專利名稱：制作彩色濾光片或相關(guān)物的背向光致剝離方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的名禰是制作彩色濾光片或相關(guān)物的背向光致剝離方法，屬于微電子學(xué)工藝技術(shù)領(lǐng)域傳統(tǒng)的石板印刷術(shù)、照相印刷術(shù)和電鍍工藝等，制備工序多、時(shí)間長、原材料毒性大且成本高。本發(fā)明的目的在于克服上述缺點(diǎn)、簡化工序、提高邊緣精確度、減少有毒物質(zhì)的使用和降低成本本發(fā)明是一種可實(shí)現(xiàn)高分辨率且能有效地利用能源的簡單而通用的方法。這種方法是借助通過透明基底的照射光來除去基底表面的物質(zhì)，本方法將可以除去基底表面上的各種不同的材料，用在半導(dǎo)體器件一類的工藝上。不過本發(fā)明的主要應(yīng)用是制做彩色濾光片采用本發(fā)明所述方法，只需幾步簡單的工藝程序就可完成用在各種顯示器件或是相關(guān)物上的彩色濾光片制作，且可以達(dá)到亞微米量級(jí)的分辨率。
光致剝離法在高效、高分辨地剝離材料上有廣泛的應(yīng)用，譬如，在半導(dǎo)體和微電子工藝上，尤其是在開發(fā)彩色濾光片方面。
使用薄膜晶體管作開關(guān)的大型液晶器平板顯示器已經(jīng)有批量生產(chǎn)，并且將達(dá)到與集成電路生產(chǎn)相應(yīng)的產(chǎn)量。這些大型平板顯示器用在膝上電腦、專用工作處理機(jī)和平面屏幕以及投影電視系統(tǒng)上。全色顯示器件目前已大批生產(chǎn)，急需彩色濾光器件的生產(chǎn)技術(shù)。
制造彩色濾光片工藝是生產(chǎn)彩色液晶顯示器的第一步，它包括彩色濾光器件的鍍膜和模樣成型。用于彩色液晶顯示器的各種彩色濾光材料或者是染料或者是顏料。每一彩色濾光單元都包含三種基本的彩色單元——紅綠蘭(RGB)—以及增加反差的黑色邊框。也有用其它的彩色組合。比如，RGGB四種彩色矩陣或者是青蘭黃和紫紅。通常來說，基本彩色單元的尺寸大約是100微米×300微米。其分辯率受彩色濾光單元的尺寸和邊緣精確度的限制。
傳統(tǒng)的用于鍍膜和模樣成型的石板印刷術(shù)生產(chǎn)時(shí)間長、有毒，而且成本高。所以，成品率低而且難以操作。傳統(tǒng)的接觸式印刷工藝使用照相印刷術(shù)，每做一單色層至少需要八道工序。要微成全色濾光片加上黑色邊框則至少需要三十二道工序。這些工序包括玻璃基底處理、清洗、烘干、成型等。常見的制造彩色濾光片制造方法有照相印刷術(shù)、平板印刷術(shù)和電鍍。分辯率大約是10～20微米。
傳統(tǒng)的照像印刷術(shù)在基底(通常采用玻璃)上涂一層聚酰亞氨彩色濾光物質(zhì)，使這種聚锍亞氨成型所需的三種主要用品(感光劑，快于劑和催化劑)均為有毒物質(zhì)，且價(jià)格昂貴，用過后難以處置。每一層(共四層)都需要使用這些物質(zhì)。
由此可見，步驟多、成本高、原材料有毒是傳統(tǒng)方法的嚴(yán)重缺陷。此外，用化學(xué)品做彩色濾光材料會(huì)導(dǎo)致底部滲透?；瘜W(xué)品會(huì)在遮光框下發(fā)生侵蝕現(xiàn)象，侵入周圍的濾光材料中，因而影響了分辨率，是傳統(tǒng)方法的另一缺陷。
為了克服傳統(tǒng)方法的不足之處，新近研制了激光剝離法來處理濾光材料。該項(xiàng)技術(shù)的核心在于，當(dāng)光致剝離的材料被激光照射時(shí)，這些材料便會(huì)突然轉(zhuǎn)換成氣體狀態(tài)，轉(zhuǎn)換速度極快，以使周圍材料的熱效應(yīng)極小。
