專利名稱:用于制造平板顯示器的設(shè)備及制造該平板顯示器的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于制造平板顯示器的設(shè)備及制造該平板顯示器的方法，更具體地，涉及一種將用于平板顯示器的基板轉(zhuǎn)移到各個(gè)處理的結(jié)構(gòu)以及一種轉(zhuǎn)移該基板的方法。
背景技術(shù)：
通常，平板顯示設(shè)備是被設(shè)計(jì)為減小了大體積和大重量、陰極射線管缺陷的顯示設(shè)備，在該平板顯示設(shè)備中有液晶顯示器、場(chǎng)發(fā)光顯示器、等離子顯示板和發(fā)光顯示器。
平板顯示器當(dāng)中的液晶顯示器包括液晶板以及用于將驅(qū)動(dòng)信號(hào)施加給液晶板的驅(qū)動(dòng)器，該液晶板包括彼此裝配為保持預(yù)定間隔的一對(duì)基板，以及形成在這兩個(gè)基板之間的液晶層。
此處，各基板或者通過裝配基板而制成的裝配基板被諸如機(jī)械臂的載運(yùn)器載運(yùn)到處理地點(diǎn)或者從處理地點(diǎn)取出。
圖1例示了用于載運(yùn)基板的常規(guī)設(shè)備的布局。
換言之，用于載運(yùn)基板的常規(guī)設(shè)備的布局被構(gòu)造為，將在儲(chǔ)料器20中存儲(chǔ)的盒10中的多個(gè)基板1分別載運(yùn)到臺(tái)40，并且機(jī)械臂50裝載所載運(yùn)的基板1并將其轉(zhuǎn)移到處理設(shè)備60。
此時(shí)，機(jī)械臂50具有手部51，手部51旋轉(zhuǎn)并且向前和向后移動(dòng)。
然而，用于載運(yùn)基板的常規(guī)設(shè)備的布局的缺陷在于由于臺(tái)40而形成了大的橢圓痕跡。
此外，為了取出容納在盒10中的基板1，由于機(jī)械臂50的手部51被操作以進(jìn)入各個(gè)基板1的下側(cè)并且分別地取出這些基板1，因此在基板1被轉(zhuǎn)移到處理設(shè)備之前必然經(jīng)過長的橢圓工作時(shí)間(oval workingtime)。
此外，由于各個(gè)基板1必須保持使機(jī)械臂50的手部51足夠進(jìn)入的最小間隙，所以難以增加在盒10中容納的基板1的數(shù)量。

發(fā)明內(nèi)容因此，本發(fā)明旨在一種用于制造平板顯示器的設(shè)備及其方法，其基本上克服了由于現(xiàn)有技術(shù)的局限性和不足引起的一個(gè)或更多個(gè)問題。
本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種用于制造的設(shè)備，其能夠?qū)⒑圹E以及用于裝載基板的工作時(shí)間縮減得盡可能短，并且提供一種使用該設(shè)備的方法以及該設(shè)備中采用的儲(chǔ)料器和裝載器。
本發(fā)明的其它優(yōu)點(diǎn)、目的和特征將部分地在以下說明中提出，部分地基于以下檢驗(yàn)而對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員變得顯見，或者可以通過對(duì)本發(fā)明的實(shí)踐而習(xí)得。本發(fā)明的目的和其它優(yōu)點(diǎn)可以通過在所撰寫的說明書及其權(quán)利要求
以及附圖中具體指出的結(jié)構(gòu)而實(shí)現(xiàn)和獲得。
為了實(shí)現(xiàn)這些目的和其它優(yōu)點(diǎn)并根據(jù)本發(fā)明的目的，如此處具體實(shí)施和廣泛說明地，一種用于制造平板顯示器的設(shè)備，包括盒，用于容納多個(gè)基板；具有架的儲(chǔ)料器，在這些架上裝載有盒；處理進(jìn)展單元，用于接納盒中的各個(gè)基板并且用于進(jìn)行處理；裝載器，具有至少兩個(gè)手部并且被布置在儲(chǔ)料器與處理進(jìn)展單元之間，以將容納在儲(chǔ)料器上的盒中的各基板提供給處理進(jìn)展單元；以及至少一個(gè)取出單元，用于從盒取出各基板，并將各基板提供給裝載器的手部。
在本發(fā)明的另一方面，一種制造平板顯示器用設(shè)備的儲(chǔ)料器，包括支架，其上放置有用于容納多個(gè)基板的盒；設(shè)置在架下側(cè)的框架；安裝在架上側(cè)的至少一個(gè)滾動(dòng)單元；用于使?jié)L動(dòng)單元滾動(dòng)的驅(qū)動(dòng)單元；以及提升單元，用于提升架。
