本公開涉及醫(yī)療器械，具體而言，涉及一種反射鏡微調(diào)節(jié)裝置。

背景技術(shù)：

1、在高能激光傳輸領(lǐng)域，通常采用金屬反射鏡來實現(xiàn)激光束的折轉(zhuǎn)，以快速散熱，防止反射鏡被強激光所損傷。但如果需要長時間穩(wěn)定工作，則需要進一步對金屬反射鏡及其支撐結(jié)構(gòu)進行通水冷卻。另一方面，為了確保光束傳輸?shù)臏蚀_性，需要對平面反射鏡的位置及姿態(tài)進行必要的調(diào)節(jié)，以校正光束的位差和角差。傳統(tǒng)的導(dǎo)光裝置，通常采用修研反射鏡安裝面的辦法，實現(xiàn)反射鏡的微量調(diào)節(jié)。該方法結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定性強，但鏡座的研磨工作量大，且一旦入射光束改變，又得重新修研反射鏡安裝面，非常不利于批量化生產(chǎn)。而相關(guān)技術(shù)中的一些具有微調(diào)節(jié)功能的反射鏡機構(gòu)不僅結(jié)構(gòu)復(fù)雜、不能通水冷卻，而且難以實現(xiàn)光路的氣密。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本公開的目的在于針對相關(guān)技術(shù)中的技術(shù)問題，提供一種反射鏡微調(diào)節(jié)裝置。具體方案如下：

2、本公開實施例的第一方面提供一種反射鏡微調(diào)節(jié)裝置，包括：基座，內(nèi)部設(shè)置有進光通道和出光通道；

3、反射鏡組件，設(shè)置有三個安裝孔，所述反射鏡組件安裝于所述基座，配置為將所述進光通道的入射光線反射至所述出光通道；

4、安裝組件，用于與所述安裝孔配合以使所述反射鏡組件與所述基座柔性連接，

5、其中，每個所述安裝組件至少包括碟片彈簧，所述碟片彈簧配置為調(diào)節(jié)所述反射鏡組件相對于所述基座的位置和姿態(tài)。

6、在一些實施例中，每個所述碟片彈簧包括多個環(huán)形碟片，響應(yīng)于至少一個所述碟片彈簧的所述環(huán)形碟片數(shù)量增加或減少，所述入射光線的反射角度偏轉(zhuǎn)。

7、在一些實施例中，響應(yīng)于三個碟片彈簧的所述環(huán)形碟片的數(shù)量同時增加或減少，所述出光通道內(nèi)的反射光線平移。

8、在一些實施例中，響應(yīng)于至少一個所述碟片彈簧的壓縮量增大，所述入射光線的反射角度偏轉(zhuǎn)。

9、在一些實施例中，在所述安裝孔的軸向上，三個所述碟片彈簧的投影連線為三角形。

10、在一些實施例中，所述反射鏡微調(diào)節(jié)裝置還包括：第一密封圈，設(shè)置于所述基座與所述反射鏡組件之間，配置為使所述反射鏡組件與所述基座徑向柔性密封。

11、在一些實施例中，所述反射鏡組件包括：

12、反射鏡，包括工作鏡面和第一冷卻管路，所述第一冷卻管路設(shè)置于所述工作鏡面的背側(cè)，配置為為所述工作鏡面降溫。

13、在一些實施例中，所述反射鏡組件還包括：

14、安裝座，與所述安裝組件配合以使所述反射鏡與所述基座連接，

15、其中，所述安裝座與所述基座連接的周側(cè)壁設(shè)置有安裝槽，所述第一密封圈與所述安裝槽過盈配合。

16、在一些實施例中，在所述反射鏡的軸向上，所述第一冷卻管路的投影與所述反射鏡的投影重合。

17、在一些實施例中，所述安裝座包括：

18、第二冷卻管路，設(shè)置于所述安裝座內(nèi)部且獨立于所述第一冷卻管路，配置為降低所述反射鏡的溫度。

19、本公開實施例的上述方案與相關(guān)技術(shù)相比，至少具有以下有益效果：

20、本公開提供的反射鏡微調(diào)裝置通過三處碟片彈簧實現(xiàn)反射鏡組件與基座的柔性連接,在確保光路密封可靠的情況下，通過增減碟片彈簧的預(yù)緊力或碟片數(shù)量實現(xiàn)反射鏡組件指向的兩維調(diào)節(jié)；通過同時增減三處連接點碟片彈簧中碟片的數(shù)量實現(xiàn)反射鏡的平移；最終完成對所傳輸激光角度偏差、位置偏差的校正。通過對反射鏡及安裝座循環(huán)通水，提高散熱效率，確保反射鏡的穩(wěn)定性及高能激光的傳輸質(zhì)量。

21、應(yīng)當理解的是，以上的一般描述和后文的細節(jié)描述僅是示例性和解釋性的，并不能限制本公開。

技術(shù)特征：

1.一種反射鏡微調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射鏡微調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的反射鏡微調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射鏡微調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射鏡微調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反射鏡微調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，還包括：第一密封圈，設(shè)置于所述基座與所述反射鏡組件之間，配置為使所述反射鏡組件與所述基座徑向柔性密封。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的反射鏡微調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述反射鏡組件包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的反射鏡微調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述反射鏡組件還包括：

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的反射鏡微調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的反射鏡微調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述安裝座包括：

技術(shù)總結(jié)
本公開提供一種反射鏡微調(diào)節(jié)裝置，包括：基座，內(nèi)部設(shè)置有進光通道和出光通道；反射鏡組件，設(shè)置有三個安裝孔，所述反射鏡組件安裝于所述基座，配置為將所述進光通道的入射光線反射至所述出光通道；安裝組件，與所述安裝孔配合，用于使反射鏡組件與所述基座柔性連接，其中，所述安裝組件包括碟片彈簧，配置為調(diào)節(jié)所述反射鏡組件相對于所述基座的位置。通過三處碟形彈簧實現(xiàn)安裝座與基座的柔性連接,在確保光路密封可靠的情況下，通過增減碟片彈簧的預(yù)緊力實現(xiàn)反射鏡指向的兩維調(diào)節(jié)；通過同時增減三處連接點碟片彈簧中碟片的數(shù)量實現(xiàn)反射鏡的平移；最終完成對所傳輸激光角差、位置的校正。

技術(shù)研發(fā)人員：徐新行,韓旭東,馮育澤,付越,潘其坤,郭勁
受保護的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/30