1.一種基于三維打印的懸浮微環(huán)諧振器，其特征在于，由下至上依次包括襯底(1)、底座(2)以及器件主體，所述器件主體包括微環(huán)諧振腔(3)以及與所述微環(huán)諧振腔(3)進(jìn)行耦合的耦合波導(dǎo)(4)；所述微環(huán)諧振腔(3)和耦合波導(dǎo)(4)均通過支撐件(5)懸浮在所述底座(2)上，構(gòu)成懸浮的回音壁模式，以提高機(jī)械共振效應(yīng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于三維打印的懸浮微環(huán)諧振器，其特征在于，所述支撐件(5)為薄片結(jié)構(gòu)，厚度為0.3um～1um。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于三維打印的懸浮微環(huán)諧振器，其特征在于，位于微環(huán)諧振腔(3)底部的支撐件(5)，沿著微環(huán)的周向間隔設(shè)置有多個缺口(6)；所述底座(2)的兩端分別設(shè)有用于限制光沿底座(2)傳輸?shù)牧芽p(7)，且所述裂縫(7)位于所述微環(huán)諧振腔(3)的兩側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于三維打印的懸浮微環(huán)諧振器，其特征在于，所述微環(huán)諧振腔(3)的結(jié)構(gòu)為圓環(huán)波導(dǎo)，所述耦合波導(dǎo)(4)的結(jié)構(gòu)為滑輪波導(dǎo)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基于三維打印的懸浮微環(huán)諧振器，其特征在于，位于所述微環(huán)諧振腔(3)底部的支撐件(5)，其結(jié)構(gòu)與微環(huán)諧振腔(3)的結(jié)構(gòu)相同，為環(huán)形結(jié)構(gòu)；位于所述耦合波導(dǎo)(4)底部的支撐件(5)，其結(jié)構(gòu)與耦合波導(dǎo)(4)的結(jié)構(gòu)相同，為長條形結(jié)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基于三維打印的懸浮微環(huán)諧振器，其特征在于，所述圓環(huán)波導(dǎo)的寬度為2um～4um，高度為2um～4um；所述耦合波導(dǎo)(4)的寬度為1.5um～2.5um，高度為2um～4um，滑輪波導(dǎo)的覆蓋角度為28～35度；所述耦合波導(dǎo)(4)的耦合區(qū)域與所述微環(huán)諧振腔(3)之間的間距為0.6um～1.1um；所述支撐件(5)的高度為2um～3um。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一項所述的基于三維打印的懸浮微環(huán)諧振器，其特征在于，所述底座(2)、器件主體的折射率高于所述襯底(1)的折射率。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基于三維打印的懸浮微環(huán)諧振器，其特征在于，所述底座(2)、支撐件(5)以及器件主體的材料包括ip-dip光刻膠、ip-dip2光刻膠、ip-l光刻膠、ip-s光刻膠、ip-g光刻膠或ip-n162光刻膠；所述襯底(1)的材料包括石英片，且在780nm波長處的折射率為1.38～1.55。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基于三維打印的懸浮微環(huán)諧振器，其特征在于，所述底座(2)、支撐件(5)以及器件主體通過三維打印一體成型。
10.一種權(quán)利要求1至9任一項所述的微環(huán)諧振器的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：