本技術(shù)涉及光刻膠，具體是一種光刻膠噴膠裝置。

背景技術(shù)：

1、光刻膠又稱光致抗蝕劑，是指通過紫外光、電子束、離子束、x射線等的照射或輻射，其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。由感光樹脂、增感劑和溶劑3種主要成分組成的對光敏感的混合液體。

2、對于現(xiàn)在的光刻膠在進行使用時，傳統(tǒng)的就是通過固定化的噴涂結(jié)構(gòu)安裝到設(shè)備上，然后在底部的設(shè)備移動下形成噴涂效果，讓單一方向的移動使得噴涂的點位不夠廣泛，影響到生產(chǎn)的效率，同時在不進行噴涂操作時，噴頭暴露在外部會形成膠的硬化堵塞的情況，影響到下一次的使用。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種光刻膠噴膠裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的對于現(xiàn)在的光刻膠在進行使用時，傳統(tǒng)的就是通過固定化的噴涂結(jié)構(gòu)安裝到設(shè)備上，然后在底部的設(shè)備移動下形成噴涂效果，讓單一方向的移動使得噴涂的點位不夠廣泛，影響到生產(chǎn)的效率，同時在不進行噴涂操作時，噴頭暴露在外部會形成膠的硬化堵塞的情況，影響到下一次的使用的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：

3、一種光刻膠噴膠裝置，包括支撐側(cè)桿，所述支撐側(cè)桿的頂面和底面對稱固定設(shè)置有安裝塊，所述支撐側(cè)桿的一側(cè)邊水平開設(shè)有水平側(cè)槽，所述支撐側(cè)桿的一側(cè)邊水平對接有水平連桿，所述水平連桿在遠離支撐側(cè)桿的一端豎直向設(shè)置有豎直立桿，所述豎直立桿的底端對接有固定盒體，所述固定盒體的一側(cè)邊插接有進料管道，所述水平連桿的一端水平固定設(shè)置有端驅(qū)動塊，所述水平連桿和豎直立桿的內(nèi)側(cè)邊均固定設(shè)置有內(nèi)氣缸，所述水平連桿和豎直立桿的一端開設(shè)有端卡孔，所述豎直立桿的側(cè)邊和固定盒體的頂面固定設(shè)置有卡扣塊，所述固定盒體的內(nèi)側(cè)邊固定設(shè)置有主機體，所述主機體的底面固定設(shè)置有噴涂頭，所述固定盒體的底面水平開設(shè)有底卡槽，所述底卡槽的內(nèi)側(cè)邊水平卡接有轉(zhuǎn)動底板，所述轉(zhuǎn)動底板的頂面固定卡接有配合頭，所述固定盒體的內(nèi)側(cè)邊固定設(shè)置有轉(zhuǎn)動電機，所述固定盒體的內(nèi)側(cè)邊固定設(shè)置有清洗罐，所述清洗罐的內(nèi)側(cè)底面固定設(shè)置有清洗泵，所述固定盒體的內(nèi)側(cè)底面和外側(cè)底面水平固定設(shè)置有清理盒體，所述清理盒體的內(nèi)側(cè)邊水平固定設(shè)置有清洗管體，所述清理盒體的側(cè)邊插接有出料管，所述固定盒體的內(nèi)側(cè)底面和外側(cè)底面水平固定設(shè)置有烘干盒，所述烘干盒的內(nèi)側(cè)邊水平固定設(shè)置有烘干網(wǎng)。

4、作為本實用新型的一種優(yōu)選實施方式：所述安裝塊的個數(shù)為四個，且四個安裝塊均對稱固定設(shè)置在支撐側(cè)桿的頂面和底面一側(cè)邊角位置，水平側(cè)槽水平開設(shè)在支撐側(cè)桿的一側(cè)邊中線位置，水平連桿采用伸縮桿結(jié)構(gòu)設(shè)置，且水平連桿的一端水平對接設(shè)置在水平側(cè)槽的側(cè)開口端。

5、作為本實用新型的一種優(yōu)選實施方式：所述豎直立桿與水平連桿相互之間呈l形形狀設(shè)置，且水平連桿的一端對接設(shè)置在豎直立桿的側(cè)邊頂端位置，進料管道采用遮光材料制作設(shè)置，且進料管道的一端延伸至固定盒體的內(nèi)部與主機體的內(nèi)部保持通接。

6、作為本實用新型的一種優(yōu)選實施方式：所述端驅(qū)動塊卡接設(shè)置在水平側(cè)槽的內(nèi)側(cè)邊，卡扣塊均對應(yīng)卡接設(shè)置在端卡孔的內(nèi)側(cè)邊，噴涂頭的底端對接設(shè)置在配合頭的頂端位置，且相互之間內(nèi)部保持通接，底卡槽水平呈圓盤狀開設(shè)在固定盒體的底面中心位置，且底卡槽的內(nèi)部與固定盒體的內(nèi)部保持通接。

