本技術(shù)涉及光刻設(shè)備，具體為一種便于上料的半導(dǎo)體熱板光刻設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、光刻機又名掩模對準曝光機，在半導(dǎo)體熱板生產(chǎn)加工中，通常通過光刻機上的激光刻頭對半導(dǎo)體熱板進行光刻，但是目前的半導(dǎo)體熱板光刻設(shè)備，在對前一塊半導(dǎo)體熱板光刻完畢后，由于半導(dǎo)體熱板換料效率較低，難以快速切換至下一塊半導(dǎo)體熱板進行光刻，以至于設(shè)備的工作效率欠佳。

2、如公開號cn215833757u公開的一種便于上料的半導(dǎo)體熱板光刻設(shè)備，該裝置通過將半導(dǎo)體熱板分別放入四個換料凹盒內(nèi)，然后擰緊鎖緊桿帶動夾塊夾緊半導(dǎo)體熱板的外端，從而可以防止半導(dǎo)體熱板在換料凹盒內(nèi)滑動，從而方便后續(xù)進行加工工作。

3、但是該上料結(jié)構(gòu)在使用時實用性較差，該上料結(jié)構(gòu)在進行上料時需要將半導(dǎo)體熱板放入換料凹盒內(nèi)，然后還需要手動進行擰緊鎖緊桿帶動夾塊夾緊半導(dǎo)體熱板的外端，實際工作時較為麻煩，從而降低了該上料結(jié)構(gòu)的實用性；鑒于此，我們提出了一種便于上料的半導(dǎo)體熱板光刻設(shè)備。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種便于上料的半導(dǎo)體熱板光刻設(shè)備，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種便于上料的半導(dǎo)體熱板光刻設(shè)備，包括底座，所述底座上端固定安裝有機架，所述底座上端固定安裝有旋轉(zhuǎn)電機，所述旋轉(zhuǎn)電機輸出軸上端固定安裝有換料臺，所述換料臺四側(cè)均設(shè)置有換料盒，所述機架下端設(shè)置有加工結(jié)構(gòu)，所述換料盒內(nèi)部設(shè)置有固定結(jié)構(gòu)，所述固定結(jié)構(gòu)包括：

3、底板，所述底板設(shè)置在換料盒內(nèi)壁，所述換料盒內(nèi)壁貫穿有移動桿，所述移動桿一端固定安裝有連接板，所述移動桿另一端設(shè)置有夾緊板；

4、滑塊，所述滑塊滑動連接在換料盒側(cè)壁，所述滑塊上端側(cè)壁鉸接有連接桿一端，所述連接桿另一端與連接板下端鉸接，所述底板下端固定安裝有l(wèi)型桿一端，所述l型桿另一端與滑塊側(cè)壁固定連接，所述移動桿內(nèi)部設(shè)置有調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)。

5、優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括開設(shè)在移動桿側(cè)壁的開口，所述開口內(nèi)部設(shè)置有連接棍一端，所述連接棍另一端與夾緊板側(cè)壁固定連接，所述移動桿表面開設(shè)有連接口，所述連接輥表面開設(shè)有多組卡口，所述卡口和連接口通過t型桿進行貫穿限位。

6、優(yōu)選的，所述換料盒內(nèi)壁開設(shè)有滑槽，所述滑槽內(nèi)壁固定安裝有滑桿，所述滑桿表面滑動連接有套筒，所述套筒側(cè)壁與底板側(cè)壁固定連接，所述滑桿表面設(shè)置有復(fù)位彈簧。

7、優(yōu)選的，所述復(fù)位彈簧一端與滑槽內(nèi)壁固定連接，所述復(fù)位彈簧另一端與套筒側(cè)壁固定連接。

8、優(yōu)選的，所述換料盒內(nèi)壁開設(shè)有與l型桿移動軌跡相適配的移動口。

9、優(yōu)選的，所述換料盒底部開設(shè)有若干組出水口。

10、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型提供了一種便于上料的半導(dǎo)體熱板光刻設(shè)備，具備以下有益效果：

11、1、該便于上料的半導(dǎo)體熱板光刻設(shè)備通過設(shè)置了固定結(jié)構(gòu)從而方便做到對上料時的半導(dǎo)體熱板進行自動固定，使用者通過將半導(dǎo)體熱板放入換料盒內(nèi)部，此時半導(dǎo)體熱板向下擠壓底板使其向下移動，進而帶動滑塊向下移動，進而帶動夾緊板進行移動對半導(dǎo)體熱板的側(cè)壁進行支撐固定，從而避免后續(xù)還需要手動進行對半導(dǎo)體熱板的側(cè)壁進行夾緊固定，提高上料的便捷性。

