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聚苯并噁唑樹脂及其前體的制作方法

文檔序號(hào):2750126閱讀:190來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:聚苯并噁唑樹脂及其前體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明是關(guān)于電特性、熱特性、機(jī)械特性及物理特性優(yōu)良的聚苯并噁唑樹脂,適宜作半導(dǎo)體用的層間絕緣膜、保護(hù)膜、多層線路的層間絕緣膜、彈性銅板的保護(hù)層、焊料保護(hù)膜、液晶定向膜等。
在半導(dǎo)體材料中,根據(jù)所需要的特性,在各個(gè)部分可使用無(wú)機(jī)系材料、有機(jī)系材料等各種材料。例如,作為半導(dǎo)體用的層間絕緣膜,可使用以化學(xué)氣相法等制作的二氧化硅等無(wú)機(jī)絕緣膜。然而,近年來(lái)伴隨著半導(dǎo)體的高功能化、高性能化,因?yàn)槎趸璧葻o(wú)機(jī)絕緣膜存在介電常數(shù)高、脆弱、吸水率高等問(wèn)題,難以適用。作為對(duì)它們改進(jìn)的手段之一,正在研究使用有機(jī)系材料。
作為半導(dǎo)體使用的有機(jī)材料,有耐熱性、機(jī)械特性等優(yōu)良的聚酰亞胺樹脂,可以用作焊料保護(hù)膜、復(fù)蓋層、液晶定向膜等。然而,聚酰亞胺樹脂,在酰亞胺環(huán)中具有2個(gè)羰基,所以通常在電特性和吸水性方面存在問(wèn)題。對(duì)于這些問(wèn)題,試圖通過(guò)向高分子內(nèi)引入氟以及三氟甲基,改進(jìn)電特性和吸水性,及耐熱性。但,當(dāng)前還沒有達(dá)到所要求的水準(zhǔn)。
從這種情況考慮,正試圖將比聚酰亞胺樹脂更能顯示優(yōu)良電特性和吸水特性性能的聚苯并噁唑樹脂用于半導(dǎo)體用的絕緣材料。聚苯并噁唑樹脂很容易滿足電特性、熱特性或物理特性中的任何一個(gè)特性,例如,由4,4’-二氨基-3,3’-二羥基聯(lián)苯和對(duì)酞酸合成的聚苯并噁唑樹脂,具有非常好的耐熱分解性、高Tg等耐熱性,但介電常數(shù)、介質(zhì)損耗因數(shù)等電特性還不太好。由2,2’-二(3-氨基-4-羥基苯)六氟丙烷和對(duì)酞酸合成的聚苯并噁唑樹脂,雖然顯示出低介電常數(shù)等良好的電特性,但,耐熱性等不太好。這樣,當(dāng)前的現(xiàn)狀是還沒有獲得電特性、熱特性、及物理特性都優(yōu)良的樹脂。
本發(fā)明的目的是提供一種電特性、熱特性、及低吸水性都優(yōu)良的耐熱性樹脂。
本發(fā)明者們鑒于上述存在的問(wèn)題,經(jīng)過(guò)大量研究結(jié)果發(fā)現(xiàn)了以一般式(1)、(3)、和(5)表示的聚苯并噁唑前體
和以一般式(2)、(4)和(6)表示的聚苯并噁唑樹脂,并由此完成了本發(fā)明,以一般式(2)表示的聚苯并噁唑樹脂是由以一般式(1)表示的聚苯并噁唑前體獲得的,以一般式(4)的樹脂是由一般式(3)的前體獲得的,而一般式(6)的樹脂是由以一般式(5)的前體獲得的
但是,一般式(1)、(3)和(5)中,及一般式(2)、(4)和(6)中的n表示2~1000的整數(shù)。Rf1和Rf2是H或CmF2m+1,至少一方是CmF2m+1,兩者可以相同,也可以不同。m表示1-10的整數(shù)。X表示2價(jià)的有機(jī)基。
