專利名稱：彩色顯象管的黑底和生產(chǎn)所述黑底的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及彩色顯象管的黑底、正性光刻膠組合物、保護(hù)吸光基底的試劑和產(chǎn)生所述黑底的方法。
用在彩色顯象管內(nèi)表面的黑底能改善彩色顯象管的對(duì)比性能。這些彩色顯象管(也稱為黑底管)的特征在于在其內(nèi)表面上具有相互交替的吸光條紋和透光條紋的條紋狀結(jié)構(gòu)。從觀察者的位置來看，這些條紋通常是縱向排列的。吸收條紋和透光條紋的寬度在150-190μm的范圍內(nèi)。
迄今為止，這樣的基底都是用負(fù)性光刻膠材料以多步法生產(chǎn)的。將負(fù)性光刻膠材料涂覆在顯象管內(nèi)表面并干燥之。接著用遮光罩進(jìn)行條紋曝光和顯影過程，然后剩下未曝光的負(fù)性光刻膠條紋。隨后將炭黑或石墨的膠體分散體涂覆在彩色顯象管的內(nèi)表面。
然后，在下面的加工步驟中，除去剩下的負(fù)性光刻膠條紋以及石墨和炭黑涂層，使得在加工完成后，形成與透光條紋交替排列的炭黑或石墨的條狀層。
這樣的兩步法(負(fù)-正法)包括高的技術(shù)投入并且需要提供光刻膠和石墨或炭黑分散體。特別是，許多一步法可能影響條紋的周邊區(qū)域，也可能引起條紋的周邊區(qū)域的模糊現(xiàn)象。
EP 91163描述了用于彩色顯象管吸光基底的生產(chǎn)的正工作組合物(positive-working composition)。正工作光刻膠組合物主要包含水解的聚(乙烯醇)、三草酸根合、高鐵酸銨、硝酸鐵和細(xì)碎分散的石墨或炭黑，所述成分被分散在水中。將該懸浮液涂覆在彩色顯象管熒光屏的內(nèi)表面上，干燥并暴露在紫外線輻射下，以獲得所需的結(jié)構(gòu)。
DE 31 42 261 A1報(bào)導(dǎo)了一種在彩色顯象管的凹點(diǎn)內(nèi)部發(fā)光表面之間產(chǎn)生黑底層的方法。其中，在清洗后，也在熒光屏的內(nèi)部涂上光敏性清漆(正耐光性)。該清漆含有作為成膜成分的聚乙烯醇和聚丙烯酸甲酯以及二氯酸鹽光敏劑并且含有作為黑色顏料的石墨。經(jīng)過適當(dāng)?shù)钠毓夂惋@影后，曝光的區(qū)域被完全除去形成了黑底層的正圖象。
由于該光刻膠組合物是正工作型的，在隨后的顯影過程中將曝光賦予水溶性的區(qū)域從表面上除去就足夠了。
然而，看來在黑底生產(chǎn)中使用的已知的正性光刻膠組合物有各種缺點(diǎn)。留在玻璃表面上的吸光部分與待除去的區(qū)域的溶解度差異非常小，從而也可以觀察到非曝光層區(qū)域的也被除去，導(dǎo)致吸收性能和黑底的邊界清晰度的低劣。這一較小的溶解度差異在不注意在整個(gè)過程中不讓光線進(jìn)入內(nèi)部時(shí)變得更為不利。
本發(fā)明是基于下述目的的提供用正性光刻膠組合物產(chǎn)生的黑底，它具有構(gòu)造曝光區(qū)和非曝光區(qū)的良好能力，并且能夠?qū)a(chǎn)生黑底的過程減少到只有幾步。
所述目的通過權(quán)利要求1，2，27和36所述的特征而達(dá)到。
本發(fā)明的進(jìn)一步的新穎之處被描述在從屬權(quán)利要求中。
本發(fā)明提供了多項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)。
