[0123] 應(yīng)予說明，近紅外側(cè)阻止帶構(gòu)成部未必需要嚴格成為上述基本單元的重復(fù)結(jié)構(gòu)。 例如，像低折射率膜這樣為折射率小的膜時，如果光學(xué)膜厚變小則成膜時的膜厚控制變難， 所以例如也可以省略多個低折射率膜的一部分，由此存在高折射率膜和中折射率膜多個連 續(xù)的部分。
[0124] 另外，對于基本單元（LMHML)的重復(fù)結(jié)構(gòu)，由于相鄰基本單元的2個L連續(xù)而可以 表示為（2LMHM)，或者將2個L視為1個L而表示為（LMHM)，但本發(fā)明中的平均光學(xué)膜厚是 以最終成膜而成的最終形態(tài)的狀態(tài)為基準而算出的膜厚，將由相同物質(zhì)構(gòu)成的連續(xù)的膜作 為1個膜而求出物理膜厚、層數(shù)，使用這些求出平均光學(xué)膜厚。
[0125] 作為高折射率膜、中折射率膜，只要是由折射率為2. 0以上的材料構(gòu)成的膜就沒 有特別限定，例如可優(yōu)選舉出由Ti02、Ta20 5、Nb205或它們的復(fù)合氧化物構(gòu)成的膜。作為高折 射率膜，優(yōu)選折射率為2. 3以上的膜，更優(yōu)選折射率為2. 4以上的膜。作為這樣的高折射率 膜，可優(yōu)選舉出由Ti02(折射率2. 45)構(gòu)成的膜。作為中折射率膜，只要是低于高折射率膜 的折射率的膜就沒有特別限定，但優(yōu)選折射率為2. 0以上且低于2. 3的膜，更優(yōu)選折射率為 2. 2以下的膜。作為這樣的中折射率膜，可優(yōu)選舉出由Ta205(折射率2. 13)構(gòu)成的膜。
[0126] 作為低折射率膜，只要是由折射率為1. 7以下的材料構(gòu)成的膜就沒有特別限定， 例如可舉出由Si02、MgF2或它們的復(fù)合氧化物構(gòu)成的膜。
[0127] 近紅外側(cè)阻止帶構(gòu)成部中的中折射率膜未必局限于由單一的膜構(gòu)成，例如也可以 是由具有與高折射率膜相同的折射率的膜和具有與低折射率膜相同的折射率的膜構(gòu)成的 等價膜。如果采用等價膜，則例如即使在成膜裝置中的可成膜的膜種類為2種時，也能夠形 成中折射率膜，因此優(yōu)選。
[0128] (拍攝裝置100)
[0129] 參照圖1?圖3說明的IRCF10和參照圖4說明的IRCF10A例如用作數(shù)字靜物攝 影機、數(shù)碼攝像機、監(jiān)控攝像機、車載用照相機、網(wǎng)絡(luò)攝像機等拍攝裝置、自動曝光計等中的 視見度校正濾波器。數(shù)字靜物攝影機、數(shù)碼攝像機、監(jiān)控攝像機、車載用照相機、網(wǎng)絡(luò)攝像機 等拍攝裝置例如配置在拍攝透鏡與固體攝像元件之間。自動曝光計例如配置在受光元件的 前面。
[0130] 拍攝裝置中，可以在遠離固體攝像元件前面的位置配置IRCF10U0A，也可以直 接貼附于固體攝像元件或固體攝像元件的包裝，還可以將保護固體攝像元件的罩作為 IRCF10U0A。另外，也可以直接貼附于使用了用于抑制摩爾紋、偽色的水晶、鈮酸鋰等晶體 的低通濾波器。
[0131] 接下來，示出具體例。圖5是拍攝裝置100的局部構(gòu)成圖。
[0132] 拍攝裝置100例如為數(shù)字靜物攝影機、數(shù)碼攝像機、監(jiān)控攝像機、車載用照相機、 網(wǎng)絡(luò)攝像機。拍攝裝置100具備固體攝像元件110、防護玻璃120、透鏡組130、光圈140、殼 體150。固體攝像元件110、防護玻璃120、透鏡組130和光圈140沿光軸x配置。
