本發(fā)明涉及光學(xué)領(lǐng)域，特別涉及一種光學(xué)裝置及激光光源裝置。

背景技術(shù)：

1、飛秒激光是一種極其超短脈沖的激光技術(shù)，其脈沖寬度在飛秒量級(jí)（即10^-15秒），具有極高的功率密度和空間分辨率。這種激光因其極短的脈沖寬度而得名，能夠?qū)崿F(xiàn)冷加工、鉆孔、劃線、切割等多種微加工操作，

2、飛秒激光的光路中通常用到空間光調(diào)制器，空間光調(diào)制器是一種用于對(duì)光波的空間分布進(jìn)行調(diào)制的光學(xué)器件，通過(guò)主動(dòng)控制液晶分子來(lái)改變光場(chǎng)的某些參量，如振幅、相位和偏振態(tài)等。

3、目前，射入、射出空間光調(diào)制器的飛秒激光通常具有一定的夾角，通常當(dāng)飛秒激光遠(yuǎn)離空間光調(diào)制器1m以上，射出光與射入光才容易被分開，分開后的射出光才能被后續(xù)設(shè)備使用。如此以來(lái)，空間光調(diào)制器的光路常常需要占據(jù)很大的空間，造成空間的浪費(fèi)。特別是在空間有限的光學(xué)面包板上，常常出現(xiàn)因空間不足無(wú)法使用空間光調(diào)制器的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中空間光調(diào)制器的光路占據(jù)空間大的上述缺陷，提供一種光學(xué)裝置及激光光源裝置。

2、本發(fā)明是通過(guò)下述技術(shù)方案來(lái)解決上述技術(shù)問(wèn)題：

3、一種光學(xué)裝置，所述光學(xué)裝置包括：底座、第一入射反射鏡組件、雙反射組件及第一出射反射鏡組件，所述第一入射反射鏡組件設(shè)于所述底座，輸入光束射入所述第一入射反射鏡組件；所述雙反射組件設(shè)于所述底座，所述雙反射組件具有前反射面及后反射面，輸入光束經(jīng)所述第一入射反射鏡組件反射后順次射入所述前反射面、空間光調(diào)制器，空間光調(diào)制器將所述輸入光束調(diào)整為輸出光束，并將所述輸出光束射至所述后反射面；所述第一出射反射鏡組件設(shè)于所述底座，輸出光束經(jīng)所述后反射面射入所述第一出射反射鏡組件。

4、在本方案中，通過(guò)采用以上結(jié)構(gòu)，利用第一入射反射鏡組件將輸入光束反射至雙反射組件的前反射面，前反射面將輸入光束反射至空間光調(diào)制器，空間光調(diào)制器將射入的輸入光束調(diào)制為輸出光束，隨后空間光調(diào)制器再將輸出光束射至雙反射組件的后反射面，后反射面將輸出光束反射至第一出射反射鏡組件。雙反射組件能夠鄰近空間光調(diào)制器設(shè)置，輸入光束可以自前反射面反射，輸出光束也可以自后反射面反射，輸入光束與輸出光束易于分開，可以節(jié)約空間，能夠?qū)崿F(xiàn)輸出光束的準(zhǔn)直。

5、可選的，所述雙反射組件包括三角反射鏡，所述三角反射鏡朝向所述第一入射反射鏡組件的側(cè)面為前反射面；所述三角反射鏡朝向所述第一出射反射鏡組件的側(cè)面為后反射面。

6、在本方案中，通過(guò)采用以上結(jié)構(gòu)，三角反射鏡結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可以使光學(xué)裝置更加緊湊。

7、可選的，所述雙反射組件還包括固定座、浮動(dòng)座及微調(diào)桿，所述三角反射鏡設(shè)于所述浮動(dòng)座，所述浮動(dòng)座與所述固定座相連接，所述微調(diào)桿用于調(diào)整所述浮動(dòng)座相對(duì)于所述固定座的位置。

