專利名稱：耦合兩個波導(dǎo)端面之間光的光學(xué)耦合裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于耦合在按權(quán)利要求1的前序部分的兩個波導(dǎo)端面之間的光的一種光學(xué)耦合裝置。
所述方式的各耦合裝置采用于將在一個光波導(dǎo)中輸送的光輸入一個另外的波導(dǎo)之中。一個實(shí)例是一種用于將在一個條形波導(dǎo)，例如一個光纖中輸送的光輸入一個集成在襯底上的，條形或?qū)有尾▽?dǎo)中的耦合裝置。
此集成波導(dǎo)例如可以是光學(xué)多信道濾光器的一個輸入波導(dǎo)。一種這樣濾光器的實(shí)例是一種按相控陣原理的濾波器，此濾波器帶有此濾光器的層形集成輸入波導(dǎo)的端面形式的一個輸入面，通過此輸入面光在某個幾何位置上進(jìn)入此輸入波導(dǎo)，在此此幾何位置影響光學(xué)濾光器的輸出波長。
按相控陣原理的這類光學(xué)濾光器在光學(xué)波長復(fù)用作業(yè)(WDM)中尤其采用為復(fù)用器或分用器，因?yàn)檫@些濾光器具有微小的插入損耗和高的串?dāng)_抑制。
按相控陣原理的光學(xué)濾光器具有多個耦合在此層形輸入波導(dǎo)上的和彎曲分布的、不同光學(xué)長度光波導(dǎo)作為主要組成部分，這些波導(dǎo)形成移相裝置。此層形輸入波導(dǎo)將此光分配到這些不同光學(xué)長度的波導(dǎo)上。
在WO96/00915 A1(GR 94 P 1417 DE)中說明了，可通過將光導(dǎo)入濾光器輸入波導(dǎo)中的輸送波導(dǎo)的位置來確定相控陣濾光器的平均波長。以此方式可通過輸送的條形波導(dǎo)的端面的幾何位置，針對濾光器輸入波導(dǎo)端面準(zhǔn)確地對準(zhǔn)此濾光器的平均波長。
在對準(zhǔn)平均波長之后，例如通過將輸送的波導(dǎo)與濾光器的襯底牢固的粘接，來互相相對地固定輸送波導(dǎo)的端面和濾光器輸入波導(dǎo)的端面。
在這樣濾光器的傳統(tǒng)構(gòu)造方式上，平均波長和信道間隔是由濾光器配置和由過程工藝技術(shù)確定的。
從許多用途的角度看存在著對可調(diào)諧的或可連續(xù)調(diào)諧的濾光器的一種需求。用這樣的濾光器可有針對性地從多個信道中選出一個信道，或者可將梳形濾光器的平均波長適配于作業(yè)的各種要求，以便例如補(bǔ)償激光發(fā)射器的老化。
除了傳統(tǒng)的各單色儀以外，在市場上主要提供壓電控制的法布里-珀羅諧振器作為可調(diào)諧的或可連續(xù)調(diào)諧的光學(xué)濾光器。以微力學(xué)構(gòu)造方式制作這些法布里-珀羅諧振器，并且出于此原因它們是昂貴的和不適用于大量制造和大量應(yīng)用的。
馬赫-策恩得爾干涉儀可以失調(diào)(請參閱N Nakato及其他人著“928-Channel Polarisation-Lntensitive Fre-quency-Selektion-Switch Using High-Silica Waveguides on si(128信道偏振強(qiáng)化的選頻開關(guān)用高石英硅基波導(dǎo))”，IEEE光子技術(shù)文壇2,441頁(1990))，但是是周期性的濾光器，因此對于各窄帶的用途是需要串聯(lián)連接多個互相調(diào)諧的這樣的濾光器的。這樣建立的濾光器的調(diào)諧在此變得很費(fèi)事，因?yàn)楸仨殲榇四康南鄳?yīng)地調(diào)節(jié)許多控制電流。
原則上可如此來調(diào)諧各相控陣濾光器，即在該濾光器移相范圍的這些單個波導(dǎo)中改變光路長度，例如用各熱光學(xué)的和/或電光學(xué)的效應(yīng)(請參閱EP 0 662 621 A1(GR 94 P 1013 DE))。
基于權(quán)利要求1中所說明本發(fā)明的任務(wù)在于，以簡單方式準(zhǔn)備就緒各可調(diào)諧的光學(xué)多信道濾光器，尤其是相控陣濾光器，此多信道濾光器帶有具有一個端面的一個條形的或?qū)有蔚妮斎氩▽?dǎo)。
用按本發(fā)明的耦合裝置可有利地使濾光器的某個輸出波長，例如使梳形濾光器的平均波長適配于作業(yè)的各種要求，以便例如補(bǔ)償激光發(fā)射器的老化。
不僅是可實(shí)現(xiàn)這樣的各可調(diào)諧的光學(xué)多信道濾光器的，其中包括按攝譜儀原理的多信道濾光器，而且也可實(shí)現(xiàn)各光學(xué)的強(qiáng)化調(diào)制器和波導(dǎo)開關(guān)，在這當(dāng)中可看到本發(fā)明的一個特別的優(yōu)點(diǎn)。
按本發(fā)明的耦合裝置的移位裝置是可有利地以微型化的形式，意即以在各波導(dǎo)端面尺寸的數(shù)量級上的各尺寸實(shí)現(xiàn)的。
按本發(fā)明的耦合裝置有利地具有緊湊的構(gòu)造和因此具有足夠的穩(wěn)定性，以便保證保持在一個其它波導(dǎo)的，尤其是一個層波導(dǎo)的位置方面的條形波導(dǎo)的對準(zhǔn)，并且因此不產(chǎn)生插入損耗的惡化。
優(yōu)先和有利地如此構(gòu)成按本發(fā)明的移位裝置，使得在相對于兩個端面之一為固定的支點(diǎn)方面的膨脹元件在平行于一個端面的方向上膨脹和/或收縮，并且此時另外的端面相對于固定支點(diǎn)移動(權(quán)利要求2)。由此產(chǎn)生一個在其上校準(zhǔn)膨脹和/或收縮的固定基準(zhǔn)點(diǎn)。此相對于固定支點(diǎn)移動的端面可以是一個在其中將光輸送給耦合裝置的波導(dǎo)的端面，和/或是一個在其中將光從耦合裝置引出的波導(dǎo)的端面。