激光剝離法可用來在黑色濾光材料上穿孔，然后將彩色材料置入這些孔中。使用這種技術(shù)可達(dá)到高分辨率，但不像X光照像印刷術(shù)那樣需要高能量和高成本。
對(duì)這一領(lǐng)域的研究表明，準(zhǔn)分子脈沖激光可用來蝕刻和剝離多種材料。準(zhǔn)分子脈沖激光已被用來將聚偏氟乙烯的復(fù)雜線條摹制成20微米的細(xì)線。光致蝕刻的比率取決于光能吸收量以及欲剝離物質(zhì)的化學(xué)結(jié)構(gòu)。
然而，傳統(tǒng)的激光剝離法將激光直接照射在被剝離的物質(zhì)上(前向激光剝離法)，這是一個(gè)很大的缺陷，特別是當(dāng)用光照射聚酰亞氨一類的彩色濾光物質(zhì)上時(shí)，此方法的弱點(diǎn)更為明顯。使用這種傳統(tǒng)的激光剝離法時(shí)，被剝離的物質(zhì)成為氣體，從濾光材料的上層逸出。這樣一些碎片會(huì)散落在鄰近的區(qū)域里，從而影響分辨率。
傳統(tǒng)的前向激光剝離法的分辨率只有7或8微米。此外，氣化的物質(zhì)四處散開，吸收激光光線，因而會(huì)導(dǎo)致剝離其余濾光材料的能源需求量增加，最終造成剝離區(qū)的擴(kuò)大。剝離過程需要使用復(fù)雜而昂貴的真空系統(tǒng)或氮?dú)馇宄到y(tǒng)。
此外，氣化的物質(zhì)處于受激態(tài)，攜帶著從激光中吸收的能量。該物質(zhì)從被剝離材料的表面射出去的，攜帶著能量，如果能將此能量用于其后的剝離過程，那么在能量利用方面就較為理想。
此外，氣化以及物質(zhì)的射出可能會(huì)對(duì)遮光框有所危害，因?yàn)檎诠饪蚩赡芘c被剝離的物質(zhì)只有幾微米的距離。在擺放遮光框時(shí)必須非常精心，因?yàn)槿魏尾划?dāng)?shù)慕佑|都會(huì)損傷遮光框。這些框價(jià)格昂貴，在激光剝離工藝的成本中占了很大比例。
因而，目前迫切需要的是一種能達(dá)到亞毫米量級(jí)的分辨率和邊緣精確度高的先進(jìn)工藝，來應(yīng)用于制作彩色濾光片等行業(yè)然而，傳統(tǒng)的石板印刷術(shù)或正面激光剝離法均無法達(dá)到如此高的分辨率。新工藝應(yīng)不象傳統(tǒng)的石板印刷術(shù)那樣需要許多高成本的工序和有毒的化學(xué)品，也不應(yīng)象前向激光剝離法那樣產(chǎn)生碎片并給遮光框帶來損傷。該新工藝應(yīng)允許使用一個(gè)接觸性遮光框來避免擺放遮光框的麻煩以及減少遮光框受損傷的可能性。
因而，目前需要一種經(jīng)過改善的剝離法，能夠達(dá)到亞微米分辨率--0.3微米或更高的分辨率。這種剝離法應(yīng)不像X射線印刷術(shù)那樣需要高能源、高投資相反，這種工藝甚至比傳統(tǒng)的前向激光剝離法更節(jié)約能源。
為了克服現(xiàn)有的幾種工藝的弱點(diǎn)，本發(fā)明提供了一種新的工藝方法讓強(qiáng)光照射在光透明基底的背部，借以除去基底的表面物質(zhì)。
本發(fā)明提供的方法是將要?jiǎng)冸x的物質(zhì)置于透明基底的表面，用一定能量及角度的光線照射基底的背部來除去基底表面的物質(zhì)?？墒褂脺?zhǔn)分子脈沖激光，或其它具有足夠能量的光源，被剝離的物質(zhì)在與基底交界的部位吸收能量。本發(fā)明較傳統(tǒng)的正面激光剝離法的優(yōu)越之處在于能量不會(huì)立即逃散摔，可用于進(jìn)一步的剝離。與傳統(tǒng)的正面激光剝離法相比，本工藝降低了能源消耗。