在本發(fā)明的又一方面，一種制造平板顯示器用設(shè)備的裝載器，包括主體；至少兩個(gè)手部，與該主體耦合以將基板裝載在其上側(cè)上；以及至少一個(gè)輥，設(shè)置在各手部的任何一個(gè)的上側(cè)。
在本發(fā)明的又一方面，一種制造平板顯示器的方法，包括以下步驟(1)將其中容納有多個(gè)基板的盒提供給儲(chǔ)料器的架；(2)通過驅(qū)動(dòng)儲(chǔ)料器中安裝的取出單元并且將所取出的基板提供給儲(chǔ)料器，來相繼取出盒中的各基板；以及(3)控制裝載器以將所接納的基板提供給處理進(jìn)展單元。
應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明的以上總體說明和以下詳細(xì)說明都是示例性和說明性的，并且旨在提供權(quán)利要求
所述的本發(fā)明的進(jìn)一步說明。
附圖被包括來提供本發(fā)明的進(jìn)一步理解并且被并入并構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分，附圖示出了本發(fā)明的實(shí)施例并與說明書一起用于解釋本發(fā)明的原理。在這些附圖中圖1是例示了用于制造平板顯示器的常規(guī)設(shè)備的布局的示意平面圖；圖2是例示了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于制造平板顯示器的設(shè)備的布局的示意平面圖；圖3是例示了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于制造平板顯示器的設(shè)備的盒、儲(chǔ)料器和排出單元的主要部分的示意立體圖；圖4是例示了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于制造平板顯示器的設(shè)備的裝載器的主要部分的示意立體圖；圖5是例示了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于制造平板顯示器的設(shè)備的操作的立體圖；以及圖6是例示了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于制造平板顯示器的設(shè)備的操作的平面圖。
具體實(shí)施方式下面將具體說明本發(fā)明的用于制造平板顯示器的設(shè)備的優(yōu)選實(shí)施例以及使用該設(shè)備的方法，其示例在圖1到圖6中示出。
附圖2是例示了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于制造平板顯示器的設(shè)備的布局的示意平面圖。
如該圖所示，根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于制造平板顯示器的設(shè)備大致包括盒100、儲(chǔ)料器200、處理進(jìn)展單元600、裝載器500和取出(withdrawing)單元300。
下面將具體說明以上組成部分。
首先，將參照附圖2和3對(duì)盒100進(jìn)行說明。
盒100被構(gòu)造為載運(yùn)多個(gè)基板1并且包括主體110和多個(gè)裝載突出部120。
在這種情況下，主體110是用于形成外觀的部分，并且其底部打開。
此外，各裝載突出部120分別形成在主體110的內(nèi)側(cè)壁中，以沿著主體110的內(nèi)側(cè)壁相互對(duì)應(yīng)。在裝載突出部120的各自上側(cè)，分別裝載有基板1。
各裝載突出部120之間的垂直距離比常規(guī)盒10的各裝載突出部之間的距離窄，但是該垂直距離優(yōu)選地大于基板1的厚度。
在根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于制造平板顯示器的設(shè)備中，由于下述的裝載器500的各個(gè)手部510沒有進(jìn)入盒100，所以該距離無需大于各手部510的厚度。
由此，單獨(dú)的盒100可以容納盡可能多的基板。
接下來，將參照附圖2和3說明儲(chǔ)料器200。