此另外的端面是有利地在一個平行于一個端面可移動的支承體中支承的，此支承體是與膨脹元件固定地連接的(權(quán)利要求3)。在此，當(dāng)支承體和膨脹元件是構(gòu)成一體時(權(quán)利要求4)，則是有利，因?yàn)橐虼硕档脱b配花費(fèi)。
支承體優(yōu)先和有利地由陶瓷材料制成和具有貫通的開口，在此開口中容納和固定了具有此另外端面的一個波導(dǎo)(權(quán)利要求5)。
為了防止帶有膨脹元件的支承體可繞支點(diǎn)振動，安排一個用于平行于一個端面直線導(dǎo)向支承體的導(dǎo)向裝置是有利的(權(quán)利要求6)。這樣的導(dǎo)向裝置有利地具有兩個互相位于對面的和相對于一個端面固定布置的滑動面，支承體是布置在這些滑動面之間的，并且沿這些滑動面此支承體是可平行于一個端面移動的(權(quán)利要求7)。
在按本發(fā)明的耦合裝置的一種優(yōu)先和有利的實(shí)施形式上移動裝置是可從外部控制的。為此此實(shí)施形式是如此優(yōu)先地構(gòu)成的，使得此移動裝置具有一個用其可控制膨脹元件膨脹和/收縮的控制裝置(權(quán)利要求8)。
這樣的可控制的耦合裝置是有利地如此構(gòu)成的，使得膨脹元件由壓電材料制成，并且使此控制裝置生成一個作用到此壓電材料上的，帶有受控地可改變場強(qiáng)的電場(權(quán)利要求9)，和/或如此構(gòu)成這樣的可控制的耦合裝置，使得膨脹元件由具有一種熱膨脹系數(shù)的材料制成，并且此控制裝置具有一個用于受控地加熱和/或冷卻膨脹元件的裝置(權(quán)利要求10)。
在可控制耦合裝置的一個其它優(yōu)先的實(shí)施形式上，移動裝置具有一個相對于一個端面固定的伺服電機(jī)和一個與此另外端面連接的和由伺服電機(jī)可移動的執(zhí)行機(jī)構(gòu)形式的膨脹元件，并且此控制裝置控制此伺服電機(jī)(權(quán)利要求11)。
在按本發(fā)明耦合裝置的一種優(yōu)先的和有利的發(fā)展上，移位裝置具有用于補(bǔ)償在兩個端面彼此相對占據(jù)的一個相對實(shí)際位置和兩個端面彼此相對應(yīng)該占據(jù)的一個相對理論位置之間的位置間距(權(quán)利要求12)。
該改進(jìn)當(dāng)各種情況要求時，有利地能使得將兩個端面互相間占據(jù)的相對位置，自動微調(diào)到一個新的相對位置上，即理論位置上。
如果安排了按權(quán)利要求12的補(bǔ)償裝置和在相對實(shí)際位置和相對理論位置之間的位置差別，是主要地與存在于耦合裝置的環(huán)境中的溫度差成比例的話，則此耦合裝置是可有利地如此構(gòu)成的，使得補(bǔ)償裝置由一個由具有一種熱膨脹系數(shù)的材料制的膨脹元件組成，并且彼此相對平行于一個端面地如此選擇此熱膨脹系數(shù)和膨脹元件的尺寸，使得膨脹元件的，由此溫度差引起的熱膨脹和/或收縮主要補(bǔ)償此位置差別(權(quán)利要求13)。
例如以及如已暗示那樣，在按相控陣原理的光學(xué)濾光器上在此濾光器的，其位置取決于溫度的輸出波長方面存在這樣的各種情況。
不僅取決于溫度的，而且也另外例如可補(bǔ)償由各波長變化決定的各位置差別的一個有利的補(bǔ)償裝置是如此構(gòu)成的，即此補(bǔ)償裝置具有一個由壓電材料制的膨脹元件，用于求出在相對實(shí)際位置和相對理論位置之間的位置間距的一個裝置，以及用于生成作用到壓電材料上的和與所求得位置差別如此成比例的一個電場強(qiáng)的控制裝置，使得膨脹元件由此場強(qiáng)生成的壓電的膨脹和/或收縮主要補(bǔ)償此位置差別(權(quán)利要求14)。
如此構(gòu)成了一個另外的有利的補(bǔ)償裝置，使得此補(bǔ)償裝置具有一個相對于一個端面為固定的伺服電機(jī)，和與此另外端面連接的和由伺服電機(jī)可移動的執(zhí)行機(jī)構(gòu)形式的一個膨脹元件，用于求出在相對實(shí)際位置和相對理論位置之間的位置差別的一個裝置，以及用于如此地取決于所求得的位置差別來控制伺服電機(jī)的一個控制裝置，使得此伺服電機(jī)主要補(bǔ)償位置差別(權(quán)利要求15)。甚至此實(shí)施形式不僅能補(bǔ)償溫度決定的各位置差別，而且也能此外補(bǔ)償例如由各波長變化決定的各位置差別。
在按本發(fā)明耦合裝置的一種特別優(yōu)先的實(shí)施形式上，兩個端面中的一個是用于將光輸入或輸出濾光器的光學(xué)波長濾光器的波導(dǎo)的一個端面(權(quán)利要求16)，由此實(shí)現(xiàn)了可調(diào)諧的多信道濾光器。
在這樣的濾光器的一種具體實(shí)施形式上，波長過濾器由按相控陣原理的一個濾光器組成，在此濾光器上平均波長或其它各輸出波長的位置是與溫度有關(guān)的。
在InGaAsP材料系統(tǒng)中的一種相控陣濾光器上，例如SiO2/Si系統(tǒng)中的約為0.01nm/k的和約為0.1nm/k的各傳輸特性曲線的溫度關(guān)系迄今阻礙有成效的系統(tǒng)采用。在使用中在這些光學(xué)濾光器上可能出現(xiàn)超過100K的溫度差，由此在僅為少數(shù)幾納米的各信道間距上出現(xiàn)各種問題。
用按權(quán)利要求16的耦合裝置，結(jié)合權(quán)利要求12至15中的一個是可實(shí)現(xiàn)具有一個輸入面的，按相控陣的一個光學(xué)濾光器的，在某個位置上光進(jìn)入此輸入面，在此幾何位置影響濾光器的輸出波長或平均波長，在此濾光器上可以特別可靠而容易地平衡濾光器的溫度敏感性。