從而，在所謂的黑底生產(chǎn)中，可以明顯地減少技術(shù)步驟的數(shù)目。從而，當(dāng)使用本發(fā)明的正性光刻膠組合物和目前的加工技術(shù)時(shí)可以獲得良好的相容性。該基底具有極佳的邊界清晰度和高的光學(xué)密度?；椎钠毓馀c非曝光區(qū)域之間的結(jié)構(gòu)質(zhì)量極佳。保護(hù)性涂層避免了基底的黑色條紋在黑底管的進(jìn)一步加工過程中質(zhì)量受光化學(xué)反應(yīng)的影響或破壞，光化學(xué)反應(yīng)可能損害吸光效應(yīng)。
本發(fā)明權(quán)利要求14的發(fā)展是有利的。在該組合物中使用的聚羥基苯乙烯似乎具有極佳的薄層形成性能。通過轉(zhuǎn)變?yōu)閷?shí)質(zhì)上為相應(yīng)于本發(fā)明權(quán)利要求19的發(fā)展的水不溶性叔丁氧羰基聚羥基苯乙烯(Boc-PHS)，它是以含水懸浮液的形式使用的。由于Boc-聚羥基苯乙烯是酸敏感性的，可以通過加入基于鎓鹽的光引發(fā)劑并且在UV輻射的影響下進(jìn)行Boc具有的去除，釋放出酸，適當(dāng)聚羥基苯乙烯取得一定程度的溶解性。根據(jù)本發(fā)明，必須將正性光刻膠組合物的pH值保持在中性的范圍內(nèi)，以便不干擾酸-催化的Boc基團(tuán)去除的反應(yīng)過程。因此，本發(fā)明的組合物表現(xiàn)良好的先決條件是在生產(chǎn)和技術(shù)過程的應(yīng)用中都要穩(wěn)定地控制pH值。
根據(jù)本發(fā)明，在正性構(gòu)造吸光基底時(shí)，推薦使用在250-450nm范圍的波長下釋放氣體的化合物。
通過添加適宜的顯影步驟，可以獲得基底所需的結(jié)構(gòu)。該效果可以通過在UV曝光過程中附加出現(xiàn)的溶解度變化得到增強(qiáng)。
為了獲得所述的效果，可以使用光敏性聚合物以及聚合物與光敏性成分的混合物。
根據(jù)本發(fā)明，推薦使用暴露在光線下時(shí)釋放氮?dú)?、二氧化碳、碳?xì)浠衔?、氧氣或醛的化合物?br> 釋放單體的化合物特別包括疊氮化物和雙疊氮化物例如4’，4’-二疊氮基均二苯基乙烯-2，2’-二磺酸或其鹽，對(duì)硝基苯基疊氮，?；B氮例如鄰苯二甲酰疊氮，二疊氮化物例如苯醌二疊氮化物、萘醌疊氮化物、偶氮和/或重氮化合物例如偶氮二異丁腈、苯基偶氮三苯基甲烷、N，N’-偶氮咔唑，含有至少兩個(gè)相鄰氮原子的雜環(huán)例如三唑、四唑、悉尼酮、三唑酮和噻二唑，二嗪例如環(huán)己烷二嗪以及重氮鹽例如取代的苯重氮鹽。
在可以有利使用的釋放二氧化碳的化合物中，可以提及二氧戊酮或唑酮例如2-氧代-5-(2，4，6-三甲基苯基)-1，3，4-二噁唑，過氧化羧酸或其酯例如過乙酸叔丁酯，過氧化酰基例如過氧化苯甲酰和過氧化鄰苯二甲酰、可光脫羧的羧酸例如丙基巰基乙酸和吡啶基乙酸和碳酸酯和碳酸衍生物例如叔丁氧羰基氧基芳族化合物。
在釋放氧氣的化合物中，可以提及過氧化氫例如過氧化叔丁基、過氧化二叔丁基和蒽橋過氧化物、二氧雜環(huán)丁烷例如金剛烷二氧雜環(huán)丁烷金剛烷和臭氧化物。
在當(dāng)暴露在光線下時(shí)釋放醛的化合物中，聚氧化亞甲基或相應(yīng)的共聚物或共縮合物特別適用于本發(fā)明。
