真空貼合設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示面板制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種真空貼合設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在TFT-1XD行業(yè)的封裝工藝中，通常采用真空貼合設(shè)備(Vacuum Aligner System，簡(jiǎn)稱VAS)將涂布Sealant (密封劑)的上基板玻璃和涂布LC (液晶)的下基板玻璃在真空條件下進(jìn)行對(duì)位貼合，從而得到貼合基板。
[0003]如圖1所示，真空貼合設(shè)備通常包括固定于基座上的下基臺(tái)20和與下基臺(tái)20配合的上基臺(tái)10。上基臺(tái)10中心部設(shè)有上腔室11，上腔室11內(nèi)安裝有上吸附基板12 (Table)，上吸附基板12上設(shè)置有可上下移動(dòng)的多個(gè)吸附桿13 (Support Pad);下基臺(tái)20中心部設(shè)有下腔室21，下腔室21內(nèi)安裝有下吸附基板22，下吸附基板22上設(shè)置有可上下移動(dòng)的支撐桿23。
[0004]如圖1和圖2所示，當(dāng)真空貼合設(shè)備工作時(shí)，首先，機(jī)械手40的牙叉伸入真空貼合設(shè)備內(nèi)，真空貼合設(shè)備的上基臺(tái)10上的吸附桿13從機(jī)械手40 (Robot Hand)上受取涂布Sealant的上基板玻璃50，吸附桿再上移將上基板玻璃50移至上吸附基板12的表面，然后，通過(guò)上吸附基板12的真空吸附將上基板玻璃50固定在上吸附基板12的表面；然后，通過(guò)機(jī)械手40將涂布LC的下基板玻璃置于支撐桿上，支撐桿再下移將下基板玻璃移至下吸附基板22的表面，然后通過(guò)下吸附基板22的真空吸附將下基板玻璃固定在下吸附基板22的表面；上基臺(tái)10在動(dòng)力系統(tǒng)的帶動(dòng)下慢慢落下，與下基臺(tái)20緊密貼合，完成貼合工作。
[0005]目前現(xiàn)有的真空貼合設(shè)備存在著以下問題:
[0006]如圖2所示，在機(jī)械手40 (Robot Fork)的牙叉伸進(jìn)設(shè)備內(nèi)時(shí)，因牙叉以及上基板玻璃重力原因，機(jī)械手40的牙叉前端會(huì)有向下彎曲的現(xiàn)象，導(dǎo)致上基臺(tái)10的吸附桿在真空吸取上基板玻璃50時(shí)會(huì)發(fā)生偏移，從而影響真空貼合設(shè)備的貼合精度；另外，由于自身重量原因，機(jī)械手40的牙叉在伸進(jìn)設(shè)備內(nèi)時(shí)，會(huì)有一定時(shí)間顫動(dòng)，待其穩(wěn)定需要幾秒時(shí)間，增加了額外單件工時(shí)(Tact Time)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于提供一種真空貼合設(shè)備，其能夠保證吸附桿吸取基板時(shí)的平整度，提高貼合精度，并減少單件工時(shí)。
[0008]本發(fā)明所提供的技術(shù)方案如下:
[0009]一種真空貼合設(shè)備，用于從機(jī)械手受取待貼合基板后，將待貼合基板進(jìn)行貼合；所述真空貼合設(shè)備包括:
[0010]相對(duì)設(shè)置的兩基臺(tái)；
[0011]以及用于從機(jī)械手受取待貼合基板時(shí)，對(duì)機(jī)械手的伸入至兩基臺(tái)之間的部分進(jìn)行支撐，以使機(jī)械手上吸附的待貼合基板保持水平的支撐部件，所述支撐部件設(shè)置于至少一基臺(tái)上。
[0012]進(jìn)一步的，所述支撐部件可移動(dòng)地設(shè)置于至少一基臺(tái)上，具有第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，
[0013]在所述第一狀態(tài)，所述支撐部件移動(dòng)至兩基臺(tái)的相對(duì)的兩表面之間，以對(duì)機(jī)械手的伸入至兩基臺(tái)之間的部分進(jìn)行支撐，使機(jī)械手上吸附的待貼合基板保持水平；
[0014]在所述第二狀態(tài)，所述支撐部件移動(dòng)至兩基臺(tái)的相對(duì)的兩表面之間的區(qū)域之外，以使兩基臺(tái)能夠相對(duì)靠近而將待貼合基板貼合。
[0015]進(jìn)一步的，所述基臺(tái)包括第一端和與所述第一端相對(duì)的第二端，其中機(jī)械手自所述基臺(tái)第一端伸入兩基臺(tái)之間，所述支撐部件設(shè)置在所述基臺(tái)的第二端。
[0016]進(jìn)一步的，所述支撐部件包括:
[0017]用于支撐機(jī)械手的伸入至兩基臺(tái)之間的部分的支撐部；
[0018]以及活動(dòng)連接于基臺(tái)上，用于移動(dòng)所述支撐部的移動(dòng)部。
[0019]進(jìn)一步的，所述支撐部為一框架結(jié)構(gòu)，具有用于供機(jī)械手的伸入至兩基臺(tái)之間的部分插入的中空區(qū)。