[0133] 固體攝像元件110例如為CO)(電荷親合元件：Charge Coupled Device)圖像傳 感器、CMOS (互補金屬氧化物半導(dǎo)體：Complementary Metal Oxide Semiconductor)圖像傳 感器。固體攝像元件110將輸入的光轉(zhuǎn)換成電信號并向未圖示的圖像信號處理電路輸出。
[0134] 防護玻璃120配置于固體攝像元件110的拍攝面?zhèn)龋ㄍ哥R組130側(cè)），保護固體攝 像元件110不受外部環(huán)境影響。
[0135] 透鏡組130配置于固體攝像元件110的拍攝面?zhèn)?。透鏡組130由多個透鏡L1? L4構(gòu)成，將入射的光導(dǎo)向固體攝像元件110的拍攝面。
[0136] 光圈140配置在透鏡組130的透鏡L3與透鏡L4之間。光圈140以能夠調(diào)節(jié)通過 的光量的方式構(gòu)成。
[0137] 殼體150收納固體攝像元件110、防護玻璃120、透鏡組130和光圈140。
[0138] 在拍攝裝置100中，從被拍攝體側(cè)射入的光通過透鏡L1、透鏡L2、第3透鏡L3、光 圈140、透鏡L4和防護玻璃120射入固體攝像元件110。該射入的光被固體攝像元件110 轉(zhuǎn)換成電信號并作為圖像信號輸出。
[0139] IRCFKK10A例如用作防護玻璃120、透鏡組130即透鏡L1、透鏡L2、透鏡L3或透 鏡L4。換言之，IRCF10的光學(xué)多層膜12以現(xiàn)有的拍攝裝置的防護玻璃、透鏡組作為透明基 板11，并設(shè)置于該透明基板11的表面。
[0140] 拍攝裝置100的防護玻璃120、透鏡組130通過使用IRCF10U0A，能夠在抑制入射 角度依賴性的同時擴大可見區(qū)域的透射帶以及紫外區(qū)域和近紅外區(qū)域的阻止帶，能夠提高 其特性。
[0141] (其他實施方式）
[0142] 以上，基于上述具體例詳細說明了本發(fā)明，但本發(fā)明并不限定于上述具體例，在不 脫離本發(fā)明的范圍內(nèi)，可以進行所有的變形、變更。
[0143] 實施例
[0144] 接著，參照實施例進行具體說明。
[0145] 實施例1?11和比較例1?3涉及的近紅外線截止濾波器（IRCF)具備透明基板 (白板玻璃）和設(shè)置于透明基板的一面的光學(xué)多層膜。對于這些IRCF，發(fā)明人等對使用氧 化鈦（Ti0 2)、氧化鈮（Nb205)、氧化鉭（Ta205)作為高折射率膜的材料，使用氧化硅（Si0 2)作 為低折射率膜的材料的情況，研宄了參照圖2、3說明的光學(xué)多層膜12在0°入射條件（相 對于光學(xué)多層膜12的主面，光垂直入射的條件）和30°入射條件（相對于光學(xué)多層膜12 的主面，光以距垂直傾斜30°的狀態(tài)入射的條件）下的光譜特性。應(yīng)予說明，在所有實施例 和比較例中，以膜條件所記載的層數(shù)1的膜為透明基板側(cè)、層數(shù)值大的膜為空氣側(cè)的方式 層疊在透明基板上。
[0146] 應(yīng)予說明，光譜特性使用光學(xué)薄膜模擬軟件（TFCalc、Software Spectra公司制） 驗證。另外，在本申請中，使用波長500nm處的各膜的折射率作為代表值，但在模擬上要考 慮折射率的波長依賴性進行模擬。
[0147] 折射率存在被稱為分散等的波長依賴性。例如在300?1300nm的波長范圍內(nèi)，成 為本申請的對象的膜物質(zhì)等存在波長越短折射率越大、波長變長則折射率變小的趨勢。這 些波長-折射率的關(guān)系并非線性關(guān)系，通常大多使用Hartmann、Sellmeier等近似式來表 示。另外，膜物質(zhì)的折射率（分散）根據(jù)各種成膜條件而改變。因此，實際采用蒸鍍法、離 子輔助蒸鍍法、濺射法等進行成膜，將所得各膜的折射率的分散數(shù)據(jù)用于以下的模擬。
