本技術(shù)涉及光罩版盒，尤其涉及一種便于機(jī)械開合的光罩版盒。

背景技術(shù)：

1、光刻工藝作為半導(dǎo)體工藝中的一個(gè)重要工藝，其以具有特定圖案的光刻膠層作為掩膜，對(duì)晶圓進(jìn)行光刻獲得特定的精細(xì)結(jié)構(gòu)，以實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的制造，光刻工藝精度要求高，因此光罩版一般存放在光罩版盒中，避免光罩版接觸到臟污，在需要使用時(shí)，再打開光罩版盒取出光罩版。

2、例如中國(guó)專利號(hào)為cn219872109u的一種便于機(jī)械開合的光罩版盒，該實(shí)用新型中在盒蓋的側(cè)壁外設(shè)置有彈簧卡扣，在盒襯側(cè)邊的外延板上開設(shè)有卡口，在盒蓋蓋設(shè)于盒襯上時(shí)，彈簧卡扣可翻轉(zhuǎn)卡入卡口中，開蓋時(shí)，可以光刻機(jī)臺(tái)中的機(jī)械勾爪勾住彈簧卡扣下端的翻邊即可將彈簧卡扣翻起，解除鎖定，但該實(shí)用新型中，解除鎖定后需要人工移動(dòng)盒蓋在取走內(nèi)部的光罩版，機(jī)械卡合的效率較低，不便于使用者快速取用，同時(shí)，兩側(cè)均設(shè)置有彈簧卡合結(jié)構(gòu)，導(dǎo)致固定時(shí)需要依次進(jìn)行連接，增加了閉合時(shí)的繁瑣性，不利于使用者的使用，故而提出便于機(jī)械開合的光罩版盒來解決上述問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本實(shí)用新型的目的在于提出具有操作簡(jiǎn)單、取放便捷和操作便利等優(yōu)點(diǎn)的便于機(jī)械開合的光罩版盒，以解決對(duì)比文件中存在的接卸卡合效率低下，取用時(shí)需要人工移走盒蓋，且閉合作業(yè)較為繁瑣的問題。

2、基于上述目的，本實(shí)用新型提供了便于機(jī)械開合的光罩版盒，包括下盒體，所述下盒體的頂部連接有上盒蓋，所述下盒體與上盒蓋的內(nèi)外側(cè)連接有鎖合組件；

3、所述鎖合組件包括第一支板、第二支板、扭簧、活動(dòng)槽、按鈕桿、壓縮彈簧、彎頭桿和鎖定槽，所述下盒體的右側(cè)安裝有數(shù)量為兩個(gè)的第一支板，所述上盒蓋的右側(cè)安裝有數(shù)量為兩個(gè)的第二支板，兩個(gè)所述第一支板的后側(cè)與兩個(gè)第二支板的前側(cè)之間均安裝有扭簧，所述下盒體的頂部開設(shè)有活動(dòng)槽，所述下盒體的左側(cè)連接有按鈕桿，所述活動(dòng)槽的內(nèi)右壁上安裝有壓縮彈簧，所述按鈕桿的右端安裝有彎頭桿，所述上盒蓋的內(nèi)左壁上開設(shè)有鎖定槽。

4、進(jìn)一步，兩個(gè)所述第一支板的后側(cè)與兩個(gè)所述第二支板的前側(cè)之間均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)軸，兩個(gè)所述扭簧分別套設(shè)于兩個(gè)轉(zhuǎn)軸的外部上。

5、進(jìn)一步，所述活動(dòng)槽的內(nèi)左壁與下盒體的左側(cè)之間開設(shè)有第一滑孔，所述活動(dòng)槽的內(nèi)右壁與下盒體的內(nèi)左壁之間開設(shè)有第二滑孔。

6、進(jìn)一步，所述第一滑孔與第二滑孔同軸同心，且第一滑孔的內(nèi)徑尺寸與第二滑孔的內(nèi)徑尺寸相同，所述按鈕桿的右端依次穿過第一滑孔和第二滑孔并延伸至下盒體的內(nèi)部，且按鈕桿與第一滑孔、第二滑孔均滑動(dòng)相連。

7、進(jìn)一步，所述壓縮彈簧套設(shè)于按鈕桿的外部，所述按鈕桿的外表面安裝有壓環(huán)，且壓環(huán)位于活動(dòng)槽的內(nèi)部，所述壓縮彈簧的左端與壓環(huán)的右側(cè)相接觸。

8、進(jìn)一步，所述彎頭桿的頂部穿過上盒蓋底部的開口并延伸至上盒蓋的內(nèi)部，所述彎頭桿的左端通過鎖定槽的開口并延伸至鎖定槽的內(nèi)部，且與鎖定槽卡合連接。