在合成本發(fā)明的聚苯并噁唑前體和樹脂時(shí),使用的二氨基酚化合物是以一般式(7)表示的,例如,可以舉出有2,2’-二(3-氨基-4-羥基-5-三氟甲基苯)六氟丙烷、2,2’-二(3-氨基-4-羥基-6-三氟甲基苯)六氟丙烷、2,2’-二(3-氨基-4-羥基-2-三氟甲基苯)六氟丙烷、2,2’-二(4-氨基-3-羥基-5-三氟甲基苯)六氟丙烷、2,2’-二(4-氨基-3-羥基-6-三氟甲基苯)六氟丙烷、2,2’-二(4-氨基-3-羥基-2-三氟甲基苯)六氟丙烷、2,2’-二(3-氨基-4-羥基-5-五氟乙基苯)六氟丙烷、2-(3-氨基-4-羥基-5-三氟甲基苯)-2’-(3-氨基-4-羥基-5-五氟乙基苯)六氟丙烷、2-(3-氨基-4-羥基-5-三氟甲基苯)-2’-(3-羥基-4-氨基-5-三氟甲基苯)六氟丙烷、2-(3-氨基-4-羥基-5-三氟甲基苯)-2’-(3-羥基-4-氨基-6-三氟甲基苯)六氟丙烷、2-(3-氨基-4-羥基-5-三氟甲基苯)-2’-(3-羥基-4-氨基-2-三氟甲基苯)六氟丙烷、2-(3-氨基-4-羥基-2-三氟甲基苯)-2’-(3-羥基-4-氨基-5-三氟甲基苯)六氟丙烷、2-(3-氨基-4-羥基-6-三氟甲基苯)-2’-(3-羥基-4-氨基-5-三氟甲基苯)六氟丙烷等??梢詫⑦@些二氨基酚化合物單獨(dú)、或2種以上組合使用。例如,4,4’-二氨基-3,3’-二羥基聯(lián)苯和2,2’-二(3-氨基-4-羥基苯)六氟丙烷等不符合一般式(7)的二氨基酚化合物,可以在不損害性能的范圍內(nèi)同時(shí)并用。
(式(7)中,Rf1和Rf2是H或CmF2m+1,至少一方是CmF2m+1,兩者可以相同,或不同。m是表1-10的整數(shù)。氨基和羥基互為鄰位關(guān)系。)m在10以下,最好在3以下。大于10時(shí),介電常數(shù)降低了,影響到耐熱性、機(jī)械特性變壞。
在合成本發(fā)明的聚苯并噁唑前體和樹脂時(shí),對(duì)于所使用的二羧酸是以一般式(8)表示,例如有3-氟異酞酸、2-氟異酞酸、3-氟酞酸、2-氟酞酸、2-氟對(duì)酞酸、2,4,5,6-四氟異酞酸、3,4,5,6-四氟酞酸、4,4’-六氟異亞丙基二苯1,1’-二羧酸、全氟辛二酸、2,2’-二(三氟甲基)-4,4’-聯(lián)苯撐二羧酸、3,3’-二(三氟甲基)-4,4’-聯(lián)苯撐二羧酸、2,2’-二(三氟甲基)-5,5’-聯(lián)苯撐二羧酸、3,3’-二(三氟甲基)-5,5’-聯(lián)苯撐二羧酸、4,4’-二(三氟甲基)-5,5’-聯(lián)苯撐二羧酸、4,4’-聯(lián)苯二羧酸、2,2’-聯(lián)苯二羧酸、萘撐-1,4-二羧酸、萘撐-1,5-二羧酸、萘撐-1,6-二羧酸、萘撐-2,6-二羧酸、二(4-羧基苯)磺基、二(3-羥基苯)磺基、對(duì)酞酸、異酞酸、4,4’-氧二苯-1,1’-二羧酸等,也不一定僅限于這些。這些二羧酸可單獨(dú)使用,也可2種以上組合使用。
HO2C-X-CO2H(8)(式(8)中,X表示2價(jià)有機(jī)基。)制造本發(fā)明聚苯并噁唑前體的方法有將上述一般式(7)表示的二氨基酚化合物和上述一般式(8)表示的二羧酸,在聚磷酸和二環(huán)己基碳化二亞胺等脫水縮合劑的存在下進(jìn)行縮合反應(yīng)的方法,將上述一般式(7)表示的二氨基酚化合物和上述一般式(8)表示的二羧酸的酸性氯化物,進(jìn)行脫鹽酸縮合反應(yīng)的酸性氯化物法和活性酯法等。
以酸性氯化物法合成聚苯并噁唑前體為例,首先,在有N,N-二甲基甲酰胺等催化劑存在下,使二羧酸4,4’-六氟異丙撐二苯-1,1’-二羧酸和過(guò)量的氯化亞硫酰,在室溫~75℃下進(jìn)行反應(yīng),利用加熱和減壓將過(guò)剩的氯化亞硫酰蒸餾去除。隨后,用己烷等溶劑將殘?jiān)M(jìn)行再結(jié)晶,得到酸性氯化物4,4’-六氟異丙撐二苯-1,1’-二羧酸氯化物。接著,將得到的4,4’-六氟異丙撐二苯-1,1’-二羧酸氯化物和二氨基酚化合物2,2’-二(3-氨基-4-羥基-5-三氟甲基苯)六氟丙烷,溶解在N-甲基-2-吡咯烷酮等極性溶劑中,在吡啶等酸性接收劑存在下,在-30℃~室溫下進(jìn)行反應(yīng),可制得聚苯并噁唑前體。
