本發(fā)明涉及晶圓加工，具體為一種光刻膠烘烤工藝的加熱單元裝置。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體行業(yè)或平板液晶顯示行業(yè)里，被加工的基板需要經(jīng)過(guò)復(fù)雜的工序過(guò)程。在這個(gè)復(fù)雜而又漫長(zhǎng)的工藝處理過(guò)程中，通過(guò)光刻工藝(增粘、涂膠、烘烤、降溫、曝光等)時(shí)，將芯片所設(shè)計(jì)的各種復(fù)雜電路結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到基板上，在實(shí)現(xiàn)這個(gè)復(fù)雜邏輯線路的轉(zhuǎn)移的過(guò)程，光刻工藝過(guò)程中的光刻膠起到了重要的作用，光刻膠是一種光敏物質(zhì)，其中含有大量的有機(jī)溶劑、感光化學(xué)物等液體，在光刻工藝過(guò)程中，將涂覆的光刻膠進(jìn)行加工烘烤又是極其重要的一步，在這個(gè)加熱烘烤過(guò)程中，利用光刻膠烘烤機(jī)上的加熱模塊，將上述提到的有機(jī)溶劑等烘烤使其揮發(fā)，加熱模塊上設(shè)置有多個(gè)頂桿和多個(gè)吸附孔，頂桿是在取放料時(shí)對(duì)基板進(jìn)行頂起，吸附孔的作用下是在烘烤時(shí)對(duì)基板進(jìn)行吸附。

2、然而，現(xiàn)有的光刻膠烘烤工藝的加熱單元裝置在使用時(shí)，加熱模塊以及頂桿的頂部容易粘附雜質(zhì)，導(dǎo)致基板在放置后不能與加熱模塊完全貼合，導(dǎo)致加熱不均勻，同時(shí)，加熱模塊表面的平整度也會(huì)影響基板與加熱模塊的貼合效果，并且，吸附孔內(nèi)也容易集聚雜質(zhì)，影響其對(duì)基板的吸附效果，當(dāng)基板未與加熱模塊完全貼合時(shí)，不易被發(fā)現(xiàn)，從而影響烘烤的質(zhì)量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種光刻膠烘烤工藝的加熱單元裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種光刻膠烘烤工藝的加熱單元裝置，包括設(shè)置在底板頂部的光刻膠烘烤機(jī)，所述光刻膠烘烤機(jī)包括箱體和設(shè)置在箱體頂部的加熱模塊，且加熱模塊的頂部設(shè)置有多個(gè)頂桿和多個(gè)吸附孔，所述底板的頂部通過(guò)升降模塊連接有密封罩，且密封罩的頂部固定連接有抽風(fēng)機(jī)，所述底板的頂部固定連接有支撐板，所述支撐板的側(cè)壁固定連接有氣缸，且氣缸的伸縮端固定連接有托架；

3、所述箱體的頂部開(kāi)設(shè)有條形開(kāi)口，且條形開(kāi)口內(nèi)固定連接有導(dǎo)向桿，所述導(dǎo)向桿的側(cè)壁滑動(dòng)連接有滑動(dòng)塊，所述導(dǎo)向桿的側(cè)壁套設(shè)有復(fù)位彈簧，且滑動(dòng)塊的側(cè)壁固定連接有安裝板，所述安裝板的側(cè)壁固定連接有清潔塊，且安裝板的頂部貫穿設(shè)置有多個(gè)第一t形導(dǎo)桿，各個(gè)所述第一t形導(dǎo)桿通過(guò)伸縮機(jī)構(gòu)與安裝板的底部連接，且滑動(dòng)塊的側(cè)壁設(shè)置有用于對(duì)第一t形導(dǎo)桿的移動(dòng)進(jìn)行檢測(cè)的檢測(cè)組件；