為了解決此問題迄今曾實(shí)施一種有源的溫度調(diào)節(jié)和生成在濾光器范圍內(nèi)的一種均勻溫度。為此額外的規(guī)范花費(fèi)和監(jiān)控花費(fèi)都是必要的。
原則上存在著由帶有較小溫度系數(shù)的各種玻璃制造濾光器的可能性。這可是需要可觀的開發(fā)花費(fèi)。
基于按權(quán)利要求16的耦合裝置結(jié)合權(quán)利要求12至15中的一個，存在著平行于濾光器輸入面可微移動的，用于光輸入的一個裝置和一個溫度敏感元件，并且此可移動的裝置是以此方式與此溫度敏感元件連接的，使得光在其上進(jìn)入光學(xué)濾光器的輸入面上的，幾何位置是取決于溫度可移動的。
以此方式可在此相控陣濾光器上，通過對于光輸入的位置的簡單機(jī)械式移動生成一種可靠的溫度補(bǔ)償，而不需要昂貴的冷卻設(shè)施和加熱設(shè)備。
在按權(quán)利要求16的耦合裝置上結(jié)合權(quán)利要求13，此溫度靈敏的元件和可移動的裝置有利地主要僅由其移位源自于熱長度膨脹的補(bǔ)償器組成。因此兩個功能僅由一個除此之外無源工作的和無需任何監(jiān)控的元件來承擔(dān)。
在此有利的是，取決于光學(xué)濾光器的溫度系數(shù)地設(shè)計例如長度的尺寸和補(bǔ)償器的材料。這是原則上可能的，因?yàn)闊o論相控陣濾光器的溫度系數(shù)還是分散作用都表現(xiàn)出線性關(guān)系。因此通過選擇材料和/或在膨脹方向上的補(bǔ)償器的尺寸，可將補(bǔ)償器的同樣為線性的膨脹適配于此光學(xué)濾光器。
補(bǔ)償器是有利地機(jī)械式固定在光學(xué)濾光器上的，使得產(chǎn)生一個固定基準(zhǔn)點(diǎn)，在此基準(zhǔn)點(diǎn)上可校準(zhǔn)移動。用于光輸入的可移動裝置優(yōu)先地具有一個帶支承的輸入纖維。補(bǔ)償器和輸入纖維用的支承有利地是一體地由合適材料構(gòu)成的，因?yàn)橐虼藴p少裝配花費(fèi)。
為了防止帶補(bǔ)償器的輸入纖維能繞固定點(diǎn)振動，有利的是安排一個補(bǔ)償器用的機(jī)械式導(dǎo)向和輸入纖維用的支承。這樣的機(jī)械式導(dǎo)向優(yōu)先具有一個蓋板和一個或兩個支座，它們由具有匹配過膨脹系數(shù)的各種材料制成。此補(bǔ)償器和固定在其上的帶輸入纖維的支承則由蓋板和一個基板導(dǎo)向地在規(guī)定方向上移動。
基于按權(quán)利要求16的耦合裝置結(jié)合權(quán)利要求15實(shí)現(xiàn)了濾光器的一種另外的優(yōu)先的實(shí)施形式，在此濾光器上溫度靈敏的元件具有一個帶有電輸出的溫度傳感器，而可移動的裝置具有一個可電控的步進(jìn)電機(jī)。此可移動的裝置同樣地具有一個壓電晶體(權(quán)利要求14)。通過這樣的裝置同樣可取決于溫度在輸入面上受規(guī)定地移動一個輸入纖維，以致于補(bǔ)償光學(xué)濾光器的溫度關(guān)系。
按權(quán)利要求16的耦合裝置是不限定在按相控陣原理的濾光器上的。按本發(fā)明耦合裝置可應(yīng)用于其上的光學(xué)濾光器例如可以是一種按攝譜儀原理的集成光學(xué)多信道濾光器。
在這樣的濾光器上在裝入波導(dǎo)的反射柵上折射在層波導(dǎo)中引導(dǎo)的光，并且同時將此光從一個輸入地點(diǎn)復(fù)制到一個其位置是與波長有關(guān)的輸出地點(diǎn)上。如果針對一個輸入面移動此輸入地點(diǎn)的話，各輸出地點(diǎn)的位置則相應(yīng)于光學(xué)復(fù)制圖像移動，使得也在此相似于如在按相控陣原理的濾光器上那樣，在此位置之上的各波長信道的微調(diào)是可能的。
如果例如按所謂的平面場原理設(shè)計按攝譜儀原理的集成光學(xué)濾光器的話，為了調(diào)諧，原則上也可移動輸出波導(dǎo)。在此情況下應(yīng)相對于波導(dǎo)的一個輸出端面布置一個按本發(fā)明的耦合裝置，從此輸出端面中輸出來自濾光器的光。
在K.A.Mc Greer著“可調(diào)平面型凹面光柵分路器(TunablePlanar Concave Grating Demultiplexer)”，IEEE光子學(xué)工藝技術(shù)文壇8,551頁(1996)中曾公開了通過各輸入和輸出波導(dǎo)的移動來調(diào)節(jié)光柵攝譜儀的可能性，可是該可能性較之按本發(fā)明的耦合裝置基于一種另外的原理上。
按本發(fā)明的耦合裝置不是限定于光學(xué)濾光器上的，而且可以原則上應(yīng)用在所有的光學(xué)裝置上，在這些裝置上用于在這些波導(dǎo)之間的光的輸入和/或輸出的兩個或多個光波導(dǎo)的波導(dǎo)端面互相位于對面，并且在這些裝置上在這些端面之間的，平行于一個端面的相對移位是受歡迎的或是必要的。
這樣耦合裝置的一種優(yōu)先的實(shí)施形式是如此構(gòu)成的，這些端面是基本上具有相同截面的各條形光波導(dǎo)的互相相對的端面(權(quán)利要求17)。這些條形波導(dǎo)可以是光纖和/或集成條形波導(dǎo)，波導(dǎo)的截面區(qū)別于層波導(dǎo)不是拉長的，而基本上具有相同的高度和寬度。
用這樣的耦合裝置結(jié)合按權(quán)利要求8至11之一的控制裝置是可實(shí)現(xiàn)一種可調(diào)的光學(xué)衰減器，在此衰減器上在兩個其端面互相相對的條形波導(dǎo)之間的耦合衰減，隨著這兩個端面的增長著的側(cè)向偏移彼此相對有控制地上升。
