1.一種級聯(lián)模式轉(zhuǎn)換波導的偏振無關轉(zhuǎn)換裝置，從下至上包括晶圓的襯底、晶圓的埋氧層、器件層和器件層的sio2上包層，其特征在于：所述器件層包括：輸入波導、模式演化波導(100)、多段錐形模式轉(zhuǎn)換波導、偏振分束旋轉(zhuǎn)器和光合束器組件；
2.根據(jù)權利要求1所述的一種級聯(lián)模式轉(zhuǎn)換波導的偏振無關轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于：
3.根據(jù)權利要求1所述的一種級聯(lián)模式轉(zhuǎn)換波導的偏振無關轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于：所述多段錐形模式轉(zhuǎn)換波導包括第一水平定向耦合器(210)、第二水平定向耦合器(220)、第三水平定向耦合器(200)；
4.根據(jù)權利要求2所述的一種級聯(lián)模式轉(zhuǎn)換波導的偏振無關轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于：輸入光纖輸入的光信號，依次經(jīng)過輸入波導、模式演化波導(100)、第一水平定向耦合器(210)、第二水平定向耦合器(220)、移相器(300)、第二光合束器(420)；第一水平定向耦合器(210)、第二水平定向耦合器(220)輸出的兩束光信號進入第一光合束器(410)，第一光合束器(410)將第一水平定向耦合器(210)、第二水平定向耦合器(220)的兩束光信號合束后輸入第二光合束器(420)，在第二光合束器(420)中與依次經(jīng)過第一水平定向耦合器(210)、第二水平定向耦合器(220)、移相器(300)輸出的光信號進行合束輸出，實現(xiàn)與輸入偏振態(tài)無關的基于硅波導的te偏振態(tài)轉(zhuǎn)換輸出。
5.根據(jù)權利要求3所述的一種級聯(lián)模式轉(zhuǎn)換波導的偏振無關轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于：輸入光纖輸入的光信號，依次經(jīng)過輸入波導、模式演化波導(100)、第一水平定向耦合器(210)、第二水平定向耦合器(220)、第三水平定向耦合器(200)、移相器(300)、第二光合束器(420)；第一水平定向耦合器(210)、第二水平定向耦合器(220)輸出的兩束光信號進入第一光合束器(410)，第一光合束器(410)將兩束光信號合束后與第三水平定向耦合器(200)輸出的光信號進入第三光合束器(400)，第三光合束器(400)將第三水平定向耦合器(200)、第一光合束器(410)的兩束光信號合束后輸入第二光合束器(420)，在第二光合束器(420)中與依次經(jīng)過第一水平定向耦合器(210)、第二水平定向耦合器(220)、第三水平定向耦合器(200)、移相器(300)輸出的光信號進行合束輸出，實現(xiàn)與輸入偏振態(tài)無關的基于硅波導的te偏振態(tài)轉(zhuǎn)換輸出。
6.根據(jù)權利要求2所述的一種級聯(lián)模式轉(zhuǎn)換波導的偏振無關轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于：所述第一水平定向耦合器(210)和第二水平定向耦合器(220)結(jié)構上完全一致，位置上僅有x軸平移，模式轉(zhuǎn)換效率相同。
7.根據(jù)權利要求2所述的一種級聯(lián)模式轉(zhuǎn)換波導的偏振無關轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于：
8.根據(jù)權利要求2所述的一種級聯(lián)模式轉(zhuǎn)換波導的偏振無關轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于：所述移相器(300)為電光移相器或熱光移相器，移相器(300)通過電光/熱光的形式改變直通端光信號的相位，使光信號在輸入第二光合束器(420)時相位與第一光合束器(410)輸出端輸入第二光合束器(420)輸入端的光信號相位一致。
9.根據(jù)權利要求2或3所述的一種級聯(lián)模式轉(zhuǎn)換波導的偏振無關轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于：所述第一光合束器(410)為多模干涉耦合器或y分支波導，用于將相位相同，強度不同的兩束光合束輸入到第二光合束器(420)的輸入端。
10.根據(jù)權利要求2所述的一種級聯(lián)模式轉(zhuǎn)換波導的偏振無關轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于：所述偏振分束旋轉(zhuǎn)器的直通端和第一光合束器(410)的輸出端在第二光合束器(420)的輸入端相位相同，光強不同，從第二光合束器(420)的輸出端合束輸出，光合束器均為2×1光合束器組件。