本技術(shù)涉及壓印裝置，特別是涉及一種小型納米壓印裝置。

背景技術(shù)：

1、納米壓印光刻技術(shù)(nanoimprint?lithography,nil)是由美國明尼蘇達(dá)大學(xué)納米結(jié)構(gòu)實驗室?stephen?y.zhou?教授于?1995?年開始進(jìn)行的開創(chuàng)性研究，是一種全新微納米圖形化的方法，使用壓印模具通過抗蝕劑的受力變形實現(xiàn)其圖形化的一種新型技術(shù)。

2、隨著近幾年納米壓印技術(shù)的發(fā)展，越來越多的領(lǐng)域使用納米壓印裝置代替電子束光刻裝置。其主要應(yīng)用領(lǐng)域：高亮度光子晶體led、高密度磁盤介質(zhì)?(hdd)、光學(xué)元器件?(光波導(dǎo)、微光學(xué)透鏡、光柵、手機鏡頭)、生物微流控器件等領(lǐng)域，運用納米壓印技術(shù)可快速制備出微納米圖形結(jié)構(gòu)，避免使用昂貴的光學(xué)系統(tǒng)，可降低了裝置成本，具有較高的性價比；并且納米壓印裝置操作簡單、性能可靠，重復(fù)性強。

3、現(xiàn)有技術(shù)下的納米壓印裝置大多結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜且體積較為龐大，僅能夠在工廠較為開闊的車間內(nèi)使用，無法方便靈活的滿足實驗室等桌面場景下的應(yīng)用，因此亟需開發(fā)一款體積較小且結(jié)構(gòu)簡單的小型納米壓印裝置，成為一個亟需解決的問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種小型納米壓印裝置，該小型納米壓印裝置結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，方便調(diào)節(jié)且能夠滿足小型納米壓印需求。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案：

3、一種小型納米壓印裝置，包括殼體、設(shè)置于所述殼體內(nèi)的運動平臺、與所述殼體側(cè)壁相鉸接的壓輥組件、設(shè)置于所述殼體一端用于調(diào)節(jié)所述壓輥組件翻轉(zhuǎn)角度的調(diào)節(jié)組件、以及罩設(shè)于所述壓輥組件上方的遮光罩；所述壓輥組件包括與所述殼體側(cè)壁相樞接的支撐座、與所述支撐座轉(zhuǎn)動連接的透明壓輥，以及設(shè)置于所述透明壓輥內(nèi)的uv光固組件；

4、所述運動平臺包括平行間隔設(shè)置于所述殼體內(nèi)的兩個支撐板、樞接于兩個所述支撐板之間的支撐輥、滑動設(shè)置于兩個所述支撐板頂部的載物臺、以及設(shè)置于兩個所述支撐板之間用于驅(qū)動所述載物臺沿所述支撐板長度方向往返運動的驅(qū)動組件；所述支撐輥與所述載物臺的下底面相切且位于所述透明壓輥的下方。

5、其中，所述調(diào)節(jié)組件包括與所述殼體側(cè)壁緊固的電機、與所述電機的驅(qū)動端相連接的絲桿、與所述絲桿螺紋連接的楔形滑塊、以及設(shè)置于所述楔形滑塊與所述電機之間并與所述絲桿轉(zhuǎn)動連接的支撐套，所述支撐套與設(shè)置于所述殼體內(nèi)的支撐塊緊固。

6、其中，兩個所述支撐座遠(yuǎn)離樞接軸的一端均設(shè)置有與所述楔形滑塊滑動配合的楔形缺口。

7、其中，所述楔形缺口設(shè)置有水平壁和傾斜壁，當(dāng)所述水平壁與所述載物臺的臺面平行時，所述透明壓輥與所述載物臺的臺面相切。

8、其中，當(dāng)所述絲桿受所述電機作用正向旋轉(zhuǎn)時，所述楔形滑塊沿所述絲桿長度方向向靠近所述透明壓輥的一側(cè)運動，此時，所述透明壓輥與所述載物臺之間的活動間隙逐漸變?。划?dāng)所述絲桿受所述電機作用反向旋轉(zhuǎn)時，所述楔形滑塊沿所述絲桿長度方向向遠(yuǎn)離所述透明壓輥的一側(cè)運動，此時，所述透明壓輥與所述載物臺之間的活動間隙逐漸變大。

9、其中，所述驅(qū)動組件包括設(shè)置于所述殼體兩端的從動輪和主動輪、與所述主動輪相連接的電機、以及與所述主動輪、所述從動輪及所述支撐輥相配合的傳動帶，所述傳動帶與所述載物臺緊固。

10、其中，所述uv光固組件包括uv發(fā)光燈條、設(shè)置于所述uv發(fā)光燈條兩側(cè)的導(dǎo)光罩、以及設(shè)置于所述uv發(fā)光燈條兩端的連接件，所述連接件與所述支撐座緊固。