7、作為本實用新型的一種優(yōu)選實施方式：所述配合頭固定卡接設(shè)置在轉(zhuǎn)動底板的頂面靠近邊緣位置，轉(zhuǎn)動電機豎直向固定設(shè)置在固定盒體的內(nèi)側(cè)中心位置，且轉(zhuǎn)動電機的輸出端垂直向下固定連接設(shè)置在轉(zhuǎn)動底板的頂面中心位置，清洗泵的輸出端通過管道延伸與清洗管體的內(nèi)部保持通接。

8、作為本實用新型的一種優(yōu)選實施方式：所述清理盒體呈疊加式對稱扣接設(shè)置在底卡槽的開口側(cè)邊位置，清洗管體之間側(cè)邊均勻設(shè)置有噴灑頭結(jié)構(gòu)，烘干盒的排布方式與清理盒體保持一致設(shè)置，且烘干盒水平設(shè)置在清理盒體的側(cè)邊位置。

9、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：

10、本實用新型通過將支撐側(cè)桿水平對接設(shè)置在設(shè)備的指定位置，通過螺栓將安裝塊固定安裝在指定位置完成安裝操作，讓進料管道的一端連接設(shè)置在儲料設(shè)備位置后，在需要進行噴膠處理時，則可以對端驅(qū)動塊控制移動操作，使得沿著水平側(cè)槽水平移動處理，讓一端的水平連桿形成水平調(diào)節(jié)位置使用，在內(nèi)氣缸的水平伸縮運動下使得可以形成縱向的調(diào)節(jié)，在豎直向的調(diào)節(jié)則可以讓豎直立桿伸縮運動后操作，最后讓底面的主機體將膠體通過噴涂頭和配合頭向下噴涂操作，而在噴涂完成后，則控制著固定盒體的內(nèi)部轉(zhuǎn)動電機轉(zhuǎn)動操作，使得輸出端帶動著轉(zhuǎn)動底板轉(zhuǎn)動處理，讓配合頭遠離噴涂頭后，使得轉(zhuǎn)動底板對噴涂頭進行密封住，而轉(zhuǎn)動后的配合頭轉(zhuǎn)動到清理盒體的內(nèi)部后，通過清洗管體可以對其進行沖洗處理，污水可以通過側(cè)邊的出料管向外排出，而在清洗完成后轉(zhuǎn)動到烘干盒的內(nèi)部，在烘干網(wǎng)對之間位置的配合頭進行烘干操作，以備后續(xù)噴涂使用，在采用了多向調(diào)節(jié)式結(jié)構(gòu)使得可以滿足多點位噴涂使用，同時在及時清理結(jié)構(gòu)下使得噴涂結(jié)構(gòu)不會形成堵塞的情況。

