本發(fā)明屬于光刻膠剝離液領(lǐng)域，尤其涉及一種顯示面板用水系光刻膠剝離液及其制備方法和應用。

背景技術(shù)：

1、光刻膠又稱光致抗蝕劑，主要由感光樹脂、增感劑和溶劑三種成分組成。感光樹脂經(jīng)光照后，在曝光區(qū)能很快地發(fā)生光固化反應，使得這種材料的物理性能，特別是溶解性、親合性等發(fā)生明顯變化。經(jīng)曝光、顯影、刻蝕、擴散、離子注入、金屬沉積等工藝將所需的微細圖形從掩模版轉(zhuǎn)移至加工的基板上、最后通過去膠剝離液將曝光部分的光刻膠清洗掉，從而完成整個圖形轉(zhuǎn)移過程。

2、現(xiàn)有剝離液主要有水系剝離液和有機剝離液。水系剝離液的主要成分包含有機試劑和純水，不同剝離液中純水所占比例有所不同，在水系剝離液和光刻膠反應過程中，一般制程溫度在50-70℃，純水和有機物在使用過程中依然會有較大的揮發(fā)量，水系剝離液中各組分含量也對應產(chǎn)生變化影響剝離效果；同時產(chǎn)生的有機蒸汽，還會影響作業(yè)安全。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明解決的技術(shù)問題：目前使用的光刻膠剝離液整體的穩(wěn)定性較差，水系光刻膠剝離液中有機溶劑、超純水的揮發(fā)情況比較嚴重，制程中的作業(yè)風險較大，影響了水系剝離液的使用壽命的問題。

2、鑒于現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題，本發(fā)明設(shè)計了一種顯示面板用水系光刻膠剝離液及其制備方法和應用。

3、需要注意的是，在本發(fā)明中，除非另有規(guī)定，涉及組成限定和描述的“包括”的具體含義，既包含了開放式的“包括”、“包含”等及其類似含義，也包含了封閉式的“由…組成”等及其類似含義。

4、為了解決上述存在的技術(shù)問題，本發(fā)明采用了以下方案：

5、一種顯示面板用水系光刻膠剝離液，其特征在于，按照重量份計算，包括如下組分：

6、復合功能劑?0.1-0.5份；

7、有機胺?15-25份；

8、極性溶劑?10-20份；

9、金屬抗蝕劑?1-5份；

10、超純水?30-50份。

11、進一步地，所述的復合功能劑為氧化石墨烯和富電子水溶性化合物的混合物。

12、進一步地，所述的氧化石墨烯和富電子水溶性化合物的質(zhì)量比為1-5:1。

13、進一步地，所述的富電子水溶性化合物為聚丙烯酰胺、聚丙烯酸、聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯醇、聚馬來酸酐、聚季銨鹽、聚乙二醇、聚乙烯亞胺中的一種或多種。

14、進一步地，所述的有機胺為乙醇胺、n-甲基乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、異丙醇胺、2-氨基乙醇胺、乙基二乙醇胺、n,n-二甲基乙醇胺、n,n-二乙基乙醇胺、n-(2-氨基乙基)乙醇胺、二甘醇胺中的一種或多種。

15、進一步地，所述的極性溶劑為n-甲基甲酰胺、n-甲基吡咯烷酮、二甲基亞砜、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚中的一種或多種。

16、進一步地，所述的金屬抗蝕劑為丙三醇、二乙二醇、鄰苯二酚、4-甲基鄰苯二酚、4-叔丁基鄰苯二酚、1,2,4-三唑、3-氨基-1,2,4-三唑、4-氨基-1,2,4-三唑、苯駢三氮唑、巰基苯駢噻唑、咪唑和膦羧酸中的一種或多種。

17、本發(fā)明還公開了一種所述的顯示面板用水系光刻膠剝離液的制備方法，其特征在于包含以下步驟：

18、步驟1：分別稱取各自用量的各個組分；

19、步驟2：在室溫下將除復合功能劑以外的所有組分混合均勻，然后加入復合功能劑，攪拌至均勻透明，即得所述的顯示面板用水系光刻膠剝離液。

20、本發(fā)明還公開了一種所述的顯示面板用水系光刻膠剝離液的使用方法，其特征在于包含以下步驟：

21、步驟1：將所述的顯示面板用水系光刻膠剝離液加熱至50-70℃，待溫度穩(wěn)定后，將基板放入剝離液中持續(xù)振蕩，得到剝離后的基板；

22、步驟2：將上述剝離后的基板用超純水沖洗至少兩次，去除剝離液殘留，最后氮氣吹干，得到去除光刻膠的基板。

23、本發(fā)明還公開了一種所述的顯示面板用水系光刻膠剝離液在去除面板光刻膠中的用途。

24、在本發(fā)明中，為了進一步優(yōu)化顯示面板用水系光刻膠剝離液的性能，可以對其各個組成組分進行優(yōu)選：復合功能劑0.1-0.4份；有機胺15-20份；極性溶劑10-18份；金屬抗蝕劑1-3份；超純水35-50份。

