本發(fā)明涉及晶圓加工，具體為一種涂膠顯影設(shè)備用密封裝置。

背景技術(shù)：

1、涂膠顯影機是制造半導(dǎo)體的常用設(shè)備，一般用于光刻膠涂布及顯影等工藝，涂膠顯影設(shè)備用密封裝置主要是吸附工作臺，作業(yè)時，晶圓會被傳送至涂膠或顯影腔室的吸附工作臺上進(jìn)行吸附處理，用于為半導(dǎo)體晶圓磨削、拋光時提供吸持與支撐，吸附工作臺的上方設(shè)置有密封圈，且工作臺的上方開設(shè)有吸附孔，在進(jìn)行吸附時，通過真空泵使得吸附孔進(jìn)行抽真空操作，使得晶圓與吸附工作臺之間形成負(fù)壓，從而將晶圓吸附在密封圈的上方。

2、然而，現(xiàn)有的涂膠顯影設(shè)備用密封裝置在使用時，密封圈的上方容易粘附灰塵等雜質(zhì)，從而影響密封的效果；密封圈容易被氧化，也會影響其密封的效果和使用壽命；當(dāng)密封圈的表面存在凹坑或者凸起缺陷時，不易被及時發(fā)現(xiàn)，也會影響密封的效果；在進(jìn)行吸附時，不便于對吸附力的大小進(jìn)行檢測，當(dāng)吸附力較小時，在旋涂的過程中，晶圓容易發(fā)生偏移甚至掉落，不僅影響旋涂的質(zhì)量，而且造成光刻膠的浪費。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種涂膠顯影設(shè)備用密封裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種涂膠顯影設(shè)備用密封裝置，包括設(shè)置在勻膠機構(gòu)上的安裝板，還包括：

3、吸附工作臺，轉(zhuǎn)動于所述安裝板的上方，所述吸附工作臺的上方設(shè)置有密封圈；

4、防護(hù)機構(gòu)，設(shè)置于所述安裝板的上方，用于對密封圈進(jìn)行防護(hù)；

5、所述防護(hù)機構(gòu)包括：

6、移動調(diào)節(jié)機構(gòu)，設(shè)置于所述安裝板的上方，且移動調(diào)節(jié)機構(gòu)上連接有第二l形板，用于對所述第二l形板進(jìn)行移動調(diào)節(jié)；

7、轉(zhuǎn)動機構(gòu)，設(shè)置于所述第二l形板的下方，且轉(zhuǎn)動機構(gòu)上連接有安裝塊，轉(zhuǎn)動機構(gòu)用于對所述安裝塊進(jìn)行轉(zhuǎn)動；

8、清潔塊，固定于所述安裝塊的下方，用于對密封圈進(jìn)行清潔；

9、涂抹機構(gòu)，設(shè)置于所述安裝塊的下方，使涂抹機構(gòu)能夠在所述密封圈的表面滑動，用于對所述密封圈的表面涂抹防氧化劑。

10、優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)動機構(gòu)包括：

11、伸縮機構(gòu)，設(shè)置于所述第二l形板的下方，且伸縮機構(gòu)上連接有圓盤，用于對圓盤進(jìn)行導(dǎo)向與復(fù)位；

12、環(huán)形導(dǎo)軌，固定套設(shè)于所述圓盤的側(cè)壁，且轉(zhuǎn)動塊轉(zhuǎn)動于環(huán)形導(dǎo)軌的側(cè)壁。

13、優(yōu)選的，所述涂抹機構(gòu)包括：

14、第一u形板，通過固定塊固定于所述安裝塊的下方；

15、轉(zhuǎn)動輥，通過第一轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動于所述第一u形板兩個相對的側(cè)壁；

16、吸附棉，固定套設(shè)于所述轉(zhuǎn)動輥的側(cè)壁；

17、供液機構(gòu)，設(shè)置于所述安裝塊的上方，用于對所述吸附棉供入防氧化劑。

18、優(yōu)選的，所述供液機構(gòu)包括：

19、儲液箱，通過固定板固定于所述安裝塊的上方；

20、固定罩，設(shè)置于所述吸附棉和所述第一u形板之間，且固定罩與第一u形板兩個相對的側(cè)壁固定，所述固定罩的底部開設(shè)有多個陣列設(shè)置的出液孔，且固定罩與儲液箱通過供液管連通。