11、其中，還包括設(shè)置于所述殼體下方的電控箱，所述殼體的一側(cè)壁設(shè)置有與所述電控箱內(nèi)的電控裝置相連接的觸控屏。

12、其中，所述uv發(fā)光燈條和所述電機均與所述電控裝置電連接。

13、其中，所述遮光罩的一端與所述殼體相鉸接，另一端通過磁鐵與所述殼體相吸附。

14、本實用新型的有益效果：本實用新型提供了一種小型納米壓印裝置，包括殼體、運動平臺、壓輥組件、調(diào)節(jié)組件、以及遮光罩；壓輥組件包括與殼體側(cè)壁相樞接的支撐座、與支撐座轉(zhuǎn)動連接的透明壓輥，以及設(shè)置于透明壓輥內(nèi)的uv光固組件；運動平臺包括平行間隔設(shè)置于殼體內(nèi)的兩個支撐板、樞接于兩個支撐板之間的支撐輥、滑動設(shè)置于兩個支撐板頂部的載物臺、以及設(shè)置于兩個支撐板之間的驅(qū)動組件；支撐輥與載物臺的下底面相切且位于透明壓輥的下方。以此結(jié)構(gòu)設(shè)計的小型納米壓印裝置，體積小，結(jié)構(gòu)緊湊，能夠通過輥對板的方式方便靈活的滿足小批量納米壓印需求。

技術(shù)特征：

1.一種小型納米壓印裝置，其特征在于，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小型納米壓印裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)組件包括與所述殼體側(cè)壁緊固的電機、與所述電機的驅(qū)動端相連接的絲桿、與所述絲桿螺紋連接的楔形滑塊、以及設(shè)置于所述楔形滑塊與所述電機之間并與所述絲桿轉(zhuǎn)動連接的支撐套，所述支撐套與設(shè)置于所述殼體內(nèi)的支撐塊緊固。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種小型納米壓印裝置，其特征在于，兩個所述支撐座遠(yuǎn)離樞接軸的一端均設(shè)置有與所述楔形滑塊滑動配合的楔形缺口。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種小型納米壓印裝置，其特征在于，所述楔形缺口設(shè)置有水平壁和傾斜壁，當(dāng)所述水平壁與所述載物臺的臺面平行時，所述透明壓輥與所述載物臺的臺面相切。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種小型納米壓印裝置，其特征在于，當(dāng)所述絲桿受所述電機作用正向旋轉(zhuǎn)時，所述楔形滑塊沿所述絲桿長度方向向靠近所述透明壓輥的一側(cè)運動，此時，所述透明壓輥與所述載物臺之間的活動間隙逐漸變?。划?dāng)所述絲桿受所述電機作用反向旋轉(zhuǎn)時，所述楔形滑塊沿所述絲桿長度方向向遠(yuǎn)離所述透明壓輥的一側(cè)運動，此時，所述透明壓輥與所述載物臺之間的活動間隙逐漸變大。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小型納米壓印裝置，其特征在于，所述驅(qū)動組件包括設(shè)置于所述殼體兩端的從動輪和主動輪、與所述主動輪相連接的電機、以及與所述主動輪、所述從動輪及所述支撐輥相配合的傳動帶，所述傳動帶與所述載物臺緊固。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種小型納米壓印裝置，其特征在于，所述uv光固組件包括uv發(fā)光燈條、設(shè)置于所述uv發(fā)光燈條兩側(cè)的導(dǎo)光罩、以及設(shè)置于所述uv發(fā)光燈條兩端的連接件，所述連接件與所述支撐座緊固。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種小型納米壓印裝置，其特征在于，還包括設(shè)置于所述殼體下方的電控箱，所述殼體的一側(cè)壁設(shè)置有與所述電控箱內(nèi)的電控裝置相連接的觸控屏。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種小型納米壓印裝置，其特征在于，所述uv發(fā)光燈條和所述電機均與所述電控裝置電連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小型納米壓印裝置，其特征在于，所述遮光罩的一端與所述殼體相鉸接，另一端通過磁鐵與所述殼體相吸附。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及壓印裝置技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種小型納米壓印裝置，包括殼體、運動平臺、壓輥組件、調(diào)節(jié)組件、以及遮光罩；壓輥組件包括與殼體側(cè)壁相樞接的支撐座、與支撐座轉(zhuǎn)動連接的透明壓輥，以及設(shè)置于透明壓輥內(nèi)的UV光固組件；運動平臺包括平行間隔設(shè)置于殼體內(nèi)的兩個支撐板、樞接于兩個支撐板之間的支撐輥、滑動設(shè)置于兩個支撐板頂部的載物臺、以及設(shè)置于兩個支撐板之間的驅(qū)動組件；支撐輥與載物臺的下底面相切且位于透明壓輥的下方。以此結(jié)構(gòu)設(shè)計的小型納米壓印裝置，體積小，結(jié)構(gòu)緊湊，能夠通過輥對板的方式方便靈活的滿足小批量納米壓印需求。

技術(shù)研發(fā)人員：婁飛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳市雕拓科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240228
技術(shù)公布日：2025/1/2