儲(chǔ)料器200是存儲(chǔ)有盒100的部分，并且具有其上放置盒100的架210。
此外，儲(chǔ)料器200進(jìn)一步優(yōu)選地包括用于升降架210的升降機(jī)220。
這是為了保持將基板1從盒100取出處的高度統(tǒng)一。
在這種情況下，如果升高架210，則任何設(shè)備可以用作升降機(jī)220。換言之，升降機(jī)可以是使用步進(jìn)電機(jī)的設(shè)備、使用滾珠螺桿的設(shè)備以及其它各種設(shè)備。
在本發(fā)明的此優(yōu)選實(shí)施例中，提供升降機(jī)220作為使用滾珠螺桿的示例。
為此，升降機(jī)220包括與架210的橫面(lateral side)耦合的耦合支架221、穿透各耦合支架221中的任何一個(gè)的滾珠螺桿，以及用于旋轉(zhuǎn)滾珠螺桿222的驅(qū)動(dòng)電機(jī)223。
具體地，儲(chǔ)料器220優(yōu)選地進(jìn)一步包括用于支持架210的提升的支承單元230。
該支承單元230防止當(dāng)架210被提升時(shí)架210向某一方向傾斜，并且引導(dǎo)架210的平滑提升。換言之，架210的四個(gè)角可以被支承單元230所支承。
在這種情況下，優(yōu)選地，支承單元230包括用于支承架210的四個(gè)角的線性運(yùn)動(dòng)(LM)引導(dǎo)裝置231，以及形成在架210的四個(gè)角處并且使得LM引導(dǎo)裝置231穿過其中的引導(dǎo)支架232。
接下來，處理進(jìn)展單元600。
處理進(jìn)展單元600是用于接納各盒100中的基板1的部分，并且用于進(jìn)行制造平板顯示器的處理。
在這種情況下，處理進(jìn)展單元600包括在制造平板顯示器時(shí)使用的至少一個(gè)設(shè)備(如裝配設(shè)備、曝光設(shè)備、分注器(dispenser)等)。
接下來，將參照附圖4說明裝載器500。
裝載器500布置在儲(chǔ)料器200與處理進(jìn)展單元600之間，并且直接接納存儲(chǔ)在儲(chǔ)料器200中的盒1中的各基板1，以將其轉(zhuǎn)移到處理進(jìn)展單元600。
裝載器500包括主體510和至少兩個(gè)手部520。
在這種情況下，主體510優(yōu)選地旋轉(zhuǎn)。
此外，各手部520耦合到主體510的周圍，并且基板1裝載在手部520上。
具體地，各手部520中的至少一個(gè)優(yōu)選地還包括至少一個(gè)輥530。
多個(gè)輥530優(yōu)選地安裝在手部520的縱向上。優(yōu)選地，輥530的上側(cè)的水平面(level)幾乎等于其它手部520的上側(cè)的水平面。
不必說，手部520可以還包括用于驅(qū)動(dòng)輥530的驅(qū)動(dòng)電機(jī)(未示出)。
此外，優(yōu)選地，各手部520還包括用于吸附其上所裝載的基板1的吸附部分。這是為了防止由于轉(zhuǎn)移基板1的過程中裝載器500的震動(dòng)而使得基板1與各手部520分離。
吸附單元包括穿過各手部520的上側(cè)的真空孔541；用于產(chǎn)生吸氣力的真空泵(未示出)；以及用于將吸氣力傳送到真空孔541的真空通道(未示出)。
此外，優(yōu)選地，各手部520還包括用于向上排氣的排氣單元。這是為了防止基板1在裝載到各手部520上的過程中被各手部520擦劃。
排氣口包括穿過各手部520的上側(cè)的排氣孔551；用于產(chǎn)生排氣力的排氣泵(未示出)；以及用于將排氣力傳送到排氣孔551的空氣通道(未示出)。
在這種情況下，排氣孔551優(yōu)選地形成在各手部520的縱向上的這些真空孔541的其它位置中。
接下來，將參照附圖2和3說明取出單元300。
取出單元300被構(gòu)造為從盒100取出各基板1并且將該基板1裝載到各手部520的上側(cè)，取出單元300的數(shù)量為至少一個(gè)。
取出單元300包括框架310、滾動(dòng)單元320和驅(qū)動(dòng)單元(未示出)。
這里，框架310被構(gòu)造為布置在儲(chǔ)料器200的架210的下側(cè)，并且用于形成取出單元300的主體，框架310的數(shù)量?jī)?yōu)選地為至少一個(gè)。
