本發(fā)明涉及光刻膠，特別是涉及一種含自交聯(lián)樹脂聚合物材料的電子束光刻膠組合物及其制備方法和應(yīng)用。

背景技術(shù)：

1、光刻膠是光刻過程中至關(guān)重要的核心材料，又稱光致抗蝕劑，是指經(jīng)過紫外光、x射線和電子束等電磁波的照射或輻射，其溶解度發(fā)生變化的耐刻蝕材料，起轉(zhuǎn)移圖案的作用，可廣泛應(yīng)用于顯示器、集成電路、微電子機(jī)械系統(tǒng)(mems)及光電子器件等細(xì)微圖形加工領(lǐng)域。近年來，大型集成電路以及顯示行業(yè)等的飛速發(fā)展對光刻工藝提出了更高的要求：獲得更精細(xì)化、更高分辨率的復(fù)刻圖案。光刻技術(shù)的發(fā)展與光刻材料的不斷創(chuàng)新共同推動摩爾定律向前延伸，正如摩爾定律所預(yù)測的那樣，代表芯片生產(chǎn)水平的關(guān)鍵尺寸(cd)不斷下降，導(dǎo)致需要改進(jìn)光刻膠指標(biāo)，如線邊緣粗糙度和靈敏度。cd的大小通常由瑞利公式?jīng)Q定，實(shí)現(xiàn)更小cd的常用策略是減少曝光光源的波長。因此，光刻機(jī)的曝光波長也在由紫外譜g線(436nm)→i線(365nm)→248nm→193nm→極紫外光(euv)→x射線不斷發(fā)展，甚至采用非光學(xué)光刻(電子束曝光、離子束曝光)，光刻膠產(chǎn)品的綜合性能也必須隨之提高，才能符合集成工藝制程的要求。

2、電子束光刻膠廣泛應(yīng)用于微納圖形制備、芯片設(shè)計(jì)、掩模版制造、第二代/第三代化合物半導(dǎo)體芯片制造、光通信芯片制造等領(lǐng)域。電子束光刻膠是一類涂敷在襯底表面通過電子束曝光實(shí)現(xiàn)圖形傳遞的光刻材料。電子束光刻膠是通過結(jié)合苯環(huán)結(jié)構(gòu)、丙烯酸酯類樹脂的各自優(yōu)點(diǎn)，合成具有特殊結(jié)構(gòu)的樹脂分子，獲得具有優(yōu)異性能的光刻膠樹脂，同時(shí)控制工藝參數(shù)，獲得分子量、分子量分布穩(wěn)定的樹脂產(chǎn)品，確保產(chǎn)品質(zhì)量、性能穩(wěn)定，最后利用樹脂、各種添加劑等成分，制備具有不同優(yōu)異特性的電子束光刻膠。目前，大規(guī)模集成電路工業(yè)常用的電子束光刻膠主要為聚甲基丙烯酸甲酯(pmma)正性光刻膠，其具有較高的分辨率。但由于其靈敏度較低，因此所需曝光時(shí)間和生產(chǎn)周期較長，也使得其生產(chǎn)成本較高。經(jīng)過改性后的電子束光刻膠，例如zep520是一種分辨率很高的非化學(xué)放大正性斷鏈型電子束光刻膠，其分辨率可以達(dá)到10納米，在比較好的工藝條件下也可以實(shí)現(xiàn)10～50納米的圖形結(jié)構(gòu)，具有高靈敏度和很好的抗干法刻蝕特性。它是由α-氯甲基丙烯酸酯和α-甲基苯乙烯的共聚物組成的，是一種pmma加苯環(huán)的改性聚合物，抗等離子體刻蝕性能大大提高。zep520和pmma同樣有著很高的對比度，使用簡單、重復(fù)性好。與pmma相比，zep520的優(yōu)點(diǎn)是所需劑量比較小，即靈敏度較高。其缺點(diǎn)是與襯底的黏附性較差從而導(dǎo)致線條圖案倒塌的問題，在涂覆前可能需要對襯底基片進(jìn)行熱處理或使用hmds增粘劑底層。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為解決上述問題，本發(fā)明提供一種含交聯(lián)樹脂的電子束光刻膠組合物及其制備方法與應(yīng)用。本發(fā)明的電子束光刻膠組合物包括兩種不同體系樹脂的共混物，其在電子束光刻膠基底樹脂基礎(chǔ)上摻雜了一種自交聯(lián)樹脂材料，在不影響后期電子束光刻基本工藝的條件下改善了線條易倒塌的問題。