在本工藝中，在交界部位吸收的能量使這一部位的剝離物質(zhì)的狀態(tài)發(fā)生急劇變化，盡管剝離過程的具體構(gòu)成尚不完全相同，但這個(gè)過程基本上是多光子激活而導(dǎo)致的光致物質(zhì)的一些解體，將這些組織擊碎，以超音速的速度彈出去。其邊緣精確度是由所用光的波長以及射出的物質(zhì)的原子結(jié)構(gòu)決定的。
本發(fā)明可達(dá)到較高的分辨率，如果使用308nm準(zhǔn)分子脈沖激光，可達(dá)到約0.3微米的分辨率，如果采用波長更短的光源便能取得更高的分辨率。此外，本發(fā)明不像傳統(tǒng)的化學(xué)工藝那樣有侵蝕現(xiàn)象，也不像前向激光剝離法那樣有碎片四散的弊端。
本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)越之處在于可以通過使用遮光框有所選擇地剝離基底上的物質(zhì)，也就是用接觸框、投射柜等在欲剝離的材料上選擇出一個(gè)區(qū)域進(jìn)行剝離。本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是遮光框不會(huì)因被剝離物質(zhì)的逃逸受到損傷照射光所攜帶的能量在交界部位被吸收和積蓄起來，其位置是由遮光框限定的。這樣可較為準(zhǔn)確地選擇一定量的物質(zhì)進(jìn)行剝離，物質(zhì)的原子結(jié)構(gòu)以及使用的光源的波長決定邊緣的精確度。被剝離區(qū)域的大小可由置于基底背部的遮光框、基底物質(zhì)的構(gòu)成、照射光線的波長和能量來控制。
背向光致剝離法連同其它工藝用于制作各種顯示器件所需的彩色濾光片。在使用本方法時(shí)，應(yīng)備有一種光透明基底，該基底的正面可涂上粘合劑，該粘合劑的作用在于將欲剝離的物質(zhì)粘合在基底上。此后該基底的正面可涂上一層黑色聚酰亞氨一類的物質(zhì)來，這種物質(zhì)會(huì)固化在基底上。此外還應(yīng)備有至少一種彩色材料，如紅、綠或蘭色聚酰亞氨一類的東西。然后用框，例如接觸框或投射框在基底上選擇色素區(qū)域置放彩色材料。應(yīng)該為每種彩色材料都至少選擇一個(gè)色素區(qū)域。從基底背面來剝離該色素區(qū)域，形成一個(gè)空的區(qū)域，然后將彩色材料置于空的色素區(qū)域里。
與傳統(tǒng)的石板印刷術(shù)相比，本發(fā)明用在制作彩色濾光片時(shí)所需工序簡單，較少使用有毒化學(xué)品，并且可以達(dá)到高分辨率。因而，采用本發(fā)明所述的工藝具有成本低、化學(xué)污染少及操作步驟簡便的突出優(yōu)點(diǎn)此外，本工藝較傳統(tǒng)的前向激光剝離法節(jié)省能源，并能獲得高分辨率和高邊緣精確度。
以下是兩個(gè)利用本發(fā)明的具體實(shí)例。


圖1A-1C是利用本發(fā)明的第一個(gè)實(shí)例圖2A-2G是利用本發(fā)明的第二個(gè)實(shí)例本發(fā)明提供了一種經(jīng)過改善的光致剝離法。圖1提供的是利用本發(fā)明的第一實(shí)例。準(zhǔn)備一個(gè)可透光基底100，可選擇使用玻璃化合物、硅、石英、塑料或其它可以透過一定波長的光線的材料，正面為102，背面為104。在本例中采用了一個(gè)大約1毫米厚的玻璃薄片做基底。
基底的正面102與欲剝離的物質(zhì)106貼近并形成交界面，可充做106的有機(jī)物質(zhì)有染料、顏料、聚酰亞氨、丙烯酸環(huán)氧基和凝膠等。金屬材料有銻銦氧化物或其它可以吸收一定波長的照射光的材料。可選擇的材料很多，并不限于以上列舉的幾種。
