粘接劑的所述固化度和所述粘接劑固化時(shí)間，將保持所述光纖的所述光纖塊相對(duì)于所述光電路基板對(duì)準(zhǔn)，使得從所述光電路基板射出的光的強(qiáng)度成為最大。

2、本公開的一方式所涉及的光波導(dǎo)連接裝置具備：樣品臺(tái)，設(shè)置光電路基板；粘接劑供給部，將粘接劑供給到設(shè)置在所述光電路基板的光輸入部附近；受光部，接收從所述光電路基板射出的光；光纖調(diào)心機(jī)構(gòu)，在供給了所述粘接劑的狀態(tài)下，將保持光纖的光纖塊相對(duì)于所述光電路基板對(duì)準(zhǔn)，使得由所述受光部接收到的光的強(qiáng)度成為最大；粘接劑固化部，在所述光纖塊相對(duì)于所述光電路基板對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下，使所述粘接劑固化；粘接劑固化時(shí)間檢測機(jī)構(gòu)，在對(duì)所述粘接劑進(jìn)行固化時(shí)，檢測所述粘接劑的固化時(shí)間；固化度測定部，測定所述粘接劑的固化度；和控制部，對(duì)所述光纖調(diào)心機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制，通過所述控制部的控制，參照所述粘接劑的所述固化度和所述粘接劑的固化時(shí)間，由所述光纖調(diào)心機(jī)構(gòu)將保持所述光纖的所述光纖塊相對(duì)于所述光電路基板對(duì)準(zhǔn)，使得從所述光電路基板射出的光的強(qiáng)度成為最大。

技術(shù)特征：

1.一種光波導(dǎo)的連接方法，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光波導(dǎo)的連接方法，其中，

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光波導(dǎo)的連接方法，其中，

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光波導(dǎo)的連接方法，其中，

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光波導(dǎo)的連接方法，其中，

6.一種光波導(dǎo)連接裝置，具備：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光波導(dǎo)連接裝置，其中，

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光波導(dǎo)連接裝置，其中，

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光波導(dǎo)連接裝置，其中，

技術(shù)總結(jié)
光波導(dǎo)的連接方法包括：對(duì)光電路基板（1）的位置進(jìn)行調(diào)整，將粘接劑（3）供給到光電路基板上的光輸入部附近，將保持光纖（2a）的光纖塊（2）相對(duì)于光電路基板對(duì)準(zhǔn)，使得從光電路基板射出的光的強(qiáng)度成為最大，在光纖塊相對(duì)于光電路基板對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下，開始粘接劑的固化，在粘接劑固化中，計(jì)測粘接劑固化度和粘接劑固化時(shí)間，在固化度為某個(gè)閾值以下的狀態(tài)下，反復(fù)進(jìn)行保持光纖的光纖塊相對(duì)于光電路基板的對(duì)準(zhǔn)，使得從光電路基板射出的光的強(qiáng)度成為最大。

技術(shù)研發(fā)人員：鐮谷淳一,白石龍朗
受保護(hù)的技術(shù)使用者：松下知識(shí)產(chǎn)權(quán)經(jīng)營株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6