在釋放碳?xì)浠衔锏奈镔|(zhì)中，可以使用碳酸烷基芳基酯，特別是叔丁氧羰基苯酚。
含有不溶性化合物以及黑色顏料的正性光刻膠組合物通常是懸浮液的形式，該形式也用來涂覆熒光屏的內(nèi)表面。水被證明是一種特別有利的懸浮劑。然而，可以使用水與有機(jī)溶劑的混合物，或者使用純的有機(jī)溶劑。為此，水溶性醇和酯及其多元醇和酯是特別適宜的，水溶性酮例如丙酮也是適宜的。
本發(fā)明的正性光刻膠組合物最好含有懸浮穩(wěn)定和/或粘合促進(jìn)添加劑。
由于含有懸浮的聚合物和黑色顏料，所以必須加入表面活性物質(zhì)，以免極小的聚合物和顏料顆粒附聚成較大的顆粒，從而限制了懸浮液的穩(wěn)定性。通常加入選自離子型和非離子表面活性材料的本身已知的穩(wěn)定劑。
此外，還含有本身已知的潤濕促進(jìn)添加劑，它們也同樣選自非離子和離子型表面活性材料。
由于本發(fā)明的正性光刻膠組合物是用來涂覆熒光屏體的玻璃內(nèi)表面以形成吸光基底的，所以在光刻膠組合物中加入粘合促進(jìn)物質(zhì)是適當(dāng)?shù)模@樣就可以使本發(fā)明的懸浮液與玻璃表面充分牢固的結(jié)合，特別是在干燥之后。本身已知烷氧基硅烷(例如N-(β-氨基乙基)-γ-氨基丙基三甲氧基硅烷)特別使用于本發(fā)明的目的。
在本發(fā)明的光刻膠組合物中，懸浮穩(wěn)定和潤濕促進(jìn)以及粘合促進(jìn)添加劑的濃度非常低。懸浮穩(wěn)定、表面活性材料的濃度在很大程度上取決于黑色顏料顆粒的大小及其濃度。
這時(shí)，在熒光屏內(nèi)部形成吸光基底的未曝光的正性光刻膠是完全反應(yīng)性的。因?yàn)樵诓噬@象管的生產(chǎn)過程中，例如在隨后的發(fā)光材料條紋的產(chǎn)生期間，進(jìn)一步的紫外光曝光和加溫干燥處理是必須的，通過過程中的水的作用，隨后的紫外光曝光所賦予正性光刻膠的水溶性可能引起基底結(jié)構(gòu)的破壞，產(chǎn)生了發(fā)光材料條紋。根據(jù)本發(fā)明，在黑色基底的最終產(chǎn)生中，因此在將吸光基底的顯影和干燥之后，涂覆水溶性保護(hù)層。根據(jù)本發(fā)明，這是用保護(hù)基底的試劑(實(shí)質(zhì)上是光刻膠)來進(jìn)行的。在將該位于黑色條紋涂上該薄層并將其復(fù)蓋后，通過紫外線曝光使本發(fā)明的試劑成為水溶性的，從而避免了黑色條紋的去除。
通過改變本發(fā)明試劑的濃度一般都能夠調(diào)整粘度、薄層厚度和敏感性。涂覆試劑的光固化是用300-450nm的紫外光、通過將所述試劑復(fù)蓋的熒光屏部分的整個(gè)內(nèi)表面均勻曝光來進(jìn)行的。如此產(chǎn)生的保護(hù)層完全復(fù)蓋了基底結(jié)構(gòu)，使其免受用來產(chǎn)生發(fā)光材料層的液體和懸浮液(它通常在熒光屏生產(chǎn)的后續(xù)步驟中有可能引起基底結(jié)構(gòu)的改變或破壞)的侵害。