但這種材料在受到一定能量、一定波長的光線的照射時(shí)應(yīng)該能夠發(fā)生急劇的狀態(tài)變化和結(jié)構(gòu)變化，例如剝離分解過程。這要取決于欲剝離物質(zhì)的厚度以及光吸收線系數(shù)。此外，照射光的強(qiáng)度不應(yīng)超過基底100的承受度。
表1列舉了一些欲剝離物質(zhì)以及它們吸收308nm波長光線的系數(shù)。這些材料包括染料，聚酰亞氨和丙烯酸顏料。在表中染料和聚酰亞氨分別被記作PiC和BSI，是由BrewerScience公司提供、按照美國專利號(hào)4876165的規(guī)定加工的。其它材料是聚丙烯酸顏料彩色濾光材料，是從OCG微電子彩色濾光材料供應(yīng)公司購置的。欲剝離物質(zhì)的厚度是由α-級(jí)顯微光波干涉儀測定的，它們吸收光線的數(shù)據(jù)是用Alpha公司提供的步進(jìn)測繪儀測定的。
表1
<p>所列舉的這些材料在受到波長308nm激光的照射時(shí)能夠較多地吸收光線，通常能夠在能量約為300mJ/cm2～308nm激光的45秒脈沖的作用下被剝離。所列舉的欲剝離材料易于發(fā)生光致分解，達(dá)到約0.3微米的分辨率，并可達(dá)到更高的分辨率。
可采用幾種常見的方法將欲剝離物質(zhì)放置在基底上，這些方法包括橡皮滾壓放置法、旋轉(zhuǎn)鍍膜法、成型法、電鍍法等等。在本例中，旋轉(zhuǎn)鍍膜法將一個(gè)1至2微米的聚酰亞氨層放置在基底上。
基底可用丙酮來清洗，干燥，并且最好先涂一層粘合劑，然后再置放欲剝離物質(zhì)。如果采用的欲剝離物質(zhì)不易粘在基底上，那么就必須采用粘合劑。并且對(duì)于大多數(shù)欲剝離物質(zhì)而言，使用粘合劑都可提高邊緣的精確度。對(duì)于上述欲剝離的材料而言，最好使用一些粘合劑。這些粘合劑都是比較常見的。可參見美國專利4876165，對(duì)于不同的欲剝離材料和基底，可選用不同的粘合劑及加速粘合的方法。
在圖1A中，照射光108以既定的波長、特定的能量和角度照射基底100的背面104，光源(圖中未顯示)可為激光，并不限于紫外光，可采用任何具有足夠能量的光源做照射光?；卓蛇x擇性也很大，可選用許多可透光的材料做基底。重要的是光源能夠?qū)⒆銐虻哪芰恳约せ罟庾拥男问酱┩富?，作用到欲剝離的物質(zhì)上以去除欲剝離物質(zhì)。經(jīng)研究發(fā)現(xiàn)，如果使用X-射線激光及其它波長短的光源，就可以選擇較多的材料做基底。如果使用可見光或者紫外線，，基底材料的選擇面就比較窄，并且會(huì)縮小可充作欲剝離物質(zhì)的材料的范圍，欲剝離物質(zhì)必須能夠吸收一定波長的光線的能量。如果使用高能量的光源，那么透光性較差的材料也可充作基底。在一定波長的光線照射下，欲剝離的物質(zhì)應(yīng)該能夠吸收一定的能量并發(fā)生剝離現(xiàn)象，而照射光的強(qiáng)度不應(yīng)超過基底的承受能力。在本例中，光源為308nm，300赫茲，300mJ/cm2在圖1A中，使用了遮光框110(采用接觸框或類似的遮光手段)，這樣照射光108就可以有選擇性地投射在基底的背面104上，從而在欲剝離的物質(zhì)106上選擇一周圍區(qū)域的物質(zhì)不會(huì)受到任何影響。由于基底100位于遮光框110和欲剝離的物質(zhì)106之間，這樣遮光框不易受到欲剝離物質(zhì)的損傷，這樣就簡單化了排列遮光框的復(fù)雜工作如圖1B所示，在基底與欲剝離物質(zhì)交界部位，有一部分欲剝離物質(zhì)吸收了能量。這部分能量首先積蓄在由框100所限定的基底100以及欲剝離物質(zhì)106之間。這部分能量不會(huì)馬上逃散，因而可用于下一步的欲剝離過程。