負(fù)型光敏樹脂組合物以及使用它的絕緣薄膜的制作方法
【專利說明】負(fù)型光敏樹脂組合物以及使用它的絕緣薄膜 發(fā)明領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明涉及一種負(fù)型（negative-type)光敏樹脂組合物和使用它的絕緣薄膜，特 別是涉及一種用于具有高分辨率的圖案顯影特性、良好的時間穩(wěn)定性、高的耐熱沖擊性、良 好的耐熱性和耐化學(xué)性的固化薄膜的光敏樹脂組合物，該固化薄膜可以用于形成如液晶顯 示器（LCD)等的顯示設(shè)備的絕緣薄膜，以及涉及使用該樹脂組合物的絕緣薄膜。
[0002] 發(fā)明背景
[0003] 正型和負(fù)型光敏樹脂組合物用來制造包括液晶顯示器、有機(jī)場致發(fā)光器件等的各 種各樣的顯示設(shè)備中的絕緣薄膜。
[0004] 在曝光、顯影后烘焙和短波（例如UV)吸收的過程中，含有堿溶性樹脂和1，2_重 氮醌（quinonediazide)化合物的常規(guī)正型樹脂通常存在問題，例如由于高溫分解帶來的 脫色或者由于產(chǎn)生雜質(zhì)導(dǎo)致LCD出現(xiàn)不希望有的殘留影象。
[0005] 因此，已經(jīng)嘗試通過提供在熱固化處理之后具有良好的透光率和敏感性的負(fù)型光 敏樹脂組合物來解決這些問題。同樣，在如薄膜晶體管（TFT)LCD等的顯示器設(shè)備中，在堿 溶性樹脂中包括衍生自（甲基）丙烯酸縮水甘油基酯的結(jié)構(gòu)單元的光敏樹脂組合物已經(jīng)被 提議作為有機(jī)絕緣薄膜來保護(hù)TFT矩陣和提供改善的耐熱性和耐光性等。
[0006] 然而，由于衍生自（甲基）丙烯酸縮水甘油基酯的常規(guī)結(jié)構(gòu)單元具有隨著時間降 低穩(wěn)定性的趨勢，從而出現(xiàn)的問題是常規(guī)有機(jī)絕緣薄膜不會表示出足夠的耐熱性，因此衍 生自（甲基）丙烯酸縮水甘油基酯的結(jié)構(gòu)單元的量是受限的。
[0007] 就此而論，韓國特開專利公報No. 2010-0109370公開了一種用于絕緣薄膜的光敏 樹脂組合物，其包括在衍生自（甲基）丙烯酸縮水甘油基酯的常規(guī)結(jié)構(gòu)單元之外還含有衍 生自具有脂肪族環(huán)氧基的不飽和化合物的結(jié)構(gòu)單元的堿溶性樹脂，其總量為至少71wt%。 不過，從這樣的光敏樹脂組合物制備的絕緣薄膜具有較差的時間穩(wěn)定性和由于較差的顯影 性能不能獲得完全地圖樣形狀。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0008] 因此，本發(fā)明的一個目的是提供一種負(fù)型光敏樹脂組合物，其能夠提供高分辨率 的圖案顯影特性、良好的時間穩(wěn)定性、高的耐熱沖擊性、良好的耐熱性和良好的耐化學(xué)性， 以及使用該樹脂組合物的絕緣薄膜。
[0009] 根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種光敏樹脂組合物，其包括：
[0010] (A)堿溶性樹脂，其包括（al)衍生自烯屬不飽和羧酸、烯屬不飽和羧酸酐或其混 合物的結(jié)構(gòu)單元，（a2)衍生自式1表示的單體的結(jié)構(gòu)單元，（a3)衍生自式2表示的單體的 結(jié)構(gòu)單元，和（a4)衍生自稀屬不飽和化合物的結(jié)構(gòu)單元，其不同于結(jié)構(gòu)單元（al)-(a3)中 任一個，其中堿溶性樹脂包括的結(jié)構(gòu)單元（a2)和（a3)的總量為10-50mol%，基于結(jié)構(gòu)單元 的摩爾總量；
[0011] ⑶可光聚合的單體；和
[0012] (C)光聚合引發(fā)劑
[0013]【式1】
[0014]
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種光敏樹脂組合物，所述組合物包括： (A) 堿溶性樹脂，所述堿溶性樹脂包括（al)衍生自烯屬不飽和羧酸、烯屬不飽和羧酸 酐或其混合物的結(jié)構(gòu)單元，（a2)衍生自式1表示的單體的結(jié)構(gòu)單元，（a3)衍生自式2表 示的單體的結(jié)構(gòu)單元，和（a4)衍生自稀屬不飽和化合物的結(jié)構(gòu)單元，所述結(jié)構(gòu)單元不同于 結(jié)構(gòu)單元（al)-(a3)中的任一個，其中堿溶性樹脂包括的結(jié)構(gòu)單元（a2)和（a3)的總量為 10-50mol%，基于結(jié)構(gòu)單元的摩爾總量； (B) 可光聚合的單體；和 (C) 光聚合引發(fā)劑
其中 札和R3各自獨(dú)立地是氫或Ch烷基；和 馬和R4各自獨(dú)立地是C亞烷基。
2. 權(quán)利要求1的光敏樹脂組合物，其中式1表示的單體是丙烯酸3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲基 酯或甲基丙烯酸3,4_環(huán)氧環(huán)己基甲基酯。
3. 權(quán)利要求1的光敏樹脂組合物，其中式2表示的單體是丙烯酸縮水甘油酯或甲基丙 烯酸縮水甘油酯。
4. 權(quán)利要求1的光敏樹脂組合物，其中結(jié)構(gòu)單元（a2)和結(jié)構(gòu)單元（a3)的摩爾比范圍 是 50-99 : 50-1。
【專利摘要】負(fù)型光敏樹脂組合物以及使用它的絕緣薄膜。在此公開了光敏樹脂組合物，所述組合物包括：(A)堿溶性樹脂，所述堿溶性樹脂包括(a1)衍生自烯屬不飽和羧酸、烯屬不飽和羧酸酐或其混合物的結(jié)構(gòu)單元，(a2)衍生自式1表示的單體的結(jié)構(gòu)單元，(a3)衍生自式2表示的單體的結(jié)構(gòu)單元，和(a4)衍生自烯屬不飽和化合物的結(jié)構(gòu)單元，所述結(jié)構(gòu)單元不同于結(jié)構(gòu)單元(a1)-(a3)中的任一個，其中堿溶性樹脂包括的結(jié)構(gòu)單元(a2)和(a3)的總量為10-50mol％，基于結(jié)構(gòu)單元的摩爾總量；(B)可光聚合的單體；和(C)光聚合引發(fā)劑.
【IPC分類】G03F7-033, G03F7-004, G03F7-038
【公開號】CN104570607
【申請?zhí)枴緾N201410648857
【發(fā)明人】鄭周永, 金太煥, 蔡有珍
【申請人】羅門哈斯電子材料韓國有限公司
【公開日】2015年4月29日
【申請日】2014年9月24日