此外，滾動(dòng)單元320是安裝在框架310上側(cè)上以進(jìn)行滾動(dòng)的多個(gè)輥。沿著框架310的縱向設(shè)置至少一個(gè)(優(yōu)選地為多個(gè))滾動(dòng)單元320。
此外，驅(qū)動(dòng)單元用作用于驅(qū)動(dòng)滾動(dòng)單元320的電源。
在這種情況下，驅(qū)動(dòng)單元優(yōu)選地包括常規(guī)電機(jī)。
具體地，當(dāng)框架310的數(shù)量是多個(gè)，則驅(qū)動(dòng)單元可以設(shè)置在所有或者一些滾動(dòng)單元320中。不必說，驅(qū)動(dòng)單元可以被構(gòu)造為使得所有滾動(dòng)單元通過帶或者鏈相互連接，并且單獨(dú)的驅(qū)動(dòng)單元同時(shí)驅(qū)動(dòng)整個(gè)滾動(dòng)單元320。
在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)單元分別安裝在各框架310中。
下面，將詳細(xì)說明使用根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于制造平板顯示器的設(shè)備將容納在盒100中的基板1運(yùn)送到處理進(jìn)展單元600的處理。
首先，將盒100設(shè)置在儲(chǔ)料器200的架210上。此時(shí)，可以通過圖中未示出的獨(dú)立的裝載器或者運(yùn)輸機(jī)將盒100載運(yùn)到架210上。
此外，將多個(gè)基板1以在其間保持預(yù)定距離的方式容納在盒100中。這在附圖3中示出。
在這種狀態(tài)下，當(dāng)處理被進(jìn)行時(shí)，裝載器500被驅(qū)動(dòng)，并且裝載器500的各手部520被置于面對(duì)儲(chǔ)料器520并且準(zhǔn)備來接納基板1。
此時(shí)，將各手部520置于與取出單元300的滾動(dòng)單元320的高度大致相等的高度，并且各手部520的末端位于取出單元300的基板取出側(cè)。
當(dāng)完成了以上順序處理時(shí)，升降機(jī)220的驅(qū)動(dòng)電機(jī)223被驅(qū)動(dòng)以旋轉(zhuǎn)滾珠螺桿222，從而其中耦合支架221與滾珠螺桿222相耦合的架210根據(jù)滾珠螺桿222的旋轉(zhuǎn)而向下移動(dòng)。此時(shí)，支承單元230的引導(dǎo)支架232由各LM引導(dǎo)裝置231所支承，從而使架210穩(wěn)定地向下移動(dòng)。
架210的向下行進(jìn)距離是直到容納在盒100中的基板1中的位于最低處的基板1與取出單元300的滾動(dòng)單元320相接觸時(shí)的距離。如果容納在盒100中的基板1的最低處的基板1位于盒100的中間位置的附近，則升降機(jī)220被驅(qū)動(dòng)以得到圖5所示的狀態(tài)。該距離優(yōu)選地由獨(dú)立位置傳感器(未示出)來檢查。
當(dāng)架210的向下運(yùn)動(dòng)完成時(shí)，取出單元300的驅(qū)動(dòng)單元(未示出)被驅(qū)動(dòng)，并且滾動(dòng)單元320被驅(qū)動(dòng)。
通過這樣，將與滾動(dòng)單元320的上側(cè)接觸的基板1從盒100取出，并且被進(jìn)一步設(shè)置在裝載器500的各手部520的上側(cè)。該狀態(tài)在圖2中示出。
此外，在這種狀態(tài)下，裝載器500對(duì)在各手部520中設(shè)置的排氣單元進(jìn)行控制以驅(qū)動(dòng)排氣泵，從而經(jīng)由排出孔551排出空氣。
由此，設(shè)置在各手部520上側(cè)上的基板1不與各手部520的上側(cè)接觸，從而防止基板1被各手部520的上側(cè)擦劃。
此外，這樣，通過設(shè)置在各手部520中的至少一個(gè)上的輥520，將設(shè)置在各手部520的上側(cè)上的基板1更加穩(wěn)定地裝載到各手部520的上側(cè)上。
當(dāng)完成了將基板1裝載到各手部520的上側(cè)時(shí)，裝載器500停止排氣泵并且控制吸氣單元以驅(qū)動(dòng)真空泵，從而經(jīng)由真空孔541提供吸氣力。