8、在本方案中，通過(guò)采用以上結(jié)構(gòu)，利用微調(diào)桿用于調(diào)整浮動(dòng)座相對(duì)于固定座的位置，從而實(shí)現(xiàn)三角反射鏡的調(diào)節(jié)，可以更好的調(diào)節(jié)輸入光束及輸出光束。

9、可選的，所述雙反射組件還包括水平管，所述水平管設(shè)于所述浮動(dòng)座。

10、在本方案中，通過(guò)采用以上結(jié)構(gòu)，利用水平管顯示浮動(dòng)座的水平狀態(tài)，便于輔助調(diào)節(jié)三角反射鏡的位置。

11、可選的，所述雙反射組件還包括立柱、套管及固定件，所述套管設(shè)于所述底座，所述立柱插設(shè)于所述套管，所述固定件用于使所述立柱相對(duì)于所述套管固定；所述固定座設(shè)于所述立柱的上端。

12、在本方案中，通過(guò)采用以上結(jié)構(gòu)，利用立柱插設(shè)于套管，便于實(shí)現(xiàn)立柱相對(duì)套管的轉(zhuǎn)動(dòng)、提升，固定件便于固定立柱，使雙反射組件更加穩(wěn)定。

13、可選的，所述前反射面及所述后反射面的夾角范圍為45°-135°。

14、可選的，所述第一入射反射鏡組件及所述第一出射反射鏡組件相對(duì)于所述雙反射組件對(duì)稱設(shè)置。

15、在本方案中，通過(guò)采用以上結(jié)構(gòu)，利用第一入射反射鏡組件及所述第一出射反射鏡組件對(duì)稱設(shè)置，便于實(shí)現(xiàn)輸出光束的準(zhǔn)直。

16、可選的，射入所述第一入射反射鏡組件的輸入光束與自所述第一出射反射鏡組件的輸出光束平行。

17、在本方案中，通過(guò)采用以上結(jié)構(gòu)，便于實(shí)現(xiàn)輸出光束的準(zhǔn)直。

18、所述光學(xué)裝置還包括第二入射反射鏡組，輸入束射入所述第二入射反射鏡組后射入所述第一入射反射鏡組；

19、和/或，所述光學(xué)裝置還包括第二出射反射鏡組件，輸出光束射入所述第一出射反射鏡組件后射入所述第二出射反射鏡組件。

20、在本方案中，通過(guò)采用以上結(jié)構(gòu)，利用第二入射反射鏡組，可以更好的適應(yīng)入射光束的角度。利用第二出射反射鏡組，可以更好的控制輸出光束的角度。

21、一種激光光源裝置，所述激光光源裝置包括飛秒激光生成設(shè)備、空間光調(diào)制設(shè)備及如上所述光學(xué)裝置，所述飛秒激光生成設(shè)備產(chǎn)生的光束經(jīng)所述光學(xué)裝置射入所述空間光調(diào)制設(shè)備，經(jīng)所述空間光調(diào)制設(shè)備調(diào)制后再射入所述光學(xué)裝置。

22、在本方案中，通過(guò)采用以上結(jié)構(gòu)，激光光源裝置利用光學(xué)裝置，可以節(jié)約空間，可以提高激光光源裝置的緊湊性，還也可以保證輸出光束的準(zhǔn)直。

23、在符合本領(lǐng)域常識(shí)的基礎(chǔ)上，上述各優(yōu)選條件，可任意組合，即得本發(fā)明各較佳實(shí)例。

24、本發(fā)明的積極進(jìn)步效果在于：

25、本發(fā)明通過(guò)利用第一入射反射鏡組件將輸入光束反射至雙反射組件的前反射面，前反射面將輸入光束反射至空間光調(diào)制器，空間光調(diào)制器對(duì)射入的輸入光束進(jìn)行調(diào)制為輸出光束，隨后空間光調(diào)制器再將輸出光束射至雙反射組件的后反射面，后反射面將輸出光束反射至第一出射反射鏡組件。雙反射組件能夠鄰近空間光調(diào)制器設(shè)置，輸入光束可以自前反射面反射，輸出光束也可以分別自后反射面反射，輸入光束與輸出光束易于分開，可以節(jié)約空間，能夠輸出光束的準(zhǔn)直。