用這樣的耦合裝置也是可有利地實(shí)現(xiàn)一種其作用方式相似于衰減器的波導(dǎo)開關(guān)。為此目的的一種優(yōu)先實(shí)施形式是如構(gòu)成的，在條形波導(dǎo)的端面的對面布置了兩個或多個另外的條形波導(dǎo)的并排布置的各端面，并且如此構(gòu)成了移動裝置，使得其中一個條形波導(dǎo)的端面和另外各條形波導(dǎo)的各端面，是可彼此相對地移動介于各另外條形波導(dǎo)的各相鄰端面之間的至少一個間距的(權(quán)利要求18)。
通過該措施是能夠?qū)⑵渲幸粋€條形波導(dǎo)的端面，選擇性地放到帶有另外條形波導(dǎo)的一個端面的，或帶有其它的另外條形波導(dǎo)的一個端面的相對位置上的。此移位裝置是僅僅如此來設(shè)計的，在各端面相對移動時至少可以彌補(bǔ)另外各條形波導(dǎo)的兩個相鄰端面的間距。
以下用一個在圖中所示的實(shí)施例進(jìn)一步闡述本發(fā)明。這些示意性圖示具體示出的在

圖1為對按本發(fā)明耦合裝置的一個第一實(shí)施例的一個俯視圖；圖2為按圖1的實(shí)施例的一個側(cè)視圖；圖3為按本發(fā)明耦合裝置用的機(jī)械式導(dǎo)向的一個實(shí)施例；圖4為按本發(fā)明耦合裝置用的機(jī)械式導(dǎo)向的一個其它實(shí)施例；圖5為對按本發(fā)明耦合裝置的一個第二實(shí)施例的俯視圖6為對按本發(fā)明耦合裝置的一個第三實(shí)施例的一個俯視圖；圖7為對按本發(fā)明耦合裝置的一個第四實(shí)施例的一個俯視圖；圖8為對用一個按本發(fā)明耦合裝置實(shí)現(xiàn)的光學(xué)衰減器的實(shí)例的一個俯視圖；圖9為對用一個按本發(fā)明耦合裝置實(shí)現(xiàn)的波導(dǎo)開關(guān)實(shí)例的一個俯視圖；圖10為對按相控陣原理的光學(xué)濾光器的一個俯視圖，在此濾光器上應(yīng)用了按本發(fā)明耦合裝置的第一實(shí)施例；以及圖11為對按相控陣原理的光學(xué)濾光器的一個俯視圖，在此濾光器上應(yīng)用了按本發(fā)明的耦合裝置。
在各圖中示出的按本發(fā)明的各光學(xué)耦合裝置上，用于耦合兩個端面之間的光的兩個互相相對布置的波導(dǎo)端面是用4和4’標(biāo)記的，而用于彼此相對平行于一個端面4和/或4’移動這兩個端面4和4’的移位裝置是用100標(biāo)記的。
在這些于圖1和2和圖5至7中所示的實(shí)施形式上，例如端面4是構(gòu)成在襯底2上的層波導(dǎo)3的一個端面，而各另外的端面4’是例如為芯-包層纖維的光纖形式的條形波導(dǎo)5的一個端面。在按圖8和圖9的這些實(shí)施形式上端面4是例如同樣為光纖的條形波導(dǎo)5’的一個端面。
移位裝置100具有一個膨脹元件，由于元件的空間膨脹和/或收縮此膨脹元件彼此相對移動這些端4和4’，并且除了按圖7的實(shí)施形式，在所有的實(shí)施形式上此膨脹元件是以7標(biāo)志的。在按圖7的實(shí)施形式上此膨脹元件是以81標(biāo)志的。
在所有的實(shí)施形式上，例如條形波導(dǎo)5的端面4’是相對于另外波導(dǎo)3或5’的固定端面4活動的，在此在帶有膨脹元件7的這些實(shí)施形式上，此元件7支承在一個相對于固定端面4為固定的支點(diǎn)8上，并且此活動的端面4’是通過一個膨脹元件7的平行于固定端面4的膨脹和/或收縮相對于固定支點(diǎn)8和因此相對于端面4可移動的。
此活動的端面4’是與條形波導(dǎo)5支承在一個平行于固定端面4的可移動支承體6中的，此支承體是與膨脹元件7固定連接的，在此支承體6和膨脹元件7是可構(gòu)成一體的。
此支承體6例如可具有(請參閱圖3和4)一個帶有切口11的底座10，條形波導(dǎo)5完全容納在此切口中，并且切口的上面是由上蓋12或14覆蓋的，在此上蓋12或14和底座10可以是粘接或釬焊的。
在一種優(yōu)先的實(shí)施形式上支承體6是一體的，并且具有一個貫通的開口61(圖1和2)，具有活動端面4’的條形波導(dǎo)5是容納和固定在此開口中的。此一體的支承體6有利地由陶瓷材料制成。
為了避免各種振動，支承體6是由一導(dǎo)向裝置平行于固定端面4的直線導(dǎo)向的。
在圖3和4中表示了在這些圖中用13標(biāo)志的這樣的導(dǎo)向裝置的兩個實(shí)施形式。
在此兩個實(shí)施形式上導(dǎo)向裝置13具有兩個互相相對的和相對于固定端面4為固定布置的滑動面90和140，支承體6布置在這些滑動面之間，并且支承體6是沿這些滑動面平行于固定的端面4可移動的。
一個滑動面例如是一個基板9的表面90，襯底2是布置在此基板的表面90上的，并且固定端面4以例如近似于90°的角度相對于基板而立，而此另外的滑動面例如是蓋板14的背向表面90的一個表面140，此蓋板14是由各支座15和16與基板9保持距離地支承的。這些支座15和16是與蓋板14和基板9在各連接地點(diǎn)17上粘接的或焊接的。
在兩個實(shí)施形式上膨脹元件7是在一個遠(yuǎn)離支承體6的連接地點(diǎn)18上與表面90固定地連接的，例如粘接的或焊接的。此連接地點(diǎn)18規(guī)定一個固定支點(diǎn)8，在此支點(diǎn)上固定地支承了膨脹元件7，并且通過膨脹元件7的平行于固定端面4的膨脹和/收縮，此支承體6是可相對于支點(diǎn)8移動的。