通過這樣，基板1被吸附并被固定在各手部520的上側(cè)，并且即使裝載器500移動(dòng)也防止基板1滑動(dòng)(flow)。
此后，裝載器500旋轉(zhuǎn)180度，并且將基板1轉(zhuǎn)移到處理進(jìn)展單元600。該狀態(tài)在圖6中示出。
裝載器500在將基板1轉(zhuǎn)移到處理進(jìn)展單元600的過程中控制升降機(jī)，以使得盒200的架210被驅(qū)動(dòng)以逐步向下移動(dòng)。不必說，此時(shí)，優(yōu)選地不驅(qū)動(dòng)取出單元300的驅(qū)動(dòng)單元。
因此，重復(fù)進(jìn)行上述順序處理，從而將容納在盒100中的基板1運(yùn)送到處理進(jìn)展單元600，并且對(duì)其進(jìn)行相應(yīng)的處理。
按照與基板1的裝載處理相反的順序，將在處理進(jìn)展單元600中經(jīng)完全處理的基板1容納在盒100中。
換言之，通過裝載器500將經(jīng)完全處理的基板1從處理進(jìn)展單元600提供給取出單元300，并且將放置在裝載器500的各手部520的上側(cè)上的基板1進(jìn)一步從盒1的最上側(cè)相繼容納在盒1中。
同時(shí)，當(dāng)將根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于制造平板顯示器的設(shè)備的儲(chǔ)料器200與取出單元300形成為一體時(shí)，只可將該單獨(dú)的儲(chǔ)料器200應(yīng)用于制造每個(gè)平板顯示器的處理。
換言之，當(dāng)取出單元300與儲(chǔ)料器200形成為一體時(shí)，儲(chǔ)料器200用于容納盒100，并且用于相繼地取出容納在盒100中的基板1或者將從外部傳送的基板1相繼容納在盒100內(nèi)。
此外，可以將根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于制造平板顯示器的設(shè)備的裝載器500作為單獨(dú)的設(shè)備應(yīng)用于制造每個(gè)平板顯示器的處理。
換言之，裝載器500被構(gòu)造為使得在各手部520中的任何一個(gè)的上側(cè)上設(shè)置至少一個(gè)輥，從而可以防止由于當(dāng)接納或者提供基板1時(shí)基板1與各手部520的上側(cè)之間的接觸而使基板1被擦劃。
此外，由于各手部520包括用于向上排氣的排氣單元，所以防止基板被擦劃的功能不會(huì)失敗。
此外，根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于制造平板顯示器的設(shè)備的儲(chǔ)料器200可以被構(gòu)造為使得架210不會(huì)提升。換言之，取出單元300被構(gòu)造為提升框架310，從而可以獲得與架210提升相同的效果。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的用于制造平板顯示器的設(shè)備可以被按照各種方式來修改和變化，并且因?yàn)樵撛O(shè)備的多個(gè)單獨(dú)部件可以應(yīng)用于其它設(shè)備，所以本發(fā)明的用于制造平板顯示器的設(shè)備非常有用。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的用于制造平板顯示器的設(shè)備，可以獲得以下效果。
首先，根據(jù)本發(fā)明的用于制造平板顯示器的設(shè)備，去除了用于將盒中的基板傳送到裝載器的臺(tái)，并且盡可能地減少了橢圓形痕跡。
其次，根據(jù)本發(fā)明的用于制造平板顯示器的設(shè)備，在轉(zhuǎn)移基板的過程中，防止基板與裝載器的各手部接觸而被擦劃，從而提高了生產(chǎn)率。
第三，根據(jù)本發(fā)明的用于制造平板顯示器的設(shè)備，使轉(zhuǎn)移基板所需的時(shí)間最短。
第四，根據(jù)本發(fā)明的用于制造平板顯示器的設(shè)備，可以使容納在盒中的基板的數(shù)量最大化。
