本發(fā)明涉及晶圓加工設(shè)備，具體涉及一種具有自清潔功能的晶圓勻膠顯影機(jī)。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，晶圓勻膠顯影機(jī)是光刻工藝中的關(guān)鍵設(shè)備之一，其性能直接關(guān)系到晶圓上電路圖案的精度和良率。傳統(tǒng)的晶圓勻膠顯影機(jī)在完成晶圓涂膠、顯影等工藝步驟后，通常需要人工或依賴額外的清潔設(shè)備對(duì)操作空間進(jìn)行清潔，以確保設(shè)備的穩(wěn)定性和后續(xù)工藝的準(zhǔn)確性。然而，這種清潔方式不僅耗時(shí)費(fèi)力，還可能因清潔不徹底而導(dǎo)致設(shè)備性能下降或晶圓污染。

2、公告號(hào)為cn221746436u公開(kāi)的一種多工位晶圓勻膠顯影機(jī)，該專(zhuān)利的多工位晶圓勻膠顯影機(jī)，通過(guò)設(shè)置濾板、吸附板以及紫外線消毒燈，廢水經(jīng)過(guò)連通口集中排入收集腔內(nèi)，先經(jīng)過(guò)濾板處進(jìn)行過(guò)濾處理，隨后過(guò)濾后的廢水經(jīng)過(guò)活性炭材質(zhì)的吸附板，對(duì)廢水吸附凈化，接著紫外線消毒燈發(fā)射紫外線對(duì)廢水消毒處理，最終打開(kāi)控制閥將液體通過(guò)排液口排出，且收集腔底部呈傾斜狀，便于快速將內(nèi)部液體排出，從而減少對(duì)環(huán)境造成的影響。

3、上述多工位晶圓勻膠顯影機(jī)的設(shè)計(jì)雖然包含了多種功能和部件，實(shí)現(xiàn)了晶圓的勻膠、顯影、清洗、廢水處理以及部分清理工作，但仍存在一些不足之處，特別是在防護(hù)罩內(nèi)壁的清潔方面。盡管設(shè)置了刮板用于清理防護(hù)罩內(nèi)壁粘附的膠液，但缺乏沖洗機(jī)構(gòu)，刮板雖然可以刮除大部分粘附物，但難以確保完全清除所有殘留物，沒(méi)有沖洗機(jī)構(gòu)意味著無(wú)法利用水流或清洗液的力量進(jìn)一步?jīng)_刷和清潔防護(hù)罩的內(nèi)壁，從而可能留下清潔死角或殘留物。

4、因此，發(fā)明一種具有自清潔功能的晶圓勻膠顯影機(jī)來(lái)解決上述問(wèn)題很有必要。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的是提供一種具有自清潔功能的晶圓勻膠顯影機(jī)，以解決上述技術(shù)中的問(wèn)題。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種具有自清潔功能的晶圓勻膠顯影機(jī)，包括操作臺(tái)和儲(chǔ)液箱，所述操作臺(tái)頂部設(shè)置有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括y軸直線模組、x軸直線模組、一號(hào)z軸直線模組和二號(hào)z軸直線模組，所述y軸直線模組安裝于操作臺(tái)頂部一側(cè)，所述y軸直線模組表面?zhèn)鲃?dòng)連接有一號(hào)滑臺(tái)，所述x軸直線模組一端安裝于一號(hào)滑臺(tái)表面，所述x軸直線模組表面同向傳動(dòng)連接有二號(hào)滑臺(tái)和三號(hào)滑臺(tái)，所述一號(hào)z軸直線模組安裝于二號(hào)滑臺(tái)表面，所述二號(hào)z軸直線模組安裝于三號(hào)滑臺(tái)表面，所述一號(hào)z軸直線模組表面?zhèn)鲃?dòng)連接有四號(hào)滑臺(tái)，所述四號(hào)滑臺(tái)表面安裝有膠液滴加箱和顯影液滴加箱，所述二號(hào)z軸直線模組表面?zhèn)鲃?dòng)連接有五號(hào)滑臺(tái)，所述五號(hào)滑臺(tái)表面安裝有清水滴加箱，所述清水滴加箱底部安裝有固定導(dǎo)管，所述固定導(dǎo)管底端通過(guò)旋轉(zhuǎn)接頭轉(zhuǎn)動(dòng)連接有活動(dòng)導(dǎo)管，所述清水滴加箱一側(cè)安裝有一號(hào)電機(jī)，所述一號(hào)電機(jī)通過(guò)驅(qū)動(dòng)組件與活動(dòng)導(dǎo)管傳動(dòng)連接，所述活動(dòng)導(dǎo)管底部安裝有多個(gè)交錯(cuò)設(shè)置的噴頭和刷掃桿，所述操作臺(tái)頂部安裝有隔離套，所述噴頭朝向隔離套內(nèi)壁設(shè)置，所述刷掃桿與隔離套相匹配，所述刷掃桿靠近隔離套內(nèi)壁的一側(cè)安裝有刷毛。