所吸收的這部分能量導(dǎo)致交界部位的欲剝離物質(zhì)112發(fā)生急劇的狀態(tài)變化盡管剝離過程的具體情況有所差異，但該過程從總體上是由多分子激活導(dǎo)致的光子分解剝離。被激活的電子或其它類似的成分積蓄在交界部位的欲剝離物質(zhì)上。這種能量積蓄到一定程度后便能夠去除欲剝離物質(zhì)的一部分即114。如前所述300m/cm2波長為308nm的激光能夠剝離1至2毫米厚的聚酰亞氨。如圖1B和1C所示，114部分被分解，并全部或部分地化成氣體。被分解的物質(zhì)以超音速的速度彈射出去，在基底上遺留下一個(gè)已被剝離的空區(qū)域。
光子影響和激活位于交界部位的欲剝離物質(zhì)112。被激活電子的速度和能量從基底上剝離114(即欲剝離物質(zhì)的一部分)擊碎了其在此處的任何粘連或其它形式的連結(jié)。此外，被激活電子的速度和能量會(huì)撕裂及分解114的原子結(jié)構(gòu)及電子網(wǎng)格。該物質(zhì)以極高的速度被發(fā)射出去周圍的物質(zhì)完好無缺地保留在基底上，從而形成一個(gè)空區(qū)，其邊緣精確度是由照射光的波長及發(fā)射出的物質(zhì)的原子結(jié)構(gòu)決定的。如前所述，可采用粘合劑將欲剝離物質(zhì)粘在基底上，從而有助于提高邊緣精確度。本發(fā)明在使用308nm激光的情況下可達(dá)到約0.3微米的分辨率，如果使用波長更短的光源，就可取得更高的分辨率。使用本發(fā)明可較精確地選擇欲剝離物質(zhì)，選擇該物質(zhì)的范圍參數(shù)可由放置于基底背面的框110、基底物質(zhì)的構(gòu)成、照射光108的角度及波長來決定。
本發(fā)明較傳統(tǒng)的正面激光剝離法節(jié)省能源。舉例來說，本發(fā)明-即背向光致剝離法，和傳統(tǒng)的前向光致剝離法都可使用308nm、300赫茲、300mJ/cm2的激光。如果使用本發(fā)明的方法，大約45秒的單一脈沖便可剝離約1至2微米厚的聚酰亞氨。
如果使用傳統(tǒng)的前向光致剝離法，剝離同樣的物質(zhì)則需要10個(gè)脈沖，而分辨率卻有所降低，即使采用500mJ/cm2的激光，也需要5個(gè)脈沖背向光致剝離法之所以能夠節(jié)省能源，主要因?yàn)槟芰勘环e蓄在欲剝離物質(zhì)(在本例中使用的是聚酰亞氨)與基底(在本例中使用的是玻璃)的交界處。這部分能量能夠在系統(tǒng)中循環(huán)使用，用于進(jìn)一步的剝離過程。但在傳統(tǒng)的前向光致剝離法中，當(dāng)聚酰亞氨從上至下地氣化時(shí)，能量就從上層逃逸掉。
圖2提供的是利用本發(fā)明，即背向光致剝離法的第二個(gè)實(shí)例。如圖2A所示，準(zhǔn)備一個(gè)光透明基底100，正面為102，背面為104。如前所述，該基底的正面102可涂上粘合劑，此后可涂上一層欲剝離物質(zhì)的材料200，例如黑聚酰亞氨一類的材料，可以使用烘干、照射、化學(xué)固化或類似的方法來使該材料固化在基底上。至少應(yīng)準(zhǔn)備一種彩色材料，例如彩色聚酰亞氨一類的物質(zhì)，在本例中使用的是紅色聚酰亞氨，即202；藍(lán)色聚酰亞氨，即204和綠色聚酰亞氨，即206。當(dāng)然，本工藝允許使用多種多樣的顏色和材料，對(duì)它們的搭配幾乎沒有什么限制。
如圖2B所示，對(duì)于每一種彩色材料都備有一個(gè)框，即208，可以用接觸框也可以用投射框，用于在基底上選擇區(qū)域(即210)，來放置放彩色材料用照射光202以一定的波長、能量和角度從基底背面來剝離該區(qū)域(即210)，形成一個(gè)空的區(qū)域(即200)，將彩色材料置于這個(gè)空的區(qū)域里。在圖2C中，將紅色聚酰亞氨(即202)放置在該區(qū)域(即210)中并使其固化；在圖2D-2G中，這些步驟是分別進(jìn)行的，彩色材料分別使用的是藍(lán)色聚酰亞氨(即204)和綠色聚酰亞氨(即206)。