以上述一般式(2)、(4)和(6)表示的本發(fā)明聚苯并噁唑樹脂,可以將獲得的上述一般式(1)、(3)、和(5)表示的聚苯并噁唑前體,以老方法,通過(guò)加熱或以脫水劑處理進(jìn)行縮合反應(yīng)而制得。這種樹脂中,可根據(jù)需要,添加作為各種添加劑的表面活性劑和偶合劑等,可用作半導(dǎo)體用層間絕緣膜、保護(hù)膜、多層線路的層間絕緣膜、彈性銅板的保護(hù)涂層,焊料保護(hù)膜、液晶定向膜等。
本發(fā)明中的聚苯并噁唑樹脂的前體,可以和作為感光劑的萘醌二疊氮化合物一起使用,用作感光性樹脂組合物。
本發(fā)明的聚苯并噁唑前體,通常將其溶解在溶劑中,最好制成清漆狀使用。作為溶劑,例如有N-甲基-2-比咯烷酮、r-丁內(nèi)酯、N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、二甲基亞砜、二乙基醚、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇二乙基醚、二乙二醇二丁基醚、丙二醇單甲基醚、二丙二醇單甲基醚、丙二醇單甲基醚乙酸酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、甲基-1,3-丁二醇乙酸酯、1,3-丁二醇-3-單甲基醚丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、甲基-3-甲氧丙酸酯、甲基乙基酮、甲基異丁基酮等,可以單獨(dú)使用,也可以2種以上混合使用。
使用本發(fā)明的聚苯并噁唑前體時(shí),將上述前體溶解于上述溶劑中,涂布在適當(dāng)?shù)妮d體上,例如玻璃、金屬、硅片和陶瓷基盤等之上。作為涂布方法,可以選擇用旋轉(zhuǎn)器的旋轉(zhuǎn)涂布、用噴涂器的噴霧涂布、浸漬、印刷、輥?zhàn)油糠蟮?。這樣涂布形成涂膜后,進(jìn)行加熱處理、最好轉(zhuǎn)變成聚苯并噁唑樹脂后使用。
實(shí)施發(fā)明的最佳形式以下根據(jù)實(shí)施例具體說(shuō)明本發(fā)明,但本發(fā)明并不僅限于實(shí)施例中的內(nèi)容。
實(shí)施例1(1)二氨基酚化合物的三氟甲基化將2,2’-二(3-氨基-4-羥基苯)六氟丙烷(150g)(セントラル硝子(株)制)溶解在干燥N,N-二甲基甲酰胺(岸田化學(xué)(株)制,以下簡(jiǎn)稱為DMF)(890ml)中,冰冷下加入S-(三氟甲基)二苯并噻吩三氟甲磺酸鹽(393g)(ダイキン化化成品販殼(株)制)。以10℃/小時(shí)的升溫速度升溫到70℃后,在70℃下反應(yīng)24小時(shí)。該反應(yīng)在氮?dú)猸h(huán)境下進(jìn)行。將反應(yīng)溶液加入到水中,將水層調(diào)整到中性后,用二乙基醚(岸田化學(xué)(株)制、以下稱作醚)萃取,收集醚層,蒸餾去除醚后,將析出物用醋酸乙酯等有機(jī)溶劑充分洗滌,得到2,2’-二(3-氨基-4-羥基-5-三氟甲基苯)六氟丙烷(100.5g)。
(2)合成酸性氯化物將4,4’-六氟異丙撐二苯-1,1’-二羧酸(92g)(クラリアントジヤパン(株)制)、氯化亞硫酰(166ml)(岸田化學(xué)(株)制)和干燥的DMF(1.8ml)裝入反應(yīng)容器中,60℃下反應(yīng)2小時(shí)。反應(yīng)結(jié)束后,通過(guò)加熱和減壓蒸餾去除過(guò)剩的氯化亞硫酰。將析出物用己烷(關(guān)東化學(xué)(株)制)進(jìn)行再結(jié)晶,得到4,4’-六氟異丙撐二苯1,1’-二羧酸氯化物(84.6g)。
(3)合成前體和制作樹脂膜將2,2’-二(3-氨基-4-羥基-5-三氟甲基苯)六氟丙烷100.5g(0.2摩爾)溶解在干燥的二甲基乙酰胺(400g)中,添加吡啶(39.6g,0.5摩爾)(岸田化學(xué)(株)制)后,在干燥氮?dú)猸h(huán)境中-15℃下,將4,4’-六氟異丙撐二苯-1,1’-二羧酸氯化物(84.6g,0.2摩爾)溶解在二甲基乙酰胺(200g)中,得到的溶液在30分鐘內(nèi)滴加到上述溶液中。滴加結(jié)束后,恢復(fù)到室溫,室溫下攪拌5小時(shí),隨后,將反應(yīng)液滴加到蒸餾水(700ml)中,收集沉淀物,利用干燥,得到聚苯并噁唑前體。
將這種聚苯并噁唑前體溶解在N-甲基-2-吡咯烷酮中,用孔徑0.2μm的特氟綸過(guò)濾器過(guò)濾,得到清漆。
這樣得到的聚苯并噁唑前體的數(shù)均分子量(Mn),使用東ソ-株式會(huì)社制GPC,以聚苯乙烯換算求得,為25000。
用間隙300μm的刮刀片將該清漆涂布在玻璃板上。隨后,在干燥箱中,70℃下干燥1小時(shí),剝下,得到膜厚20μm的聚苯并噁唑前體膜,將該膜用模具固定住,在氮?dú)猸h(huán)境中,進(jìn)行加熱,依次為150℃下30分鐘,250℃下30分鐘,350℃下30分鐘,得到聚苯并噁唑樹脂。使用這種樹脂,評(píng)價(jià)各種特性,評(píng)價(jià)結(jié)果示于表1。
實(shí)施例2將1,2,3,5-四氟-4,6-二氰基苯(68.3g)(SDSバイオテツク社制)加入到65%的硫酸水(342g)中。加熱溶解后,在回流條件下,加熱3小時(shí)。抽吸過(guò)濾析出的結(jié)晶,用濃鹽酸(和光純藥工業(yè)(株))將收集到的結(jié)晶洗滌后,風(fēng)干,得到2,4,5,6-四氟異酞酸(49.2g)。
將得到的2,4,5,6-四氟異酞酸,以和實(shí)施例1相同的酸性氯化物化法,制得2,4,5,6-四氟異酞酸氯化物(54.2g,0.2摩爾),用該產(chǎn)物取代實(shí)施例1中的4,4’-六氟異丙撐二苯-1,1’-二羧酸氯化物(84.6g,0.2摩爾),其他與實(shí)施例1一樣,制作聚苯并噁唑樹脂,并進(jìn)行評(píng)價(jià)。
實(shí)施例3將4,4’-氧二苯-1,1’-二羧酸,以和實(shí)施例1相同的酸性氯化物化法,制得4,4’-氧二苯-1,1’-二羧酸氯化物(59.0g,0.2摩爾),用該產(chǎn)物取代實(shí)施例1中的4,4’-六氟異丙撐二苯-1,1’-二羧酸氯化物(84.6g,02摩爾),其他和實(shí)施例1一樣,制作聚苯并噁唑樹脂,并進(jìn)行評(píng)價(jià)。
實(shí)施例4用4,4’-六氟異丙撐二苯-1,1’-二羧酸氯化物(42.3g,0.1摩爾)和4,4’-氧二苯-1,1’-二羧酸氯化物(29.5g,0.1摩爾),取代實(shí)施例1中的4,4’-六氟異丙撐二苯-1,1’-二羧酸氯化物(84.6g,0.2摩爾),其他和實(shí)施例1相同,制作聚苯并噁唑樹脂,并進(jìn)行評(píng)價(jià)。
實(shí)施例5用4,4’-六氟異丙撐二苯-1,1’-二羧酸氯化物(42.3g,0.1摩爾)和2,4,5,6-四氟異酞酸氯化物(27.1g,0.1摩爾),取代實(shí)施例1中的4,4’-六氟異丙撐二苯-1,1’-二羧酸氯化物(84.6g,0.2摩爾)其他和實(shí)施例1相同,制作聚苯并噁唑樹脂,并進(jìn)行評(píng)價(jià)。
實(shí)施例6用2,2’-二(3-氨基-4-羥基-5-三氟甲基苯)六氟丙烷(70.4g,0.14摩爾)和4,4’-二氨基-3,3’-二羥基聯(lián)苯(13.0g,0.06摩爾),取代實(shí)施例1中的2,2’-二(3-氨基-4-羥基-5-三氟甲基苯)六氟丙烷(100.5g,0.2摩爾),其他和實(shí)施例1相同,制作聚苯并噁唑樹脂,并進(jìn)行評(píng)價(jià)。
實(shí)施例7用2,2’-二(3-氨基-4-羥基-5-三氟甲基苯)六氟丙烷(50.3g,0.1摩爾)和4,4’-二氨基-3,3’-二羥基聯(lián)苯(21.6g,0.1摩爾),取代實(shí)施例1中的2,2’-二(3-氨基-4-羥基-5-三氟甲基苯)六氟丙烷(100.5g,0.2摩爾),其他和實(shí)施例1相同,制作聚苯并噁唑樹脂,并進(jìn)行評(píng)價(jià)。
實(shí)施例8用2,2’-二(3-氨基-4-羥基-5-五氟乙基苯)六氟丙烷(119.7g,0.2摩爾),取代實(shí)施例1中的2,2’-二(3-氨基-4-羥基-5-三氟甲基苯)六氟丙烷(100.5g,0.2摩爾),其他和實(shí)施例1相同,制作聚苯并噁唑樹脂,并進(jìn)行評(píng)價(jià)。
比較例1用4,4’-二氨基-3,3’-二羥基聯(lián)苯(43.2g,0.2摩爾),取代實(shí)施例1中的2,2’-二(3-氨基-4-羥基-5-三氟甲基苯)六氟丙烷(100.5g,0.2摩爾),用4,4’-氧二苯-1,1’-二羧酸氯化物(59.0g,0.2摩爾),取代4,4’-六氟異丙撐二苯-1,1’-二羧酸氯化物(84.6g,0.2摩爾),其他和實(shí)施例1相同,制作聚苯并噁唑樹脂,并進(jìn)行評(píng)價(jià)。
比較例2用4,4’-二氨基-3,3’-二羥基聯(lián)苯(43.2g,0.2摩爾),取代實(shí)施例1中的2,2’-二(3-氨基-4-羥基-5-三氟甲基苯)六氟丙烷(100.5g,0.2摩爾),其他和實(shí)施例1相同,制作聚苯并噁唑樹脂,并進(jìn)行評(píng)價(jià)。
比較例3使用2,2’-二(3-氨基-4-羥基苯)六氟丙烷(43.3g,0.2摩爾),取代實(shí)施例1中的2,2’-二(3-氨基-4-羥基-5-三氟甲基苯)六氟丙烷(100.5g,0.2摩爾),用4,4’-氧二苯-1,1’-二羧酸氯化物(59.0g,0.2摩爾),取代4,4’-六氟異丙撐二苯-1,1’-二羧酸氯化物(84.6g,0.2摩爾),其他和實(shí)施例1相同,制作聚苯并噁唑樹脂,并進(jìn)行評(píng)價(jià)。
比較例4將2,2’-二(4-氨基苯)六氟丙烷(66.9g,0.2摩爾)(セントラル硝子(株)制)溶解在干燥的N-甲基-2-吡咯烷酮(400g)中,在干燥氮?dú)庵校?0℃下,30分鐘內(nèi),滴加將六氟異丙撐-2,2’-雙酞酸無(wú)水物(88.9g)(ダイキン工業(yè)(株)制)溶于N-甲基-2-吡咯烷酮(200g)中的產(chǎn)物,滴加結(jié)束后,恢復(fù)到室溫,室溫下攪拌2小時(shí)。隨后,將反應(yīng)液滴加到蒸餾水(1000ml)中,收集沉淀物,利用干燥,得到聚亞胺前體。
將這種聚亞胺前體溶解于N-甲基-2-吡咯烷酮中,其他和實(shí)施例1相同,制作聚亞胺樹脂,并進(jìn)行評(píng)價(jià)。
比較例5用2,2’-二(3-氨基-4-羥基-5-全氟十一烷基苯)六氟丙烷(150.2g,0.2摩爾),取代實(shí)施例1中的2,2’-二(3-氨基-4-羥基-5-三氟甲基苯)六氟丙烷(100.5g,0.2摩爾),其他和實(shí)施例1相同,制作聚苯并噁唑樹脂,并進(jìn)行評(píng)價(jià)。
實(shí)施例和比較例的評(píng)價(jià)結(jié)果示于表1。
表1
<p>介電常數(shù)根據(jù)JIS-K6911標(biāo)準(zhǔn),以頻率1MHz,使用Hewtett-Packard Co.制HP-42 84A Precision LCR測(cè)量?jī)x進(jìn)行測(cè)量。
耐熱性使用セイコ-電子工業(yè)(株)制TG/DTA 200,氮?dú)饬飨拢?0℃/分升溫速度,測(cè)定重量減少5%時(shí)的溫度。