2、本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

3、一種電子束光刻膠組合物，其包括：電子束光刻膠基底樹脂材料和自交聯(lián)樹脂；

4、其中，所述自交聯(lián)樹脂由鏈狀聚合物與交聯(lián)劑反應(yīng)得到；所述鏈狀聚合物中包括芳族基團(tuán)和含氮雜環(huán)基團(tuán)。所述自交聯(lián)樹脂為交聯(lián)聚合物。

5、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述芳族基團(tuán)和含氮雜環(huán)基團(tuán)均位于鏈狀聚合物的主鏈上。

6、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述鏈狀聚合物為基于聚酯的聚合物。

7、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述鏈狀聚合物是通過至少一個(gè)含有芳族基團(tuán)的化合物與至少一個(gè)含有含氮雜環(huán)的化合物聚合而成。例如，所述鏈狀聚合物是通過一個(gè)含有芳族基團(tuán)的化合物與兩個(gè)含有含氮雜環(huán)的化合物聚合而成。

8、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，在鏈狀聚合物中，所述聚合單元通過酯鍵連接形成聚合物。

9、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述芳族基團(tuán)可以為單環(huán)或多環(huán)芳基或雜芳基，例如為c6-20芳基、5-20元雜芳基；優(yōu)選為c6-14芳基、5-14元雜芳基，例如為苯基、萘基、蒽基或聯(lián)苯基。

10、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述含有芳族基團(tuán)的化合物還包括羧基基團(tuán)、羧酸酯基團(tuán)(如cooc1-12烷基)、羧酸酐基團(tuán)、或羥基基團(tuán)。

11、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述含有芳族基團(tuán)的化合物還包括至少兩個(gè)選自羧酸、羧酸酯、羧酸酐的基團(tuán)、和/或至少兩個(gè)羥基基團(tuán)。

12、在本發(fā)明的一些實(shí)施方案中，所述含有芳族基團(tuán)的化合物具有如下m1’所示的結(jié)構(gòu)：

13、rooc-a-coor

14、m1’

15、其中，a選自無取代或任選被一個(gè)，兩個(gè)或更多個(gè)rs取代的如下基團(tuán)：c6-20芳基、5-20元雜芳基、c6-20芳基-c6-20芳基或5-20元雜芳基-5-20元雜芳基；rs選自氧代、鹵素、氰基、硝基、c1-12烷基、c1-12烷氧基、c3-12環(huán)烷基或3-12元雜環(huán)基；

16、r選自c1-12烷基。

17、在本發(fā)明的一些實(shí)施方案中，m1’中，a選自c6-14芳基、5-14元雜芳基、c6-14芳基-c6-14芳基或5-14元雜芳基-5-14元雜芳基；

18、r選自h、c1-6烷基。

19、在本發(fā)明一些具體的實(shí)施方案中，所述含有芳族基團(tuán)的化合物例如為以下化合物：

20、

21、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述含有含氮雜環(huán)的化合物還包括羧基基團(tuán)、羧酸酯基團(tuán)(如cooc1-12烷基)、羧酸酐基團(tuán)、或羥基基團(tuán)。

22、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述含有含氮雜環(huán)的化合物還包括至少兩個(gè)選自羧酸、羧酸酯、羧酸酐的基團(tuán)、和/或至少兩個(gè)羥基基團(tuán)。

23、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述含有含氮雜環(huán)的化合物為如下通式i化合物：

24、

25、其中，r1、r2相同或不同，選自-c1-12烷基-or4、-c1-12烷基-coor5、-c1-12烷基-ocor5；r3選自-c1-12烷基-or4、-c1-12烷基-coor5、-c1-12烷基-ocor5、r6；

26、r4、r5、r6相同或不同，選自h、任選被一個(gè)或多個(gè)ra取代的如下基團(tuán)：c1-12烷基、c2-12烯基、c2-12炔基、芳基、雜芳基；