21、優(yōu)選的，還包括：

22、檢測機構(gòu)，設(shè)置于所述安裝塊的下方，用于對密封圈進(jìn)行檢測；

23、所述檢測機構(gòu)包括：

24、復(fù)位機構(gòu)，設(shè)置于所述安裝塊的下方，且復(fù)位機構(gòu)上連接有第二u形板，用于所述第二u形板的移動進(jìn)行導(dǎo)向與復(fù)位；

25、檢測輥，設(shè)置于所述第二u形板內(nèi)且通過第二轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動于所述第二u形板兩個相對的側(cè)壁；

26、兩個支撐板，固定于所述安裝塊的上方；

27、指針，設(shè)置于兩個所述支撐板之間且通過轉(zhuǎn)動銷轉(zhuǎn)動于兩個所述支撐板相對的側(cè)壁；

28、刻度板，固定于所述安裝塊的上方且呈弧形設(shè)置，使所述指針能夠在刻度板的側(cè)壁滑動；

29、視覺傳感器，固定于所述安裝塊的上方且位于刻度板的一側(cè)。

30、優(yōu)選的，所述勻膠機構(gòu)還包括：

31、勻膠噴頭，通過移動模塊連接于所述安裝板的上方；

32、真空泵，設(shè)置于所述吸附工作臺的下方且通過抽氣管與所述吸附工作臺連通，所述抽氣管的側(cè)壁固定連接有通氣閥，且抽氣管的側(cè)壁固定插設(shè)有壓力傳感器；

33、第一移動環(huán)，通過第一氣缸連接于所述吸附工作臺的下方；

34、第一推動機構(gòu)，設(shè)置于所述第一移動環(huán)的上方，且第一推動機構(gòu)上連接有第二移動環(huán)，用于推動第二移動環(huán)進(jìn)行移動；

35、多個頂桿，固定于所述第二移動環(huán)的上方且貫穿吸附工作臺的上方設(shè)置；

36、電磁鐵，固定于所述第一移動環(huán)的上方，且第二移動環(huán)的底部與電磁鐵相對的位置固定連接有鐵塊；

37、驅(qū)動機構(gòu)，設(shè)置于所述安裝板的上方，用于驅(qū)動所述吸附工作臺進(jìn)行轉(zhuǎn)動。

38、優(yōu)選的，第一推動機構(gòu)包括：

39、多個第一套管，固定于所述第一移動環(huán)的上端，每個所述第一套管內(nèi)插設(shè)有第一套桿，且第一套桿的上端與第二移動環(huán)的底部固定；

40、第二套管，設(shè)置于所述第一移動環(huán)和第二移動環(huán)之間且固定于所述第二移動環(huán)的底部；

41、滑動盤，滑動于所述第二套管內(nèi)且通過第二套桿固定于所述第一移動環(huán)的上方；

42、工作管，設(shè)置于所述第二套管的一側(cè)且通過連接管與所述第二套管連通，所述工作管內(nèi)填充有液壓油，且工作管內(nèi)滑動連接有配重塊。

43、優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)動機構(gòu)還包括：

44、第二推動機構(gòu)，設(shè)置于所述第二l形板和圓盤之間，且用于推動所述圓盤進(jìn)行轉(zhuǎn)動；

45、所述第二推動機構(gòu)包括：

46、轉(zhuǎn)動環(huán)，通過第一連接板固定于所述轉(zhuǎn)動塊的上方，且轉(zhuǎn)動環(huán)的側(cè)壁開設(shè)有螺旋設(shè)置的第一滑動槽；