技術(shù)特征：

1.一種光學(xué)裝置，其特征在于，所述光學(xué)裝置包括：

2.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)裝置，其特征在于，所述雙反射組件包括三角反射鏡，所述三角反射鏡朝向所述第一入射反射鏡組件的側(cè)面為前反射面；所述三角反射鏡朝向所述第一出射反射鏡組件的側(cè)面為后反射面。

3.如權(quán)利要求2所述的光學(xué)裝置，其特征在于，所述雙反射組件還包括固定座、浮動(dòng)座及微調(diào)桿，所述三角反射鏡設(shè)于所述浮動(dòng)座，所述浮動(dòng)座與所述固定座相連接，所述微調(diào)桿用于調(diào)整所述浮動(dòng)座相對(duì)于所述固定座的位置。

4.如權(quán)利要求3所述的光學(xué)裝置，其特征在于，所述雙反射組件還包括水平管，所述水平管設(shè)于所述浮動(dòng)座。

5.如權(quán)利要求3所述的光學(xué)裝置，其特征在于，所述雙反射組件還包括立柱、套管及固定件，所述套管設(shè)于所述底座，所述立柱插設(shè)于所述套管，所述固定件用于使所述立柱相對(duì)于所述套管固定；所述固定座設(shè)于所述立柱的上端。

6.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)裝置，其特征在于，所述前反射面及所述后反射面的夾角范圍為45°-135°。

7.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)裝置，其特征在于，所述第一入射反射鏡組件及所述第一出射反射鏡組件相對(duì)于所述雙反射組件對(duì)稱設(shè)置。

8.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)裝置，其特征在于，射入所述第一入射反射鏡組件的輸入光束與自所述第一出射反射鏡組件的輸出光束平行。

9.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)裝置，其特征在于，所述光學(xué)裝置還包括第二入射反射鏡組件，輸入束射入所述第二入射反射鏡組件后射入所述第一入射反射鏡組；

10.一種激光光源裝置，其特征在于，所述激光光源裝置包括飛秒激光生成設(shè)備、空間光調(diào)制設(shè)備及如權(quán)利要求1-9中任意一項(xiàng)所述光學(xué)裝置，所述飛秒激光生成設(shè)備產(chǎn)生的光束經(jīng)所述光學(xué)裝置射入所述空間光調(diào)制設(shè)備，經(jīng)所述空間光調(diào)制設(shè)備調(diào)制后再射入所述光學(xué)裝置。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種光學(xué)裝置及激光光源裝置，光學(xué)裝置包括底座、第一入射反射鏡組件、雙反射組件及第一出射反射鏡組件；雙反射組件具有前反射面及后反射面，輸入光束經(jīng)第一入射反射鏡組件反射后順次射入前反射面、空間光調(diào)制器，空間光調(diào)制器將輸入光束調(diào)整為輸出光束，并將其射至后反射面；隨后射入第一出射反射鏡組件。利用第一入射反射鏡組件將輸入光束反射至前反射面，隨后反射至空間光調(diào)制器，將射入的輸入光束調(diào)制為輸出光束，隨后將輸出光束射至后反射面，后反射面將輸出光束反射至第一出射反射鏡組件。雙反射組件能夠鄰近空間光調(diào)制器設(shè)置，輸入光束可以自前反射面反射，輸出光束也可以自后反射面反射，易于分開，可以節(jié)約空間。

技術(shù)研發(fā)人員：李濤,金賢敏,史長(zhǎng)坤,魏志猛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無(wú)錫光子芯片聯(lián)合研究中心
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/26