3、通過(guò)設(shè)置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，能夠快速、準(zhǔn)確地在膠液滴加箱、顯影液滴加箱和清水滴加箱之間進(jìn)行切換。

4、優(yōu)選的，所述x軸直線模組遠(yuǎn)離y軸直線模組的一端安裝有支撐腿，所述操作臺(tái)頂部遠(yuǎn)離y軸直線模組的一側(cè)安裝有滑軌，所述支撐腿底部與滑軌滑動(dòng)連接。

5、增加了支撐腿和滑軌的設(shè)計(jì)，提高了x軸直線模組在y軸方向上的穩(wěn)定性和移動(dòng)靈活性。

6、優(yōu)選的，所述驅(qū)動(dòng)組件由一個(gè)皮帶和兩個(gè)皮帶輪組成，其中一個(gè)所述皮帶輪安裝于活動(dòng)導(dǎo)管表面，另一個(gè)所述皮帶輪安裝于一號(hào)電機(jī)的輸出軸一端，所述皮帶張緊設(shè)置在兩個(gè)所述皮帶輪上。

7、通過(guò)皮帶和皮帶輪組成的驅(qū)動(dòng)組件，實(shí)現(xiàn)了一號(hào)電機(jī)對(duì)活動(dòng)導(dǎo)管的旋轉(zhuǎn)控制。

8、優(yōu)選的，所述隔離套內(nèi)部設(shè)置有三爪卡盤(pán)，所述操作臺(tái)內(nèi)部安裝有二號(hào)電機(jī)，所述二號(hào)電機(jī)的輸出軸一端貫穿操作臺(tái)并與三爪卡盤(pán)底部固定連接。

9、通過(guò)三爪卡盤(pán)對(duì)晶圓進(jìn)行快速定位和夾緊，通過(guò)二號(hào)電機(jī)驅(qū)使三爪卡盤(pán)帶動(dòng)晶圓進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。

10、優(yōu)選的，所述操作臺(tái)頂部設(shè)置有排水管，所述排水管一端與隔離套內(nèi)部相連通，所述排水管另一端延伸至操作臺(tái)外側(cè)。

11、排水管的設(shè)置能夠方便地排出隔離套內(nèi)部的廢液，這有助于保持設(shè)備的清潔和衛(wèi)生。

12、優(yōu)選的，所述儲(chǔ)液箱內(nèi)部依次設(shè)置有膠液儲(chǔ)存腔、顯影液儲(chǔ)存腔和清水儲(chǔ)存腔，所述膠液滴加箱表面安裝有一號(hào)注入接口，所述膠液滴加箱底部安裝有一號(hào)滴加管，所述顯影液滴加箱表面安裝有二號(hào)注入接口，所述顯影液滴加箱底部安裝有二號(hào)滴加管，所述清水滴加箱表面安裝有三號(hào)注入接口。

13、儲(chǔ)液箱內(nèi)部設(shè)置了不同的儲(chǔ)存腔，分別用于存放膠液、顯影液和清水，這種設(shè)計(jì)使得各種液體的存儲(chǔ)和管理更加有序和方便。

14、優(yōu)選的，所述儲(chǔ)液箱頂部依次安裝有一號(hào)泵、二號(hào)泵和三號(hào)泵，所述一號(hào)泵的輸入端與膠液儲(chǔ)存腔內(nèi)部通過(guò)管道進(jìn)行連接，所述一號(hào)泵的輸出端與一號(hào)注入接口之間通過(guò)管道進(jìn)行連接。

15、通過(guò)一號(hào)泵的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了膠液從儲(chǔ)液箱到滴加箱的自動(dòng)輸送。

16、優(yōu)選的，所述二號(hào)泵的輸入端與顯影液儲(chǔ)存腔內(nèi)部通過(guò)管道進(jìn)行連接，所述二號(hào)泵的輸出端與二號(hào)注入接口之間通過(guò)管道進(jìn)行連接。

17、通過(guò)二號(hào)泵的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了顯影液從儲(chǔ)液箱到顯影液滴加箱的自動(dòng)輸送。

18、優(yōu)選的，所述三號(hào)泵的輸入端與清水儲(chǔ)存腔內(nèi)部通過(guò)管道進(jìn)行連接，所述三號(hào)泵的輸出端與三號(hào)注入接口之間通過(guò)管道進(jìn)行連接。

19、通過(guò)三號(hào)泵的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了去離子水從儲(chǔ)液箱到清水滴加箱的自動(dòng)輸送。

