本技術(shù)涉及光刻機(jī)，尤其涉及一種光刻機(jī)的鏡頭保護(hù)裝置。

背景技術(shù)：

1、光刻機(jī)的鏡頭保護(hù)裝置是用來(lái)保護(hù)光刻機(jī)的鏡頭免受損壞的，光刻機(jī)是一種用于制造微芯片、平板顯示屏和其他微細(xì)結(jié)構(gòu)的設(shè)備，鏡頭是其中關(guān)鍵的部件之一，在光刻過(guò)程中，鏡頭需要承受高強(qiáng)度的光束、高溫和化學(xué)物質(zhì)的影響，因此需要采取措施來(lái)保護(hù)鏡頭的質(zhì)量和壽命，鏡頭保護(hù)裝置通常由多個(gè)組件組成，包括濾光片、防污涂層、氣體清潔系統(tǒng)等，濾光片可以過(guò)濾掉光刻過(guò)程中的不必要的光線(xiàn)，以避免對(duì)鏡頭造成損害，防污涂層可以防止灰塵、化學(xué)物質(zhì)或其他雜質(zhì)進(jìn)入鏡頭表面，保持其清潔，氣體清潔系統(tǒng)可以通過(guò)吹掃或吸引的方式，去除光刻過(guò)程中產(chǎn)生的顆粒、揮發(fā)性物質(zhì)等，鏡頭保護(hù)裝置的主要目的是延長(zhǎng)鏡頭的使用壽命、提高光刻機(jī)的可靠性和成品率，通過(guò)減少鏡頭損壞或受污染的風(fēng)險(xiǎn)，可以降低維修和更換鏡頭的成本，同時(shí)保證生產(chǎn)過(guò)程的穩(wěn)定性和一致性，但是，在光刻機(jī)進(jìn)行工作時(shí)所使用的激光會(huì)產(chǎn)生高溫，長(zhǎng)時(shí)間進(jìn)行激光曝光，物鏡內(nèi)部溫度會(huì)隨曝光時(shí)間而變化，物鏡內(nèi)部溫度的變化會(huì)造成焦面飄逸，同時(shí)，長(zhǎng)期使用時(shí)，物鏡鏡頭被污染表面會(huì)產(chǎn)生結(jié)晶物的現(xiàn)象，傳統(tǒng)的鏡頭保護(hù)裝置不便于降低鏡頭溫度，不能很好的避免物鏡鏡頭表面會(huì)產(chǎn)生結(jié)晶物的現(xiàn)象。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了克服在光刻機(jī)進(jìn)行工作時(shí)所使用的激光會(huì)產(chǎn)生高溫，長(zhǎng)時(shí)間進(jìn)行激光曝光，物鏡內(nèi)部溫度會(huì)隨曝光時(shí)間而變化，物鏡內(nèi)部溫度的變化會(huì)造成焦面飄逸，同時(shí)，長(zhǎng)期使用時(shí)，物鏡鏡頭被污染表面會(huì)產(chǎn)生結(jié)晶物的現(xiàn)象，傳統(tǒng)的鏡頭保護(hù)裝置不便于降低鏡頭溫度，不能很好的避免物鏡鏡頭表面會(huì)產(chǎn)生結(jié)晶物的現(xiàn)象的問(wèn)題。

2、本實(shí)用新型的技術(shù)方案為：一種光刻機(jī)的鏡頭保護(hù)裝置，包括有主體安裝塊、鏡頭組件、固定組件、輸氣組件、儲(chǔ)氣組件、連接組件和噴氣組件，主體安裝塊的一側(cè)設(shè)置有鏡頭組件，主體安裝塊的一側(cè)設(shè)置有固定組件，固定組件的一側(cè)設(shè)置有輸氣組件，固定組件的一側(cè)設(shè)置有儲(chǔ)氣組件，儲(chǔ)氣組件的一側(cè)設(shè)置有連接組件，連接組件的一側(cè)設(shè)置有噴氣組件。