9、本實(shí)用新型的有益效果：

10、1、該便于機(jī)械開合的光罩版盒，通過設(shè)置第一支板和第二支板之間安裝有扭簧，并借助轉(zhuǎn)軸使上盒蓋與下盒體之間通過第一支板和第二支板達(dá)成可轉(zhuǎn)動(dòng)連接關(guān)系，進(jìn)而在扭簧的扭矩力下，能夠利用機(jī)械力使上盒蓋離開下盒體上方，露出下盒體頂部的開口，從而方便工作人員直接取出位于下盒體內(nèi)部的光罩版，而不需要手動(dòng)移動(dòng)其他結(jié)構(gòu)，大幅減少機(jī)械開合后人工操作的步驟，便于使用者快速取用光罩版，進(jìn)一步方便了工作人員的使用。

11、2、該便于機(jī)械開合的光罩版盒，利用按鈕桿、壓縮彈簧以及活動(dòng)槽的配合，構(gòu)件簡(jiǎn)易的按壓復(fù)位結(jié)構(gòu)，讓工作人員在按壓后移動(dòng)彎頭桿與鎖定槽分離，從而解除上盒蓋與下盒體之間的鎖定，同時(shí)，關(guān)閉時(shí)，僅需按住上盒蓋弧形運(yùn)動(dòng)到下盒體上方，使兩者相對(duì)一側(cè)貼合，在松開對(duì)按鈕桿施加的壓力，即可使彎頭桿自動(dòng)復(fù)位與鎖定槽卡合，從而鎖固住上盒蓋的位置，大幅減少了閉合所需的操作量以及操作步驟，進(jìn)一步提高了工作人員在實(shí)際使用上的便捷性，加快了機(jī)械開合取放光罩版的效率，增加了使用中的便捷性。

技術(shù)特征：

1.便于機(jī)械開合的光罩版盒，包括下盒體(1)，其特征在于：所述下盒體(1)的頂部連接有上盒蓋(2)，所述下盒體(1)與上盒蓋(2)的內(nèi)外側(cè)連接有鎖合組件(3)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的便于機(jī)械開合的光罩版盒，其特征在于：兩個(gè)所述第一支板(301)的后側(cè)與兩個(gè)所述第二支板(302)的前側(cè)之間均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)軸，兩個(gè)所述扭簧(303)分別套設(shè)于兩個(gè)轉(zhuǎn)軸的外部上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的便于機(jī)械開合的光罩版盒，其特征在于：所述活動(dòng)槽(304)的內(nèi)左壁與下盒體(1)的左側(cè)之間開設(shè)有第一滑孔，所述活動(dòng)槽(304)的內(nèi)右壁與下盒體(1)的內(nèi)左壁之間開設(shè)有第二滑孔。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的便于機(jī)械開合的光罩版盒，其特征在于：所述第一滑孔與第二滑孔同軸同心，且第一滑孔的內(nèi)徑尺寸與第二滑孔的內(nèi)徑尺寸相同，所述按鈕桿(305)的右端依次穿過第一滑孔和第二滑孔并延伸至下盒體(1)的內(nèi)部，且按鈕桿(305)與第一滑孔、第二滑孔均滑動(dòng)相連。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的便于機(jī)械開合的光罩版盒，其特征在于：所述壓縮彈簧(306)套設(shè)于按鈕桿(305)的外部，所述按鈕桿(305)的外表面安裝有壓環(huán)，且壓環(huán)位于活動(dòng)槽(304)的內(nèi)部，所述壓縮彈簧(306)的左端與壓環(huán)的右側(cè)相接觸。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的便于機(jī)械開合的光罩版盒，其特征在于：所述彎頭桿(307)的頂部穿過上盒蓋(2)底部的開口并延伸至上盒蓋(2)的內(nèi)部，所述彎頭桿(307)的左端通過鎖定槽(308)的開口并延伸至鎖定槽(308)的內(nèi)部，且與鎖定槽(308)卡合連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及光罩版盒技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及便于機(jī)械開合的光罩版盒，包括下盒體，所述下盒體的頂部連接有上盒蓋，所述下盒體與上盒蓋的內(nèi)外側(cè)連接有鎖合組件，所述鎖合組件包括第一支板、第二支板、扭簧、活動(dòng)槽、按鈕桿、壓縮彈簧、彎頭桿和鎖定槽。該便于機(jī)械開合的光罩版盒，通過設(shè)置第一支板和第二支板之間安裝有扭簧，并借助轉(zhuǎn)軸使上盒蓋與下盒體之間通過第一支板和第二支板達(dá)成可轉(zhuǎn)動(dòng)連接關(guān)系，進(jìn)而在扭簧的扭矩力下，能夠利用機(jī)械力使上盒蓋離開下盒體上方，露出下盒體頂部的開口，從而方便工作人員直接取出位于下盒體內(nèi)部的光罩版，大幅減少機(jī)械開合后人工操作的步驟，便于使用者快速取用光罩版。

技術(shù)研發(fā)人員：楊波
受保護(hù)的技術(shù)使用者：合肥科昶電子科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240520
技術(shù)公布日：2025/1/2