正型感光性組合物的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種于抗蝕劑領(lǐng)域等中可利用的正型感光性組合物。
【背景技術(shù)】
[0002] 經(jīng)圖案化的透明膜是于間隔物、絕緣膜、保護膜等顯示元件的很多領(lǐng)域中使用，至 今在該用途中已提出有多種正型感光性組合物（例如參照專利文獻1~專利文獻3)。
[0003] 通常，薄膜晶體管型液晶顯示元件或固體攝影元件等電子零件中，為了使配置為 層狀的配線之間絕緣而設(shè)置有絕緣膜。近年來所制造的所述元件中，由于使用可形成既定 形狀的圖案的絕緣膜，故而廣泛使用形成膜的步驟數(shù)少即可的正型感光性組合物。正型感 光性組合物必須在形成絕緣膜的過程中具有廣泛的制程范圍。進而，使用正型感光性組合 物而形成的絕緣膜或具有該絕緣膜的顯示元件有時會在制造后步驟中與溶劑、酸、堿溶液 等接觸。因此，對絕緣膜要求具有高的耐溶劑性、耐酸性、耐堿性等。
[0004] 近年來，進而還有在所形成的透明膜（圖案狀透明膜）上于高溫下形成無機膜的 用途。該情況下，無機膜是利用化學蒸鍍、濺射等方法來形成。為了利用這些成膜法來獲得 優(yōu)質(zhì)的膜，需要高溫的步驟（非專利文獻1)。即，成為這些無機膜的基底的透明膜也會暴露 于高溫中。若透明膜的耐熱性不足，則于高溫制程中通過透明膜的熱分解而產(chǎn)生脫離氣體， 因其影響而無法獲得優(yōu)質(zhì)的無機膜。另外，因熱劣化而在透明膜上產(chǎn)生著色，難以在要求透 明性的用途中使用。進而，在膜內(nèi)部產(chǎn)生熱應力，透明膜的耐龜裂性下降。由于這些原因， 要求具有350°C以上的高耐熱性的正型感光性組合物。作為供于這些用途的正型感光性組 合物，已有若干提案（例如參照專利文獻4及專利文獻5)。專利文獻4中介紹了含有硅氧 烷聚合物與萘醌系感光劑的材料，另外，專利文獻5中介紹了將硅氧烷聚合物與酰亞胺化 合物、以及萘醌系感光劑混合而成的材料。然而，這些材料均難以滿足制程中的耐龜裂性、 高透明性（透射率、透明度）以外的所有要求特性。
[0005] [現(xiàn)有技術(shù)文獻]
[0006][專利文獻]
[0007][專利文獻1]日本專利特開昭51-34711號公報
[0008] [專利文獻2]日本專利特開昭56-122031號公報 [0009][專利文獻3]日本專利特開平5-165214號公報
[0010] [專利文獻4]日本專利特開2006-178436號公報
[0011] [專利文獻5]日本專利特開2009-15285號公報
[0012] [非專利文獻]
[0013] [非專利文獻1]《利用內(nèi)置納米結(jié)構(gòu)的透明氧化物功能培養(yǎng)（Function CultivationofTransparentOxidesUtilizingBuilt-InNanostructure)〉〉,〈〈日本化學 學會通報（BulletinoftheChemicalSocietyofJapan)》第79卷第 1 期第24頁（2006)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0014][發(fā)明所欲解決的問題]
[0015] 在如上所述的狀況下，謀求一種耐熱性、透明性、與基底的密接性、耐龜裂性等優(yōu) 異，且可經(jīng)過利用堿水溶液的顯影步驟而形成經(jīng)圖案化的透明膜（圖案狀透明膜）的正型 感光性組合物。
[0016][解決問題的技術(shù)手段]
[0017]本發(fā)明為一種正型感光性組合物，其含有硅氧烷聚合物（A)、具有特定結(jié)構(gòu)的萘醌 二疊氮化物衍生物（B)以及有機溶劑（C)，所述正型感光性組合物的特征在于：使該組合物 在350°C以上進行熱硬化而獲得的硬化膜的在波長400nm下的透光率為95%以上。
[0018] 本發(fā)明包括以下各項。
[0019][1] 一種正型感光性組合物，其含有硅氧烷聚合物（A)、下述式（1)或式（2)所表 示的萘醌二疊氮化物衍生物（B)、以及有機溶劑（C);并且
[0020] 使該組合物在350°C以上進行熱硬化而獲得的硬化膜的在波長400nm下的每1i!m 膜厚的透光率為95%以上，
[0021]
【主權(quán)項】
1. 一種正型感光性組合物，其特征在于：含有硅氧烷聚合物（A)、下述式（1)或式（2) 所表示的萘醌二疊氮化物衍生物（B)、以及有機溶劑（C)，并且 使該組合物于350°C以上進行熱硬化而獲得的硬化膜的于波長400nm下的每Iym膜厚 的透光率為95%以上，
式中，R1及R2分別獨立地表示芳基。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的正型感光性組合物，其特征在于：式（1)的R1或式（2)的R2 為選自下述式（3)~式（6)所表示的一價基的組群中的1種，
R3、R4、R5、R6、R7、R8及R9分別獨立地表示氫或者碳數(shù)1~5的烷基。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的正型感光性組合物，其特征在于：所述硅氧烷聚合物（A) 是通過包含至少2種烷氧基硅烷化合物的原料的水解縮合而合成的具有堿可溶性的聚合 物；并且 此處，烷氧基硅烷化合物的2種是選擇烷氧基的數(shù)量不同的2種化合物。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的正型感光性組合物，其特征在于：所述烷氧基硅烷化合物是 選自由四甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷、甲基二甲氧基硅烷、苯基二甲氧基硅烷、甲基二乙氧 基硅烷、苯基二乙氧基硅烷、-甲基-甲氧基硅烷、-苯基-甲氧基硅烷、甲基苯基-甲氧 基硅烷、-甲基-乙氧基硅烷、-苯基-乙氧基硅烷、甲基苯基-乙氧基硅烷、二甲基甲氧 基硅烷、以及三甲基乙氧基硅烷所組成的組群中。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的正型感光性組合物，其特征在于：所述硅氧烷 聚合物（A)的重量平均分子量以聚苯乙烯換算為500~100, 000。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的正型感光性組合物，其特征在于：所述萘醌二 疊氮化物衍生物（B)為選自下述式（7)~式（9)所表示的化合物的組群中的至少1種，
7. -種硬化膜，其特征在于：使用根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項所述的正型感光性組 合物而形成。
8. -種顯示元件，其特征在于：使用根據(jù)權(quán)利要求7所述的硬化膜來制造。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種正型感光性組合物，其含有硅氧烷聚合物(A)、下述式(1)或式(2)所表示的萘醌二疊氮衍生物(B)、以及有機溶劑(C)。并且其特征在于：使本發(fā)明的正型感光性組合物于350℃以上進行熱硬化而獲得的硬化膜的于波長400nm下的每1μm膜厚的透光率為95％以上。式中，R1及R2分別獨立地表示芳基。
【IPC分類】G03F7-004, G03F7-075
【公開號】CN104714369
【申請?zhí)枴緾N201410749267
【發(fā)明人】岡本優(yōu)紀, 木村佑希, 江頭友弘
【申請人】捷恩智株式會社
【公開日】2015年6月17日
【申請日】2014年12月9日