1.一種濾光器,其特征在于,包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光器,其特征在于,
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濾光器,其特征在于,
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的濾光器,其特征在于,
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的濾光器,其特征在于,
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的濾光器,其特征在于,
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濾光器,其特征在于,
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光器,其特征在于,
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光器,其特征在于,
10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的濾光器,其特征在于,
11.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濾光器,其特征在于,
12.根據(jù)權(quán)利要求4所述的濾光器,其特征在于,
13.一種濾光器用鹵化非晶硅薄膜的制備方法,其特征在于,
14.一種傳感器系統(tǒng),其特征在于,包括: