本技術(shù)涉及掩膜版搬運(yùn)，具體涉及一種適用于agv與光刻機(jī)進(jìn)行對(duì)接交互的裝置。

背景技術(shù)：

1、掩膜版(photo?mask)，又稱(chēng)光罩掩膜版、光罩等，是一種用于微電子芯片制備的掩模工具，它是由光刻技術(shù)制備的。在制備過(guò)程中，首先需要將待制備的芯片設(shè)計(jì)圖案制作成透明的掩模。將掩模與半導(dǎo)體硅片結(jié)合，通過(guò)光刻機(jī)進(jìn)行曝光、顯影等一系列工藝過(guò)程，最終制備出微電子芯片。

2、光刻機(jī)是現(xiàn)代光學(xué)工業(yè)之花,是半導(dǎo)體、平板顯示等行業(yè)中的核心技術(shù)。它主要通過(guò)光學(xué)成像技術(shù)將光掩膜版上的芯片設(shè)計(jì)圖案轉(zhuǎn)移到硅片表面，從而制備出具有所需功能的微電子器件。

3、光刻機(jī)在制備大尺寸掩膜版時(shí)由于產(chǎn)品無(wú)法進(jìn)行人工搬運(yùn)，因此通常采用agv①進(jìn)行搬運(yùn)。由于光刻機(jī)設(shè)備上板架(loader)不具備直接對(duì)接agv進(jìn)行掩膜版取放的功能，因此在agv搬運(yùn)掩膜版到光刻機(jī)設(shè)備時(shí)，需要使用中轉(zhuǎn)設(shè)備，如hmu?assist?loader(簡(jiǎn)稱(chēng)hmu②)對(duì)接agv抓放掩膜版后，再通過(guò)hmu對(duì)接光刻機(jī)進(jìn)行掩膜版的抓取與放置。

4、由于需要通過(guò)中轉(zhuǎn)設(shè)備進(jìn)行掩膜版的轉(zhuǎn)運(yùn)，增加了產(chǎn)品在搬運(yùn)途中的風(fēng)險(xiǎn)，同時(shí)會(huì)增加掩膜版的搬運(yùn)時(shí)間，以及增加了掩膜版原材被污染的風(fēng)險(xiǎn)，極大增加了設(shè)備成本、原材成本的同時(shí)，也降低了生產(chǎn)工作效率。

5、詞語(yǔ)解釋?zhuān)?/p>

6、①agv即automated?guided?vehicle簡(jiǎn)稱(chēng)agv，當(dāng)前最常見(jiàn)的應(yīng)用如:agv搬運(yùn)機(jī)器人或agv小車(chē)，主要功用集中在自動(dòng)物流搬轉(zhuǎn)運(yùn)，agv搬運(yùn)機(jī)器人是通過(guò)特殊地標(biāo)進(jìn)行導(dǎo)航，自動(dòng)將物品運(yùn)輸至指定地點(diǎn)。

7、②hmu?assist?loader即bare?mask?stocker，掩膜基板暫存裝置，agv可以通過(guò)hmu的agv?port進(jìn)行放置和抓取mask，hmu再通過(guò)robot從agv?port上將mask轉(zhuǎn)運(yùn)至光刻機(jī)loader上。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型提供了一種適用于agv與光刻機(jī)進(jìn)行對(duì)接交互的裝置，目的在于可以省去轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備，實(shí)現(xiàn)直接對(duì)接agv抓放掩膜版，解決光刻機(jī)無(wú)法直接與agv進(jìn)行對(duì)接的問(wèn)題。

2、本實(shí)用新型通過(guò)下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：一種適用于agv與光刻機(jī)進(jìn)行對(duì)接交互的裝置，包括安裝在光刻機(jī)上的上板架，所述上板架的頂部連接有橫梁，所述橫梁和所述上板架的底部均安裝有反射板，所述上板架的下部連接有尺寸調(diào)節(jié)器，所述尺寸調(diào)節(jié)器上連接有罩蓋，所述罩蓋和所述尺寸調(diào)節(jié)器能夠沿所述上板架的長(zhǎng)度方向進(jìn)行調(diào)節(jié)，所述罩蓋的頂部開(kāi)設(shè)有凹槽。

3、本方案與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下的優(yōu)點(diǎn)和有益效果：

4、本方案中頂部橫梁處的反射板為保證掩膜版在放置到上板架時(shí)的左右位置精度及距離精度，避免爪手接近上板架時(shí)出現(xiàn)位置偏差導(dǎo)致干涉。頂部?jī)蓧K反射板用于第一次距離較遠(yuǎn)時(shí)的首次定位，保證左右以及前后距離在規(guī)定范圍內(nèi)，底部反射板用于第二次距離較近時(shí)的精確定位，調(diào)節(jié)掩膜版的角度與上下高度等。

5、上板架的下部連接有尺寸調(diào)節(jié)器，罩蓋固定在尺寸調(diào)節(jié)器上，且尺寸調(diào)節(jié)器能夠沿所述上板架的長(zhǎng)度方向進(jìn)行調(diào)節(jié)，尺寸調(diào)節(jié)器可調(diào)節(jié)是為了對(duì)應(yīng)不同尺寸掩膜版放置需求，所述罩蓋的頂部開(kāi)設(shè)有凹槽，凹槽為agv底部的爪手進(jìn)入的位置，此凹槽的設(shè)置能夠避免與agv的底部爪手干涉。

6、本方案中光刻機(jī)通過(guò)agv小車(chē)抓取掩膜版運(yùn)送到光刻機(jī)處后，通過(guò)agv小車(chē)上的機(jī)器人手臂將抓取的掩膜版與光刻機(jī)上的上板架對(duì)齊，通過(guò)agv的手臂的上爪和下爪的位置與橫梁上的兩個(gè)反射板以及上板架底部的反射板的位置對(duì)齊后，即可將抓取的掩膜版準(zhǔn)確的放置在上板架上，本方案不需要轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備，實(shí)現(xiàn)了直接對(duì)接agv抓放掩膜版，解決光刻機(jī)無(wú)法直接與agv進(jìn)行對(duì)接的問(wèn)題。

7、進(jìn)一步，所述橫梁上的反射板設(shè)有兩個(gè)，且所述橫梁上的兩個(gè)反射板分別位于所述橫梁的左部和右部。

8、有益效果：橫梁上的兩個(gè)反射板能夠提高agv小車(chē)的爪手與光刻機(jī)上板架的定位精度，從而使掩膜版能夠順利且準(zhǔn)確的被放置在上板架上。

9、進(jìn)一步，所述橫梁上的兩個(gè)反射板均與所述橫梁水平滑動(dòng)配合。

10、有益效果：本方案中橫梁上的兩個(gè)反射板能夠根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行滑動(dòng)調(diào)節(jié)其位置，從而確保定位精度。

11、進(jìn)一步，所述上板架底部的反射板與所述上板架水平滑動(dòng)配合。

12、有益效果：本方案便于根據(jù)實(shí)際情況調(diào)節(jié)上板架底部的反射板位置，更靈活實(shí)用。

13、進(jìn)一步，所述上板架底部的反射板為十字反射板。

14、有益效果：十字反射板用于視覺(jué)定位相機(jī)拍照識(shí)別精確位置，能夠在視覺(jué)定位時(shí)進(jìn)行位置判斷，這樣可通過(guò)視覺(jué)相機(jī)識(shí)別到的十字反射板上的十字圖形位置進(jìn)行精確調(diào)整掩膜版位置、角度等。

15、進(jìn)一步，所述罩蓋的凹槽居中設(shè)置，且所述罩蓋的凹槽兩側(cè)分別設(shè)有豎向固定孔與插銷(xiāo)孔，所述上板架上設(shè)有兩組對(duì)稱(chēng)設(shè)置的導(dǎo)向塊，所述罩蓋通過(guò)在豎向固定孔內(nèi)插入緊固件而固定于尺寸調(diào)節(jié)器上，所述尺寸調(diào)節(jié)器與兩組所述導(dǎo)向塊滑動(dòng)配合，且所述導(dǎo)向塊上沿其長(zhǎng)度方向開(kāi)設(shè)有多個(gè)豎向定位孔，所述尺寸調(diào)節(jié)器通過(guò)在插銷(xiāo)孔和豎向定位孔內(nèi)插入插銷(xiāo)進(jìn)行可拆卸連接。

16、有益效果：本方案通過(guò)插銷(xiāo)固定到導(dǎo)向塊中的豎向定位孔內(nèi)實(shí)現(xiàn)尺寸調(diào)節(jié)器與導(dǎo)向塊的連接，拔出插銷(xiāo)后尺寸調(diào)節(jié)器即可上下移動(dòng)，而插入插銷(xiāo)即可鎖定尺寸，本方案中罩蓋與尺寸調(diào)節(jié)器通過(guò)緊固件和豎向固定孔進(jìn)行連接，通過(guò)移動(dòng)罩蓋和尺寸調(diào)節(jié)器，而使罩蓋上的插銷(xiāo)孔與導(dǎo)向塊上不同高度位置上的豎向定位孔對(duì)齊配合，即可實(shí)現(xiàn)在調(diào)節(jié)罩蓋和尺寸調(diào)節(jié)器的位置后對(duì)罩蓋和尺寸調(diào)節(jié)器起到固定的作用。

17、進(jìn)一步，所述罩蓋的凹槽兩側(cè)的豎向固定孔均設(shè)有兩個(gè)，插銷(xiāo)孔各設(shè)有一個(gè)，且兩個(gè)所述豎向固定孔與所述插銷(xiāo)孔豎向間隔分布。

18、有益效果：如此設(shè)置能夠提高對(duì)罩蓋與尺寸調(diào)節(jié)器之間的固定效果。

19、進(jìn)一步，所述罩蓋的凹槽兩側(cè)還開(kāi)設(shè)有與所述尺寸調(diào)節(jié)器配合連接的橫向固定孔，所述豎向固定孔和所述橫向固定孔分別位于罩蓋的上部和下部，所述插銷(xiāo)孔位于罩蓋的中部。