3、優(yōu)選的，通過(guò)主體安裝塊對(duì)光刻機(jī)進(jìn)行安裝，通過(guò)鏡頭組件進(jìn)行光刻使用，通過(guò)固定組件固定配件，通過(guò)輸氣組件輸送冷氣，通過(guò)儲(chǔ)氣組件儲(chǔ)藏冷氣，通過(guò)連接組件連接配件，通過(guò)噴氣組件噴出冷氣對(duì)鏡頭進(jìn)行冷卻吹風(fēng)作用。

4、作為優(yōu)選，鏡頭組件包括有傳導(dǎo)管、第一螺栓、鏡頭安裝塊和光刻機(jī)鏡頭，主體安裝塊的底部設(shè)置有傳導(dǎo)管，傳導(dǎo)管的底部與第一螺栓螺紋連接，第一螺栓與鏡頭安裝塊螺紋連接，鏡頭安裝塊的底部設(shè)置有光刻機(jī)鏡頭，在使用時(shí)，通過(guò)傳導(dǎo)管傳導(dǎo)激光，通過(guò)第一螺栓連接傳導(dǎo)管與鏡頭安裝塊，通過(guò)鏡頭安裝塊固定光刻機(jī)鏡頭，通過(guò)光刻機(jī)鏡頭進(jìn)行激光雕刻。

5、作為優(yōu)選，固定組件包括有安裝片、連接管和第一輸送管，主體安裝塊的一側(cè)設(shè)置有安裝片，安裝片的一側(cè)設(shè)置有連接管，連接管的一側(cè)設(shè)置有第一輸送管，在使用時(shí)，通過(guò)安裝片安裝連接管，通過(guò)連接管連接第一輸送管，通過(guò)第一輸送管輸送冷氣。

6、作為優(yōu)選，輸氣組件包括有第二輸送管、第二螺栓和第一螺紋管，連接管的一側(cè)設(shè)置有第二輸送管，第二輸送管的表面套設(shè)有第二螺栓，第二螺栓的內(nèi)部套設(shè)有第一螺紋管，在使用時(shí)，通過(guò)第二輸送管輸送冷氣，通過(guò)第二螺栓連接固定第二輸送管和第一螺紋管，通過(guò)第一螺紋管連接制冷裝置。

7、作為優(yōu)選，儲(chǔ)氣組件包括有第三輸送管、儲(chǔ)氣罐和輸送罐，第一輸送管的一側(cè)設(shè)置有第三輸送管，第三輸送管的一側(cè)設(shè)置有儲(chǔ)氣罐，第三輸送管的一側(cè)設(shè)置有輸送罐，在使用時(shí)，通過(guò)第三輸送管輸送冷氣，通過(guò)儲(chǔ)氣罐儲(chǔ)存冷氣，通過(guò)輸送罐輸送冷氣。

8、作為優(yōu)選，連接組件包括有第二螺紋管、第三螺栓和第三螺紋管，輸送罐的一側(cè)設(shè)置有第二螺紋管，第二螺紋管與第三螺栓螺紋連接第三螺栓與第三螺紋管螺紋連接，在使用時(shí)，通過(guò)第二螺紋管輸送冷氣，通過(guò)第三螺栓連接第二螺紋管和第三螺紋管，通過(guò)第三螺紋管輸送冷氣。

9、作為優(yōu)選，噴氣組件包括有輸氣管、連接螺紋、第四螺栓、第四螺紋管、噴氣管和噴氣口，第三螺紋管的一側(cè)設(shè)置有輸氣管，輸氣管的一端開(kāi)設(shè)有連接螺紋，連接螺紋與第四螺栓螺紋連接，第四螺栓與第四螺紋管螺紋連接，第四螺紋管與噴氣管螺紋連接，噴氣管的表面開(kāi)設(shè)有噴氣口，在使用時(shí)，通過(guò)輸氣管輸送冷氣，通過(guò)連接螺紋連接第四螺栓，通過(guò)第四螺栓連接第四螺紋管，通過(guò)第四螺紋管連接噴氣管并輸送冷氣，通過(guò)噴氣管開(kāi)設(shè)噴氣口，通過(guò)噴氣口將冷氣噴出。