12、2、該便于上料的半導(dǎo)體熱板光刻設(shè)備通過設(shè)置了調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)從而方便做到對夾緊板在進行夾緊時的長度進行一定程度上的調(diào)節(jié)使用，使用者可以通過對連接棍表面的不同卡口進行選擇，從而改變夾緊板的位置，從而做到對不同寬度的半導(dǎo)體熱板進行夾緊支撐時更加穩(wěn)定，進一步的提高該裝置的實用性。

技術(shù)特征：

1.一種便于上料的半導(dǎo)體熱板光刻設(shè)備，包括底座(1)，所述底座(1)上端固定安裝有機架(2)，所述底座(1)上端固定安裝有旋轉(zhuǎn)電機(5)，所述旋轉(zhuǎn)電機(5)輸出軸上端固定安裝有換料臺(6)，所述換料臺(6)四側(cè)均設(shè)置有換料盒(7)，所述機架(2)下端設(shè)置有加工結(jié)構(gòu)(8)，其特征在于：所述換料盒(7)內(nèi)部設(shè)置有固定結(jié)構(gòu)(3)，所述固定結(jié)構(gòu)(3)包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于上料的半導(dǎo)體熱板光刻設(shè)備，其特征在于：所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)(4)包括開設(shè)在移動桿(32)側(cè)壁的開口(41)，所述開口(41)內(nèi)部設(shè)置有連接棍(42)一端，所述連接棍(42)另一端與夾緊板(34)側(cè)壁固定連接，所述移動桿(32)表面開設(shè)有連接口(43)，所述連接棍(42)表面開設(shè)有多組卡口(44)，所述卡口(44)和連接口(43)通過t型桿(45)進行貫穿限位。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于上料的半導(dǎo)體熱板光刻設(shè)備，其特征在于：所述換料盒(7)內(nèi)壁開設(shè)有滑槽(18)，所述滑槽(18)內(nèi)壁固定安裝有滑桿(9)，所述滑桿(9)表面滑動連接有套筒(10)，所述套筒(10)側(cè)壁與底板(31)側(cè)壁固定連接，所述滑桿(9)表面設(shè)置有復(fù)位彈簧(11)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種便于上料的半導(dǎo)體熱板光刻設(shè)備，其特征在于：所述復(fù)位彈簧(11)一端與滑槽(18)內(nèi)壁固定連接，所述復(fù)位彈簧(11)另一端與套筒(10)側(cè)壁固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于上料的半導(dǎo)體熱板光刻設(shè)備，其特征在于：所述換料盒(7)內(nèi)壁開設(shè)有與l型桿(37)移動軌跡相適配的移動口(12)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于上料的半導(dǎo)體熱板光刻設(shè)備，其特征在于：所述換料盒(7)底部開設(shè)有若干組出水口。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及光刻設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種便于上料的半導(dǎo)體熱板光刻設(shè)備，包括底座，底座上端固定安裝有機架，底座上端固定安裝有旋轉(zhuǎn)電機，換料盒內(nèi)部設(shè)置有固定結(jié)構(gòu)，固定結(jié)構(gòu)包括：底板、移動桿、連接板、夾緊板、滑塊、連接桿、L型桿，使用者可以將半導(dǎo)體熱板放入換料盒內(nèi)，通過底板則對半導(dǎo)體熱板下端進行支撐，使半導(dǎo)體熱板的內(nèi)端與換料盒的內(nèi)壁貼合，并且此時半導(dǎo)體熱板會向下擠壓底板使其向下移動，通過連接桿移動會帶動與其鉸接的連接板向內(nèi)進行移動，連接板移動進而帶動移動桿和夾緊板進行移動對半導(dǎo)體熱板的側(cè)壁進行支撐固定，從而避免后續(xù)還需要手動進行對半導(dǎo)體熱板的側(cè)壁進行夾緊固定，提高上料的便捷性。

技術(shù)研發(fā)人員：徐宏進,謝明
受保護的技術(shù)使用者：揚州國潤半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240510
技術(shù)公布日：2025/1/6