27、ra相同或不同，選自氧代、鹵素、氰基、硝基、烷基、環(huán)烷基、雜環(huán)基、芳基、雜芳基、-nrbrc、-o-rd、-co-rd、-coord、-s-re、-so-re、-so2-re；

28、rb、rc相同或不同，彼此獨(dú)立地選自氫或任選被一個(gè)，兩個(gè)或更多個(gè)ra取代的下列基團(tuán)：c1-12烷基、c3-12環(huán)烷基；

29、rd、re相同或不同，獨(dú)立地選自h、或者任選被一個(gè)，兩個(gè)或更多個(gè)ra取代的下列基團(tuán)：c1-12烷基、c3-12環(huán)烷基、3-12元雜環(huán)基。

30、在本發(fā)明的一些具體實(shí)施方案中，所述含有含氮雜環(huán)的化合物包括如下m2’和m3’所示的化合物：

31、

32、其中，r21、r22、r23相同或不同，彼此獨(dú)立地選自-c1-12烷基-oh；r31、r32相同或不同，彼此獨(dú)立地選自-c1-12烷基-cooh或-c1-12烷基-cooc1-12烷基；r33選自h、c1-12烷基、芳基、雜芳基、-c1-12烷基-oh、-c1-12烷基-o-c1-12烷基、-c1-12烷基-cooh或-c1-12烷基-cooc1-12烷基。

33、在本發(fā)明的一些實(shí)施方案中，r21、r22、r23相同或不同，彼此獨(dú)立地選自-c1-6烷基-oh；r31、r32相同或不同，彼此獨(dú)立地選自-c1-6烷基-cooh或-c1-6烷基-cooc1-6烷基；r33選自h、c1-6烷基、-c1-6烷基-oh、-c1-6烷基-o-c1-6烷基、-c1-6烷基-cooh或-c1-6烷基-cooc1-6烷基。

34、在本發(fā)明的一些具體實(shí)施方案中，所述含有含氮雜環(huán)的化合物例如為：三(2-羥乙基)異氰脲酸酯、三(2-羧基乙基)異氰脲酸酯。

35、在本發(fā)明的一些實(shí)施方案中，所述鏈狀聚合物為m1’、m2’和m3’反應(yīng)得到的聚合物。

36、進(jìn)一步地，當(dāng)r31、r32、r33三個(gè)基團(tuán)都為-c1-12烷基-cooh時(shí)，可以使用c1-12的脂肪醇對單體m3’中未參與反應(yīng)的cooh進(jìn)行封端。

37、本發(fā)明的交聯(lián)劑可以是具有至少兩個(gè)能夠形成交聯(lián)的取代基的可交聯(lián)化合物。所述交聯(lián)劑可以為氨基交聯(lián)劑。例如甘脲基交聯(lián)劑、三聚氰胺基交聯(lián)劑、脲基交聯(lián)劑、苯并胍胺基交聯(lián)劑，或具有可以形成交聯(lián)的取代基如羥甲基和甲氧基甲基的酚基化合物。

38、在本發(fā)明的一些實(shí)施方案中，所述交聯(lián)劑例如可以為甲氧基甲基化甘脲、或甲氧基甲基化三聚氰胺，例如四甲氧基甲基甘脲、四丁氧基甲基甘脲或六甲氧基甲基三聚氰胺。所述交聯(lián)劑可以是市售的。例如，美國氰胺公司以cymel?1170、1171和1172的商品名銷售的甘脲基交聯(lián)劑；美國氰胺公司以cymel?300、301、303、350、370、380、1116和1130的商品名銷售的三聚氰胺基交聯(lián)劑；美國氰胺公司以powderlink1174、1196、beetle?60、65和80等商品名銷售的脲基交聯(lián)劑；美國氰胺公司以商品名cymel?1123和1125銷售的苯并胍胺基交聯(lián)劑。