[0020]進(jìn)一步的，所述移動(dòng)部包括:一端與所述支撐部固定，另一端可移動(dòng)地設(shè)置于基臺(tái)上的至少一個(gè)連接桿，所述連接桿能夠在垂直于基臺(tái)的表面的方向上進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)，并在所述第一狀態(tài)時(shí)，帶動(dòng)所述支撐部移動(dòng)至兩基臺(tái)的相對(duì)的兩表面之間，在所述第二狀態(tài)時(shí)，帶動(dòng)所述支撐部移動(dòng)至兩基臺(tái)的相對(duì)的兩表面之間的區(qū)域之外。
[0021]進(jìn)一步的，所述兩基臺(tái)包括第一基臺(tái)和位于所述第一基臺(tái)下方的第二基臺(tái)，其中，
[0022]所述第一基臺(tái)的表面上可移動(dòng)地設(shè)置有用于吸附從機(jī)械手受取的待貼合基板，并在垂直于基臺(tái)的表面的方向上進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)的多個(gè)吸附桿；
[0023]所述第二基臺(tái)的表面上設(shè)置有用于支撐從機(jī)械手受取的待貼合基板，并在垂直于基臺(tái)的表面的方向上進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)的多個(gè)支撐桿。
[0024]進(jìn)一步的，所述連接桿設(shè)置于所述第一基臺(tái)上，并與所述吸附桿通過(guò)同一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
[0025]進(jìn)一步的，所述連接桿設(shè)置于所述第二基臺(tái)上。
[0026]本發(fā)明的有益效果如下:
[0027]本發(fā)明所提供的真空貼合設(shè)備，通過(guò)設(shè)置一支撐部件，可以在從機(jī)械手受取待貼合基板時(shí)，對(duì)機(jī)械手的伸入至兩基臺(tái)之間的部分(如牙叉)進(jìn)行支撐，一方面，使得機(jī)械手上吸附的待貼合基板保持水平，從而保證基臺(tái)上的吸附桿吸取待貼合基板時(shí)的待貼合基板的平整度，減少基臺(tái)從機(jī)械手受取待貼合基板時(shí)待貼合基板的偏移量，提高貼合精度，另一方面，還可以使得伸入至基臺(tái)之間的機(jī)械手能夠快速達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)，減少機(jī)械手伸入設(shè)備后的穩(wěn)定時(shí)間，從而減少單件工時(shí)(Tact Time)。
【附圖說(shuō)明】
[0028]圖1表示現(xiàn)有技術(shù)中的真空貼合設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖2表示機(jī)械手的牙齒由于重力原因發(fā)生彎曲的示意圖；
[0030]圖3表示本發(fā)明所提供的一種實(shí)施例中的真空貼合設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0031]圖4表示圖3的側(cè)視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0032]以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實(shí)例只用于解釋本發(fā)明，并非用于限定本發(fā)明的范圍。
[0033]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中真空貼合設(shè)備在從機(jī)械手受取待貼合基板時(shí)機(jī)械手的伸入至基臺(tái)之間的部分由于重力原因而發(fā)生彎曲和顫動(dòng)，從而影響貼合精度以及增加額外單件工時(shí)的技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種真空貼合設(shè)備，其能夠提高貼合精度，并減少單件工時(shí)。
[0034]本發(fā)明所提供的真空貼合設(shè)備，用于從機(jī)械手受取待貼合基板后，將待貼合基板進(jìn)行貼合。如圖3和圖4所示，所述真空貼合設(shè)備包括:
[0035]相對(duì)設(shè)置的兩基臺(tái)100，每一基臺(tái)100包括用于吸附固定待貼合基板的表面，且兩基臺(tái)100的表面相對(duì)；
[0036]以及支撐部件200，所述支撐部件200設(shè)置于至少一基臺(tái)100上，用于從機(jī)械手400受取待貼合基板500時(shí)，對(duì)機(jī)械手400的伸入至兩基臺(tái)100之間的部分進(jìn)行支撐，以使機(jī)械手400上吸附的待貼合基板500保持水平。
