本技術(shù)涉及步進(jìn)式光刻設(shè)備，尤其涉及一種場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置。

背景技術(shù)：

1、fia(field?image?alignment，場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)技術(shù))是光刻機(jī)設(shè)備對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)中的一種，一個(gè)完整的fia包含fia光源、fia光路、fia?ccd(charge?coupled?device，電荷耦合器件)攝像機(jī)以及相應(yīng)的信號(hào)處理模塊，fia光源進(jìn)入fia光路后照射于硅片上，硅片上凹凸不平的標(biāo)記反射光線給ccd攝像機(jī)，信號(hào)處理模塊用于將ccd攝像機(jī)內(nèi)的光學(xué)信號(hào)轉(zhuǎn)化為電子信息。

2、現(xiàn)有技術(shù)中，fia光源采用鹵素?zé)粽彰?。由于鹵素?zé)舭l(fā)熱嚴(yán)重，所以需要配置體積較大的鹵素?zé)粝?，但是大體積的鹵素?zé)粝洳荒芊胖糜诠饪虣C(jī)設(shè)備內(nèi)部，鹵素?zé)敉ǔＪ褂霉饫w與光路連接，所以制造成本較高；并且光纖會(huì)導(dǎo)致鹵素?zé)舻碾娔芾寐式档汀?/p>

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中鹵素?zé)敉ǔＪ褂霉饫w與光路連接，制造成本較高和電能利用率較低的問題，減小制造成本，提高電能利用率。

2、為達(dá)此目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

3、場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置，包括：

4、led燈、燈筒和聚光筒；所述燈筒一端封閉，所述led燈設(shè)于所述燈筒的封閉端內(nèi)部，并置于所述封閉端的幾何中心；所述聚光筒設(shè)于所述燈筒內(nèi)，所述聚光筒兩端同軸，所述聚光筒沿第一端向第二端方向的內(nèi)徑逐漸增大，所述第一端靠近所述led燈設(shè)置，以使所述led燈的光線能進(jìn)入所述聚光筒中并被聚集后從所述第二端射出。

5、作為場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置一種可選的技術(shù)方案，所述第一端邊緣任一點(diǎn)與所述第二端邊緣對(duì)應(yīng)點(diǎn)位的連線和所述聚光筒的中心軸線之間的夾角為30°。

6、作為場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置一種可選的技術(shù)方案，所述燈筒包括壓環(huán)，所述壓環(huán)可拆卸地設(shè)于所述燈筒的開口處，所述壓環(huán)與所述燈筒連接后能與所述聚光筒的所述第二端抵接，以將所述聚光筒的所述第一端抵接于所述燈筒的所述封閉端。

7、作為場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置一種可選的技術(shù)方案，所述壓環(huán)外側(cè)設(shè)置有第一螺紋，所述燈筒內(nèi)側(cè)設(shè)置有第二螺紋，所述第一螺紋和所述第二螺紋螺接，以將所述壓環(huán)可拆卸地設(shè)于所述燈筒的所述開口處。

8、作為場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置一種可選的技術(shù)方案，所述場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置還包括第一同軸變徑筒，所述第一同軸變徑筒能與所述燈筒連接，所述第一同軸變徑筒包括第一筒段、第一連接筒和第二筒段，所述第一連接筒兩端分別連接于所述第一筒段和所述第二筒段，所述第一筒段內(nèi)徑大于所述第二筒段內(nèi)徑。

9、作為場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置一種可選的技術(shù)方案，所述燈筒能置入所述第一筒段并使所述燈筒的所述封閉端遠(yuǎn)離所述第二筒段，所述第一筒段周側(cè)設(shè)置有第一頂絲孔，第一螺絲螺接于所述第一頂絲孔并與所述燈筒側(cè)壁抵接，以連接所述第一同軸變徑筒和所述燈筒。

10、作為場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置一種可選的技術(shù)方案，所述第一筒段和所述第一連接筒之間設(shè)置有紫外濾光鏡。

11、作為場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置一種可選的技術(shù)方案，所述場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置還包括第二同軸變徑筒，所述第二同軸變徑筒能與所述第一同軸變徑筒連接，所述第二同軸變徑筒包括第三筒段、第二連接筒和第四筒段，所述第二連接筒兩端分別連接于所述第三筒段和所述第四筒段，所述第三筒段內(nèi)徑大于所述第四筒段內(nèi)徑。

12、作為場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置一種可選的技術(shù)方案，所述第二筒段能置于所述第三筒段中，所述第三筒段周側(cè)設(shè)置有第二頂絲孔，第二螺絲螺接于所述第二頂絲孔并與所述第二筒段側(cè)壁抵接，以連接所述第二同軸變徑筒和所述第一同軸變徑筒。