39、在本發(fā)明的一些實(shí)施方案中，所述交聯(lián)劑具有如下式ic所示的結(jié)構(gòu)：

40、

41、其中，s為1-12的整數(shù)；

42、r7、r8相同或不同，彼此獨(dú)立地選自h、c1-12烷基、c6-14芳基或5-14元雜芳基；

43、r9、r10、r11、r12相同或不同，彼此獨(dú)立地選自c1-12烷基。

44、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，s為1-6的整數(shù)，如1、2、3、4；

45、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，r7、r8相同或不同，彼此獨(dú)立地選自h、c1-6烷基、苯基；例如為h、甲基、乙基、丙基、丁基或苯基。

46、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，r9、r10、r11、r12相同或不同，彼此獨(dú)立地選自c1-6烷基，例如為甲基、乙基、正丙基或正丁基。

47、在本發(fā)明的一些具體實(shí)施方案中，所述交聯(lián)劑選自以下結(jié)構(gòu)：

48、

49、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述自交聯(lián)樹脂的重均分子量為1000～8000，如2000～7000、3000～6000或4000～5000。

50、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述自交聯(lián)樹脂的分子量分布系數(shù)＜2.5，如1.10～1.25、1.25～1.50、1.50～2.00、2.00～2.04、2.04～2.08或2.08～2.14。

51、在本發(fā)明的一些具體實(shí)施方案中，所述自交聯(lián)樹脂具有如下所示的結(jié)構(gòu)單元：

52、

53、

54、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述電子束光刻膠基底樹脂材料為芳香族乙烯基單體和α-鹵代丙烯酸酯單體的共聚物；

55、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述芳香族乙烯基單體選自α-甲基苯乙烯單體和4-氟-α-甲基苯乙烯單體中的至少一種。

56、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述α-鹵代丙烯酸酯單體選自α-氯代丙烯酸甲酯單體、α-氯代丙烯酸乙酯單體、α-氯代丙烯酸芐基酯單體、α-氯代丙烯酸-1-金剛烷基酯單體、α-氯代丙烯酸-2,2,3,3,3-五氟丙酯單體、α-氯代丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟丁酯單體、α-氟代丙烯酸甲酯單體、α-氟代丙烯酸乙酯單體、α-氟代丙烯酸芐基酯單體、α-氟代丙烯酸-1-金剛烷基酯單體、α-氟代丙烯酸-2,2,3,3,3-五氟丙酯單體和α-氯代丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟丁酯單體中的至少一種。

57、在本發(fā)明一些具體的實(shí)施方案中，所述基底樹脂材料為如下α-甲基苯乙烯和2-氯代丙烯酸甲酯通過共聚反應(yīng)得到的樹脂材料：

58、

59、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述光刻膠基底樹脂材料的重均分子量為20000～100000，如20000～50000、50000～56300、56300～58000、58000～68300、68300～69900、69900～75000或75000～100000。

60、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述光刻膠基底樹脂材料的分子量分布系數(shù)＜2.5，如1.10～1.25、1.25～1.50、1.50～2.00、2.00～2.04、2.04～2.08或2.08～2.14。

61、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述電子束光刻膠組合物還包括溶劑；所述溶劑選自苯甲醚、甲苯、二甲苯、三甲苯、氯代苯、二氯苯、丙二醇單醋酸酯、丙二醇單乙醚、丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇單甲醚、二縮乙二醇甲醚、二縮乙二醇乙醚、二縮乙二醇甲乙醚、醋酸丁酯、醋酸新戊酯、γ-丁內(nèi)脂和乳酸乙酯中的至少一種，優(yōu)選為苯甲醚。

62、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述電子束光刻膠組合物還可以包括助劑，所述助劑選自表面活性劑、光致酸產(chǎn)生劑、熱致產(chǎn)酸劑、粘度控制劑和穩(wěn)定劑中的至少一種。

63、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述表面活性劑包括：非離子表面活性劑，例如聚氧乙烯烷基醚如聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯鯨蠟基醚和聚氧乙烯油基醚；聚氧乙烯烷基芳基醚如聚氧乙烯辛基苯基醚和聚氧乙烯壬基苯基醚；聚氧乙烯聚氧丙烯嵌段共聚物；脫水山梨醇脂肪酸酯如脫水山梨醇單月桂酸酯、脫水山梨醇單棕櫚酸酯、脫水山梨醇單硬脂酸酯、脫水山梨醇單油酸酯、脫水山梨醇三油酸酯和脫水山梨醇三硬脂酸酯；聚氧乙烯脫水山梨醇脂肪酸酯如聚氧乙烯脫水山梨醇單月桂酸酯、聚氧乙烯脫水山梨醇單棕櫚酸酯氟化表面活性劑。例如ef301、ef303、ef352、f171、f173、r-30、r-40、r-30-n、fc430、fc431、ag710、s-382、sc101、sc102和有機(jī)硅聚合物kp341。