4、所述加熱模塊的底部固定連接有固定管，且固定管內(nèi)通過(guò)第一復(fù)位機(jī)構(gòu)連接有移動(dòng)盤，所述移動(dòng)盤的頂部固定連接有多個(gè)陣列設(shè)置的第一移動(dòng)桿，且固定管的側(cè)壁固定插設(shè)有壓力傳感器，所述箱體內(nèi)通過(guò)第二復(fù)位機(jī)構(gòu)連接有移動(dòng)環(huán)，且頂桿與移動(dòng)環(huán)的頂部固定，所述箱體的底部設(shè)置有用于對(duì)固定管進(jìn)行抽氣的抽氣機(jī)構(gòu)，且滑動(dòng)塊的移動(dòng)通過(guò)第一推動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行推動(dòng)，所述第一移動(dòng)桿的移動(dòng)通過(guò)第二推動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行推動(dòng)，且移動(dòng)環(huán)的移動(dòng)通過(guò)第三推動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行推動(dòng)。

5、優(yōu)選的，所述檢測(cè)組件包括固定連接在安裝板側(cè)壁的l形板，且l形板的側(cè)壁固定連接有l(wèi)形塊，所述l形塊的側(cè)壁固定插設(shè)有距離傳感器，且l形板的側(cè)壁插設(shè)有兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的滑動(dòng)桿，所述滑動(dòng)桿的兩端分別固定連接有第一移動(dòng)塊和第二移動(dòng)塊，且各個(gè)滑動(dòng)桿的側(cè)壁套設(shè)有第一彈簧，所述安裝板的頂部固定連接有第一支撐塊和第二支撐塊，且第一支撐塊的側(cè)壁固定連接有拉繩，所述拉繩的另一端貫穿第二支撐塊的側(cè)壁并與第一移動(dòng)塊的側(cè)壁固定，各個(gè)所述第一t形導(dǎo)桿的側(cè)壁固定連接有固定環(huán)，且固定環(huán)固定套設(shè)在拉繩的側(cè)壁。

6、優(yōu)選的，所述抽氣機(jī)構(gòu)包括固定連接在箱體底部的l形支架，且l形支架的側(cè)壁固定連接有筒體，所述筒體內(nèi)滑動(dòng)連接有活塞，所述活塞的上端固定連接有連接桿，且連接桿的上端與移動(dòng)環(huán)的底部固定，所述筒體和固定管之間固定連接有氣管。

7、優(yōu)選的，所述第一推動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第一移動(dòng)板，且第一移動(dòng)板通過(guò)第三復(fù)位機(jī)構(gòu)與箱體的側(cè)壁連接，所述第一移動(dòng)板的頂部設(shè)置有第一斜面，且第一移動(dòng)板的底部固定連接有推動(dòng)塊，且推動(dòng)塊包括第二斜面，所述箱體的內(nèi)側(cè)壁通過(guò)移動(dòng)模塊連接有第二移動(dòng)板。

8、優(yōu)選的，所述第一復(fù)位機(jī)構(gòu)包括插設(shè)在固定管底部的兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的第二移動(dòng)桿，且各個(gè)第二移動(dòng)桿的上端固定連接有連接塊，所述連接塊與移動(dòng)盤的側(cè)壁固定，各個(gè)所述第二移動(dòng)桿的側(cè)壁套設(shè)有第二彈簧。

9、優(yōu)選的，所述第二推動(dòng)機(jī)構(gòu)包括插設(shè)在箱體側(cè)壁的第三移動(dòng)板，且第三移動(dòng)板包括第三斜面和第四斜面，所述滑動(dòng)塊的側(cè)壁固定連接有連接架，且連接架與第三移動(dòng)板的側(cè)壁固定。

10、優(yōu)選的，所述第三推動(dòng)機(jī)構(gòu)包括固定連接在移動(dòng)環(huán)底部的推動(dòng)板，且推動(dòng)板包括第五斜面。

11、優(yōu)選的，所述第二復(fù)位機(jī)構(gòu)包括固定連接在箱體底部的兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的套桿，且各個(gè)套桿的側(cè)壁套設(shè)有套管，所述套管的上端與移動(dòng)環(huán)的底部固定，且各個(gè)套管的側(cè)壁套設(shè)有第三彈簧。

12、優(yōu)選的，所述第三復(fù)位機(jī)構(gòu)包括固定連接在第一移動(dòng)板底部的兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的第二t形導(dǎo)桿，且第二t形導(dǎo)桿的側(cè)壁套設(shè)有連接板，所述連接板與箱體的內(nèi)側(cè)壁固定，且各個(gè)第二t形導(dǎo)桿的側(cè)壁套設(shè)有第四彈簧。

