本技術(shù)涉及液晶顯示面板加工，尤其涉及一種烘干裝置及玻璃基板加工設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、液晶顯示面板中的玻璃基板在進行光刻的過程中，需要烘干裝置對涂覆有光刻膠的玻璃基板進行烘干操作，從而去除光刻膠中的大部分的溶劑，增加光刻膠與玻璃基板之間的粘附性，便于后續(xù)對玻璃基板進行曝光以及顯影等操作。

2、在相關(guān)技術(shù)中，烘干裝置通常包括加熱件以及加熱板，加熱件固定設(shè)置于加熱板上，加熱件對加熱板進行加熱，然后將涂覆有光刻膠的玻璃基板放置于加熱板上，從而通過加熱板實現(xiàn)對玻璃基板的烘干操作。當長時間使用加熱板后，加熱板容易發(fā)生輕微變形等問題，使得當前固定位置的加熱件無法均勻地加熱整個玻璃基板，從而無法保證玻璃基板上各個位置的光刻膠的烘干的一致性，需要重新更換新的加熱板對玻璃基板進行烘干操作，大大增加了成本。

3、因此，亟需一種烘干裝置及玻璃基板加工設(shè)備，以解決上述問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種烘干裝置及玻璃基板加工設(shè)備，能夠提高加熱板上各個位置溫度的一致性，保證更加均勻地去除光刻膠中的溶劑，提高對玻璃基板的烘干效果和加工效果，降低成本。

2、為達此目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案：

3、一種烘干裝置，包括：

4、烘干腔室；

5、加熱板，所述加熱板位于所述烘干腔室內(nèi)，并且所述加熱板與所述烘干腔室的底板的相對位置固定，所述加熱板用于承載涂覆有光刻膠的玻璃基板；以及

6、加熱組件，所述加熱組件位于所述加熱板的下方，所述加熱組件被配置為加熱所述加熱板，并且所述加熱組件相對于所述加熱板的位置可調(diào)。

7、作為可選方案，所述烘干裝置還包括調(diào)節(jié)導向組件，所述調(diào)節(jié)導向組件包括滑動連接的第一導軌和第一滑塊，所述第一導軌沿所述加熱組件的調(diào)節(jié)方向延伸，所述第一導軌和所述第一滑塊兩者中的一者設(shè)置于加熱組件上，所述第一導軌和所述第一滑塊兩者中的另一者設(shè)置于所述底板或所述加熱板上。

8、作為可選方案，所述烘干裝置包括：

9、多個溫度檢測組件，多個所述溫度檢測組件被配置為檢測所述加熱板多個位置處的溫度；以及

10、驅(qū)動組件，與多個所述溫度檢測組件通訊連接，所述驅(qū)動組件被配置為驅(qū)動所述加熱組件相對于所述加熱板移動。

11、作為可選方案，所述烘干裝置還包括：

12、鎖定螺栓，所述鎖定螺栓被配置為鎖定所述第一導軌和所述第一滑塊。

13、作為可選方案，所述第一導軌和所述第一滑塊兩者中的另一者設(shè)置于所述底板上，所述烘干裝置還包括緊固螺栓；

14、所述底板上開設(shè)有螺紋孔，所述加熱組件上開設(shè)有穿設(shè)長孔，所述穿設(shè)長孔沿所述第一導軌的延伸方向延伸，所述緊固螺栓與所述螺紋孔螺紋連接，并且所述緊固螺栓的螺桿穿過所述穿設(shè)長孔后與所述加熱板抵接連接。

15、作為可選方案，所述第一導軌和所述第一滑塊兩者中的另一者設(shè)置于所述底板上，所述烘干裝置還包括連接柱；

16、所述加熱組件上開設(shè)有穿設(shè)長孔，所述穿設(shè)長孔沿所述第一導軌的延伸方向延伸，所述連接柱的第一端與所述底板固定連接，所述連接柱的第二端穿過所述穿設(shè)長孔后與所述加熱板固定連接。

17、作為可選方案，所述第一導軌和所述第一滑塊兩者中的另一者設(shè)置于所述加熱板上；

18、所述調(diào)節(jié)導向組件還包括滑動連接的第二導軌和第二滑塊，所述第二導軌沿所述加熱組件的調(diào)節(jié)方向延伸，所述第二導軌和所述第二滑塊兩者中的一者設(shè)置于加熱組件上，所述第二導軌和所述第二滑塊兩者中的另一者設(shè)置于所述底板上。