總而言之，本發(fā)明的生產(chǎn)彩色顯象管黑底的方法是特征是采用下述的各分步驟-通過旋轉(zhuǎn)涂覆、噴涂或其它適宜的方法將本發(fā)明的光刻膠涂在熒光屏的內(nèi)表面上。-用紅外輻射干燥光刻膠涂層。-必要時(shí)，用300-450nm范圍的紫外光并使用高壓汞燈或高壓氙燈將整個(gè)涂覆并干燥的光刻膠層預(yù)先曝光。-必要時(shí)，對(duì)光刻膠進(jìn)行后烘烤，-用pH值為7-12的水將基底結(jié)構(gòu)顯影，其中顯影溫度可以高達(dá)80℃。在顯影期間，顯影液均勻地涂覆在熒光屏的內(nèi)部，通過旋轉(zhuǎn)熒光屏部分涂布并離心。-將獲得的基底用紅外輻射干燥和/或用熱空氣進(jìn)行空氣干燥。-通過旋轉(zhuǎn)涂覆涂上保護(hù)層，干燥并暴露在紫外光下。
下述實(shí)施方案將更詳細(xì)地描述本發(fā)明。實(shí)施例1將50克固體含量為10％(重量)的石墨懸浮液與0.4克四氟硼酸二苯基碘翁在攪拌下混合，用1％對(duì)甲苯磺酸水溶液滴定至pH值為7±0.5。然后，在劇烈攪拌和/或超聲波浴下加入61克固體含量為14.3％(重量)、Boc水平為大約98％的親水化聚(對(duì)羥基苯乙烯-Boc)，將混合物均化。用如此獲得的黑色顏料化光刻膠在彩色顯象管熒光屏內(nèi)表面上形成厚度為1.2μm的均勻薄層。將薄層在60℃下干燥1分鐘，接著用超高壓汞燈(HBO 500)以2-5mJ/cm2的強(qiáng)度進(jìn)行曝光。用60℃的熱水將經(jīng)曝光的薄層顯影30秒。隨后，將結(jié)構(gòu)涂覆的底材離心至干。實(shí)施例2將25克固體含量為10％(重量)的石墨懸浮液與0.2克六氟銻酸三苯基砜在攪拌下混合，用1％對(duì)甲苯磺酸水溶液滴定至pH值為7±0.5。然后，在劇烈攪拌和/或超聲波浴下加入30克固體含量為14.3％(重量)、Boc水平為大約98％的親水化聚(對(duì)羥基苯乙烯-Boc)，將混合物均化。用如此獲得的黑色顏料化光刻膠在彩色顯象管熒光屏內(nèi)表面上形成厚度為1.3μm的均勻薄層。將薄層在60℃下干燥1分鐘，接著用超高壓汞燈(HBO 500)以2-5mJ/cm2的強(qiáng)度進(jìn)行曝光。用60℃的熱水將經(jīng)曝光的薄層顯影25秒。隨后，將結(jié)構(gòu)涂覆的底材離心至干。實(shí)施例3將40克固體含量為10％(重量)的石墨懸浮液與2.3克1％鎓鹽光引發(fā)劑混合，用1％對(duì)甲苯磺酸水溶液滴定至pH值為7±0.5。然后，在劇烈攪拌和/或超聲波浴下加入49克固體含量為14.3％(重量)、Boc水平高于98％的親水化聚(對(duì)羥基苯乙烯-Boc)，將混合物均化。用如此獲得的黑色顏料化光刻膠在彩色顯象管熒光屏內(nèi)表面上形成厚度為1.5μm的均勻薄層。將薄層在60℃下干燥1分鐘，接著用超高壓汞燈(HBO 500)以2-5mJ/cm2的強(qiáng)度進(jìn)行曝光。用60℃的熱水將經(jīng)曝光的薄層顯影25秒。隨后，將結(jié)構(gòu)涂覆的底材離心至干。在加工條件下，將正性光刻膠組合物均化很重要，以免懸浮顆粒的沉積。實(shí)施例4在超劇烈攪拌下，將3.56公斤聚乙烯基吡咯烷酮(K90)溶解在50升水中。然后，加入0.75公斤二疊氮均二苯基乙烯二磺酸(DAS)。用氫氧化鈉將pH值調(diào)節(jié)至7.5。在劇烈攪拌下向該混合物中加入石墨懸浮液。48小時(shí)后，在超聲波浴中將該黑色顏料化的正性光刻膠組合物均化。用如此獲得的黑色顏料化光刻膠在彩色顯象管熒光屏內(nèi)表面上形成厚度為1.2μm的均勻薄層。將薄層在60℃下干燥1分鐘，接著用超高壓汞燈(HBO 500)以2-5mJ/cm2的強(qiáng)度進(jìn)行曝光。