25、在本發(fā)明中，氧化石墨烯和富電子水溶性化合物的質(zhì)量比優(yōu)選為2:1。

26、在本發(fā)明中，有機胺優(yōu)選為乙醇胺、二乙醇胺、二甘醇胺的一種或多種。

27、在本發(fā)明中，極性溶劑優(yōu)選為二甲基亞砜和/或二乙二醇單甲醚。

28、在本發(fā)明中，金屬抗蝕劑優(yōu)選為丙三醇、鄰苯二酚、苯駢三氮唑中的一種或多種。

29、在本發(fā)明剝離液的使用方法中，步驟1中，對于不同厚度的光刻膠，剝離時間一般不相同，一般建議1min左右。

30、在本發(fā)明中，步驟2中，超純水沖洗的時間約1min。

31、在本發(fā)明中，使用的超純水為電阻≥18mω的去離子水。

32、本發(fā)明采用的復合功能劑具有如下的優(yōu)勢：

33、氧化石墨烯是石墨烯的一種氧化形式，其表面含有多種氧功能團，如羧基、羥基和環(huán)氧基，使其具有較高的極性，能夠與水和其他化學物質(zhì)形成氫鍵或靜電相互作用，從而改善其在溶液中的分散性和穩(wěn)定性，減少了極性溶劑和有機胺的揮發(fā)。

34、同時，富電子水溶性化合物的作用機制：

35、富電子水溶性化合物具有較高的電子密度，含有豐富的電子供體基團，如氨基(-nh2)、羥基(-oh)等。

36、復合功能劑的作用機理：

37、復合功能劑中的富電子化合物具有較高的還原性或電荷密度，可以與氧化石墨烯go的氧化基團通過靜電或氫鍵發(fā)生作用，形成穩(wěn)定的網(wǎng)絡結(jié)構(gòu)，使各分子在溶液中連接更緊密，不容易隨溫度波動而變化，更好的維持水系剝離液整體的穩(wěn)定性。

38、從而，也更有效地達到降低水系剝離液中極性溶劑、有機胺和超純水的揮發(fā)的效果，降低了制程中的作業(yè)風險。

39、同時，水系剝離液穩(wěn)定性增強，保持了原始的剝離效果，增加了水系剝離液的使用壽命。

40、本發(fā)明提供了一種顯示面板用水系光刻膠剝離液及其制備方法和應用具有如下有益效果：

41、1、本發(fā)明采用氧化石墨烯和富電子水溶性化合物的組合，富電子水溶性化合物與氧化石墨烯的氧化基團通過靜電或氫鍵發(fā)生作用，形成穩(wěn)定的網(wǎng)絡結(jié)構(gòu)，使各分子在剝離液中連接更緊密，不容易隨溫度波動而變化，更好的維持水系光刻膠剝離液整體的穩(wěn)定性，達到降低水系光刻膠剝離液中極性溶劑、有機胺和超純水的揮發(fā)，降低制程中的作業(yè)風險的效果，延長了水系剝離液的使用壽命。

42、2、本發(fā)明提供的水系剝離液使光刻膠去除完整，基本無殘留，提高了器件的精密度。

技術(shù)特征：

1.一種顯示面板用水系光刻膠剝離液，其特征在于，按照重量份計算，包括如下組分：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示面板用水系光刻膠剝離液，其特征在于：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯示面板用水系光刻膠剝離液，其特征在于：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯示面板用水系光刻膠剝離液，其特征在于：

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示面板用水系光刻膠剝離液，其特征在于：

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示面板用水系光刻膠剝離液，其特征在于：

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示面板用水系光刻膠剝離液，其特征在于：

8.一種權(quán)利要求1-7任一項所述的顯示面板用水系光刻膠剝離液的制備方法，其特征在于包含以下步驟：

9.一種權(quán)利要求1-7任一項所述的顯示面板用水系光刻膠剝離液的使用方法，其特征在于包含以下步驟：

10.一種權(quán)利要求1-7任一項所述的顯示面板用水系光刻膠剝離液在去除面板光刻膠中的用途。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種顯示面板用水系光刻膠剝離液及其制備方法和應用。所述顯示面板用水系光刻膠剝離液，按照重量份計算，包括如下組分；復合功能劑0.1?0.5份；有機胺15?25份；極性溶劑10?20份；金屬抗蝕劑1?5份；超純水30?50份。本發(fā)明采用的復合功能劑中富電子水溶性化合物與氧化石墨烯的氧化基團通過靜電或氫鍵發(fā)生作用，形成穩(wěn)定的網(wǎng)絡結(jié)構(gòu)，使各分子在溶液中連接更緊密，更好的維持水系光刻膠剝離液整體的穩(wěn)定性，達到降低水系光刻膠剝離液中其余組分的揮發(fā)，降低制程中的作業(yè)風險的效果，延長了水系剝離液的使用壽命。

技術(shù)研發(fā)人員：侯軍,劉海林,彭仁杰,張慧康,姚建民
受保護的技術(shù)使用者：浙江奧首材料科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9