13、作為場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置一種可選的技術(shù)方案，所述第三筒段和所述第二連接筒之間設(shè)置有減光鏡。

14、本實(shí)用新型的有益效果：

15、本實(shí)用新型提供一種場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置，包括led燈、燈筒和聚光筒；燈筒一端封閉，led燈設(shè)于燈筒的封閉端內(nèi)部，并置于封閉端的幾何中心；聚光筒設(shè)于燈筒內(nèi)，聚光筒兩端同軸，聚光筒沿第一端向第二端方向的內(nèi)徑逐漸增大，第一端靠近led燈設(shè)置，以使led燈的光線能進(jìn)入聚光筒中并被聚集后照射于硅片上。led燈通過燈筒和聚光筒直接聚集光線并照射于硅片上，不使用光纖，減少了光纖的制造成本，提高led燈電能的利用率。

技術(shù)特征：

1.場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置，其特征在于，所述第一端邊緣任一點(diǎn)與所述第二端邊緣對(duì)應(yīng)點(diǎn)位的連線和所述聚光筒(30)的中心軸線之間的夾角為30°。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置，其特征在于，所述燈筒(20)包括壓環(huán)(21)，所述壓環(huán)(21)可拆卸地設(shè)于所述燈筒(20)的開口處，所述壓環(huán)(21)與所述燈筒(20)連接后能與所述聚光筒(30)的所述第二端抵接，以將所述聚光筒(30)的所述第一端抵接于所述燈筒(20)的所述封閉端。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置，其特征在于，所述壓環(huán)(21)外側(cè)設(shè)置有第一螺紋，所述燈筒(20)內(nèi)側(cè)設(shè)置有第二螺紋，所述第一螺紋和所述第二螺紋螺接，以將所述壓環(huán)(21)可拆卸地設(shè)于所述燈筒(20)的所述開口處。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置，其特征在于，所述場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置還包括第一同軸變徑筒(40)，所述第一同軸變徑筒(40)能與所述燈筒(20)連接，所述第一同軸變徑筒(40)包括第一筒段(41)、第一連接筒(42)和第二筒段(43)，所述第一連接筒(42)兩端分別連接于所述第一筒段(41)和所述第二筒段(43)，所述第一筒段(41)內(nèi)徑大于所述第二筒段(43)內(nèi)徑。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置，其特征在于，所述燈筒(20)能置入所述第一筒段(41)并使所述燈筒(20)的所述封閉端遠(yuǎn)離所述第二筒段(43)，所述第一筒段(41)周側(cè)設(shè)置有第一頂絲孔(411)，第一螺絲螺接于所述第一頂絲孔(411)并與所述燈筒(20)側(cè)壁抵接，以連接所述第一同軸變徑筒(40)和所述燈筒(20)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置，其特征在于，所述第一筒段(41)和所述第一連接筒(42)之間設(shè)置有紫外濾光鏡(44)。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置，其特征在于，所述場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置還包括第二同軸變徑筒(50)，所述第二同軸變徑筒(50)能與所述第一同軸變徑筒(40)連接，所述第二同軸變徑筒(50)包括第三筒段(51)、第二連接筒(52)和第四筒段(53)，所述第二連接筒(52)兩端分別連接于所述第三筒段(51)和所述第四筒段(53)，所述第三筒段(51)內(nèi)徑大于所述第四筒段(53)內(nèi)徑。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置，其特征在于，所述第二筒段(43)能置于所述第三筒段(51)中，所述第三筒段(51)周側(cè)設(shè)置有第二頂絲孔(511)，第二螺絲螺接于所述第二頂絲孔(511)并與所述第二筒段(43)側(cè)壁抵接，以連接所述第二同軸變徑筒(50)和所述第一同軸變徑筒(40)。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置，其特征在于，所述第三筒段(51)和所述第二連接筒(52)之間設(shè)置有減光鏡(54)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)屬于步進(jìn)式光刻設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置。場(chǎng)像對(duì)準(zhǔn)照明裝置包括LED燈、燈筒和聚光筒；燈筒一端封閉，LED燈設(shè)于燈筒的封閉端內(nèi)部，并置于封閉端的幾何中心；聚光筒設(shè)于燈筒內(nèi)，聚光筒兩端同軸，聚光筒沿第一端向第二端方向的內(nèi)徑逐漸增大，第一端靠近LED燈設(shè)置，以使LED燈的光線能進(jìn)入聚光筒中并被聚集后從第二端射出。LED燈通過燈筒和聚光筒直接聚集光線并照射于硅片上，不使用光纖，減少了光纖的制造成本，提高LED燈電能的利用率。

技術(shù)研發(fā)人員：陳峻峰,王曉軍,覃建寧,蘇朝騰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海探躍半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240513
技術(shù)公布日：2025/1/2