[0037]本發(fā)明所提供的真空貼合設(shè)備，通過(guò)設(shè)置一支撐部件200，可以在從機(jī)械手400受取待貼合基板500時(shí)，對(duì)機(jī)械手400的伸入至兩基臺(tái)100之間的部分(如:機(jī)械手400的牙叉)進(jìn)行支撐，一方面，使得機(jī)械手400上吸附的待貼合基板500保持水平，從而能夠保證基臺(tái)100在吸取待貼合基板500時(shí)，待貼合基板500處于水平狀態(tài)，從而減少基臺(tái)100從機(jī)械手400受取待貼合基板500時(shí)待貼合基板500的偏移量，提高貼合精度，另一方面，還可以使得機(jī)械手400的伸入至基臺(tái)100之間的部分能夠快速達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)，從而減少機(jī)械手400伸入設(shè)備后的穩(wěn)定時(shí)間，減少單件工時(shí)(Tact Time)。
[0038]在本發(fā)明中，當(dāng)機(jī)械手400的伸入至兩基臺(tái)100之間的部分(如:機(jī)械手400的牙叉)長(zhǎng)度足夠(能夠自基臺(tái)100的一端伸入兩基臺(tái)100之間，并從基臺(tái)100的另一端伸出兩基臺(tái)100的相對(duì)的兩表面之間的區(qū)域之外)時(shí)，所述支撐部件200可以直接設(shè)置在兩基臺(tái)100的相對(duì)的兩表面之間的區(qū)域以外的位置，而不會(huì)妨礙從機(jī)械手400受取待貼合基板500之后兩基臺(tái)100相對(duì)靠近。然而，機(jī)械手400的伸入至兩基臺(tái)100之間的部分長(zhǎng)度越大，越容易由于重力原因而發(fā)生彎曲，因此，通常機(jī)械手400的伸入至兩基臺(tái)100之間的部分的長(zhǎng)度與待貼合基板500的長(zhǎng)度相匹配，這樣，在從機(jī)械手400受取待貼合基板500時(shí)，支撐部件200需位于兩基臺(tái)100的相對(duì)的兩表面之間，以支撐機(jī)械手400的伸入至兩基臺(tái)100之間的部分，但是這樣支撐部件200在兩基臺(tái)100相對(duì)靠近時(shí)會(huì)對(duì)基臺(tái)100產(chǎn)生干涉，而妨礙基臺(tái)100的運(yùn)動(dòng)。
[0039]因此，為了避免支撐部件200妨礙基臺(tái)100的運(yùn)動(dòng)，在本發(fā)明所提供的實(shí)施例中，優(yōu)選的，所述支撐部件200可移動(dòng)地設(shè)置于至少一基臺(tái)100上，具有第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，其中，
[0040]在所述第一狀態(tài)，所述支撐部件200移動(dòng)至兩基臺(tái)100的相對(duì)的兩表面之間，以對(duì)機(jī)械手400的伸入至兩基臺(tái)100之間的部分進(jìn)行支撐，使機(jī)械手400上吸附的待貼合基板500保持水平；
[0041]在所述第二狀態(tài)，所述支撐部件200移動(dòng)至兩基臺(tái)100的相對(duì)的兩表面之間的區(qū)域之外，以使兩基臺(tái)100能夠相對(duì)靠近而將待貼合基板500貼合。
[0042]采用上述方案，支撐部件200能夠移動(dòng)，在從機(jī)械手400受取待貼合基板500時(shí)(即第一狀態(tài)時(shí))，支撐部件200可以移動(dòng)至兩基臺(tái)100的相對(duì)的兩表面之間，以對(duì)機(jī)械手400的伸入至兩基臺(tái)100之間的部分進(jìn)行支撐，而當(dāng)從機(jī)械手400受取待貼合基板500完成之后(即第二狀態(tài)時(shí))，支撐部件200可以移動(dòng)至兩基臺(tái)100的相對(duì)的兩表面之間的區(qū)域以外的位置，以使得兩基臺(tái)100相對(duì)靠近而將兩基臺(tái)100表面上的待貼合基板500進(jìn)行貼合時(shí)，該支撐部件200不會(huì)與基臺(tái)100產(chǎn)生干涉。
[0043]此外，通常，機(jī)械手400的伸入至兩基臺(tái)100之間的部分(牙叉)的前端更容易因重力作用會(huì)發(fā)生彎曲以及顫動(dòng)現(xiàn)象，因此，在本發(fā)明的實(shí)施例中，優(yōu)選的，如圖所示，所述基臺(tái)100包括第一端和與所述第一端相對(duì)的第二端，其中機(jī)械手400自所述基臺(tái)100第一端伸入兩基臺(tái)100之間，且所述支撐部件200設(shè)置在所述基臺(tái)100的第二端。
[0044]采用上述方案，將支撐部件200至少設(shè)置在基臺(tái)100的第二端，即，支撐部件200設(shè)置在機(jī)械手400的伸入至兩基臺(tái)100之間的部分的前端所對(duì)應(yīng)的位置，用于對(duì)機(jī)械手400的伸入至兩基臺(tái)100之間的部分的前端進(jìn)行支撐。應(yīng)當(dāng)理解的是，在實(shí)際應(yīng)用中，所述支撐部件200也可以設(shè)置在其他位置，在此僅是提供了一種支撐部件200的優(yōu)選設(shè)置位置，但并不對(duì)支撐部件200的具體設(shè)置位置進(jìn)行局限。
[0045]在本發(fā)明所提供的實(shí)施例中，優(yōu)選的，如圖3和圖4所示，所述支撐部件200包括:
[0046]用于支