用60℃的熱水將經(jīng)曝光的薄層顯影25秒。隨后，將結(jié)構(gòu)涂覆的底材離心至干。實(shí)施例5在攪拌下，將50克石墨懸浮液加到50公斤市售的NONCHRON型光刻膠中。48小時(shí)后，將該混合物在超聲波浴中攪拌。用如此獲得的黑色顏料化光刻膠在彩色顯象管熒光屏內(nèi)表面上形成厚度為1μm的均勻薄層。將薄層在60℃下干燥1分鐘，接著用超高壓汞燈(HBO 500)以2-5mJ/cm2的強(qiáng)度進(jìn)行曝光15秒。用60℃的熱水將經(jīng)曝光的薄層顯影35秒。隨后，將結(jié)構(gòu)涂覆的底材離心至干。實(shí)施例6將15.0克式A的對(duì)疊氮基二苯胺樹脂
(式中X＝[ZnCl3]-且n＝7-12)溶解在200毫升水中。在劇烈攪拌下向該混合物中加入250毫升10％(重量)石墨懸浮液。12小時(shí)的強(qiáng)烈攪拌之后，將懸浮液進(jìn)行Turrax均化(10,000min-1)20分鐘。通過旋轉(zhuǎn)涂覆黑色顏料化光刻膠在玻璃上制得1.0-1.5μm厚的薄層。用超高壓汞燈(HBO 500)以2-5mJ/cm2的強(qiáng)度進(jìn)行曝光10秒。用40℃的熱水顯影10秒。將結(jié)構(gòu)涂覆的底材離心至干。實(shí)施例7將10克式A的對(duì)疊氮基二苯胺樹脂(式中X＝[ZnCl3]-且n＝7-12)和5克聚乙烯基吡咯烷酮溶解在200毫升水中。在劇烈攪拌下向該混合物中加入250毫升10％(重量)石墨懸浮液。12小時(shí)的強(qiáng)烈攪拌之后，將懸浮液進(jìn)行Turrax均化(10,000min-1)20分鐘。通過旋轉(zhuǎn)涂覆黑色顏料化光刻膠在玻璃上制得1.0-1.5μm厚的薄層。用超高壓汞燈(HBO 500)以2-5mJ/cm2的強(qiáng)度進(jìn)行曝光10秒。用40℃的熱水顯影10秒。將結(jié)構(gòu)涂覆的底材離心至干。
將保護(hù)性涂料涂在實(shí)施例1-7中產(chǎn)生的基底結(jié)構(gòu)上。實(shí)施例8在攪拌下向150克軟水中加入2.1克8.5％(重量)PVA-Moviol 40-88溶液。將該P(yáng)VA溶液攪拌后，攪拌加入5毫升1％(重量)重鉻酸銨(ADC)溶液。從該P(yáng)VA/ADC溶液中加入新鮮制備的1.7克硅酸乙酯在100毫升軟水中的溶液，接著加入50毫升軟水，攪拌15分鐘。將該預(yù)涂覆溶液涂在用水預(yù)先潤濕的基底結(jié)構(gòu)上，接著離心、干燥。用UV光以0.5-3mJ/cm2的強(qiáng)度將該預(yù)涂層光固化。實(shí)施例9將聚烯基吡咯烷酮K90(PVP)溶解在軟水中，制得6％(重量)的溶液。將二疊氮均二苯基乙烯二磺酸二鈉鹽(DAS)溶解在軟水中，制得3％(重量)的溶液。
為了制備預(yù)涂覆溶液，將37克PVP溶液(6％(重量))，7克DAS溶液(3％(重量))，和63克軟水一起攪拌30分鐘，接著在攪拌下加入900毫升軟水。
然后，加入10毫升1.7％(重量)硅酸乙酯溶液，繼續(xù)攪拌15分鐘。
將該預(yù)涂覆溶液涂在用水預(yù)先潤濕的基底結(jié)構(gòu)上，接著離心、干燥。用UV光以0.5-5mJ/cm2的強(qiáng)度將該預(yù)涂層光固化。