技術(shù)特征：

1.一種光刻膠噴膠裝置，包括支撐側(cè)桿(1)，其特征在于，所述支撐側(cè)桿(1)的頂面和底面對稱固定設(shè)置有安裝塊(2)，所述支撐側(cè)桿(1)的一側(cè)邊水平開設(shè)有水平側(cè)槽(3)，所述支撐側(cè)桿(1)的一側(cè)邊水平對接有水平連桿(4)，所述水平連桿(4)在遠離支撐側(cè)桿(1)的一端豎直向設(shè)置有豎直立桿(5)，所述豎直立桿(5)的底端對接有固定盒體(6)，所述固定盒體(6)的一側(cè)邊插接有進料管道(7)，所述水平連桿(4)的一端水平固定設(shè)置有端驅(qū)動塊(8)，所述水平連桿(4)和豎直立桿(5)的內(nèi)側(cè)邊均固定設(shè)置有內(nèi)氣缸(9)，所述水平連桿(4)和豎直立桿(5)的一端開設(shè)有端卡孔(10)，所述豎直立桿(5)的側(cè)邊和固定盒體(6)的頂面固定設(shè)置有卡扣塊(11)，所述固定盒體(6)的內(nèi)側(cè)邊固定設(shè)置有主機體(12)，所述主機體(12)的底面固定設(shè)置有噴涂頭(13)，所述固定盒體(6)的底面水平開設(shè)有底卡槽(14)，所述底卡槽(14)的內(nèi)側(cè)邊水平卡接有轉(zhuǎn)動底板(15)，所述轉(zhuǎn)動底板(15)的頂面固定卡接有配合頭(16)，所述固定盒體(6)的內(nèi)側(cè)邊固定設(shè)置有轉(zhuǎn)動電機(17)，所述固定盒體(6)的內(nèi)側(cè)邊固定設(shè)置有清洗罐(18)，所述清洗罐(18)的內(nèi)側(cè)底面固定設(shè)置有清洗泵(19)，所述固定盒體(6)的內(nèi)側(cè)底面和外側(cè)底面水平固定設(shè)置有清理盒體(20)，所述清理盒體(20)的內(nèi)側(cè)邊水平固定設(shè)置有清洗管體(21)，所述清理盒體(20)的側(cè)邊插接有出料管(22)，所述固定盒體(6)的內(nèi)側(cè)底面和外側(cè)底面水平固定設(shè)置有烘干盒(23)，所述烘干盒(23)的內(nèi)側(cè)邊水平固定設(shè)置有烘干網(wǎng)(24)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻膠噴膠裝置，其特征在于，所述安裝塊(2)的個數(shù)為四個，且四個安裝塊(2)均對稱固定設(shè)置在支撐側(cè)桿(1)的頂面和底面一側(cè)邊角位置，水平側(cè)槽(3)水平開設(shè)在支撐側(cè)桿(1)的一側(cè)邊中線位置，水平連桿(4)采用伸縮桿結(jié)構(gòu)設(shè)置，且水平連桿(4)的一端水平對接設(shè)置在水平側(cè)槽(3)的側(cè)開口端。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻膠噴膠裝置，其特征在于，所述豎直立桿(5)與水平連桿(4)相互之間呈l形形狀設(shè)置，且水平連桿(4)的一端對接設(shè)置在豎直立桿(5)的側(cè)邊頂端位置，進料管道(7)采用遮光材料制作設(shè)置，且進料管道(7)的一端延伸至固定盒體(6)的內(nèi)部與主機體(12)的內(nèi)部保持通接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻膠噴膠裝置，其特征在于，所述端驅(qū)動塊(8)卡接設(shè)置在水平側(cè)槽(3)的內(nèi)側(cè)邊，卡扣塊(11)均對應(yīng)卡接設(shè)置在端卡孔(10)的內(nèi)側(cè)邊，噴涂頭(13)的底端對接設(shè)置在配合頭(16)的頂端位置，且相互之間內(nèi)部保持通接，底卡槽(14)水平呈圓盤狀開設(shè)在固定盒體(6)的底面中心位置，且底卡槽(14)的內(nèi)部與固定盒體(6)的內(nèi)部保持通接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻膠噴膠裝置，其特征在于，所述配合頭(16)固定卡接設(shè)置在轉(zhuǎn)動底板(15)的頂面靠近邊緣位置，轉(zhuǎn)動電機(17)豎直向固定設(shè)置在固定盒體(6)的內(nèi)側(cè)中心位置，且轉(zhuǎn)動電機(17)的輸出端垂直向下固定連接設(shè)置在轉(zhuǎn)動底板(15)的頂面中心位置，清洗泵(19)的輸出端通過管道延伸與清洗管體(21)的內(nèi)部保持通接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻膠噴膠裝置，其特征在于，所述清理盒體(20)呈疊加式對稱扣接設(shè)置在底卡槽(14)的開口側(cè)邊位置，清洗管體(21)之間側(cè)邊均勻設(shè)置有噴灑頭結(jié)構(gòu)，烘干盒(23)的排布方式與清理盒體(20)保持一致設(shè)置，且烘干盒(23)水平設(shè)置在清理盒體(20)的側(cè)邊位置。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種光刻膠噴膠裝置，涉及光刻膠領(lǐng)域，包括支撐側(cè)桿，所述支撐側(cè)桿的頂面和底面對稱固定設(shè)置有安裝塊，所述支撐側(cè)桿的一側(cè)邊水平開設(shè)有水平側(cè)槽，所述支撐側(cè)桿的一側(cè)邊水平對接有水平連桿，所述水平連桿在遠離支撐側(cè)桿的一端豎直向設(shè)置有豎直立桿，所述豎直立桿的底端對接有固定盒體，所述固定盒體的一側(cè)邊插接有進料管道，所述水平連桿的一端水平固定設(shè)置有端驅(qū)動塊，所述水平連桿和豎直立桿的內(nèi)側(cè)邊均固定設(shè)置有內(nèi)氣缸，所述水平連桿和豎直立桿的一端開設(shè)有端卡孔，在采用了多向調(diào)節(jié)式結(jié)構(gòu)使得可以滿足多點位噴涂使用，同時在及時清理結(jié)構(gòu)下使得噴涂結(jié)構(gòu)不會形成堵塞的情況。

技術(shù)研發(fā)人員：羅良,彭孝軍,羅愷
受保護的技術(shù)使用者：成都至誠大公光電科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240416
技術(shù)公布日：2024/12/23