20、有益效果：如此設(shè)置能夠使罩蓋的上部和下部均與尺寸調(diào)節(jié)器進(jìn)行連接，進(jìn)一步提高罩蓋與尺寸調(diào)節(jié)器之間的安裝精度。

21、進(jìn)一步，所述上板架用于放置掩膜版的一側(cè)設(shè)有多個(gè)間隔分布的支撐塊。

22、有益效果：支撐塊的設(shè)置能夠?qū)Ψ胖迷谏习寮苌系难谀ぐ嫫鸬街蔚淖饔茫奖愫笃谌》拧?/p>

技術(shù)特征：

1.一種適用于agv與光刻機(jī)進(jìn)行對(duì)接交互的裝置，其特征在于，包括安裝在光刻機(jī)上的上板架，所述上板架的頂部連接有橫梁，所述橫梁和所述上板架的底部均安裝有反射板，所述上板架的下部連接有尺寸調(diào)節(jié)器，所述尺寸調(diào)節(jié)器上連接有罩蓋，所述罩蓋和所述尺寸調(diào)節(jié)器能夠沿所述上板架的長(zhǎng)度方向進(jìn)行調(diào)節(jié)，所述罩蓋的頂部開(kāi)設(shè)有凹槽。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于agv與光刻機(jī)進(jìn)行對(duì)接交互的裝置，其特征在于，所述橫梁上的反射板設(shè)有兩個(gè)，且所述橫梁上的兩個(gè)反射板分別位于所述橫梁的左部和右部。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種適用于agv與光刻機(jī)進(jìn)行對(duì)接交互的裝置，其特征在于，所述橫梁上的兩個(gè)反射板均與所述橫梁水平滑動(dòng)配合。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于agv與光刻機(jī)進(jìn)行對(duì)接交互的裝置，其特征在于，所述上板架底部的反射板與所述上板架水平滑動(dòng)配合。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于agv與光刻機(jī)進(jìn)行對(duì)接交互的裝置，其特征在于，所述上板架底部的反射板為十字反射板。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于agv與光刻機(jī)進(jìn)行對(duì)接交互的裝置，其特征在于，所述罩蓋的凹槽居中設(shè)置，且所述罩蓋的凹槽兩側(cè)分別設(shè)有豎向固定孔與插銷(xiāo)孔，所述上板架上設(shè)有兩組對(duì)稱(chēng)設(shè)置的導(dǎo)向塊，所述罩蓋通過(guò)在豎向固定孔內(nèi)插入緊固件而固定于尺寸調(diào)節(jié)器上，所述尺寸調(diào)節(jié)器與兩組所述導(dǎo)向塊滑動(dòng)配合，且所述導(dǎo)向塊上沿其長(zhǎng)度方向開(kāi)設(shè)有多個(gè)豎向定位孔，所述尺寸調(diào)節(jié)器通過(guò)在插銷(xiāo)孔和豎向定位孔內(nèi)插入插銷(xiāo)進(jìn)行可拆卸連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種適用于agv與光刻機(jī)進(jìn)行對(duì)接交互的裝置，其特征在于，所述罩蓋的凹槽兩側(cè)的豎向固定孔均設(shè)有兩個(gè)，插銷(xiāo)孔各設(shè)有一個(gè)，且兩個(gè)所述豎向固定孔與所述插銷(xiāo)孔豎向間隔分布。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種適用于agv與光刻機(jī)進(jìn)行對(duì)接交互的裝置，其特征在于，所述罩蓋的凹槽兩側(cè)還開(kāi)設(shè)有與所述尺寸調(diào)節(jié)器配合連接的橫向固定孔，所述豎向固定孔和所述橫向固定孔分別位于罩蓋的上部和下部，所述插銷(xiāo)孔位于罩蓋的中部。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的一種適用于agv與光刻機(jī)進(jìn)行對(duì)接交互的裝置，其特征在于，所述上板架用于放置掩膜版的一側(cè)設(shè)有多個(gè)間隔分布的支撐塊。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)屬于掩膜版搬運(yùn)技術(shù)領(lǐng)域，具體公開(kāi)了一種適用于AGV與光刻機(jī)進(jìn)行對(duì)接交互的裝置，包括安裝在光刻機(jī)上的上板架，所述上板架的頂部連接有橫梁，所述橫梁和所述上板架的底部均安裝有反射板，所述上板架的下部連接有尺寸調(diào)節(jié)器，所述尺寸調(diào)節(jié)器上連接有罩蓋，所述罩蓋和所述尺寸調(diào)節(jié)器能夠沿所述上板架的長(zhǎng)度方向進(jìn)行調(diào)節(jié)，所述罩蓋的頂部開(kāi)設(shè)有凹槽。本技術(shù)可以省去轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備，實(shí)現(xiàn)直接對(duì)接AGV抓放掩膜版，解決光刻機(jī)無(wú)法直接與AGV進(jìn)行對(duì)接的問(wèn)題。

技術(shù)研發(fā)人員：曹治鋼,劉單,李祿建
受保護(hù)的技術(shù)使用者：成都路維光電有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240524
技術(shù)公布日：2025/1/2