第五，根據(jù)本發(fā)明的用于制造平板顯示器的設(shè)備，可以單獨(dú)地使用儲(chǔ)料器和裝載器，并且它們可以應(yīng)用于其它各種處理設(shè)備，從而可以增加本發(fā)明的制造設(shè)備的利用率。對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員很顯然，可以在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下進(jìn)行各種修改和變型。由此，本發(fā)明旨在覆蓋本發(fā)明的修改和變型，只要它們落入所附權(quán)利要求
及其等價(jià)物的范圍之內(nèi)。
本申請(qǐng)要求于2005年12月29日提交的韓國專利申請(qǐng)No.10-2005-133997的優(yōu)先權(quán)，在此通過引用并入其全部公開。
權(quán)利要求
1.一種用于制造平板顯示器的設(shè)備，包括盒，用于容納多個(gè)基板；具有多個(gè)架的儲(chǔ)料器，在這些架上裝載有盒；處理進(jìn)展單元，用于接納盒中的各個(gè)基板并且用于進(jìn)行處理；裝載器，具有至少兩個(gè)手部并且設(shè)置在儲(chǔ)料器與處理進(jìn)展單元之間，以將在儲(chǔ)料器上的盒中容納的各基板提供給處理進(jìn)展單元；以及至少一個(gè)取出單元，用于從盒中取出各基板，并將各基板提供給裝載器的至少一個(gè)手部。
2.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的用于制造平板顯示器的設(shè)備，其中所述盒包括主體，用于形成外觀并且具有開口的底部；以及多個(gè)裝載突出部，在縱向上設(shè)置在主體內(nèi)側(cè)壁中，在這些裝載突出部上裝載有基板。
3.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的用于制造平板顯示器的設(shè)備，其中所述儲(chǔ)料器進(jìn)一步包括用于提升架的升降機(jī)。
4.根據(jù)權(quán)利要求
3所述的用于制造平板顯示器的設(shè)備，其中所述升降機(jī)包括耦合支架，分別與架的側(cè)面耦合；滾珠螺桿，穿過各耦合支架中的任何一個(gè)；以及驅(qū)動(dòng)電機(jī)，用于驅(qū)動(dòng)滾珠螺桿。
5.根據(jù)權(quán)利要求
3所述的用于制造平板顯示器的設(shè)備，其中所述儲(chǔ)料器還包括用于支承所述架的提升的支承單元。
6.根據(jù)權(quán)利要求
5所述的用于制造平板顯示器的設(shè)備，其中所述支承單元包括用于支承所述架的四個(gè)角的線性運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的用于制造平板顯示器的設(shè)備，其中所述裝載器的手部中的至少一個(gè)包括至少一個(gè)輥。
8.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的用于制造平板顯示器的設(shè)備，其中所述裝載器的各手部包括用于吸附裝載在其上的基板的至少一個(gè)吸附單元。
9.根據(jù)權(quán)利要求
8所述的用于制造平板顯示器的設(shè)備，其中所述吸附單元包括真空孔，穿過各手部的上側(cè)；真空泵，用于生成吸氣力；以及真空通道，用于將吸氣力傳送到真空孔。
10.根據(jù)權(quán)利要求
8所述的用于制造平板顯示器的設(shè)備，其中所述裝載器的各手部還包括用于向上排氣的排氣單元。
11.根據(jù)權(quán)利要求
10所述的用于制造平板顯示器的設(shè)備，其中所述排氣單元包括排出孔，穿過各手部的上側(cè)；排氣泵，用于產(chǎn)生排氣力；以及空氣通道，用于將排氣力傳送到排出孔。
12.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的用于制造平板顯示器的設(shè)備，其中取出單元包括設(shè)置在所述儲(chǔ)料器的架下側(cè)的框架；安裝在要滾動(dòng)的框架的上側(cè)的至少一個(gè)滾動(dòng)單元；以及驅(qū)動(dòng)單元，用于使?jié)L動(dòng)單元滾動(dòng)。
13.一種制造平板顯示器用設(shè)備的儲(chǔ)料器，包括支架，其上放置有容納了多個(gè)基板的盒；設(shè)置在架下側(cè)的框架；安裝在框架上側(cè)的至少一個(gè)滾動(dòng)單元；用于使?jié)L動(dòng)單元滾動(dòng)的驅(qū)動(dòng)單元；以及用于提升架的提升單元。