在按圖3的實(shí)施形式上膨脹元件7是僅與表面90而不是與表面140固定連接的。此支承體6由在表面90上滑動的帶有用于容納條形波導(dǎo)5的切口11的底座10和由在表面140上滑動的上蓋12組成，而底座10和膨脹元件7在此由一整塊合適的材料制成，以便減少裝配花費(fèi)。蓋板14和各支座15和16由其熱膨脹系數(shù)相對于膨脹元件7是匹配過的各種材料制成。
在按圖4的實(shí)施形式上支承體6是一體的，并且僅由帶有用于容納條形波導(dǎo)5的切口11的一個底座10組成，此底座既在表面90上也在表面14的表面140旁滑動。此外僅安排了一個支座15，而第二支座的功能由膨脹元件7承擔(dān)，此膨脹元件是不僅在一個連接地點(diǎn)18上與表面90固定地，而且在一個與該連接地點(diǎn)18相對的連接地點(diǎn)18上與蓋板14的表面140固定地連接的，例如粘接的或釬焊的。這兩個連接地點(diǎn)18共同確定膨脹元件7固定地支承在其上的一個固定支點(diǎn)8，并且通過膨脹元件7的平行于固定端面4的膨脹和/收縮，此支承體6是可相對于支點(diǎn)8移動的。所以相對于按圖3的實(shí)施形式進(jìn)一步簡化了按圖4的實(shí)施形式。
在各圖1和2中表示了按本發(fā)明光學(xué)耦合裝置的一種第一實(shí)施形式，在此耦合裝置上帶有端面4的一個層波導(dǎo)3是構(gòu)成在襯底2上的，此端面直接位于襯底2的一個邊21上。一個帶有與端面4相對的端面4’的光纖5是直接相鄰地布置在輸入面4上的。
纖維5是支承在平行于層波導(dǎo)3的端面4和因此也平行于襯底2的邊21可移動的支承體6中的。
支承體6是由陶瓷材料一體地制作的，并且具有一個在其中容納和固定了纖維5的貫通的孔61。在膨脹元件7上固定了該支承體，膨脹元件又是經(jīng)支點(diǎn)8相對于襯底2固定的。例如由與襯底2和/或基板9固定連接的和膨脹元件7支承在其上的一個支承體在此確定了支點(diǎn)8。
膨脹元件7由具有一種熱膨脹系數(shù)α的材料制成，并且一種溫度變化ΔT引起膨脹元件7平行于襯底的邊21的和因此平行于端面4的熱膨脹和/或收縮。相應(yīng)于該膨脹和/或收縮平行于端面4來或回移動支承體6，并且隨著支承體來或回移動端面4’。
在按圖1和2的實(shí)施形式上，層波導(dǎo)3專門是圖10中所示的按相控陣原理光學(xué)濾光器1的一種輸入波導(dǎo)。通過該輸入波導(dǎo)3的端面4將光輸入波導(dǎo)3，并且在波導(dǎo)3中將光引向一個移相裝置30。將從移相裝置30中出來的光輸入到濾光器1的層波導(dǎo)形式的輸出波導(dǎo)31中，并且在該輸出波導(dǎo)中將此光輸送給此波導(dǎo)31的一個從中可輸出此光的端面40。在此給輸入濾光器1的光的每個波長或每個波長信道，也給濾光器1的平均波長分配各在輸出波導(dǎo)31的端面40中的一個自己的幾何位置，其余各波長圍繞此平均波長組合。
平均波長的位置和隨著此位置在輸出波導(dǎo)31的端面40中的其余各波長的位置，一方面取決于在其上將進(jìn)入輸入波導(dǎo)3端面4的平均波長輸入濾光器1的幾何位置，另一方面取決于濾光器1的溫度T，意即在保留在輸入波導(dǎo)3端面4中的位置上，在濾光器1的溫度變化ΔT時輸出波導(dǎo)31端面40中的平均波長的位置在改變。
按本發(fā)明的耦合裝置現(xiàn)在有利地使按相控陣原理的可調(diào)整濾光器1的實(shí)現(xiàn)成為可能，由于a)通過條形波導(dǎo)5輸送應(yīng)輸入濾光器1的光，并且將此光從此波導(dǎo)5的端面4’中輸送給濾光器1的輸入波導(dǎo)3的端面4，以及通過此端面4輸入到濾光器1中，并且b)如此有針對性地相對于輸入波導(dǎo)3的端面4移動條形波導(dǎo)5的端面4’，使得平均波長在一個位置上相遇此端面4，給此位置在濾光器1的輸出波導(dǎo)31的端面40中分配了平均波長λ的一個所希望的位置，和/或c)在濾光器1的溫度變化ΔT時相對于輸入波導(dǎo)3的端面4如此移動條形波導(dǎo)5的端面4’，使得在此溫度變化ΔT之后的平均波長從現(xiàn)在起在一個位置上相遇此端面4，給此位置分配了溫度變化ΔT之前的平均波長的原來的位置，由此補(bǔ)償由溫度變化ΔT引起的濾光器1輸出波導(dǎo)31端面40中的平均波長位置的變化。
對平均波長所說明的內(nèi)容以相同方式適用于其余各波長中的每一個。
圖1在圓C之內(nèi)放大地表示按圖10的可調(diào)諧濾光器1的范圍。
可將點(diǎn)X看作為在其中應(yīng)輸入濾光器1中的一個波長相遇端面4的位置，在此點(diǎn)X上出自端面4’的和應(yīng)通過端面4輸入的光線的軸線相遇此端面4。為簡單起見在各所示實(shí)例上假設(shè)，該軸線與條形波導(dǎo)5的軸線50重合。
按此對于相對位置X，意即對于兩個端面4和4’互相相對占據(jù)的幾何位置X應(yīng)理解為點(diǎn)X，在此點(diǎn)X上出自兩個端面之一的光線的軸線相遇此另外的端面。
對于相對的實(shí)際位置應(yīng)理解為實(shí)際占據(jù)的相對位置，而對于相對理論位置應(yīng)理解為應(yīng)占據(jù)的或所希望的相對位置。
在按圖1和2的實(shí)例上，移位裝置100具有用于補(bǔ)償在相對實(shí)際位置X和應(yīng)占據(jù)的相對理論位置X1之間的位置間距ΔX的一個補(bǔ)償裝置70。
該補(bǔ)償裝置70由用具有熱膨脹系數(shù)α的材料制的膨脹元件7組成，并且膨脹元件7的平行于襯底2邊21的方向上的熱膨脹系數(shù)α和尺寸L是如此選擇的，使得由溫度變化ΔT引起的，膨脹元件7的熱膨脹和/或收縮基本上補(bǔ)償位置間距ΔX。膨脹元件7的熱膨脹和/或收縮如此自動相對于支點(diǎn)8和因此相對于端面4，取決于溫度T地平行于襯底2的邊21來移動支承體6和因此移動此端面4’，使得平均波長的位置保持在濾光器1輸出波導(dǎo)31的端面40中，并且是與溫度無關(guān)的。