47、第一推動銷，插設(shè)于所述第一滑動槽內(nèi)且通過l形設(shè)置的第二連接板與所述第二l形板的側(cè)壁固定。

48、優(yōu)選的，所述檢測機構(gòu)還包括：

49、第三推動機構(gòu)，設(shè)置于所述安裝塊的上方，且用于推動所述指針進(jìn)行轉(zhuǎn)動；

50、所述第三推動機構(gòu)包括：

51、條形開口，開設(shè)于所述安裝塊的頂部且貫穿安裝塊的底部設(shè)置；

52、第一推動板，插設(shè)于所述條形開口內(nèi)且第一推動板的下端與所述第二u形板的頂部固定；

53、第二滑動槽，開設(shè)于所述指針的側(cè)壁且貫穿設(shè)置；

54、第二推動銷，插設(shè)于所述第二滑動槽內(nèi)且與所述第一推動板的側(cè)壁固定。

55、優(yōu)選的，所述供液機構(gòu)還包括：

56、啟閉機構(gòu)，設(shè)置于所述供液管的側(cè)壁，且用于控制供液管的開啟以及關(guān)閉；

57、所述啟閉機構(gòu)包括：

58、工作罩，固定插設(shè)于所述供液管的側(cè)壁且與供液管連通；

59、移動機構(gòu)，設(shè)置在所述工作罩的側(cè)壁，且移動機構(gòu)上連接有封板，用于對封板進(jìn)行移動，所述封板的上方開設(shè)有通孔。