權(quán)利要求
1.由吸光基底和保護(hù)該吸光基底的試劑組成的彩色顯像管的黑底，所述吸光基底可以從由一種懸浮液構(gòu)成的正性光刻膠組合物生產(chǎn)得到，該懸浮液含有-一種或多種當(dāng)暴露在光線中時(shí)直接或間接釋放氣態(tài)化合物的化合物，-黑色顏料，和-懸浮穩(wěn)定劑、潤濕促進(jìn)劑和/或粘合促進(jìn)劑添加劑；所述保護(hù)吸光基底的試劑可以從負(fù)性光刻膠組合物生產(chǎn)得到，該負(fù)性光刻膠組合物由下述物質(zhì)組成-水溶性有機(jī)聚合物，-交聯(lián)光化成分，-硅酸烷基酯，和-水，所述試劑的pH值為6-7.5。
2.用于生產(chǎn)彩色顯像管黑底的正性光刻膠組合物，它由一種包含下述物質(zhì)的懸浮液組成，所述懸浮液含有-一種或多種當(dāng)暴露在光線中時(shí)直接或間接釋放氣態(tài)化合物的化合物，-黑色顏料，和-懸浮穩(wěn)定劑、潤濕促進(jìn)劑和/或粘合促進(jìn)劑添加劑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2的正性光刻膠組合物，其特征在于當(dāng)暴露在光線中時(shí)釋放氣態(tài)化合物的化合物可以被轉(zhuǎn)變?yōu)檎尫拧?br> 4.根據(jù)權(quán)利要求1-3的正性光刻膠，其特征在于氣體釋放化合物是聚合物或聚合物與光敏性化合物的組合。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4的正性光刻膠，其特征在于釋放的氣體是N2，CO2，O2，醛和/或碳?xì)浠衔铩?br> 6.根據(jù)權(quán)利要求5的正性光刻膠組合物，其特征在于氮?dú)忉尫呕衔锸钳B氮化物、雙疊氮化物、二疊氮化物、偶氮和二氮化合物、具有至少兩個(gè)相鄰氮原子的雜環(huán)化合物、二嗪和/或重氮鹽。
7.根據(jù)權(quán)利要求5的正性光刻膠組合物，其特征在于釋放二氧化碳的化合物是唑酮、二氧戊酮、過氧化羧酸或其酯、過氧化二?；⒖晒饷擊鹊聂人?、碳酸酯和/或碳酸衍生物。
8.根據(jù)權(quán)利要求5的正性光刻膠組合物，其特征在于釋放氧氣的化合物是有機(jī)氫過氧化物、有機(jī)過氧化物、二氧雜環(huán)丁烷和/臭氧化物。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-9的正性光刻膠組合物，其特征在于釋放醛的化合物是聚甲醛或相應(yīng)的共聚物或共縮聚物。
10.根據(jù)權(quán)利要求5的正性光刻膠組合物，其特征在于釋放二氧化碳和碳?xì)浠衔锏幕衔锸荁oc取代的聚合酚或酚醛樹脂。
11.根據(jù)權(quán)利要求1-10的正性光刻膠組合物，其特征在于暴露在光線下時(shí)直接或間接釋放氣態(tài)化合物的化合物具有成膜性。
12.根據(jù)權(quán)利要求1-10的正性光刻膠組合物，其特征在于還含有成膜聚合物或聚合物分散體。
13.根據(jù)權(quán)利要求1-12的正性光刻膠組合物，其特征在于含有作為懸浮劑的水和/或有機(jī)溶劑。
14.根據(jù)權(quán)利要求1-5和11的正性光刻膠組合物，它由包含下述物質(zhì)的含水懸浮液構(gòu)成-疏水化聚羥基苯乙烯-黑色顏料-在250和450nm處吸收的鎓鹽光引發(fā)劑，和-懸浮穩(wěn)定劑、潤濕促進(jìn)劑和/或粘合促進(jìn)劑添加劑。