20、優(yōu)選的，所述儲(chǔ)液箱頂部依次安裝有一號(hào)進(jìn)料管口、二號(hào)進(jìn)料管口和三號(hào)進(jìn)料管口，所述一號(hào)進(jìn)料管口與膠液儲(chǔ)存腔內(nèi)部相連通，所述二號(hào)進(jìn)料管口與顯影液儲(chǔ)存腔內(nèi)部相連通，所述三號(hào)進(jìn)料管口與清水儲(chǔ)存腔內(nèi)部相連通。

21、儲(chǔ)液箱頂部設(shè)置了不同的進(jìn)料管口，分別用于向各儲(chǔ)存腔添加液體。

22、在上述技術(shù)方案中，本發(fā)明提供的技術(shù)效果和優(yōu)點(diǎn)：

23、1.通過(guò)增設(shè)噴頭來(lái)實(shí)現(xiàn)沖洗功能，利用水流的力量對(duì)防護(hù)罩內(nèi)壁進(jìn)行沖刷，強(qiáng)化了防護(hù)罩內(nèi)壁的清潔功能，配合刷掃桿表面的刷毛，能夠有效去除附著在隔離套內(nèi)壁的膠液，沖刷下來(lái)的膠液能夠隨著水流被帶走，避免留下殘留物；

24、2.通過(guò)設(shè)置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，能夠快速、準(zhǔn)確地在膠液滴加箱、顯影液滴加箱和清水滴加箱之間進(jìn)行切換，實(shí)現(xiàn)了晶圓從滴膠、顯影到清洗的全過(guò)程自動(dòng)化。

