感光性樹脂組合物、使用其的感光性元件、抗蝕圖形的形成方法及觸控面板的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物、使用其的感光性元件、抗蝕圖形的形成方法及觸 控面板的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 在半導(dǎo)體集成電路、液晶顯示元件、印刷配線板等電子部件的制造中，作為形成 導(dǎo)體的微細(xì)圖形的方法，提出了使用含有酚醛清漆型酚醛樹脂和1，2-醌二疊氮化合物的 正型感光性樹脂組合物的方案（例如，參照日本特開2007-316577號公報或國際公開第 2007/026475 號）。
[0003] 近年，由于智能手機、平板終端等便攜式設(shè)備的普及，觸控面板的需求提高。觸控 面板中，在傳感器部位、引出配線部位等形成有數(shù)ym寬的微細(xì)導(dǎo)體圖形。在該圖形形成 中，也使用正型感光性樹脂組合物。
[0004] 就正型感光性樹脂組合物而言，由于照射了光的部分（曝光部）能夠用堿性水溶 液溶解而除去，未照射光的部分（未曝光部）不能用堿性水溶液溶解而除去，因此能夠形成 圖形。因此，研宄了通過反復(fù)進行對由正型感光性樹脂組合物形成的感光層的曝光處理及 顯影處理、以及對導(dǎo)體的蝕刻處理來形成多層導(dǎo)體圖形。
[0005] 為了形成多層導(dǎo)體圖形，提出了使用含有特定酚醛樹脂的正型感光性樹脂組合物 的方案（例如，參照日本特開2012-252095號公報）。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 另一方面，在觸控面板用途的導(dǎo)體圖形的形成中，伴隨圖形的微細(xì)化、稀有金屬替 代金屬的使用、傳感器部位的小型化、觸控面板的低成本化、觸控面板的生產(chǎn)率提高等，使 用了多種多樣的導(dǎo)體。進一步地，該導(dǎo)體的表面處理方法也多種多樣。因此，對于用于形成 圖形的正型感光性樹脂組合物，要求與各種導(dǎo)體表面的密合性優(yōu)異。
[0007] 然而，由以往的正型感光性樹脂組合物形成的感光層并不能說充分滿足了對具有 各種導(dǎo)體的基板的密合性，在形成了抗蝕圖形的情況下有時會產(chǎn)生缺口等不良。以往的正 型感光性樹脂組合物難以形成能夠在維持上述密合性的同時兼顧反復(fù)顯影時未曝光部的 耐顯影液性和曝光部的顯影性的感光層。
[0008] 本發(fā)明的目的是提供正型感光性樹脂組合物及使用其的感光性元件，該正型感光 性樹脂組合物能夠形成與具有各種導(dǎo)體的基板的密合性優(yōu)異、同時即使在反復(fù)進行使用了 堿性水溶液的顯影的情況下曝光部的顯影性及未曝光部的耐顯影液性也足夠優(yōu)異的感光 層。
[0009] 本發(fā)明提供一種正型感光性樹脂組合物，其含有（A)成分：具有不飽和烴基的改 性酚醛樹脂、（B)成分：間-對甲酚樹脂、（C)成分：鄰甲酚樹脂、（D)成分：利用光產(chǎn)生酸的 化合物及（E)成分：具有多元酸骨架或多元酸酐骨架的硅烷化合物，相對于（A)成分、（B) 成分、（C)成分及（D)成分的總量100質(zhì)量份，（E)成分的含量小于10質(zhì)量份。
[0010] 上述（A)成分的重均分子量優(yōu)選為1000~15000。此外，上述（B)成分的重均分 子量優(yōu)選為800~50000。進一步地，上述（C)成分的重均分子量優(yōu)選為800~5000。 [0011] 相對于㈧成分、⑶成分、（C)成分及⑶成分的總量100質(zhì)量份，上述（C)成分 的含量優(yōu)選為20~60質(zhì)量份。
[0012] 上述（A)成分所具有的不飽和烴基的碳數(shù)優(yōu)選為4~100。
[0013] 此外，上述正型感光性樹脂組合物還可以進一步含有（F)成分：氟系表面活性劑。 進一步地，上述正型感光性樹脂組合物還可以進一步含有（G)成分：密合性賦予劑。
[0014] 本發(fā)明還提供一種感光性元件，其具備支撐體和設(shè)于該支撐體上的由上述本發(fā)明 的正型感光性樹脂組合物形成的感光層。