15.根據(jù)權(quán)利要求14的正性光刻膠組合物，其特征在于在含水分散劑中含有-4-15％(重量)疏水水平至少為75％的疏水化聚羥基苯乙烯-1.5-8％(重量)的黑色顏料-至少0.01％(重量)的在250-450nm之間吸收的鎓鹽光引發(fā)劑，和-懸浮穩(wěn)定劑、潤濕促進(jìn)劑和/或粘合促進(jìn)劑添加劑。
16.根據(jù)權(quán)利要求14或15的正性光刻膠組合物，其特征在于含有二芳基碘鎓鹽和/或三芳基锍鹽作為鎓鹽光引發(fā)劑。
17.根據(jù)權(quán)利要求14-16的正性光刻膠組合物，其特征在于含有烷氧羰基聚羥基苯乙烯或芳氧羰基聚羥基苯乙烯作為疏水化聚羥基苯乙烯。
18.根據(jù)權(quán)利要求14-17的正性光刻膠組合物，其特征在于含有叔丁氧羰基聚羥基苯乙烯作為疏水化聚羥基苯乙烯。
19.根據(jù)權(quán)利要求14-18的正性光刻膠組合物，其特征在于含有叔丁氧羰基聚(對(duì)羥基苯乙烯)。
20.根據(jù)權(quán)利要求14-19的正性光刻膠組合物，其特征在于聚羥基苯乙烯的烷基化水平為0-100％。
21.根據(jù)權(quán)利要求14-20的正性光刻膠組合物，其特征在于聚羥基苯乙烯的烷基化水平為0-50％。
22.根據(jù)權(quán)利要求1-21的正性光刻膠組合物，其特征在于含有金屬、金屬氧化物和/或金屬鹽作為黑色顏料。
23.根據(jù)權(quán)利要求1-22的正性光刻膠組合物，其特征在于黑色顏料是石墨和/或炭黑。
24.根據(jù)權(quán)利要求1-23的正性光刻膠組合物，其特征在于黑色顏料的粒度為0.05-10μm。
25.根據(jù)權(quán)利要求1-24的正性光刻膠組合物，其特征在于含水懸浮液的pH值為4.5-9。
26.根據(jù)權(quán)利要求1-25的正性光刻膠組合物，其特征在于含水懸浮液的pH值為7±1。
27.保護(hù)彩色顯象管黑底用試劑，它是用包含下述物質(zhì)的負(fù)性光刻膠組合物制備的-水溶性有機(jī)聚合物，-鉻鹽，-硅酸烷基酯，和-水，其中，該試劑的pH值在6-7.5之間。
28.根據(jù)權(quán)利要求1或27的試劑，其特征在于含有聚乙烯醇、聚乙烯基吡咯烷酮、聚酰胺和/或聚酰亞胺。
29.根據(jù)權(quán)利要求1、27或28的試劑，其特征在于含有堿和/或二鉻酸銨和/或二疊氮基均二苯代乙烯二磺酸二鈉鹽作為光化成分。
30.根據(jù)權(quán)利要求1和27-29的試劑，其特征在于含有硅酸乙酯作為硅酸烷基酯。
31.根據(jù)權(quán)利要求1和27-30的試劑，其特征在于pH值為6.3-7.0。
32.根據(jù)權(quán)利要求1和27-31的試劑，它由水組成并且含有0.050-0.50％的水溶性有機(jī)聚合物，0.010-0.050％的交聯(lián)光化成分，和0.002-0.020％的硅酸烷基酯。
33.根據(jù)權(quán)利要求1和27-32的試劑，它在300-450nm的范圍內(nèi)是可光交聯(lián)的。
34.根據(jù)權(quán)利要求1-26的試劑，其特征在于含有諸如粘合劑之類的薄層穩(wěn)定物質(zhì)。