13、優(yōu)選的，所述伸縮機(jī)構(gòu)包括固定套設(shè)在各個(gè)第一t形導(dǎo)桿側(cè)壁的圓環(huán)，各個(gè)所述第一t形導(dǎo)桿的側(cè)壁套設(shè)有第五彈簧，且第五彈簧的兩端分別與圓環(huán)以及安裝板固定。

14、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

15、（1）該種光刻膠烘烤工藝的加熱單元裝置，通過(guò)設(shè)置第一推動(dòng)機(jī)構(gòu)以及檢測(cè)組件等，在進(jìn)行烘烤工藝時(shí)，先由外界傳遞機(jī)械手將待加熱處理的基板放置到托架上，接著，通過(guò)移動(dòng)模塊帶動(dòng)第二移動(dòng)板向靠近推動(dòng)板的方向移動(dòng)，當(dāng)?shù)诙苿?dòng)板與第二斜面相抵時(shí)，能夠推動(dòng)推動(dòng)塊和第一移動(dòng)板向上移動(dòng)，同時(shí)，第四彈簧被壓縮，當(dāng)?shù)谝灰苿?dòng)板向上移動(dòng)時(shí)，使得第一斜面與滑動(dòng)塊的底部相抵，從而能夠推動(dòng)滑動(dòng)塊沿著條形開(kāi)口向另一側(cè)移動(dòng)，與此同時(shí)，帶動(dòng)清潔塊和第一t形導(dǎo)桿進(jìn)行同步移動(dòng)，清潔塊能夠?qū)訜崮K和頂桿的頂部進(jìn)行自動(dòng)清潔，與此同時(shí)，第一t形導(dǎo)桿能夠在加熱模塊的頂部滑動(dòng)，當(dāng)加熱模塊的頂部存在凹坑或者凸起時(shí)，第一t形導(dǎo)桿會(huì)在豎直方向上進(jìn)行移動(dòng)，并通過(guò)固定環(huán)拉動(dòng)拉繩，使得第一移動(dòng)塊和第二移動(dòng)塊向靠近第二支撐塊的方向移動(dòng)，同時(shí)，第一彈簧被壓縮，此時(shí)，通過(guò)距離傳感器觀察第二移動(dòng)塊的移動(dòng)情況，從而能夠在加熱烘烤前，對(duì)加熱模塊的平整度進(jìn)行自動(dòng)檢測(cè)，保證基板與加熱模塊的貼合情況，從而保證加熱烘烤的質(zhì)量，當(dāng)?shù)诙苿?dòng)板繼續(xù)移動(dòng)時(shí)，當(dāng)?shù)诙苿?dòng)板與第五斜面相抵時(shí)，能夠推動(dòng)移動(dòng)環(huán)和頂桿向上移動(dòng)，同時(shí)，第三彈簧被拉伸，并且，第二移動(dòng)板在推動(dòng)塊的底部滑動(dòng)，待清潔完成后，使得第二移動(dòng)板停止移動(dòng)，此時(shí)，通過(guò)氣缸帶動(dòng)托架和待加熱處理的基板移動(dòng)至頂桿的頂部，接著，通過(guò)氣缸將托架移動(dòng)復(fù)位，然后，通過(guò)移動(dòng)模塊使得第二移動(dòng)板向遠(yuǎn)離推動(dòng)板的方向移動(dòng)并與推動(dòng)板脫離，而第二移動(dòng)板仍在推動(dòng)塊的底部滑動(dòng)，此時(shí)，頂桿和移動(dòng)環(huán)能夠在第三彈簧的作用下向下移動(dòng)，并使得基板與加熱模塊的頂部貼合。

