專利名稱：抗靜電顯微鏡的制作方法
發(fā)明的背景本發(fā)明涉及顯微鏡，更具體地是涉及具有能使靜電電荷消散的塑料部件的顯微鏡。
在制造和檢驗半導體元件時，要使用如1987年9月1日頒發(fā)的美國專利4,690,519所揭示的常規(guī)立體顯微鏡，或使用如美國專利4,573,771所揭示的復合顯微鏡。早期的這類顯微鏡，除了光學部件以外，是用金屬制造的，但近年來已用塑料取代了這類顯微鏡中許多常用的部件。這些部件的典型例子為聚焦旋鈕、變焦旋鈕、目鏡調(diào)節(jié)環(huán)、鏡體罩、以及雙筒組件蓋等，它們目前都用塑料制造。但是，雖然各制造商使用了許多不同的塑料，有些制造商甚至使用特定的塑料，這些塑料缺乏能使靜電電荷消散的優(yōu)點，因而會使半導體器件和其中所用的元件因暴露于靜電電荷作用下，而發(fā)生永久損壞或失去效用的危險。半導體器件及其中所用元件被放在顯微鏡載物臺上檢驗時，就會暴露于這些靜電電荷的作用下。在本說明書中，顯微鏡這個詞包括復合顯微鏡或立體顯微鏡的鏡座和聚焦機構(gòu)。
1986年10月21日頒發(fā)的美國專利4,618,222說明了一種置放于顯微鏡與承載待檢驗物體的載物臺之間的保護罩。該專利指出了需要在塑料上涂覆抗靜電膜，以防止元件被靜電電荷損壞。該膜是接地的。發(fā)明概述本發(fā)明涉及一種抗靜電顯微鏡，它至少具有一個易于積聚靜電電荷的塑料部件，而該部件是用能使靜電電荷消散的塑料制造的。較好的情況下，該塑料可在環(huán)境相對濕度(rh)為15％時，在10秒鐘之內(nèi)使5000伏的靜電電荷消散至0伏。靜電電荷是通過顯微鏡的一個或多個金屬部件消散到地。
有許多塑料能使靜電電荷消散。這些材料通常是使用導電的填料(如碳或碳纖維)或粉狀的金屬構(gòu)成，也可與導電性聚合物相結(jié)合構(gòu)成。具有金屬或碳之類導電填料的塑料是眾所周知的，無需多加說明，但使用導電性聚合物來提供靜電消散性質(zhì)的塑料卻是比較新的。具有靜電消散性質(zhì)的聚合物的一個例子，是可從B.F.Goodrich Company購得的一族稱為Stat-Rite的靜電消散聚合物，它適合與丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS)、聚碳酸酯、聚苯乙烯、和改性的聚對苯氧等聚合物一起使用。Electrafil族靜電消散合金是用Stat-Rite聚合物使靜電積聚材料成為靜電消散材料的一個例子。ElectrafilABS系列靜電消散的熱塑性塑料可從DSM Engineering Plastics(位于2267West Mill Road，Evansville，Indiana)購得。這些塑料在快速消散靜電電荷以外，還具有抗阻靜電電荷積聚的優(yōu)點。較佳實施例的說明使用從DSM Engineering Plastics購得的ElectrafilABS-1200/SD塑料以注塑方法制造了如美國專利4,690,519所揭示的立體顯微鏡的變焦控制旋鈕、目鏡聚焦環(huán)、鏡體罩、和雙筒蓋，以及如美國專利4,729,646所揭示的鏡座的聚焦旋鈕。這些顯微鏡塑料部件在相對濕度為15％時，靜電電荷消散速率是在2秒之內(nèi)從5000伏降至0伏(按美國聯(lián)邦測試標準101℃方法46測定)。積聚在聚焦旋鈕上的靜電電荷是通過金屬聚焦旋軸消散至接地的金屬鏡座。積聚在鏡體罩上的靜電電荷直接消散至支承顯微鏡的接地的金屬鏡座。積聚在雙筒蓋和目鏡聚焦環(huán)上的靜電電荷則通過金屬的顯微鏡框架和鏡體罩消散至接地的金屬鏡座。
權(quán)利要求
1.一種用于檢驗易受靜電電荷損壞的元件的顯微鏡，它具有一個導電部件，該導電部件與一個易于積聚靜電電荷的塑料部件相連接，所述塑料部件是能使靜電電荷消散的，其上的靜電電荷迅速通過該導電部件消散。
2.如權(quán)利要求1所述的顯微鏡，其特征還在于所述導電部件是金屬。
3.如權(quán)利要求1所述的顯微鏡，其特征還在于所述塑料部件包含導電性填料。
4.如權(quán)利要求3所述的顯微鏡，其特征還在于所述填料是碳。
5.如權(quán)利要求3所述的顯微鏡，其特征還在于所述填料是金屬。
6.如權(quán)利要求1所述的顯微鏡，其特征還于所述塑料部件包括一種非靜電消散的聚合物和一種靜電消散的聚合物。
7.如權(quán)利要求6所述的顯微鏡，其特征還在于所述塑料部件包含ABS聚合物以及分散在其中的具有固有的靜電消散性質(zhì)的聚合物。
8.如權(quán)利要求7所述的顯微鏡，其特征還在于所述具有固有的靜電消散性質(zhì)的聚合物是Stat-RiteC2300IDP。
9.如權(quán)利要求7所述的顯微鏡，其特征還在于所述塑料部件包含ElectrafilABS-1200/SD。
10.如權(quán)利要求1所述的顯微鏡，其特征還在于所述塑料部件是鏡體罩、同軸蓋、調(diào)節(jié)旋鈕、或調(diào)節(jié)環(huán)。
11.如權(quán)利要求10所述的顯微鏡，其特征還在于所述塑料部件包括一種非靜電消散的聚合物和一種靜電消散的聚合物。
12.如權(quán)利要求11所述的顯微鏡，其特征還在于有多個所述塑料部件。
13.如權(quán)利要求12所述的顯微鏡，其特征還在于所述塑料部件在相對濕度為15％時，其靜電電荷衰減率是在10秒鐘內(nèi)從5000伏降至0伏。
14.如權(quán)利要求12所述的顯微鏡，其特征還在于所述多個塑料部件中的每一個都包含ElectrafilABS-1200/SD。
全文摘要
使用能使靜電電荷消散的塑料代替常規(guī)塑料，使具有旋鈕、蓋子和目鏡環(huán)等塑料部件的顯微鏡成為抗靜電的。這種抗靜電顯微鏡特別適用于制造和檢驗在暴露于靜電電荷作用下易受損壞的半導體。
文檔編號G02B21/24GK1141085SQ9419479
公開日1997年1月22日 申請日期1994年12月5日 優(yōu)先權(quán)日1994年1月12日
發(fā)明者小H·A·邁耶, V·瓦卡雷利 申請人:萊卡股份有限公司