35.根據(jù)權(quán)利要求34的試劑，其特征在于薄層穩(wěn)定物質(zhì)是可溶性無機(jī)或有機(jī)聚合物。
36.通過用光刻膠組合物涂覆屏幕內(nèi)表面來產(chǎn)生彩色顯象管的吸光基底的方法，其特征在于-用權(quán)利要求1的光刻膠組合物涂覆屏幕內(nèi)表面，-隨后干燥該薄層，-將該薄層暴露在波長為250-450nm的光線下以進(jìn)行結(jié)構(gòu)曝光，-用溫度為40-80℃的水使薄層顯色，-將形成的基底干燥，-給整個(gè)基底涂上保護(hù)層。
37.根據(jù)權(quán)利要求36的方法，其特征在于整個(gè)薄層的預(yù)曝光是在所述結(jié)構(gòu)曝光之前進(jìn)行的。
38.根據(jù)權(quán)利要求36或37的方法，其特征在于顯影水的pH值為7-12。
39.根據(jù)權(quán)利要求36-38的方法，其特征在于在顯影步驟之前在40-150℃下進(jìn)行溫度處理，隨后用水進(jìn)行顯影。
40.根據(jù)權(quán)利要求1-26，34，35中任一項(xiàng)所述的正性光刻膠組合物，它由包含下述物質(zhì)的懸浮液組成-聚乙烯基吡咯烷酮，-黑色顏料，-4，4’-二疊氮基均二苯代乙烯-2，2’-二磺酸二鈉鹽，和-表面活性劑。
41.根據(jù)權(quán)利要求40的表面活性劑，其特征在于含水懸浮劑含有-1-8％(重量)的K值為60-120的聚乙烯基吡咯烷酮，-1-8％(重量)的黑色顏料，-0.1-3％(重量)的4，4’-二疊氮基均二苯代乙烯-2，2’-二磺酸二鈉鹽，和-不超過2％(重量)的添加劑。
42.根據(jù)權(quán)利要求40或41的正性光刻膠組合物，其特征在于在與光刻膠混合之前，黑色顏料是固體的形式或者是還含有不超過10％(重量)聚合物粘合劑的固體或懸浮液的形式。
43.根據(jù)權(quán)利要求40-42的正性光刻膠組合物，其特征在于還含有作為表面活性劑的脂肪酸。
全文摘要
本發(fā)明涉及彩色顯像管的黑底、正性光刻膠組合物、保護(hù)黑底的試劑和產(chǎn)生所述黑底的方法。本發(fā)明的目的是提供用正性光刻膠組合物產(chǎn)生的黑底,它具有構(gòu)造曝光區(qū)和非曝光區(qū)的良好能力,并且能夠?qū)a(chǎn)生黑底的過程減少到只有幾步。所述目的通過使用由吸光基底構(gòu)成的黑底而得以實(shí)現(xiàn),它可以從正性光刻膠制備,該正性光刻膠是一種包含下述物質(zhì)的懸浮液:一種或多種當(dāng)暴露在光線中時(shí)間接或直接釋放氣態(tài)化合物的化合物、黑色顏料和懸浮穩(wěn)定劑、潤濕促進(jìn)劑和/或粘合促進(jìn)劑;用來保護(hù)吸光基底的試劑,它可以由負(fù)性光刻膠組合物制得,該負(fù)性光刻膠組合物包含水溶性有機(jī)聚合物、交聯(lián)光化成分、硅酸烷基酯和水,所述試劑的pH值在6—7.5之間。
文檔編號(hào)G03F7/004GK1178031SQ97190036
公開日1998年4月1日 申請(qǐng)日期1997年1月21日 優(yōu)先權(quán)日1996年1月24日
發(fā)明者A·維佩爾特, G·格魯茨內(nèi)爾, K·舒爾澤馬泰, J·奔迪, K·吐梅爾 申請(qǐng)人:三星電管株式會(huì)社