64、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述表面活性劑可以以單一一種或者以多種混合在所述光刻膠組合物中。

65、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述光致酸產(chǎn)生劑選自n-羥基萘酰亞胺三氟甲磺酸、(4,8-二羥基-1-萘基)二甲基锍三氟甲磺酸鹽、(4,7-二羥基-1-萘基)二甲基锍三氟甲磺酸鹽、(4-甲氧基萘基)二苯基锍三氟甲磺酸鹽、(4-苯基硫代苯基)二苯基锍三氟甲磺酸鹽、2-(苯并[d][1,3]二氧戊環(huán)-5-基)-4,6-雙(三氯甲基)-1,3,5-三嗪、2-(2,4-二甲氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯甲基)-1,3,5-三嗪和2-[4-(4-甲氧基苯基)苯基]-4,6-雙(三氯甲基)-1,3,5-三嗪中的至少一種。

66、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述粘度控制劑選自丁醇、氯仿、乙醇、水、乙腈、己烷和異丙醇中的至少一種。

67、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述穩(wěn)定劑選自對苯醌、甲基氫醌、對羥基苯甲醚、2-叔丁基對苯二酚和2,5-二叔丁基對苯二酚中的至少一種。

68、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述電子束光刻膠組合物的各組分質(zhì)量百分比如下：光刻膠基底樹脂材料和自交聯(lián)樹脂3～15％，如3～7.5％或7.5～15％；溶劑84.95～96.998％，如84.95～92.488％或92.488～96.998％；助劑0.002～0.05％，如0.003～0.01％。

69、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述電子束光刻膠組合物包括如下質(zhì)量百分比的組分：3～15％基底樹脂材料和自交聯(lián)樹脂、0.003～0.008％表面活性劑和84.95～96.998％溶劑。

70、其中，光刻膠基底樹脂材料和自交聯(lián)樹脂的質(zhì)量比為1:(30～160)，例如1:(40～120)。

71、本發(fā)明還提供上述電子束光刻膠組合物的制備方法，包括如下步驟：將所述光刻膠基底樹脂材料和自交聯(lián)樹脂進(jìn)行混合，得到所述電子束光刻膠組合物。

72、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述光刻膠基底樹脂材料的制備包括如下步驟：將所述芳香族乙烯基單體和α-鹵代丙烯酸酯單體在引發(fā)劑的存在下進(jìn)行共聚反應(yīng)，得到所述光刻膠基底樹脂材料。

73、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，芳香族乙烯基單體和α-鹵代丙烯酸酯單體的共聚反應(yīng)在有機(jī)溶劑中進(jìn)行。

74、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，芳香族乙烯基單體和α-鹵代丙烯酸酯單體共聚反應(yīng)的溫度為65～90℃，如65～85℃或85～90℃。

75、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，芳香族乙烯基單體和α-鹵代丙烯酸酯單體使用的引發(fā)劑選自偶氮二異丁腈、偶氮二異庚腈、偶氮二異丁酸甲酯、過氧化苯甲酰、過氧化乙酰、過氧化月桂酰和叔丁基過氧化物中的至少一種。

76、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述方法還包括自交聯(lián)樹脂的制備過程，包括：

77、s1.將含有芳族基團(tuán)的化合物與含有含氮雜環(huán)的化合物進(jìn)行聚合，得到鏈狀聚合物；

78、s2.將所述鏈狀聚合物與交聯(lián)劑進(jìn)行反應(yīng)。

79、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，s1中反應(yīng)溫度為120-180℃，例如140-160℃。反應(yīng)時(shí)間為1-12小時(shí)。

80、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，交聯(lián)劑的用量可為聚合物中間體質(zhì)量的20％至60％wt％，例如30％至50％。

81、本發(fā)明還提供一種上述電子束光刻膠組合物的使用方法，包括如下步驟：將所述電子束光刻膠組合物涂布在襯底上，依次經(jīng)過前烘、曝光、后烘、顯影和定影，得到光刻圖案。

82、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述襯底為硅片。

83、根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，所述使用方法還包括如下技術(shù)特征中的至少一項(xiàng)：

84、1)前烘的溫度為160～200℃，如160～170℃、170～180℃、180～190℃或190～200℃；

85、2)前烘的時(shí)間為120～240s，如120～180s或180～240s；

86、3)曝光的能量為75～425μc/cm2；

87、4)顯影所用的顯影液為乙酸戊酯或包括乙酸戊酯和異丙醇的混合液；優(yōu)選為乙酸戊酯；

88、5)顯影的時(shí)間為50～70s，如50～60s或60～70s；

89、6)定影所用的定影液為異丙醇；

90、7)定影的時(shí)間為10～50s，如10～30s或30～50s。

91、本發(fā)明還提供上述電子束光刻膠組合物在電子束光刻中的用途。

92、有益效果

93、本發(fā)明提供一種電子束光刻膠組合物，其含有自交聯(lián)樹脂，所述自交聯(lián)樹脂中具有極性基團(tuán)，可以增強(qiáng)光刻膠對基底的黏附性。本發(fā)明的光刻膠組合物可以在不影響分辨率、抗蝕性和工藝寬容度的前提下，顯著改善電子束光刻圖案線條易倒塌的問題。所得圖案具有較好的線邊緣粗糙度。

94、術(shù)語定義與說明

95、除非另有定義，否則本文所有科技術(shù)語具有的含義與權(quán)利要求主題所屬領(lǐng)域技術(shù)人員通常理解的含義相同。

96、“更多個(gè)”表示三個(gè)或三個(gè)以上。

97、術(shù)語“鹵素”包括f、cl、br或i。

98、術(shù)語“c1-12烷基”應(yīng)理解為表示具有1～12個(gè)碳原子的直鏈或支鏈飽和一價(jià)烴基，優(yōu)選“c1-6烷基”。例如，“c1-6烷基”表示具有1、2、3、4、5、或6個(gè)碳原子的直鏈和支鏈烷基。所述烷基是例如甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、異丙基、異丁基、仲丁基、叔丁基、異戊基、2-甲基丁基、1-甲基丁基、1-乙基丙基、1,2-二甲基丙基、新戊基、1,1-二甲基丙基、4-甲基戊基、3-甲基戊基、2-甲基戊基、1-甲基戊基、2-乙基丁基、1-乙基丁基、3,3-二甲基丁基、2,2-二甲基丁基、1,1-二甲基丁基、2,3-二甲基丁基、1,3-二甲基丁基或1,2-二甲基丁基等或它們的異構(gòu)體。

99、術(shù)語“c1-12烷氧基”應(yīng)理解為-o-c1-12烷基，其中c1-12烷基具有上述定義。

100、術(shù)語“c6-20芳基”應(yīng)理解為表示具有6～20個(gè)碳原子的芳香性單環(huán)、雙環(huán)或三環(huán)烴環(huán)，優(yōu)選“c6-14芳基”。術(shù)語“c6-14芳基”應(yīng)理解為優(yōu)選表示具有6、7、8、9、10、11、12、13或14個(gè)碳原子的一價(jià)芳香性或部分芳香性的單環(huán)、雙環(huán)或三環(huán)烴環(huán)(“c6-14芳基”)，特別是具有6個(gè)碳原子的環(huán)(“c6芳基”)，例如苯基；或聯(lián)苯基，或者是具有9個(gè)碳原子的環(huán)(“c9芳基”)，例如茚滿基或茚基，或者是具有10個(gè)碳原子的環(huán)(“c10芳基”)，例如四氫化萘基、二氫萘基或萘基，或者是具有13個(gè)碳原子的環(huán)(“c13芳基”)，例如芴基，或者是具有14個(gè)碳原子的環(huán)(“c14芳基”)，例如蒽基，或者是具有16個(gè)碳原子的環(huán)(“c16芳基”)，例如芘基。當(dāng)所述c6-22基被取代時(shí)，其可以為單取代或者多取代。并且，對其取代位點(diǎn)沒有限制，例如可以為鄰位、對位或間位取代。