60、優(yōu)選的，所述移動機構(gòu)包括：

61、推動桿，固定于所述封板的側(cè)壁，所述封板通過第三彈簧連接于所述工作罩的側(cè)壁；

62、第二推動板，通過第三連接板固定于所述第二l形板的側(cè)壁，所述第二推動板包括斜面，且推動桿遠(yuǎn)離封板的一端能夠在斜面上滑動。

63、優(yōu)選的，所述伸縮機構(gòu)包括：

64、兩個第三套管，設(shè)置于所述第二l形板和圓盤之間且固定于所述第二l形板的下方；

65、兩個第三套桿，插設(shè)于所述第三套管內(nèi)且第三套桿的下端與圓盤的上方固定；

66、第一彈簧，套設(shè)于所述第三套管以及第三套桿的側(cè)壁，且第一彈簧的兩端分別與第二l形板的底部以及圓盤的上方固定。

67、優(yōu)選的，所述復(fù)位機構(gòu)包括：

68、兩個第四套管，設(shè)置于所述安裝塊和第二u形板之間且固定于所述安裝塊的下方；

69、兩個第四套桿，插設(shè)于所述第四套管內(nèi)且第四套桿的下端與第二u形板的上方固定；

70、第二彈簧，套設(shè)于所述第四套管以及第四套桿的側(cè)壁，且第二彈簧的兩端分別與安裝塊的底部以及第二u形板的上方固定。

71、優(yōu)選的，所述防護(hù)機構(gòu)還包括：

72、刮板，固定于所述安裝塊的側(cè)壁且呈傾斜向下設(shè)置；

73、收集盒，設(shè)置于所述刮板的下方且通過連接塊與所述刮板的側(cè)壁可拆卸連接。

74、優(yōu)選的，所述驅(qū)動機構(gòu)包括：

75、齒圈，固定套設(shè)于所述吸附工作臺的側(cè)壁；

76、電機，通過l形塊固定于所述安裝板的下方，所述電機的輸出端固定連接有齒輪，且齒輪與齒圈嚙合設(shè)置。

77、優(yōu)選的，所述移動調(diào)節(jié)機構(gòu)包括：

78、第二氣缸，通過第一l形板固定于所述安裝板的底部，所述第二氣缸的伸縮端固定連接有移動塊；

79、第三氣缸，固定于所述移動塊的側(cè)壁，且第三氣缸的伸縮端與所述第二l形板的側(cè)壁固定。

80、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

81、（1）該種涂膠顯影設(shè)備用密封裝置，通過設(shè)置防護(hù)機構(gòu)等，當(dāng)需要對晶圓進(jìn)行旋涂時，先通過第三氣缸帶動第二l形板進(jìn)行移動，并將圓盤移動至吸附工作臺的上方，接著，通過第二氣缸帶動第二l形板和圓盤向下移動，當(dāng)圓盤與吸附工作臺的上方相抵時，當(dāng)?shù)诙形板繼續(xù)向下移動時，第一彈簧逐漸被壓縮，同時，第一推動銷沿著第一滑動槽向下滑動，從而推動轉(zhuǎn)動環(huán)進(jìn)行轉(zhuǎn)動，同時，轉(zhuǎn)動塊沿著環(huán)形導(dǎo)軌進(jìn)行轉(zhuǎn)動，并帶動安裝塊和清潔塊進(jìn)行同步轉(zhuǎn)動，此時，清潔塊能夠?qū)γ芊馊Φ谋砻孢M(jìn)行自動清潔，從而使其密封效果更好，與此同時，通過刮板能夠?qū)ξ焦ぷ髋_表面多余的涂料進(jìn)行自動刮除清理并流動至收集盒內(nèi)進(jìn)行收集，使用效果更好，并且，當(dāng)安裝塊進(jìn)行轉(zhuǎn)動時，通過固定塊帶動第一u形板進(jìn)行同步轉(zhuǎn)動，此時，吸附棉能夠在密封圈的表面進(jìn)行滾動，與此同時，當(dāng)圓盤與吸附工作臺的上方相抵后，當(dāng)?shù)诙形板繼續(xù)向下移動時，使得第二l形板與圓盤的距離變小，此時，帶動第二推動板向下移動，從而使得斜面與推動桿的端部相抵，能夠推動封板向工作罩內(nèi)滑動，同時，第三彈簧被壓縮，使得通孔發(fā)生重合，此時，儲液箱內(nèi)的防氧化劑通過供液管和通孔內(nèi)進(jìn)入固定罩內(nèi)并經(jīng)出液孔流動至吸附棉上，從而能夠在轉(zhuǎn)動輥轉(zhuǎn)動時，將吸附棉表面的防氧化劑涂覆在密封圈的表面，避免其氧化，能夠?qū)ζ溥M(jìn)行防護(hù)，保證其密封效果和使用壽命。

82、（2）該種涂膠顯影設(shè)備用密封裝置，通過設(shè)置檢測機構(gòu)等，當(dāng)安裝塊進(jìn)行轉(zhuǎn)動時，通過復(fù)位機構(gòu)帶動第二u形板進(jìn)行同步轉(zhuǎn)動，并且，在第二彈簧的作用下，使得檢測輥與密封圈的上方相抵，從而使得檢測輥能夠在密封圈的上方進(jìn)行滾動，此時，指針能夠指在刻度板上的某個刻度上，當(dāng)密封圈的表面存在凹坑或者凸起缺陷時，能夠使得檢測輥和第二u形板進(jìn)行下降或者上升移動，此時，通過第一推動板帶動第二推動銷在第二滑動槽內(nèi)滑動，從而能夠推動指針沿著轉(zhuǎn)動銷進(jìn)行轉(zhuǎn)動，此時，指針指示的刻度板上的刻度發(fā)生變化，并通過視覺傳感器進(jìn)行檢測，從而能夠?qū)γ芊馊Φ谋砻孢M(jìn)行自動檢測，保證其密封的效果，進(jìn)而使得晶圓在吸附工作臺上被吸附時的密封效果更好，更加穩(wěn)定可靠，從而保證旋涂的質(zhì)量。

83、（3）該種涂膠顯影設(shè)備用密封裝置，通過設(shè)置第一推動機構(gòu)等，待清潔以及檢測完成后，通過第二氣缸和第三氣缸帶動第二l形板和圓盤移動復(fù)位，接著，啟動第一氣缸，使得第一移動環(huán)向上移動，并通過電磁鐵和鐵塊帶動第二移動環(huán)和頂桿向上移動，接著，將晶圓放置在頂桿的上方，然后，通過第一氣缸使得第一移動環(huán)和第二移動環(huán)向下移動復(fù)位，并通過頂桿帶動晶圓向下移動，并使得晶圓與密封圈接觸，接著，啟動真空泵進(jìn)行抽氣操作，使得晶圓和吸附工作臺之間形成負(fù)壓，從而能夠?qū)A進(jìn)行吸附固定，接著，將電磁鐵斷電，此時，在配重塊的作用下能夠?qū)σ簤河瓦M(jìn)行擠壓，能夠推動第二套管向上移動，從而能夠推動第二移動環(huán)向上移動，進(jìn)而推動頂桿向上移動并與晶圓的底部相抵，若吸附工作臺對晶圓的吸附力不夠，則會在頂桿的作用下推動晶圓與密封圈產(chǎn)生偏移，此時，密封圈處會發(fā)生泄漏，壓力傳感器檢測到壓力變大，當(dāng)壓力傳感器檢測到壓力變大時，說明對晶圓的吸附力不夠，需要進(jìn)行檢修或者調(diào)節(jié)參數(shù)，從而能夠在晶圓吸附后，對其吸附力進(jìn)行自動檢測，保證吸附的效果，更加穩(wěn)定可靠，從而保證后續(xù)旋涂的質(zhì)量。