除此之外通過選擇一個另外的補(bǔ)償器可使濾光器的溫度響應(yīng)例如適配到各激光二極管的溫度響應(yīng)上。
用以下列實(shí)例應(yīng)說明膨脹元件7的尺寸L的和材料的各種選擇可能性。
用SiO2-Si技術(shù)的相控陣濾光器的示范性溫度系數(shù)為θ=dλdT≈0.01nmk]]>這樣的相控陣的色散則例如為D=ddx=3.2nm20μm=0.16nm/μm]]>由相控陣濾光器如此給定的溫度關(guān)系必須由膨脹元件7的平行于襯底2的邊11的方向上的膨脹和/或收縮來補(bǔ)償，按下式來計算此膨脹和/或收縮Δx=α·L·ΔT在此α=(αS-αK)為襯底2的膨脹和/或收縮之間的差值，也就是硅(αS=2.33·10-6l/k)和膨脹元件7的材料αK之間的，在平行于襯底2邊21的方向上的差值。由此產(chǎn)生此要求αL=θPA/D≈0.0625μm/K如果人們對此膨脹元件7例如采用具有αK=7.1·10-6l/K的BK7玻璃的話，則產(chǎn)生在平行于邊21的方向上的為73.1mm的尺寸L。在采用各種具有較高膨脹系數(shù)的材料時該尺寸L相應(yīng)地縮短。在鋁上αK=25·10-6l/K，使得該尺寸L必須僅為2.7mm。
從在以對襯底2的邊21的視向的側(cè)視圖中，示出按圖1的耦合裝置的圖2中可獲知，在基板9上布置了襯底2，在此襯底中布置了輸入波導(dǎo)3、移相裝置30、輸出波導(dǎo)31和耦合到輸出波導(dǎo)31輸出側(cè)端面40的，由各條形波導(dǎo)組成的裝置32。形成固定支點(diǎn)8的物體是固定在襯底2上的和/或固定在基板9的表面90上的，平行于輸入面4地移動此支承體6的和隨此支承體移動端面4’的膨脹元件7是支承在此物體上的。
按圖1和2的示范性的耦合裝置無源地起作用，意即不能從外部影響或控制該耦合裝置的移位裝置100。在按本發(fā)明耦合裝置的各優(yōu)先和有利的實(shí)施形式上，通過在這些有關(guān)的圖中用7’標(biāo)志的控制裝置是可有針對性地從外部控制該移動裝置100的，在此此控制裝置7’尤其控制膨脹元件7的膨脹和/或收縮。
在圖6中以俯視圖簡化地表示了這樣可控實(shí)施形式的，基于按圖1和2的實(shí)施例上的一個實(shí)施例。該實(shí)施例的移位裝置100的膨脹元件7如在按圖1和2的實(shí)例上那樣由具有熱膨脹系數(shù)α的材料制成，而控制裝置7’具有一個用于膨脹元件7的受控加熱和/或冷卻的裝置，此裝置例如可能包括一個電阻加熱裝置。在由例如各種金屬的或像硅的各種半導(dǎo)體材料的各種導(dǎo)電材料制的各膨脹元件7上，加熱電流可以直接通過該部分，否則在膨脹元件7上安裝外加的電阻加熱。
在按圖1和2的實(shí)施例上可外加安排了按圖6的控制裝置7’，則使得該實(shí)例起補(bǔ)償作用，并且同時和獨(dú)立于此地是從外部可控的。
在按本發(fā)明耦合裝置的一個另外的可控實(shí)施形式上膨脹元件7由壓電材料制成，并且控制裝置7’生成一個作用在壓電材料上的，可受控改變的電場強(qiáng)E。
在圖5中簡化地以俯視圖表示了該實(shí)施形式的一個實(shí)施例?？刂蒲b置7’由用于生成可變電壓V的電源組成，將此電壓施加在膨脹元件7上，并且是可從外部調(diào)節(jié)的。
按圖5的控制裝置7’也可以以簡單方式由此來擴(kuò)充成一個補(bǔ)償裝置70，即安排了用于求出在相對實(shí)際位置X和相對理論位置X1之間的位置間距ΔX的一個裝置71，以及安排了用于生成作用于壓電材料上的和如此地與所述得位置差別ΔX成比例的電場強(qiáng)E的一個控制裝置7’，使得膨脹元件7的由該場強(qiáng)E生成的壓電的膨脹和/或收縮基本上補(bǔ)償此位置差別ΔX。
用于求出位置差別ΔX的裝置71例如可以是從耦合裝置附近的溫度T中求得位置差別ΔX的一個溫度傳感器，其辦法是此溫度傳感器探測該溫度T，并且將一個基本上與所探測溫度T成比例的信號給到控制裝置7’上，基于此信號如此與溫度T成比例地變化施加在壓電膨脹元件7上的電場強(qiáng)E，使得形成與此新的溫度相對應(yīng)的相對理論位置X1。在該實(shí)施中此補(bǔ)償裝置70可以像按圖1和2的或按圖6的補(bǔ)償裝置70那樣起作用，并且例如是適合于溫度補(bǔ)償按相控陣原理的濾光器的。
用于求出位置間距ΔX的裝置71例如也可以是一波長探測器，此波長探測器從由光源生成的和應(yīng)向耦合裝置輸送的光的一個波長中求出位置間距ΔX，其辦法是此波長探測器探測該波長，并且將基本上與所探測波長成比例的信號給到此控制裝置7’上，基于此信號如此與波長成比例地變化施加在壓電膨脹元件7上的電場強(qiáng)E，使得形成相應(yīng)于此新波長的相對理論位置X1。在此實(shí)施中可采用該補(bǔ)償裝置70用于補(bǔ)償各光源的，由溫度和/或老化決定的各種波長變化。
在按圖5的實(shí)施形式上可同時和互相獨(dú)立地安排這兩種補(bǔ)償方式和從外部的控制。
在按本發(fā)明的耦合裝置的一種其它的實(shí)施形式上移位裝置100具有一個伺服電機(jī)80，在此在可控的實(shí)施形式的情況下此移位裝置100具有由控制裝置7’控制的，用于互相相對移動這兩個端面4和4’的一個伺服電機(jī)80。