101、術(shù)語“5-20元雜芳基”應(yīng)理解為包括這樣的一價(jià)單環(huán)、雙環(huán)或三環(huán)芳族環(huán)系：其具有5～20個(gè)環(huán)原子且包含1-5個(gè)獨(dú)立選自n、o和s的雜原子，例如“5-14元雜芳基”。術(shù)語“5-14元雜芳基”應(yīng)理解為包括這樣的一價(jià)單環(huán)、雙環(huán)或三環(huán)芳族環(huán)系：其具有5、6、7、8、9、10、11、12、13或14個(gè)環(huán)原子，特別是5或6或9或10個(gè)碳原子，且其包含1-5個(gè)，優(yōu)選1-3個(gè)獨(dú)立選自n、o和s的雜原子，并且，另外在每一種情況下可為苯并稠合的。特別地，雜芳基選自噻吩基、呋喃基、吡咯基、噁唑基、噻唑基、咪唑基、吡唑基、異噁唑基、異噻唑基、噁二唑基、三唑基、噻二唑基、噻-4h-吡唑基等以及它們的苯并衍生物，例如苯并呋喃基、苯并噻吩基、苯并噁唑基、苯并異噁唑基、苯并咪唑基、苯并三唑基、吲唑基、吲哚基、異吲哚基等；或吡啶基、噠嗪基、嘧啶基、吡嗪基、三嗪基等，以及它們的苯并衍生物，例如喹啉基、喹唑啉基、異喹啉基等；或吖辛因基、吲嗪基、嘌呤基等以及它們的苯并衍生物；或噌啉基、酞嗪基、喹唑啉基、喹喔啉基、萘啶基、蝶啶基、咔唑基、吖啶基、吩嗪基、吩噻嗪基、吩噁嗪基等。

102、術(shù)語“c3-12環(huán)烷基”應(yīng)理解為表示飽和的一價(jià)單環(huán)或雙環(huán)烴環(huán)，其具有3、4、5、6、7、8、9、10、11或12個(gè)碳原子。所述c3-12環(huán)烷基可以是單環(huán)烴基，如環(huán)丙基、環(huán)丁基、環(huán)戊基、環(huán)己基、環(huán)庚基、環(huán)辛基、環(huán)壬基或環(huán)癸基，或者是雙環(huán)烴基如十氫化萘環(huán)。

103、術(shù)語“3-12元雜環(huán)基”意指飽和的一價(jià)單環(huán)或雙環(huán)烴環(huán)，其包含1-5個(gè)，優(yōu)選1-3個(gè)選自n、o和s的雜原子。所述雜環(huán)基可以通過所述碳原子中的任一個(gè)或氮原子(如果存在的話)與分子的其余部分連接。特別地，所述雜環(huán)基可以包括但不限于：4元環(huán)，如氮雜環(huán)丁烷基、氧雜環(huán)丁烷基；5元環(huán)，如四氫呋喃基、二氧雜環(huán)戊烯基、吡咯烷基、咪唑烷基、吡唑烷基、吡咯啉基；或6元環(huán)，如四氫吡喃基、哌啶基、嗎啉基、二噻烷基、硫代嗎啉基、哌嗪基或三噻烷基；或7元環(huán)，如二氮雜環(huán)庚烷基。任選地，所述雜環(huán)基可以是苯并稠合的。所述雜環(huán)基可以是雙環(huán)的，例如但不限于5,5元環(huán)，如六氫環(huán)戊并[c]吡咯-2(1h)-基環(huán)，或者5,6元雙環(huán)，如六氫吡咯并[1,2-a]吡嗪-2(1h)-基環(huán)。含氮原子的環(huán)可以是部分不飽和的，即它可以包含一個(gè)或多個(gè)雙鍵，例如但不限于2,5-二氫-1h-吡咯基、4h-[1,3,4]噻二嗪基、4,5-二氫噁唑基或4h-[1,4]噻嗪基，或者，它可以是苯并稠合的，例如但不限于二氫異喹啉基。根據(jù)本發(fā)明，所述雜環(huán)基是無芳香性的。