剝離區(qū)域(即210)的剝離過程如前所述。本例使用300mJ/cm2、308nm激光的單一45秒脈沖來剝離框架材料。這部分能量在框架材料(即200)與基底(即100)的交界處被吸收。該能量起先被積蓄在框架材料(即200)與基底(即100)的交界處，其具體位置是由框208限定的。這部分能量不會(huì)馬上從系統(tǒng)中選逸掉，可用于下一步的剝離過程。盡管剝離過程的具體情況有所差異，但該過程從總體上是由多分子激活導(dǎo)致的光子分解剝離。被激活的電子或其它類似的成分積蓄在交界部位的欲剝離物質(zhì)上。這種能量積蓄到一定程度后便能夠去除剝離區(qū)域(即210)中的欲剝離物質(zhì)。
本背向光致剝離法的其它步驟，如鍍膜、使用框來選擇剝離區(qū)和固化等在本行業(yè)中較為常見。在應(yīng)用本發(fā)明時(shí)可采取多種方法來鍍膜、使用柜采選擇剝離區(qū)以及固化。實(shí)際上，有些材料的固化可以通過風(fēng)干來實(shí)現(xiàn)或等待其自然固化，但在應(yīng)用本發(fā)明時(shí)仍應(yīng)考慮固化的方法無論采用何種具體步驟，本發(fā)明在應(yīng)用于彩色濾光片制作時(shí)可取得高分辨率，與傳統(tǒng)的石板印刷術(shù)相比，本發(fā)明所需步驟少，并且較少使用有毒原材料。此外，如前所述，本發(fā)明較傳統(tǒng)的前向光致剝離法節(jié)省能源。
與傳統(tǒng)方法相比，本發(fā)明可達(dá)到較高的邊緣精確率本發(fā)明不像傳統(tǒng)的化學(xué)工藝那樣有侵蝕現(xiàn)象，也不像傳統(tǒng)的前向激光剝離法那樣有碎片四散的弊端。
本文列舉了一些使用本發(fā)明的實(shí)例，但本發(fā)明的應(yīng)用絕不僅限于這幾個(gè)例子，而是有較廣的應(yīng)用采用本發(fā)明的方法，能量被積蓄在基底和欲剝離物質(zhì)的交界處，這部分能量能夠在系統(tǒng)中循環(huán)使用，用于進(jìn)一步的剝離過程。本發(fā)明允許使用不同的光源、基底和欲剝離物質(zhì)。例如使用X-射線激光時(shí)可使用硅做基底以及能夠充分吸收這種光能的欲剝離物質(zhì)。這種技術(shù)適用于設(shè)計(jì)開發(fā)高分辨率的半導(dǎo)體電子元件，克服了原有工藝的一些弊端。本發(fā)明不要求做基底的材料必然可以透過所有的光線，實(shí)際上這種材料可以不必能夠透過可見光?；字灰軌蛟试S一定波長的照射光的光子穿過，將足夠的能量傳輸?shù)接麆冸x物質(zhì)上即可。
附圖圖1A-1C利用本發(fā)明第一個(gè)實(shí)例其中100-基底102-正面104-背面106-欲剝離物質(zhì)108-照射光110-遮光框112-在邊界處欲剝離物質(zhì)114-部分被除去的欲剝離物質(zhì)圖2A-2G利用本發(fā)明的第二個(gè)實(shí)例其中100-基底102-正面104-背面200-欲剝離物質(zhì)202-彩色材料
權(quán)利要求
1.利用通過透明基底的照射光除去基底表面物質(zhì)的制作彩色濾光片或相關(guān)物的背向光致剝離法，其特征在于準(zhǔn)備一個(gè)光透明基底，該基底有一正面和一個(gè)背面，基底的正面與其上的欲剝離物質(zhì)之間形成一個(gè)交界面，用一定能量、角度的光線照射基底的背面，使在交界面部分欲剝離物質(zhì)能夠吸收足夠的能量，狀態(tài)發(fā)生急劇的變化，從而從基底上除去某一區(qū)域欲剝離物質(zhì)，形成一個(gè)空區(qū)
