Mems光閥及其制作方法、顯示裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示領域，尤其涉及一種MEMS光閥及其制作方法、顯示裝置。
【背景技術】
[0002]目前，微機電開關(MEMS:Micro-Electro_Mechanical Systems)技術作為未來顯示的一個發(fā)展方向，其在功耗方面相對LCD有著不可比擬的優(yōu)勢，在利用MEMS技術實現(xiàn)的顯示裝置中，其利用MEMS光閥替換液晶層，通過MEMS光閥控制背光源發(fā)出的光的透光率，從而實現(xiàn)圖像的顯示。
[0003]圖1是現(xiàn)有技術中的一種MEMS光閥的結構示意圖，其包括固定在襯底100’上的固定光柵200’以及與固定光柵200’相對設置的可動光柵300’，其顯示原理是:通過控制可動光柵300’移動，使其與位于其下方的固定光柵200’形成有相對位移，進而使得透過固定光柵200’的光線可以有選擇性地透過可動光柵300’，進而實現(xiàn)光閥在亮態(tài)與暗態(tài)之間的轉換，其中，在上述的MEMS光閥結構，為防止可動光柵的脫落，如圖1所示，通常需要在可動光柵300’上開設缺孔310’，并通過該缺孔310’將可動光柵300’套設在襯底100’上的柱狀結構110’上，從而將可動光柵設置在襯底上，但采用上述的設置方式使可動光柵仍存在較大的脫落風險。
【發(fā)明內容】
[0004](一 )要解決的技術問題
[0005]本發(fā)明要解決的技術問題是如何解決現(xiàn)有的MEMS光閥中可動光柵存在較大的脫落風險的問題。
[0006]( 二 )技術方案
[0007]為解決上述技術問題，本發(fā)明的技術方案提供了一種MEMS光閥，包括襯底、設置在所述襯底表面上的固定光柵以及與所述固定光柵相對的可動光柵，所述可動光柵通過所述可動光柵上的缺孔套設在所述襯底表面上的柱狀結構上，所述柱狀結構的表面上還設置有連接層，且所述連接層還設置在所述可動光柵的表面上以將所述可動光柵與所述柱狀結構固定連接。
[0008]進一步地，所述可動光柵上還形成有保護層，且所述連接層與所述保護層為同一層結構。
[0009]進一步地，所述連接層的材料為樹脂、二氧化娃或氮化娃。
[0010]進一步地，所述柱狀結構為透明材料。
[0011]進一步地，所述透明材料為氮化娃、碳化娃或二氧化娃。
[0012]為解決上述技術問題，本發(fā)明還提供了一種顯示裝置，包括上述的MEMS光閥。
[0013]為解決上述技術問題，本發(fā)明還提供了一種MEMS光閥的制作方法，包括:
[0014]在襯底上形成固定光柵以及與所述固定光柵相對的可動光柵，所述可動光柵通過所述可動光柵上的缺孔套設在所述襯底表面上的柱狀結構上；
[0015]在所述柱狀結構的表面上形成連接層，且所述連接層還設置在所述可動光柵的表面上以將所述可動光柵與所述柱狀結構固定連接。
[0016]進一步地，還包括在所述可動光柵上形成保護層，其中，所述連接層與所述保護層為相同材料且在一次構圖工藝中形成。
[0017]進一步地，所述連接層的材料為樹脂、二氧化娃或氮化娃。
[0018]進一步地，所述柱狀結構為透明材料。
[0019](三)有益效果
[0020]本發(fā)明提供的MEMS光閥，通過在用于套設可動光柵的柱狀結構的表面上設置連接層，并使連接層還設置在可動光柵的表面上，從而將可動光柵與柱狀結構固定連接，進而降低了可動光柵脫落的風險。
【附圖說明】
[0021]圖1是現(xiàn)有技術中的一種MEMS光閥的結構示意圖；
[0022]圖2是本發(fā)明實施方式提供的一種MEMS光閥的結構示意圖；
[0023]圖3是本發(fā)明實施方式提供的一種顯示裝置的示意圖；
[0024]圖4?圖7是本發(fā)明實施方式提供的一種制作MEMS光閥的示意圖。
【具體實施方式】
[0025]下面結合附圖和實施例，對本發(fā)明的【具體實施方式】作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍。
[0026]圖2是本發(fā)明實施方式提供的一種MEMS光閥的示意圖，該MEMS光閥包括襯底100、設置在所述襯底100表面上的固定光柵200以及與所述固定光柵200相對的可動光柵300，所述可動光柵300通過所述可動光柵上的缺孔310套設在所述襯底100表面上的柱狀結構110上，所述柱狀結構110的表面上還設置有連接層400，且所述連接層400還設置在所述可動光柵300的表面上以將所述可動光柵300與所述柱狀結構110固定連接。
[0027]本發(fā)明實施方式提供的MEMS光閥，通過在用于套設可動光柵的柱狀結構的表面上設置連接層，并使連接層還設置在可動光柵的表面上，從而將可動光柵與柱狀結構固定連接，進而降低了可動光柵脫落的風險。
[0028]優(yōu)選地，對于上述實施方式中的MEMS光閥，可使連接層400將可動光柵300完全覆蓋，從而可以使連接層還能作為可動光柵的保護層，其中，所述連接層的材料可以為樹月旨，例如，可以選取退火后硬度及抗劃傷效果較好的樹脂，如亞克力樹脂，硅基樹脂等，或者還可選取其他透明絕緣材料，如二氧化硅(Si02)或氮化硅(SiNx)等；
[0029]其中，柱狀結構110可以為透明材料，例如，該透明材料可以為氮化硅、碳化硅或二氧化硅。
[0030]此外，在上述的可動光柵中，固定支點處(即缺孔310)與該可動光柵的光柵部分之間為彈性連接，從而能夠保證其上的光柵部分能夠水平移動，例如，可以將可動光柵中的缺孔與光柵部分之間設置為環(huán)形結構，使光柵部分與固定支點間具有一定的可伸縮空間，使其光柵部分在靜電力的作用下能夠水平移動。
[0031]此外，本發(fā)明實施方式還提供了一種顯示裝置，包括上述的MEMS光閥。
[0032]具體地，參見圖3，該顯示裝置包括襯底，設置在襯底上的多條數(shù)據(jù)線(….SLn、SLn+K SLn+2、SLn+3、SLn+4….)，多條柵線(….GLn、GLn+K GLn+2、GLn+3、GLn+4….)以及由該多條數(shù)據(jù)線與該多條柵線交叉定義的呈陣列排布的若干個亞像素單元，其中，每一個亞像素單