技術(shù)特征：

1.一種具有自清潔功能的晶圓勻膠顯影機(jī)，包括操作臺(tái)(1)和儲(chǔ)液箱(2)，其特征在于：所述操作臺(tái)(1)頂部設(shè)置有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括y軸直線模組(3)、x軸直線模組(4)、一號(hào)z軸直線模組(5)和二號(hào)z軸直線模組(6)，所述y軸直線模組(3)安裝于操作臺(tái)(1)頂部一側(cè)，所述y軸直線模組(3)表面?zhèn)鲃?dòng)連接有一號(hào)滑臺(tái)，所述x軸直線模組(4)一端安裝于一號(hào)滑臺(tái)表面，所述x軸直線模組(4)表面同向傳動(dòng)連接有二號(hào)滑臺(tái)和三號(hào)滑臺(tái)，所述一號(hào)z軸直線模組(5)安裝于二號(hào)滑臺(tái)表面，所述二號(hào)z軸直線模組(6)安裝于三號(hào)滑臺(tái)表面，所述一號(hào)z軸直線模組(5)表面?zhèn)鲃?dòng)連接有四號(hào)滑臺(tái)，所述四號(hào)滑臺(tái)表面安裝有膠液滴加箱(7)和顯影液滴加箱(8)，所述二號(hào)z軸直線模組(6)表面?zhèn)鲃?dòng)連接有五號(hào)滑臺(tái)，所述五號(hào)滑臺(tái)表面安裝有清水滴加箱(9)，所述清水滴加箱(9)底部安裝有固定導(dǎo)管，所述固定導(dǎo)管底端通過(guò)旋轉(zhuǎn)接頭(10)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有活動(dòng)導(dǎo)管(11)，所述清水滴加箱(9)一側(cè)安裝有一號(hào)電機(jī)(12)，所述一號(hào)電機(jī)(12)通過(guò)驅(qū)動(dòng)組件(13)與活動(dòng)導(dǎo)管(11)傳動(dòng)連接，所述活動(dòng)導(dǎo)管(11)底部安裝有多個(gè)交錯(cuò)設(shè)置的噴頭(14)和刷掃桿(15)，所述操作臺(tái)(1)頂部安裝有隔離套(16)，所述噴頭(14)朝向隔離套(16)內(nèi)壁設(shè)置，所述刷掃桿(15)與隔離套(16)相匹配，所述刷掃桿(15)靠近隔離套(16)內(nèi)壁的一側(cè)安裝有刷毛(17)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有自清潔功能的晶圓勻膠顯影機(jī)，其特征在于：所述x軸直線模組(4)遠(yuǎn)離y軸直線模組(3)的一端安裝有支撐腿(18)，所述操作臺(tái)(1)頂部遠(yuǎn)離y軸直線模組(3)的一側(cè)安裝有滑軌(19)，所述支撐腿(18)底部與滑軌(19)滑動(dòng)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有自清潔功能的晶圓勻膠顯影機(jī)，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)組件(13)由一個(gè)皮帶和兩個(gè)皮帶輪組成，其中一個(gè)所述皮帶輪安裝于活動(dòng)導(dǎo)管(11)表面，另一個(gè)所述皮帶輪安裝于一號(hào)電機(jī)(12)的輸出軸一端，所述皮帶張緊設(shè)置在兩個(gè)所述皮帶輪上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有自清潔功能的晶圓勻膠顯影機(jī)，其特征在于：所述隔離套(16)內(nèi)部設(shè)置有三爪卡盤(pán)(20)，所述操作臺(tái)(1)內(nèi)部安裝有二號(hào)電機(jī)(21)，所述二號(hào)電機(jī)(21)的輸出軸一端貫穿操作臺(tái)(1)并與三爪卡盤(pán)(20)底部固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有自清潔功能的晶圓勻膠顯影機(jī)，其特征在于：所述操作臺(tái)(1)頂部設(shè)置有排水管(22)，所述排水管(22)一端與隔離套(16)內(nèi)部相連通，所述排水管(22)另一端延伸至操作臺(tái)(1)外側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有自清潔功能的晶圓勻膠顯影機(jī)，其特征在于：所述儲(chǔ)液箱(2)內(nèi)部依次設(shè)置有膠液儲(chǔ)存腔、顯影液儲(chǔ)存腔和清水儲(chǔ)存腔，所述膠液滴加箱(7)表面安裝有一號(hào)注入接口(23)，所述膠液滴加箱(7)底部安裝有一號(hào)滴加管(24)，所述顯影液滴加箱(8)表面安裝有二號(hào)注入接口(25)，所述顯影液滴加箱(8)底部安裝有二號(hào)滴加管(26)，所述清水滴加箱(9)表面安裝有三號(hào)注入接口(27)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種具有自清潔功能的晶圓勻膠顯影機(jī)，其特征在于：所述儲(chǔ)液箱(2)頂部依次安裝有一號(hào)泵(28)、二號(hào)泵(29)和三號(hào)泵(30)，所述一號(hào)泵(28)的輸入端與膠液儲(chǔ)存腔內(nèi)部通過(guò)管道進(jìn)行連接，所述一號(hào)泵(28)的輸出端與一號(hào)注入接口(23)之間通過(guò)管道進(jìn)行連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種具有自清潔功能的晶圓勻膠顯影機(jī)，其特征在于：所述二號(hào)泵(29)的輸入端與顯影液儲(chǔ)存腔內(nèi)部通過(guò)管道進(jìn)行連接，所述二號(hào)泵(29)的輸出端與二號(hào)注入接口(25)之間通過(guò)管道進(jìn)行連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種具有自清潔功能的晶圓勻膠顯影機(jī)，其特征在于：所述三號(hào)泵(30)的輸入端與清水儲(chǔ)存腔內(nèi)部通過(guò)管道進(jìn)行連接，所述三號(hào)泵(30)的輸出端與三號(hào)注入接口(27)之間通過(guò)管道進(jìn)行連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有自清潔功能的晶圓勻膠顯影機(jī)，其特征在于：所述儲(chǔ)液箱(2)頂部依次安裝有一號(hào)進(jìn)料管口(31)、二號(hào)進(jìn)料管口(32)和三號(hào)進(jìn)料管口(33)，所述一號(hào)進(jìn)料管口(31)與膠液儲(chǔ)存腔內(nèi)部相連通，所述二號(hào)進(jìn)料管口(32)與顯影液儲(chǔ)存腔內(nèi)部相連通，所述三號(hào)進(jìn)料管口(33)與清水儲(chǔ)存腔內(nèi)部相連通。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種具有自清潔功能的晶圓勻膠顯影機(jī)，包括操作臺(tái)和儲(chǔ)液箱，所述操作臺(tái)頂部設(shè)置有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括Y軸直線模組、X軸直線模組、一號(hào)Z軸直線模組和二號(hào)Z軸直線模組，所述Y軸直線模組安裝于操作臺(tái)頂部一側(cè)，所述Y軸直線模組表面?zhèn)鲃?dòng)連接有一號(hào)滑臺(tái)，所述X軸直線模組一端安裝于一號(hào)滑臺(tái)表面，所述X軸直線模組表面同向傳動(dòng)連接有二號(hào)滑臺(tái)和三號(hào)滑臺(tái)。本發(fā)明通過(guò)增設(shè)噴頭來(lái)實(shí)現(xiàn)沖洗功能，利用水流的力量對(duì)防護(hù)罩內(nèi)壁進(jìn)行沖刷，強(qiáng)化了防護(hù)罩內(nèi)壁的清潔功能，配合刷掃桿表面的刷毛，能夠有效去除附著在隔離套內(nèi)壁的膠液，沖刷下來(lái)的膠液能夠隨著水流被帶走，避免留下殘留物。

技術(shù)研發(fā)人員：張寬寬,符學(xué)進(jìn),胡二濤,趙生龍,胡根生,張廣東
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇容道社半導(dǎo)體設(shè)備科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6