14.根據(jù)權(quán)利要求
13所述的制造平板顯示器用設(shè)備的儲(chǔ)料器，其中所述提升單元包括耦合支架，分別與架的側(cè)面耦合；滾珠螺桿，穿過各耦合支架中的任何一個(gè)；以及驅(qū)動(dòng)電機(jī)，用于驅(qū)動(dòng)滾珠螺桿。
15.根據(jù)權(quán)利要求
13所述的制造平板顯示器用設(shè)備的儲(chǔ)料器，還包括用于支承架的提升的支承單元。
16.根據(jù)權(quán)利要求
15所述的制造平板顯示器用設(shè)備的儲(chǔ)料器，其中所述支承單元包括用于支承架的四個(gè)角的線性運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置。
17.一種制造平板顯示器用設(shè)備的裝載器，包括主體；至少兩個(gè)手部，與該主體耦合以將基板裝載在其上側(cè)上；以及至少一個(gè)輥，設(shè)置在各手部的至少一個(gè)的上側(cè)。
18.根據(jù)權(quán)利要求
17所述的制造平板顯示器用設(shè)備的裝載器，其中各手部包括用于吸附裝載在其上的基板的至少一個(gè)吸附單元。
19.根據(jù)權(quán)利要求
18所述的制造平板顯示器用設(shè)備的裝載器，其中吸附單元包括真空孔，穿過各手部的上側(cè)；真空泵，用于產(chǎn)生吸氣力；以及真空通道，用于將吸氣力傳送到真空孔。
20.根據(jù)權(quán)利要求
18所述的制造平板顯示器用設(shè)備的裝載器，其中裝載器的各手部還包括用于向上排氣的排氣單元。
21.根據(jù)權(quán)利要求
20所述的制造平板顯示器用設(shè)備的裝載器，其中排氣單元包括排出孔，穿過各手部的上側(cè)；排氣泵，用于產(chǎn)生排氣力；以及空氣通道，用于將排氣力傳送到排出孔。
22.根據(jù)權(quán)利要求
17所述的制造平板顯示器用設(shè)備的裝載器，還包括用于驅(qū)動(dòng)所述至少一個(gè)輥的驅(qū)動(dòng)電機(jī)。
23.一種制造平板顯示器的方法，包括以下步驟(1)將其中容納有多個(gè)基板的盒提供給儲(chǔ)料器的架；(2)通過驅(qū)動(dòng)在儲(chǔ)料器中安裝的取出單元并且將取出的基板提供給儲(chǔ)料器，來相繼取出盒中的各基板；以及(3)控制裝載器以將所接納的基板提供給處理進(jìn)展單元。
24.根據(jù)權(quán)利要求
23所述的制造平板顯示器的方法，其中當(dāng)在步驟(2)中由取出單元相繼取出了各基板時(shí)，架控制子以逐步向下移動(dòng)。
25.根據(jù)權(quán)利要求
23所述的制造平板顯示器的方法，還包括步驟(4)，控制排氣單元以將空氣朝向在步驟(2)中使用裝載器所接納的基板的下側(cè)排出。
26.根據(jù)權(quán)利要求
23所述的制造平板顯示器的方法，還包括步驟(5)，控制吸附單元，從而當(dāng)通過執(zhí)行步驟(2)而將基板提供給裝載器時(shí)使用裝載器將所接納的基板吸附并固定在各手部的上側(cè)。
專利摘要
用于制造平板顯示器的設(shè)備及制造該平板顯示器的方法。公開了一種用于制造的設(shè)備，其能夠減少痕跡并且盡可能地減少裝載基板的時(shí)間，還公開了使用該設(shè)備的方法。該設(shè)備包括盒，用于容納多個(gè)基板；具有架的儲(chǔ)料器，在這些架上裝載有盒；處理進(jìn)展單元，用于接納盒中的各個(gè)基板并且用于進(jìn)行處理；裝載器，具有至少兩個(gè)手部并且設(shè)置在儲(chǔ)料器與處理進(jìn)展單元之間，以接納在儲(chǔ)料器上的盒中容納的各基板并且將其提供給處理進(jìn)展單元；以及至少一個(gè)取出單元，用于從盒取出各基板，并將各基板提供給裝載器的手部。
文檔編號(hào)H01L21/00GK1991490SQ200610100375
公開日2007年7月4日 申請(qǐng)日期2006年6月30日
發(fā)明者黃胤鎬 申請(qǐng)人:Lg.菲利浦Lcd株式會(huì)社導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan