本技術(shù)涉及晶圓生產(chǎn)，尤其涉及一種晶圓生產(chǎn)用雙面自動(dòng)曝光機(jī)。

背景技術(shù)：

1、曝光機(jī)是指通過(guò)開(kāi)啟燈光發(fā)出uva波長(zhǎng)的紫外線，將膠片或其他透明體上的圖像信息轉(zhuǎn)移到涂有感光物質(zhì)的表面上的設(shè)備。

2、例如公告號(hào)為cn220730626u的一種高效的晶圓一次曝光機(jī)，具體公開(kāi)了包括機(jī)柜，所述機(jī)柜內(nèi)設(shè)有工作臺(tái)，所述工作臺(tái)上設(shè)有轉(zhuǎn)盤(pán)，所述轉(zhuǎn)盤(pán)通過(guò)伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，所述轉(zhuǎn)盤(pán)的左右兩側(cè)均設(shè)有存料架，所述存料架上設(shè)有存料盒，所述轉(zhuǎn)盤(pán)上對(duì)稱(chēng)設(shè)有兩個(gè)托盤(pán)，所述托盤(pán)的上端面設(shè)有多個(gè)升降頂針，所述工作臺(tái)上通過(guò)z軸伺服移動(dòng)模組連接有曝光板，所述曝光板伸向所述轉(zhuǎn)盤(pán)上方，所述曝光板的證上方通過(guò)支架設(shè)有曝光機(jī)本體，兩側(cè)的所述存料架之間設(shè)有移載機(jī)構(gòu)，所述移載機(jī)構(gòu)和所述存料架之間連接有矯正機(jī)構(gòu)，所述曝光機(jī)通過(guò)兩個(gè)托盤(pán)交替上料，所述第一抓手、所述第二抓手和所述第三抓手分別實(shí)現(xiàn)晶圓的上料、定位和下料。

3、現(xiàn)有技術(shù)中的曝光機(jī)不能進(jìn)行雙面曝光，由于需要分別對(duì)每個(gè)面進(jìn)行曝光，這將會(huì)增加曝光次數(shù)和曝光時(shí)間，從而增加生產(chǎn)成本，為此我們提出一種晶圓生產(chǎn)用雙面自動(dòng)曝光機(jī)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種晶圓生產(chǎn)用雙面自動(dòng)曝光機(jī)，解決了上述背景技術(shù)提出的問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)：一種晶圓生產(chǎn)用雙面自動(dòng)曝光機(jī)，包括箱體，所述箱體內(nèi)設(shè)置有曝光裝置，所述箱體內(nèi)設(shè)置有環(huán)形板，所述箱體內(nèi)安裝有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述環(huán)形板相連并能夠帶動(dòng)所述環(huán)形板翻轉(zhuǎn)，所述環(huán)形板上方設(shè)置有承載器，所述環(huán)形板上固定安裝有多個(gè)呈圓周陣列分布的豎板，所述豎板一側(cè)均設(shè)置有壓板，所述壓板朝向所述豎板的一側(cè)均固定安裝有兩個(gè)間隔設(shè)置的導(dǎo)桿，所述導(dǎo)桿貫穿所述豎板，所述豎板上均固定連接有彈簧，所述彈簧另一端固定連接在所述壓板上，所述承載器內(nèi)設(shè)置有多個(gè)呈圓周陣列分布的存放槽，所述承載器上端開(kāi)口設(shè)置且上端口處配備有頂板，所述頂板能夠密封承載器，所述頂板與承載器過(guò)盈配合，所述承載器設(shè)置在曝光裝置正下方。

3、作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述壓板朝向所述承載器的一側(cè)均設(shè)置為弧形面，所述壓板朝向所述承載器的一側(cè)設(shè)置有防滑橡膠吸盤(pán)層。

4、作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括電機(jī)，所述電機(jī)固定安裝在箱體內(nèi)，所述電機(jī)的輸出軸端固定安裝有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸端部固定連接在環(huán)形板上。

5、作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述壓板、導(dǎo)桿內(nèi)部中空設(shè)置，所述壓板朝向承載器的一側(cè)均開(kāi)設(shè)有若干均勻分布的氣孔，所述環(huán)形板上安裝有抽吸泵，所述抽吸泵的進(jìn)氣管端連通并固定安裝有管路，所述管路上連通有多個(gè)連接管，所述連接管能夠滑動(dòng)的插入導(dǎo)桿內(nèi)且與導(dǎo)桿連通。

6、作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述存放槽上均貫穿有橫桿，所述橫桿均固連在承載器內(nèi)，所述橫桿上均套設(shè)有彈性件，所述彈性件兩端分別固定連接在存放槽和承載器上。

7、作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述存放槽為磁鐵，所述承載器內(nèi)固定安裝有多個(gè)呈圓周陣列分布的電磁鐵。

8、作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述箱體上安裝有觀察窗。

9、本實(shí)用新型提供了一種晶圓生產(chǎn)用雙面自動(dòng)曝光機(jī)，與現(xiàn)有技術(shù)相比具備以下有益效果：

10、1、本設(shè)計(jì)的一種晶圓生產(chǎn)用雙面自動(dòng)曝光機(jī)，通過(guò)帶動(dòng)承載器以及存放槽內(nèi)的晶圓繞轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)晶圓進(jìn)行翻轉(zhuǎn)操作，配合曝光裝置的曝光，可對(duì)晶圓進(jìn)行雙面曝光，雙面曝光技術(shù)允許在同一時(shí)間內(nèi)對(duì)晶圓的兩個(gè)面進(jìn)行曝光，這大大減少了曝光次數(shù)和曝光時(shí)間，從而顯著提高了生產(chǎn)效率。