16、（2）該種光刻膠烘烤工藝的加熱單元裝置，通過(guò)設(shè)置抽氣機(jī)構(gòu)和第一復(fù)位機(jī)構(gòu)等，在清潔塊對(duì)加熱模塊以及頂桿的頂部進(jìn)行清潔時(shí)，當(dāng)滑動(dòng)塊進(jìn)行移動(dòng)時(shí)，通過(guò)安裝板帶動(dòng)清潔塊進(jìn)行移動(dòng)，通過(guò)連接架帶動(dòng)第三移動(dòng)板進(jìn)行同步移動(dòng)，當(dāng)?shù)诙苿?dòng)桿的下端沿著第三斜面滑動(dòng)至第三移動(dòng)板的頂部時(shí)，能夠推動(dòng)移動(dòng)盤和第一移動(dòng)桿向上移動(dòng)，同時(shí)，第二彈簧被壓縮，此時(shí)，將第一移動(dòng)桿沿著吸附孔向上移動(dòng)，不僅能夠?qū)⑽娇變?nèi)的雜質(zhì)向上頂出，對(duì)其進(jìn)行自動(dòng)清潔，而且，能夠?qū)⑽娇椎捻敳窟M(jìn)行封堵密封，避免清潔塊在進(jìn)行清潔時(shí)，雜質(zhì)落入吸附孔內(nèi)，從而能夠保證后續(xù)對(duì)基板的吸附效果，待清潔塊清潔完成后，第二移動(dòng)桿的下端沿著第四斜面向下滑動(dòng)，此時(shí)，移動(dòng)盤和第一移動(dòng)桿能夠在第二彈簧的作用下向下移動(dòng)復(fù)位，并使得吸附孔的底部保持貫通，當(dāng)?shù)诙苿?dòng)板與第五斜面相抵時(shí)，推動(dòng)移動(dòng)環(huán)向上移動(dòng)，同時(shí)，通過(guò)連接桿帶動(dòng)活塞向上移動(dòng)，從而能夠?qū)⑼搀w內(nèi)暫存的空氣擠入固定管內(nèi)，接著，將基板放置在頂桿的頂部，并通過(guò)氣缸將托架移動(dòng)復(fù)位，然后，通過(guò)移動(dòng)模塊使得第二移動(dòng)板向遠(yuǎn)離推動(dòng)板的方向移動(dòng)并與推動(dòng)板脫離，而第二移動(dòng)板仍在推動(dòng)塊的底部滑動(dòng)，此時(shí)，頂桿和移動(dòng)環(huán)能夠在第三彈簧的作用下向下移動(dòng)，并使得基板與加熱模塊的頂部貼合，并且，當(dāng)移動(dòng)環(huán)向下移動(dòng)時(shí)，通過(guò)連接桿推動(dòng)活塞向下移動(dòng)，此時(shí)，能夠使得固定管內(nèi)的空氣進(jìn)入筒體內(nèi)暫存，使得固定管內(nèi)產(chǎn)生負(fù)壓，從而能夠通過(guò)吸附孔對(duì)基板進(jìn)行吸附，并且，通過(guò)壓力傳感器對(duì)固定管內(nèi)的壓力進(jìn)行檢測(cè)，若壓力傳感器檢測(cè)到固定管內(nèi)的壓力變大時(shí)，說(shuō)明基板與加熱模塊貼合不完全，從而能夠在加熱烘烤時(shí)，對(duì)基板與加熱模塊貼合狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè)，保證加熱烘烤的質(zhì)量，待加熱烘烤完成后，再通過(guò)移動(dòng)模塊帶動(dòng)第二移動(dòng)板向靠近推動(dòng)板的方向移動(dòng)，并帶動(dòng)移動(dòng)環(huán)和頂桿向上移動(dòng)，從而將烘烤后的基板向上頂起，與此同時(shí)，能夠?qū)⑼搀w內(nèi)暫存的空氣擠壓至固定管內(nèi)，使得固定管不再處于負(fù)壓狀態(tài)，接著，通過(guò)托架將烘烤后的基板從頂桿的頂部移走，最后，通過(guò)移動(dòng)模塊帶動(dòng)第二移動(dòng)板進(jìn)行移動(dòng)復(fù)位，此時(shí)，頂桿和移動(dòng)環(huán)能夠在第三彈簧的作用下向下移動(dòng)復(fù)位，第一移動(dòng)板能夠在第四彈簧的作用下向下移動(dòng)復(fù)位，滑動(dòng)塊能夠在復(fù)位彈簧的作用下移動(dòng)復(fù)位，并帶動(dòng)安裝板和清潔塊移動(dòng)復(fù)位。