10、本實(shí)用新型的有益效果：

11、1、相較于傳統(tǒng)光刻機(jī)進(jìn)行工作時(shí)所使用的激光會(huì)產(chǎn)生高溫，長(zhǎng)時(shí)間進(jìn)行激光曝光，物鏡內(nèi)部溫度會(huì)隨曝光時(shí)間而變化，物鏡內(nèi)部溫度的變化會(huì)造成焦面飄逸，同時(shí)，長(zhǎng)期使用時(shí)，物鏡鏡頭被污染表面會(huì)產(chǎn)生結(jié)晶物的現(xiàn)象，傳統(tǒng)的鏡頭保護(hù)裝置不便于降低鏡頭溫度，不能很好的避免物鏡鏡頭表面會(huì)產(chǎn)生結(jié)晶物的現(xiàn)象，該光刻機(jī)的鏡頭保護(hù)裝置通過(guò)設(shè)置降溫結(jié)構(gòu)，在光刻機(jī)長(zhǎng)時(shí)間工作導(dǎo)致鏡頭過(guò)熱，物鏡鏡頭被污染表面產(chǎn)生結(jié)晶物時(shí)，通過(guò)噴出冷氣對(duì)鏡頭進(jìn)行降溫，并將結(jié)晶物吹散，從而達(dá)到保護(hù)光刻機(jī)鏡頭，減少對(duì)光刻機(jī)鏡頭的損傷的目的；

12、2、在使用該光刻機(jī)鏡頭保護(hù)裝置時(shí)，通過(guò)輸氣管輸送冷氣，通過(guò)連接螺紋連接第四螺栓，通過(guò)第四螺栓連接第四螺紋管，通過(guò)第四螺紋管連接噴氣管并輸送冷氣，通過(guò)噴氣管開(kāi)設(shè)噴氣口，通過(guò)噴氣口將冷氣噴出，通過(guò)上述步驟快速對(duì)光刻機(jī)鏡頭進(jìn)行降溫，避免光刻機(jī)鏡頭因?yàn)檫^(guò)熱而造成損失；

13、3、在使用該光刻機(jī)鏡頭保護(hù)裝置時(shí)，通過(guò)第三輸送管輸送冷氣，通過(guò)儲(chǔ)氣罐儲(chǔ)存冷氣，通過(guò)輸送罐輸送冷氣，通過(guò)第二螺紋管輸送冷氣，通過(guò)第三螺栓連接第二螺紋管和第三螺紋管，通過(guò)第三螺紋管輸送冷氣，通過(guò)上述步驟對(duì)保護(hù)裝置提供冷氣，從而達(dá)到及時(shí)對(duì)鏡頭降溫的目的。