在圖7中簡化地以俯視圖表示了該實(shí)施形式的一個實(shí)施例。在此實(shí)例上伺服電機(jī)80是與襯底2和/或基板9固定地連接的，并且具有例如與例如齒條形式的執(zhí)行機(jī)構(gòu)81的各齒嚙合的一個小齒輪82，此齒條是與支承體6連接的。小齒輪82的轉(zhuǎn)動實(shí)現(xiàn)齒條81的移動和因此實(shí)現(xiàn)支承體6平行于襯底2的邊21的和相對于固定的伺服電機(jī)80的移動，使得齒條81針對固定的伺服電機(jī)80在某種程度上形成相當(dāng)于膨脹元件7的一個膨脹元件。
伺服電機(jī)80是可從外部控制的，并且由一個控制裝置7’控制此伺服電機(jī)。除此之外可安排用于求出在相對實(shí)際位置X和相對理論位置X1之間的位置差別ΔX的一個裝置71，并且用于取決于所求得位置差別ΔX來控制伺服電機(jī)80的控制裝置7’是如此構(gòu)成的，使得伺服電機(jī)主要地補(bǔ)償位置差別ΔX。以此方式實(shí)現(xiàn)了一個補(bǔ)償裝置70。
用按圖7的實(shí)施例可以以相同方式實(shí)現(xiàn)按圖5實(shí)例的全部功能。
伺服電機(jī)80優(yōu)先是一個步進(jìn)電機(jī)，并且優(yōu)先微力學(xué)地實(shí)現(xiàn)伺服電機(jī)80和/或齒條81。
按本發(fā)明的耦合裝置尤其在前述各實(shí)施形式中是不僅適合于實(shí)現(xiàn)按相控陣原理的可調(diào)諧濾光器，而且有利的總的適合于實(shí)現(xiàn)帶有一個輸入波導(dǎo)的，可調(diào)諧集成光學(xué)的多信道濾光器的。例如該光學(xué)濾光器可以是按攝譜儀原理的一個集成光學(xué)多信道濾光器。
圖11中示意地以俯視圖表示了這種濾光器的一個實(shí)例，并且是用1’標(biāo)志的。該濾光器1’具有一個層波導(dǎo)3’，此層波導(dǎo)帶有用于將含有多個波長的光輸入層波導(dǎo)3’中的一個輸入端面4、帶有用于折射在波導(dǎo)3’中所引導(dǎo)的輸入光的，裝入到波導(dǎo)3’中的一個例如刻蝕的反射柵30’，和帶有用于輸出由光柵30’折射的以及在波導(dǎo)3’中所引導(dǎo)的光的一個輸出端面40。按攝譜儀原理而不帶按本發(fā)明耦合裝置的光學(xué)多信道濾光器是由D.C.C.Clemens及其他人著“SiO2/Si的平面場攝譜儀”，IEEE光子技術(shù)論壇4,886頁(1992)中公開的。按本發(fā)明的耦合裝置是可與該已知的濾光器聯(lián)合的。
光柵30’將輸入端面4上的輸入地點(diǎn)i成像到波導(dǎo)3’輸出端面40上的一個輸出地點(diǎn)o1、o2或o3上(輸出地點(diǎn)的這個數(shù)是不限于3的，而是可以更小或更大的)，輸出端面40的位置是取決于波長的。如果針對輸入端面4移動輸入地點(diǎn)i的位置的話，各輸出地點(diǎn)o1、o2和o3的位置則相應(yīng)于輸出端面40上的光學(xué)成像隨著移動，使得在此也相似于像在按相控陣原理的濾光器1上那樣，經(jīng)此位置是能微調(diào)諧這些波長信道的。
通過在輸入端面4和/或在輸出端面40上安裝按本發(fā)明的耦合裝置，由按圖11的濾光器1’變成為按攝譜儀原理的一個可調(diào)諧濾光器。
在圖8和9中示意地以俯視圖表示了光學(xué)衰減器的和光波導(dǎo)開關(guān)的，用按本發(fā)明耦合裝置實(shí)現(xiàn)的一種實(shí)施形式。
在這些實(shí)施形式上互相相對的這些波導(dǎo)端面4和4’不是如在按圖1至7的各耦合裝置上那樣的層波導(dǎo)3和條形波導(dǎo)5的各端面，而是基本上具有相同截面的、各條形光波導(dǎo)5和5’的互相相對的各端面。例如這些條形波導(dǎo)5和5’是相同直徑d的各光纖。
在按圖8的衰減器上相對于纖維5的端面4’僅布置了一個單一其它纖維5的端面4。
在按圖9的波導(dǎo)開關(guān)上，在纖維5的端面4’的對面布置了兩個另外的纖維5’的各并排布置的端面4，并且此移位裝置是如此構(gòu)成的，使得其中一個纖維5的端面4’和另外各纖維5’的各端面4是彼此相對地可移動至少一個在另外各纖維5’的各相鄰端面4之間的間距a的。
這些另外的纖維5’既在衰減器上，也在波導(dǎo)開關(guān)上例如是支承在一個襯底2上的，并且?guī)в袕耐獠靠煽氐囊粋€移位裝置100的按本發(fā)明的一個耦合裝置，便如帶有膨脹元件7的一種移位裝置100用作于移動互相相對的各端面4和4’，支承此端面4’的支承體6是固定在此膨脹元件上的，并且此膨脹元件針對相對于這個或這些端面4為固定的支點(diǎn)8來移動此支承體6。在圖8和9中未表示出用于控制膨脹元件7的膨脹和/或收縮的所必需的控制裝置。
權(quán)利要求
1．用于耦合在兩個端面(4,4’)之間的光的、帶有兩個彼此相對布置波導(dǎo)端面(4,4’)的光學(xué)耦合裝置，其特征在于，一個移位裝置(100)，此移位裝置用于彼此相對于平行于具有一個膨脹元件(7,81)的一個端面(4,4’)地移動兩個端面(4,4’)，此膨脹元件基于元件(7)的空間膨脹和/或收縮彼此相對地移動這些端面(4,4’)。
2．按權(quán)利要求1的耦合裝置，其特征在于，此膨脹元件(7,81)針對一個相對于兩個端面(4,4’)中的一個為固定的支點(diǎn)(8)地在平行于一個端面(4)的方向上膨脹和/或收縮，并且在此相對于固定的支點(diǎn)(8)移動這些另外的端面(4’)。
3．按權(quán)利要求1或2的耦合裝置，其特征在于，這個另外的端面(4’)是支承在一個平行于一個端面(4)可移動的與膨脹元件(7)固定連接的支承體(6)中的。
4．按權(quán)利要求3的耦合裝置，其特征在于，支承體(6)和膨脹元件(7)是一體地構(gòu)成的。