11、2、本設(shè)計(jì)的一種晶圓生產(chǎn)用雙面自動(dòng)曝光機(jī)，在曝光過(guò)程中可根據(jù)曝光需求，提高給電磁鐵通電，電磁鐵對(duì)存放槽施加排斥力或吸引力，可帶動(dòng)存放槽平移并調(diào)節(jié)存放槽內(nèi)晶圓的位置，從而對(duì)晶圓位置進(jìn)行微調(diào)，以滿足不同的曝光需求。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓生產(chǎn)用雙面自動(dòng)曝光機(jī)，其特征在于，包括箱體（1），所述箱體（1）內(nèi)設(shè)置有曝光裝置（12），所述箱體（1）內(nèi)設(shè)置有環(huán)形板（2），所述箱體（1）內(nèi)安裝有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述環(huán)形板（2）相連并能夠帶動(dòng)所述環(huán)形板（2）翻轉(zhuǎn)，所述環(huán)形板（2）上方設(shè)置有承載器（3），所述環(huán)形板（2）上固定安裝有多個(gè)呈圓周陣列分布的豎板（4），所述豎板（4）一側(cè)均設(shè)置有壓板（5），所述壓板（5）朝向所述豎板（4）的一側(cè)均固定安裝有兩個(gè)間隔設(shè)置的導(dǎo)桿（6），所述導(dǎo)桿（6）貫穿所述豎板（4），所述豎板（4）上均固定連接有彈簧（7），所述彈簧（7）另一端固定連接在所述壓板（5）上，所述承載器（3）內(nèi)設(shè)置有多個(gè)呈圓周陣列分布的存放槽（8），所述承載器（3）上端開(kāi)口設(shè)置且上端口處配備有頂板（9），所述頂板（9）能夠密封承載器（3），所述頂板（9）與承載器（3）過(guò)盈配合，所述承載器（3）設(shè)置在曝光裝置（12）正下方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓生產(chǎn)用雙面自動(dòng)曝光機(jī)，其特征在于，所述壓板（5）朝向所述承載器（3）的一側(cè)均設(shè)置為弧形面，所述壓板（5）朝向所述承載器（3）的一側(cè)設(shè)置有防滑橡膠吸盤(pán)層。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓生產(chǎn)用雙面自動(dòng)曝光機(jī)，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括電機(jī)（10），所述電機(jī)（10）固定安裝在箱體（1）內(nèi)，所述電機(jī)（10）的輸出軸端固定安裝有轉(zhuǎn)軸（11），所述轉(zhuǎn)軸（11）端部固定連接在環(huán)形板（2）上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓生產(chǎn)用雙面自動(dòng)曝光機(jī)，其特征在于，所述壓板（5）、導(dǎo)桿（6）內(nèi)部中空設(shè)置，所述壓板（5）朝向承載器（3）的一側(cè)均開(kāi)設(shè)有若干均勻分布的氣孔，所述環(huán)形板（2）上安裝有抽吸泵（13），所述抽吸泵（13）的進(jìn)氣管端連通并固定安裝有管路（14），所述管路（14）上連通有多個(gè)連接管（15），所述連接管（15）能夠滑動(dòng)的插入導(dǎo)桿（6）內(nèi)且與導(dǎo)桿（6）連通。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓生產(chǎn)用雙面自動(dòng)曝光機(jī)，其特征在于，所述存放槽（8）上均貫穿有橫桿（16），所述橫桿（16）均固連在承載器（3）內(nèi)，所述橫桿（16）上均套設(shè)有彈性件（17），所述彈性件（17）兩端分別固定連接在存放槽（8）和承載器（3）上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種晶圓生產(chǎn)用雙面自動(dòng)曝光機(jī)，其特征在于，所述存放槽（8）為磁鐵，所述承載器（3）內(nèi)固定安裝有多個(gè)呈圓周陣列分布的電磁鐵（18）。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種晶圓生產(chǎn)用雙面自動(dòng)曝光機(jī)，其特征在于，所述箱體（1）上安裝有觀察窗。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提出了一種晶圓生產(chǎn)用雙面自動(dòng)曝光機(jī)，涉及晶圓生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，包括箱體，箱體內(nèi)設(shè)置有曝光裝置，箱體內(nèi)設(shè)置有環(huán)形板，箱體內(nèi)安裝有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，環(huán)形板上方設(shè)置有承載器，環(huán)形板上固定安裝有多個(gè)呈圓周陣列分布的豎板，豎板一側(cè)均設(shè)置有壓板，壓板朝向豎板的一側(cè)均固定安裝有兩個(gè)間隔設(shè)置的導(dǎo)桿，導(dǎo)桿貫穿豎板，豎板上均固定連接有彈簧，彈簧另一端固定連接在壓板上，承載器內(nèi)設(shè)置有多個(gè)呈圓周陣列分布的存放槽，通過(guò)帶動(dòng)晶圓進(jìn)行翻轉(zhuǎn)操作，配合曝光裝置的曝光，可對(duì)晶圓進(jìn)行雙面曝光，雙面曝光技術(shù)允許在同一時(shí)間內(nèi)對(duì)晶圓的兩個(gè)面進(jìn)行曝光，這大大減少了曝光次數(shù)和曝光時(shí)間，從而顯著提高了生產(chǎn)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：方廷宇,李東冉,袁斌,路姍姍,韋鑫
受保護(hù)的技術(shù)使用者：山東強(qiáng)茂電子科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240524
技術(shù)公布日：2025/1/6