技術(shù)特征：

1.一種光刻機(jī)的鏡頭保護(hù)裝置，包括有主體安裝塊(1)；其特征在于：還包括有鏡頭組件(2)、固定組件(3)、輸氣組件(4)、儲(chǔ)氣組件(5)、連接組件(6)和噴氣組件(7)，主體安裝塊(1)的一側(cè)設(shè)置有鏡頭組件(2)，主體安裝塊(1)的一側(cè)設(shè)置有固定組件(3)，固定組件(3)的一側(cè)設(shè)置有輸氣組件(4)，固定組件(3)的一側(cè)設(shè)置有儲(chǔ)氣組件(5)，儲(chǔ)氣組件(5)的一側(cè)設(shè)置有連接組件(6)，連接組件(6)的一側(cè)設(shè)置有噴氣組件(7)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻機(jī)的鏡頭保護(hù)裝置，其特征在于：鏡頭組件(2)包括有傳導(dǎo)管(201)、第一螺栓(202)、鏡頭安裝塊(203)和光刻機(jī)鏡頭(204)，主體安裝塊(1)的底部設(shè)置有傳導(dǎo)管(201)，傳導(dǎo)管(201)的底部與第一螺栓(202)螺紋連接，第一螺栓(202)與鏡頭安裝塊(203)螺紋連接，鏡頭安裝塊(203)的底部設(shè)置有光刻機(jī)鏡頭(204)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻機(jī)的鏡頭保護(hù)裝置，其特征在于：固定組件(3)包括有安裝片(301)、連接管(302)和第一輸送管(303)，主體安裝塊(1)的一側(cè)設(shè)置有安裝片(301)，安裝片(301)的一側(cè)設(shè)置有連接管(302)，連接管(302)的一側(cè)設(shè)置有第一輸送管(303)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種光刻機(jī)的鏡頭保護(hù)裝置，其特征在于：輸氣組件(4)包括有第二輸送管(401)、第二螺栓(402)和第一螺紋管(403)，連接管(302)的一側(cè)設(shè)置有第二輸送管(401)，第二輸送管(401)的表面套設(shè)有第二螺栓(402)，第二螺栓(402)的內(nèi)部套設(shè)有第一螺紋管(403)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種光刻機(jī)的鏡頭保護(hù)裝置，其特征在于：儲(chǔ)氣組件(5)包括有第三輸送管(501)、儲(chǔ)氣罐(502)和輸送罐(503)，第一輸送管(303)的一側(cè)設(shè)置有第三輸送管(501)，第三輸送管(501)的一側(cè)設(shè)置有儲(chǔ)氣罐(502)，第三輸送管(501)的一側(cè)設(shè)置有輸送罐(503)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種光刻機(jī)的鏡頭保護(hù)裝置，其特征在于：連接組件(6)包括有第二螺紋管(601)、第三螺栓(602)和第三螺紋管(603)，輸送罐(503)的一側(cè)設(shè)置有第二螺紋管(601)，第二螺紋管(601)與第三螺栓(602)螺紋連接第三螺栓(602)與第三螺紋管(603)螺紋連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種光刻機(jī)的鏡頭保護(hù)裝置，其特征在于：噴氣組件(7)包括有輸氣管(701)、連接螺紋(702)、第四螺栓(703)、第四螺紋管(704)、噴氣管(705)和噴氣口(706)，第三螺紋管(603)的一側(cè)設(shè)置有輸氣管(701)，輸氣管(701)的一端開(kāi)設(shè)有連接螺紋(702)，連接螺紋(702)與第四螺栓(703)螺紋連接，第四螺栓(703)與第四螺紋管(704)螺紋連接，第四螺紋管(704)與噴氣管(705)螺紋連接，噴氣管(705)的表面開(kāi)設(shè)有噴氣口(706)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及光刻機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種光刻機(jī)的鏡頭保護(hù)裝置；技術(shù)問(wèn)題：在光刻機(jī)進(jìn)行工作時(shí)所使用的激光會(huì)產(chǎn)生高溫，物鏡內(nèi)部溫度會(huì)隨曝光時(shí)間而變化，同時(shí)，長(zhǎng)期使用時(shí)，物鏡鏡頭被污染表面會(huì)產(chǎn)生結(jié)晶物的現(xiàn)象，傳統(tǒng)的鏡頭保護(hù)裝置不便于降低鏡頭溫度，不能很好的避免物鏡鏡頭表面會(huì)產(chǎn)生結(jié)晶物的現(xiàn)象；技術(shù)方案：一種光刻機(jī)的鏡頭保護(hù)裝置，包括有主體安裝塊、鏡頭組件、固定組件、輸氣組件、儲(chǔ)氣組件、連接組件和噴氣組件；本技術(shù)通過(guò)設(shè)置降溫結(jié)構(gòu)，在光刻機(jī)長(zhǎng)時(shí)間工作導(dǎo)致鏡頭過(guò)熱，物鏡鏡頭被污染表面產(chǎn)生結(jié)晶物時(shí)，通過(guò)噴出冷氣對(duì)鏡頭進(jìn)行降溫，并將結(jié)晶物吹散，從而達(dá)到保護(hù)光刻機(jī)鏡頭，減少對(duì)光刻機(jī)鏡頭的損傷的目的。

技術(shù)研發(fā)人員：任海杰,趙遵成,焦彬,佟正二,李嚴(yán)嚴(yán),李勇,陳雨,郝鵬飛,李妍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：河南雷神光電技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240520
技術(shù)公布日：2025/1/2