19、作為可選方案，所述加熱組件包括第一固定板、第二固定板以及加熱件，所述加熱件夾設(shè)固定于所述第一固定板和所述第二固定板之間。

20、作為可選方案，所述第一固定板和所述第二固定板與所述加熱件之間均填充有導熱膠。

21、一種玻璃基板加工設(shè)備，包括曝光機以及如上所述的烘干裝置，所述曝光機被配置為對所述烘干裝置烘干后的所述玻璃基板曝光。

22、本實用新型的有益效果：

23、本實用新型提供了一種烘干裝置，該烘干裝置包括烘干腔室、加熱板以及加熱組件，其中，加熱板位于烘干腔室內(nèi)，并且加熱板與烘干腔室的底板的相對位置固定，加熱板用于承載涂覆有光刻膠的玻璃基板，加熱組件位于加熱板的下方，加熱組件用于加熱加熱板，并且加熱組件相對于加熱板的位置可調(diào)。本實用新型提供的烘干裝置，當加熱板各個位置的溫度的一致性較差時，可以通過調(diào)節(jié)加熱組件相對于加熱板的位置，從而提高加熱板上各個位置溫度的一致性，保證更加均勻地去除光刻膠中的溶劑，提高烘干效果，無需更換新的加熱板，降低了成本。

24、本實用新型還提供了一種玻璃基板加工設(shè)備，通過應(yīng)用上述烘干裝置，降低了成本，提高了對玻璃基板的加工效果。

技術(shù)特征：

1.一種烘干裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的烘干裝置，其特征在于，所述烘干裝置還包括調(diào)節(jié)導向組件(4)，所述調(diào)節(jié)導向組件(4)包括滑動連接的第一導軌(41)和第一滑塊(42)，所述第一導軌(41)沿所述加熱組件(3)的調(diào)節(jié)方向延伸，所述第一導軌(41)和所述第一滑塊(42)兩者中的一者設(shè)置于加熱組件(3)上，所述第一導軌(41)和所述第一滑塊(42)兩者中的另一者設(shè)置于所述底板(1)或所述加熱板(2)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的烘干裝置，其特征在于，所述烘干裝置包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的烘干裝置，其特征在于，所述烘干裝置還包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求2～4任一項所述的烘干裝置，其特征在于，所述第一導軌(41)和所述第一滑塊(42)兩者中的另一者設(shè)置于所述底板(1)上，所述烘干裝置還包括緊固螺栓(5)；

6.根據(jù)權(quán)利要求2～4任一項所述的烘干裝置，其特征在于，所述第一導軌(41)和所述第一滑塊(42)兩者中的另一者設(shè)置于所述底板(1)上，所述烘干裝置還包括連接柱(6)；

7.根據(jù)權(quán)利要求2～4任一項所述的烘干裝置，其特征在于，所述第一導軌(41)和所述第一滑塊(42)兩者中的另一者設(shè)置于所述加熱板(2)上；

8.根據(jù)權(quán)利要求1～4任一項所述的烘干裝置，其特征在于，所述加熱組件(3)包括第一固定板(31)、第二固定板(32)以及加熱件(33)，所述加熱件(33)夾設(shè)固定于所述第一固定板(31)和所述第二固定板(32)之間。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的烘干裝置，其特征在于，所述第一固定板(31)和所述第二固定板(32)與所述加熱件(33)之間均填充有導熱膠。

10.一種玻璃基板加工設(shè)備，其特征在于，包括曝光機以及權(quán)利要求1～9任一項所述的烘干裝置，所述曝光機被配置為對所述烘干裝置烘干后的所述玻璃基板(20)曝光。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及液晶顯示面板加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種烘干裝置及玻璃基板加工設(shè)備。該烘干裝置包括烘干腔室、加熱板以及加熱組件，加熱板位于烘干腔室內(nèi)，并且加熱板與烘干腔室的底板的相對位置固定，加熱板用于承載涂覆有光刻膠的玻璃基板，加熱組件位于加熱板的下方，加熱組件用于加熱加熱板，并且加熱組件相對于加熱板的位置可調(diào)。該烘干裝置，當加熱板各個位置的溫度的一致性較差時，可以通過調(diào)節(jié)加熱組件相對于加熱板的位置，從而提高加熱板上各個位置溫度的一致性，保證更加均勻地去除光刻膠中的溶劑，提高烘干效果，無需更換新的加熱板，降低了成本。玻璃基板加工設(shè)備通過應(yīng)用上述烘干裝置，降低了成本，提高了對玻璃基板的加工效果。

技術(shù)研發(fā)人員：趙佳齊
受保護的技術(shù)使用者：昆山龍騰光電股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240522
技術(shù)公布日：2025/1/6