技術(shù)特征：

1.一種基于折返式光學(xué)裝置的調(diào)焦方法，其特征在于，所述折返式光學(xué)裝置依次包括管鏡組、聚焦透鏡組、場透鏡組、電光調(diào)諧平板玻璃組和折返式鏡頭組；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于折返式光學(xué)裝置的調(diào)焦方法，其特征在于，所述根據(jù)第一電場強度確定單個電光調(diào)諧平板玻璃的折射率變化，包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于折返式光學(xué)裝置的調(diào)焦方法，其特征在于，所述根據(jù)入射角和單個電光調(diào)諧平板玻璃的折射率變化，確定光束的邊緣光線在電光調(diào)諧平板玻璃組內(nèi)的折射角，包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于折返式光學(xué)裝置的調(diào)焦方法，其特征在于，所述根據(jù)入射角、當(dāng)前的折射角、電光調(diào)諧平板玻璃組的厚度以及單個電光調(diào)諧平板玻璃的折射率變化確定當(dāng)前電光調(diào)諧平板玻璃組的調(diào)焦量，包括：

5.一種基于折返式光學(xué)裝置的調(diào)焦系統(tǒng)，其特征在于，所述折返式光學(xué)裝置依次包括管鏡組、聚焦透鏡組、場透鏡組、電光調(diào)諧平板玻璃組和折返式鏡頭組；

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于折返式光學(xué)裝置的調(diào)焦系統(tǒng)，其特征在于，所述第一確定模塊包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于折返式光學(xué)裝置的調(diào)焦系統(tǒng)，其特征在于，所述第二確定模塊包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基于折返式光學(xué)裝置的調(diào)焦系統(tǒng)，其特征在于，所述第三確定模塊包括：

9.一種計算機設(shè)備，其特征在于，包括處理器和存儲器；其中，處理器執(zhí)行存儲器中保存的計算機程序時實現(xiàn)權(quán)利要求1-4任一項所述的基于折返式光學(xué)裝置的調(diào)焦方法的步驟。

10.一種計算機可讀存儲介質(zhì)，其特征在于，用于存儲計算機程序；計算機程序被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)權(quán)利要求1-4任一項所述的基于折返式光學(xué)裝置的調(diào)焦方法的步驟。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種基于折返式光學(xué)裝置的調(diào)焦方法、系統(tǒng)、計算機設(shè)備和存儲介質(zhì)，其中方法包括獲取當(dāng)前作用在單個電光調(diào)諧平板玻璃上的電場的強度，以確定單個電光調(diào)諧平板玻璃的折射率變化；獲取光束的邊緣光線在電光調(diào)諧平板玻璃組上的入射角；根據(jù)入射角和單個電光調(diào)諧平板玻璃的折射率變化，確定光束的邊緣光線在電光調(diào)諧平板玻璃組內(nèi)的折射角；根據(jù)入射角、當(dāng)前的折射角、電光調(diào)諧平板玻璃組的厚度和單個電光調(diào)諧平板玻璃的折射率變化確定當(dāng)前電光調(diào)諧平板玻璃組的調(diào)焦量。本發(fā)明能夠為不同的待測晶圓提供準(zhǔn)確的實時對焦，克服僅依賴離焦關(guān)系標(biāo)定曲線對焦過程中因晶圓上待測點的圖案形狀和反射率差異等對測量結(jié)果的影響，提高缺陷檢測靈敏度。

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受保護的技術(shù)使用者：蘇州佳智彩光電科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9