[0015] 本發(fā)明還提供一種抗蝕圖形的形成方法，其具備：使用上述正型感光性樹脂組合 物或感光性元件，在基板上形成感光層的工序；對感光層的規(guī)定部分照射活性光線，形成曝 光部的工序；和去除曝光部，形成包含未曝光部的感光層的圖形的工序。
[0016] 上述抗蝕圖形的形成方法還可以進一步具備：對包含未曝光部的感光層的規(guī)定部 分照射活性光線，形成曝光部的工序；和去除曝光部，形成包含未曝光部的感光層的圖形的 工序。
[0017] 本發(fā)明還提供一種觸控面板的制造方法，其具備對通過上述方法形成了抗蝕圖形 的基板進行蝕刻處理的工序。
[0018] 根據(jù)本發(fā)明，能夠提供正型感光性樹脂組合物及使用其的感光性元件，該正型感 光性樹脂組合物能夠形成與具有各種導(dǎo)體的基板的密合性優(yōu)異、同時即使在反復(fù)進行使用 了堿性水溶液的顯影的情況下曝光部的顯影性及未曝光部的耐顯影液性也足夠優(yōu)異的感 光層。
【附圖說明】
[0019] 圖1是表示本發(fā)明的感光性元件的一個實施方式的示意截面圖。
[0020] 圖2是表示使用負(fù)型感光性樹脂組合物的觸控面板的制造方法的示意截面圖。
[0021] 圖3是表示使用正型感光性樹脂組合物的觸控面板的制造方法的一個形式的示 意截面圖。
[0022] 圖4是表示利用本發(fā)明而得到的觸控面板的一個形式的俯視圖。
[0023] 附圖標(biāo)記說明
[0024] 2支撐體；
[0025] 4感光層；
[0026] 6保護層；
[0027] 10感光性元件；
[0028] 22支撐基材；
[0029] 24透明導(dǎo)電層；
[0030] 26金屬層；
[0031] 28感光層；
[0032] 29抗蝕圖形；
[0033] 30感光層；
[0034] 31抗蝕圖形；
[0035] 40感光層；
[0036] 40a、40b 抗蝕圖形；
[0037] 52透明電極（X電極）；
[0038] 54透明電極（Y電極）；
[0039] 56、57引出配線；
[0040] 100觸控面板。
【具體實施方式】
[0041] 以下，根據(jù)需要一邊參照附圖一邊對本發(fā)明的實施方式進行詳細(xì)說明。予以說明 的是，在附圖中，對相同要素賦予相同符號，省略重復(fù)說明。此外，就上下左右等位置關(guān)系而 言，除非特別指明，否則設(shè)為基于附圖所示位置關(guān)系的位置關(guān)系。進一步地，附圖的尺寸比 率不限于圖示的比率。
[0042] 予以說明的是，在本說明書中，關(guān)于"層"一詞，在以平面圖進行觀察時，除了在整 面上形成的形狀的結(jié)構(gòu)之外，還包含在部分上形成的形狀的結(jié)構(gòu)。在本說明書中，關(guān)于"工 序" 一詞，不僅包括獨立的工序，即使是不能與其他工序明確區(qū)別的情況，如果能夠?qū)崿F(xiàn)該 工序的預(yù)期目的，則也包含于本用語中。在本說明書中，使用"~"所表示的數(shù)值范圍表示 包含"~"前后所記載的數(shù)值分別作為最小值及最大值的范圍。
[0043] 本實施方式的正型感光性樹脂組合物的特征是：含有作為（A)成分的具有不飽和 烴基的改性酚醛樹脂、作為（B)成分的間-對甲酚樹脂、作為（C)成分的鄰甲酚樹脂、作為 (D)成分的利用光產(chǎn)生酸的化合物、和作為（E)成分的具有多元酸骨架或多元酸酐骨架的 硅烷化合物，相對于（A)成分、（B)成分、（C)成分及（D)成分的總量100質(zhì)量份，（E)成分 的含量小于10質(zhì)量份。
[0044] 以下，對構(gòu)成正型感光性樹脂組合物的各成分進行詳細(xì)說明。
[0045] 〈⑷成分〉
[0046] (A)成分是具有不飽和烴基的改性酚醛樹脂。通過使用具有不飽和烴基的改性酚 醛樹脂作為（A)成分，形成感光層時的可撓性提高。
[0047] 酚醛樹脂優(yōu)選為酚醛清漆型酚醛樹脂，所述酚醛清漆型酚醛樹脂是包含鄰甲酚、 或間甲酚及對甲酚作為主成分的酚衍生物與醛類的縮聚產(chǎn)物?？s聚例如在酸等催化劑存在 下進行。具有不飽和烴基的改性酚醛樹脂可以是酚衍生物與具有不飽和烴基的化合物（以 下稱為"含不飽和烴基化合物"。）的反應(yīng)產(chǎn)物（以下稱為"不飽和烴基改性酚衍生物"。）、 與醛