5．按權(quán)利要求3或4的耦合裝置，其特征在于，此支承體(6)是一體的，并且具有一個在其中容納和固定了具有另外的端面(4’)的波導(dǎo)(5)的一個貫通開口(61)。
6．按權(quán)利要求3至5之一的耦合裝置，其特征在于，用于平行于其中一個端面(4)直線導(dǎo)向支承體(6)的一個導(dǎo)向裝置(13)。
7．按權(quán)利要求6的耦合裝置，其特征在于，此導(dǎo)向裝置(13)具有兩個互相相對的和相對于其中一個端面(4)為固定布置的滑動面(90,140)，支承體(6)是布置在這些滑動面之間的，而且支承體(6)是沿這些滑動面平行于其中一個端面(4)地可移動的。
8．按先前各權(quán)利要求之一的耦合裝置，其特征在于，此移位裝置(100)具有用其可控制膨脹元件(7)的膨脹和/或收縮的一個控制裝置(7’)。
9．按權(quán)利要求8的耦合裝置，其特征在于，膨脹元件(7)由壓電材料制成，而此控制裝置(7’)生成作用到此壓電材料上的受控可改變的一個電場強(qiáng)(E)。
10．按權(quán)利要求9或10的耦合裝置，其特征在于，膨脹元件(7)由具有一種熱膨脹系數(shù)(α)的材料制成，而此控制裝置(7’)具有用于受控加熱和/或冷卻膨脹元件(7)的一個裝置。
11．按權(quán)利要求8至10之一的耦合裝置，其特征在于，移位裝置(100)具有相對于其中一個端面(4)為固定的一個伺服電機(jī)(80)，并且具有與此另外的端面(4’)連接的以及由伺服電機(jī)(80)可移動的執(zhí)行機(jī)構(gòu)(81)形式的一個膨脹元件，并且此控制裝置(7’)控制此伺服電機(jī)(80)。
12．按先前各權(quán)利要求之一的耦合裝置，其特征在于，移位裝置(100)具有用于補(bǔ)償一個位置間距(ΔX)的一個補(bǔ)償裝置(70)，此位置間距是介于兩個端面(4,4’)彼此相對占據(jù)的一個相對實(shí)際位置(X)和兩個端面(4,4’)彼此相對應(yīng)占據(jù)的一個相對理論位置(X1)之間的。
13．按權(quán)利要求12的耦合裝置，其中，在相對幾何實(shí)際位置(X)和相對幾何理論位置(X1)之間的位置間距(ΔX)是基本上與出現(xiàn)在耦合器周圍的溫度變化(ΔT)成比例的，其特征在于，補(bǔ)償裝置(70)由具有一種熱膨脹系數(shù)(α)的材料制的膨脹元件(7)制成，并且如此選擇此熱膨脹系數(shù)(α)和膨脹元件(7)的平行于其中一個端面(4)的尺寸，使得膨脹元件(7)的平行于其中一個端面(4)的由溫度變化(ΔT)引起的熱膨脹和/或收縮基本上補(bǔ)償此位置間距(ΔX)，
14．按權(quán)利要求12或13的耦合裝置，其特征在于，此補(bǔ)償裝置(70)具有由壓電材料制的一個膨脹元件(7)、用于求出在相對實(shí)際位置(X)與相對理論位置(X1)之間的位置間距(ΔX)的一個裝置(71)，和用于生成作用到此壓電材料上的以及如此地與所求得位置差別(ΔX)成比例的電場強(qiáng)(E)的一個控制裝置(7’)，使得膨脹元件(7)的由此場強(qiáng)(E)生成的壓電膨脹和/或收縮基本上補(bǔ)償此位置差別(ΔX)。
15．按權(quán)利要求12至14之一的耦合裝置，其特征在于，補(bǔ)償裝置(70)具有相對于其中一個端面(4)為固定的一個伺服電機(jī)(80)和與此另外的端面(4’)連接的以及由伺服電機(jī)(80)可移動的執(zhí)行機(jī)構(gòu)(81)形式的一個膨脹元件，具有用于求出在相對實(shí)際位置(X)和相對理論位置(X1)之間的位置差別(ΔX)的一個裝置(71)和用于如此取決于所求得位置差別(ΔX)地控制伺服電機(jī)(80)的一個控制裝置(7’)，使得此伺服電機(jī)(80)基本上補(bǔ)償位置差別(ΔX)。
16．按先前各權(quán)利要求之一的耦合裝置，其特征在于，兩個端面(4,4’)中的一個(4)是光學(xué)波長濾光器(1)的一個波導(dǎo)(3)的一個端面，它用于光進(jìn)或出濾光器(1)的輸入或輸出。
17．按先前各權(quán)利要求之一的耦合裝置，其特征在于，這些端面(4,4’)是基本上具有相同截面的各光學(xué)條形波導(dǎo)(5,5’,5”)的互相相對的各端面。
18．按權(quán)利要求8至11和17之一的耦合裝置，其特征在于，在一個條形波導(dǎo)(5)的端面(4’)的對面布置了兩個或多個另外的條形波導(dǎo)(5’)的并排布置的各端面(4)，并且此移位裝置(100)是如此構(gòu)成的，使得其中一個條形波導(dǎo)(5)的端面(4’)和各另外的條形波導(dǎo)(5’)的各端面(4)是彼此相對地可在各另外條形波導(dǎo)(5’)的各相鄰端面(4)之間移動至少一個間距(d)。
全文摘要
耦合裝置具有用于彼此相對平行于一個端面(4，4’)地移動兩個波導(dǎo)端面(4，4’)的一個移位裝置(100)，此移動裝置具有基于元件(7)的空間膨脹和/或收縮而彼此相對移動這些端面(4，4’)的一個膨脹元件(7)。用此耦合裝置是能以簡單的方式有利地實(shí)現(xiàn)帶有溫度補(bǔ)償?shù)目烧{(diào)諧光學(xué)多信道濾光器，光學(xué)衰減器和波導(dǎo)開關(guān)的。
文檔編號G02B6/12GK1238841SQ97180102
公開日1999年12月15日 申請日期1997年9月26日 優(yōu)先權(quán)日1996年9月27日
發(fā)明者H·阿爾布雷希特, D·羅森伯格, G·海澤, B·拜爾斯多爾弗, H·米歇爾, A·賴歇特 申請人:西門子公司