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濾光器及包括其的傳感器系統(tǒng)、以及濾光器用鹵化非晶硅薄膜的制備方法與流程

文檔序號(hào):40625830發(fā)布日期:2025-01-10 18:31閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種濾光器,其特征在于,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光器,其特征在于,

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濾光器,其特征在于,

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的濾光器,其特征在于,

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的濾光器,其特征在于,

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的濾光器,其特征在于,

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濾光器,其特征在于,

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光器,其特征在于,

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾光器,其特征在于,

10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的濾光器,其特征在于,

11.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濾光器,其特征在于,

12.根據(jù)權(quán)利要求4所述的濾光器,其特征在于,

13.一種濾光器用鹵化非晶硅薄膜的制備方法,其特征在于,

14.一種傳感器系統(tǒng),其特征在于,包括:


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種濾光器及包括該濾光器的傳感器系統(tǒng),該濾光器具有高折射率的同時(shí)在約800nm~1100nm的窄帶示出消光系數(shù)低的特性。

技術(shù)研發(fā)人員:宋永真,皇甫昌權(quán)
受保護(hù)的技術(shù)使用者:宋永真
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/9
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