吸水率利用重量法,測(cè)定溫度85℃,濕度85%,24小時(shí)后的吸水率。
表1中結(jié)果表示關(guān)于介電常數(shù)、耐熱性和吸水率,實(shí)施例1~8的聚苯并噁唑樹脂呈現(xiàn)出良好的結(jié)果。但是,比較例1~3的聚苯并噁唑樹脂,呈現(xiàn)出介電常數(shù)高于實(shí)施例,比較例4的聚亞胺樹脂,呈現(xiàn)出比實(shí)施例更差的吸水率,比較例5的聚苯并噁唑樹脂,呈現(xiàn)出比實(shí)施例低的耐熱性,從而可知不具有本發(fā)明構(gòu)成的聚苯并噁唑樹脂和聚亞胺樹脂,介電常數(shù)、耐熱性、吸水率不能全部得到滿足。
由以上實(shí)施例可以明確,根據(jù)本發(fā)明能獲得電特性、熱特性和低吸水性都非常好的聚苯并噁唑樹脂。
因此,本發(fā)明的聚苯并噁唑樹脂,適用于對(duì)電特性、熱特性、機(jī)械特性和物理特性有要求的各種用途,例如用作半導(dǎo)體用層間絕緣膜、保護(hù)膜、多層線路的層間絕緣膜、彈性銅板的保護(hù)層,焊料保護(hù)膜、液晶定向膜等。
權(quán)利要求
1.一種聚苯并噁唑前體,特征是具有以一般式(1)表示的重復(fù)單元,
式(1)中,n為2~1000的整數(shù),Rf1和Rf2為H或CmF2m+1,至少一方是CmF2m+1,彼此可以相同,或不同,m為1-10的整數(shù),X表示2價(jià)有機(jī)基。
2.一種聚苯并噁唑樹脂,其特征是具有以一般式(2)表示的重復(fù)單元,
式(2)中,n為2~1000的整數(shù),Rf1和Rf2為H或CmF2m+1,至少一方是CmF2m+1,彼此可以相同,或不同,m為1-10的整數(shù),X表示2價(jià)有機(jī)基。
3.一種聚苯并噁唑前體,特征是具有一般式(3)表示的重復(fù)單元,
式(3)中,n為2~1000的整數(shù),Rf1和Rf2為H或CmF2m+1,至少一方為CmF2m+1,彼此可以相同,或不同,m為1-10的整數(shù),X表示2價(jià)有機(jī)基。
4.一種聚苯并噁唑樹脂,特征是具有一般式(4)表示的重復(fù)單元
式(4)中,n為2~1000的整數(shù),Rf1和Rf2為H或CmF2m+1,至少一方是CmF2m+1,彼此可以相同,或不同,m為1-10的整數(shù),X表示2價(jià)有機(jī)基。
5.一種聚苯并噁唑前體,特征是具有一般式(5)表示的重復(fù)單元
式(5)中,n為2~1000的整數(shù),Rf1和Rf2為H或CmF2m+1,至少一方是CmF2m+1,彼此可以相同,或不同,m為1-10的整數(shù),X表示2價(jià)有機(jī)基。
6.一種聚苯并噁唑樹脂,特征是具有一般式(6)表示的重復(fù)單元,
式(6)中,n為2~1000的整數(shù),Rf1和Rf2為H或CmF2m+1,至少一方是CmF2m+1,彼此可以相同,或不同,m為1-10的整數(shù),X表示2價(jià)有機(jī)基。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種電特性、熱特性和低吸水性都優(yōu)良的耐熱性樹脂,即,本發(fā)明提供的是以一般式(1)、(3)、和(5)表示的聚苯并噁唑前體和一般式(2)、(4)和(6)表示的聚苯并噁唑樹脂。
文檔編號(hào)G03F7/023GK1253961SQ9912598
公開日2000年5月24日 申請(qǐng)日期1999年10月28日 優(yōu)先權(quán)日1998年10月28日
發(fā)明者多田昌弘, 村山三素, 畑尾卓也, 山地貴志 申請(qǐng)人:住友電木株式會(huì)社
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