[0148] (實施例1?4)
[0149] 首先，對實施例1?4進行說明。在實施例1?4中，使用氧化鈦（Ti02)作為高折 射率膜的材料，使用氧化硅（Si0 2)作為低折射率膜的材料。應(yīng)予說明，使氧化鈦（Ti02)在 波長500nm處的折射率為2. 47,使氧化硅（Si02)在波長500nm處的折射率為1. 48,模擬光 譜特性。以下，將實施例1?4的膜條件示于表1?4,將實施例1?4的模擬結(jié)果示于圖 6?9。應(yīng)予說明，表1?4中的"膜厚"是物理膜厚。另外，"系數(shù)的值"是表示物理膜厚為 QWOT的幾倍的系數(shù)。
[0150] (實施例1)
[0151] [表 1]
[0152]
【主權(quán)項】
1. 一種近紅外線截止濾波器，具備透明基板和設(shè)置于所述透明基板的至少一個主面的 光學(xué)多層膜，其特征在于， 所述光學(xué)多層膜由波長500nm處的折射率為2. 0 W上的高折射率膜和1. 6 W下的低折 射率膜構(gòu)成， 將高折射率膜的波長500nm處的QWOT設(shè)為瑞、將低折射率膜的波長5〇〇nm處的QWOT 設(shè)為Q擁，所述光學(xué)多層膜具有（3。瑞、CnQa、屯斯）A n的重復(fù)結(jié)構(gòu)，所述a。的平均值 為1. 5?2. 5,將所述b。、C。、屯各自的平均值進行平均而得的值為1. 0 W下。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的近紅外線截止濾波器，其特征在于，所述C。的平均值為0. 2? 0? 5。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的近紅外線截止濾波器，其特征在于，計算所述重復(fù)層疊的 各基本單元的b"/d。和dyb。，將所述算出的b"/d。和dyb。中值大的一方進行平均而得的值 為 1. 1 ?2. 5。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項所述的近紅外線截止濾波器，其中，所述n為9?25。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1?4中任一項所述的近紅外線截止濾波器，其特征在于，所述透明基 板對近紅外波長區(qū)域的光具有吸收。
【專利摘要】本發(fā)明涉及的近紅外線截止濾波器具備透明基板和設(shè)置于透明基板的至少一個主面的光學(xué)多層膜，其特征在于，光學(xué)多層膜由波長500nm處的折射率為2.0以上的高折射率膜和1.6以下的低折射率膜構(gòu)成，將高折射率膜的波長500nm處的QWOT設(shè)為QH、將低折射率膜的波長500nm處的QWOT設(shè)為QL時，光學(xué)多層膜具有(anQH、bnQL、cnQH、dnQL)＾n的重復(fù)結(jié)構(gòu)，an的平均值為1.5～2.5，將bn、cn、dn各自的平均值進行平均而得的值為1.0以下。
【IPC分類】G02B5-28
【公開號】CN104583820
【申請?zhí)枴緾N201380044705
【發(fā)明人】館村滿幸
【申請人】旭硝子株式會社
【公開日】2015年4月29日
【申請日】2013年8月6日
【公告號】US20150160386, WO2014034386A1