2.按照權(quán)利要求1所說的利用通過透明基底的照射光除去基底表面物質(zhì)的制作彩色濾光片或相關(guān)物的背向光致剝離法，其特征在于除去某一區(qū)域欲剝離物質(zhì)可準(zhǔn)備一個(gè)遮光框，利用遮光框在欲剝離的材料上至少可選擇出一個(gè)區(qū)域進(jìn)行剝離，同時(shí)將其它區(qū)域遮蓋起來，遮光框放置在基底的背部，遮光框(是一種接觸框或投射框)，可以是黑色的，它是用聚酰亞氨一類黑色材料做成的。
3.按照權(quán)利要求1所說的利用通過透明基底的照射光除去基底表面物質(zhì)的制作彩色濾光片或相關(guān)物的背向光致剝離法，其特征在于形成的空區(qū)，可以將彩色材料置于空區(qū)內(nèi)，使用的彩色材料可以是紅色、綠色和蘭色的等，或是任何其它顏色組合。
4.按照權(quán)利要求1所說的利用通過透明基底的照射光除去基底表面物質(zhì)的制作彩色濾光片或相關(guān)物的背向光致剝離法，其特征在于所說的空區(qū)，其邊緣的精確度是由照射光的波長、被剝離物的原子結(jié)構(gòu)決定的。
5.按照權(quán)利要求1所說的利用通過透明基底的照射光除去基底表面物質(zhì)的制作彩色濾光片或相關(guān)物的背向光致剝離法，其特征在于所說的照射光可以是脈沖激光、X-射線激光或其它激光、使照射光的光子影響和激活交界處的欲剝離物質(zhì)的電子，用其速度和能量擊碎欲剝離物質(zhì)與基底的粘連，擊碎欲剝離物質(zhì)與基底相連部位的原子結(jié)構(gòu)。
6.按照權(quán)利要求1所說的利用通過透明基底的照射光除去基底表面物質(zhì)的制作彩色濾光片或相關(guān)物的背向光致剝離法，其特征在于所說的欲剝離物質(zhì)能夠吸收足夠的能量，狀態(tài)發(fā)生急劇的變化，是氣化或剝離光子分解或粉碎并以超音速的速度彈射出。
7.按照權(quán)利要求1-6所說的制作彩色濾光片或相關(guān)物的背向光致剝離法，其特征在于基底可以是玻璃、塑料、石英、硅等。
8.按照權(quán)利要求1-6所說的制作彩色濾光片或相關(guān)物的背向光致剝離法，其特征在于欲剝離物質(zhì)可以是丙烯酸、凝膠、聚酰亞胺等其運(yùn)用于制做彩色濾光片的材料。
9.按照權(quán)利要求1-6所說的制作彩色濾光片或相關(guān)物的背向光致剝離法，其特征在于所說的欲剝離物質(zhì)可以采用粘合劑，然后再利用橡皮滾壓法、旋轉(zhuǎn)鍍膜法、成型法、電鍍法等將其置于基底上。
全文摘要
本發(fā)明的名稱是制作彩色濾光片或相關(guān)物的背向光致剝離方法，屬于微電子學(xué)工藝技術(shù)領(lǐng)域，傳統(tǒng)的石板印刷術(shù)、照相印刷術(shù)和電鍍工藝制備工序多、時(shí)間長，原材料有毒和成本高，本發(fā)明的目的在于克服上述缺點(diǎn)。采用的方法是從背向用光照射基底，使欲剝離物質(zhì)從下面用光往上被剝離，保證了剝離的精確度，簡化了工序，節(jié)省了時(shí)間，減少了有毒物質(zhì)，節(jié)約了能量和降低了成本，是一個(gè)很好的值得推廣的方法。
文檔編號(hào)G02B5/22GK1127890SQ9510074
公開日1996年7月31日 申請(qǐng)日期1995年1月25日 優(yōu)先權(quán)日1995年1月25日
發(fā)明者孫宏業(yè), 陳曉升, 泰德·當(dāng) 申請(qǐng)人:孫宏業(yè)