一種防反射膜、其制作方法、顯示面板及顯示裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種防反射膜、其制作方法、顯示面板及顯示
目.0
【背景技術(shù)】
[0002]隨著顯示技術(shù)的不斷發(fā)展，發(fā)光二極管(Light Emitting D1de，LED)、有機發(fā)光二極管(Organic Light Emitting D1de, OLED)、等離子顯不器(Plasma DisplayPanel, PDP)及液晶顯示器(Liquid Crystal Display, LCD)等平板顯示器發(fā)展迅速。
[0003]以現(xiàn)有的LCD為例進(jìn)行說明，如圖1所示，包括:相對而置的對向基板101和陣列基板102以及位于兩基板之間的液晶層103 ;其中，在陣列基板102 —側(cè)設(shè)置有金屬信號線104，例如柵線或數(shù)據(jù)線等。在LCD處于外界環(huán)境時，外界環(huán)境中的自然光入射到LCD的出光側(cè)的玻璃基板即如圖1所示的對向基板101上，其中，一部分光線在對向基板101的表面發(fā)生反射，另一部分光線透過對向基板101進(jìn)入LCD內(nèi)，進(jìn)入LCD內(nèi)的光線中的部分光線會入射到金屬信號線104的表面，并在金屬信號線104的表面發(fā)生反射后從對向基板101 —側(cè)出射，這樣，會導(dǎo)致IXD顯示畫面的對比度降低。
[0004]現(xiàn)有的提高平板顯示器顯示畫面的對比度的方法一般為采用貼合工藝在平板顯示器的出光側(cè)的玻璃基板上貼合防反射膜。該貼合工藝較為復(fù)雜，在貼合過程中容易產(chǎn)生靜電，可能會擊穿平板顯示器中的電極，使平板顯示器產(chǎn)生不良；并且，直接在平板顯示器上貼合防反射膜會增加平板顯示器的整體厚度；此外，現(xiàn)有的防反射膜的成本較高，相應(yīng)地，會增加平板顯示器的制作成本。
[0005]因此，如何提供一種新的提高平板顯示器顯示畫面的對比度的方法，是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟需解決的技術(shù)問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]有鑒于此，本發(fā)明實施例提供了一種防反射膜、其制作方法、顯示面板及顯示裝置，用以提供一種新的提高平板顯示器顯示畫面的對比度的方法。
[0007]因此，本發(fā)明實施例提供了一種防反射膜的制作方法，包括:
[0008]在襯底上形成氮氧化鋅薄膜；
[0009]對所述氮氧化鋅薄膜依次進(jìn)行退火處理和刻蝕處理，使所述氮氧化鋅薄膜的表面形成呈微透鏡結(jié)構(gòu)排列的多個球形或半球形的氮氧化鋅顆粒。
[0010]在一種可能的實現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實施例提供的上述方法中，對所述氮氧化鋅薄膜進(jìn)行退火處理，具體包括:
[0011 ] 在氮氣、空氣或真空氣氛中，對所述氮氧化鋅薄膜進(jìn)行溫度為300 V -500°C、時長為10min-60min的退火處理。
[0012]在一種可能的實現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實施例提供的上述方法中，對所述氮氧化鋅薄膜進(jìn)行刻蝕處理，具體包括:
[0013]利用摩爾濃度為0.1 % -5%的酸溶液或堿溶液對所述氮氧化鋅薄膜進(jìn)行時長為20s-120min的刻蝕處理。
[0014]在一種可能的實現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實施例提供的上述方法中，在對所述氮氧化鋅薄膜進(jìn)行刻蝕處理之后，還包括:
[0015]在形成有所述氮氧化鋅顆粒的氮氧化鋅薄膜上形成透明絕緣薄膜；其中，所述透明絕緣薄膜的折射率大于所述氮氧化鋅薄膜的折射率。
[0016]在一種可能的實現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實施例提供的上述方法中，形成透明絕緣薄膜，具體包括:
[0017]利用氮化硅材料形成透明絕緣薄膜。
[0018]本發(fā)明實施例還提供了一種防反射膜，包括:氮氧化鋅薄膜；所述氮氧化鋅薄膜的表面具有呈微透鏡結(jié)構(gòu)排列的多個球形或半球形的氮氧化鋅顆粒。
[0019]在一種可能的實現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實施例提供的上述防反射膜中，每個所述氮氧化鋅顆粒的直徑為20nm-500nm。
[0020]在一種可能的實現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實施例提供的上述防反射膜中，還包括:位于所述氮氧化鋅薄膜上的透明絕緣薄膜；其中，
[0021]所述透明絕緣薄膜的折射率大于所述氮氧化鋅薄膜的折射率。
[0022]在一種可能的實現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實施例提供的上述防反射膜中，所述透明絕緣薄膜的材料為氮化硅。
[0023]本發(fā)明實施例還提供了一種顯示面板，包括:相對而置的第一基板和第二基板；其中，所述第一基板背向所述第二基板的一側(cè)為出光側(cè)；
[0024]在所述第一基板面向所述第二基板的一側(cè)設(shè)置有本發(fā)明實施例提供的上述防反射膜。
[0025]在一種可能的實現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實施例提供的上述顯示面板中，所述顯示面板為液晶顯示面板；所述第一基板為對向基板，所述第二基板為陣列基板；或者，
[0026]所述顯示面板為頂發(fā)射型的有機電致發(fā)光顯示面板；所述第一基板為封裝蓋板，所述第二基板為陣列基板；或者，
[0027]所述顯示面板為底發(fā)射型的有機電致發(fā)光顯示面板；所述第一基板為陣列基板，所述第二基板為封裝蓋板。
[0028]本發(fā)明實施例還提供了一種顯示裝置，包括:本發(fā)明實施例提供的上述顯示面板。
[0029]本發(fā)明實施例提供的上述防反射膜、其制作方法、顯示面板及顯示裝置，該防反射膜的制作方法包括:形成氮氧化鋅薄膜；對氮氧化鋅薄膜依次進(jìn)行退火處理和刻蝕處理，使氮氧化鋅薄膜的表面形成呈微透鏡結(jié)構(gòu)排列的多個球形或半球形的氮氧化鋅顆粒；將表面形成有呈微透鏡結(jié)構(gòu)排列的多個球形或半球形的氮氧化鋅顆粒的氮氧化鋅薄膜作為防反射膜，形成的防反射膜中的氮氧化鋅顆粒的形狀易于控制，制作工藝易于實現(xiàn)；并且，該防反射膜可以集成于顯示面板中，無需貼合工藝，這樣，不僅不會增加顯示面板的整體厚度和制作成本，還可以避免顯示面板在貼合工藝過程中產(chǎn)生不良。
【附圖說明】
[0030]圖1為外界環(huán)境中的自然光在現(xiàn)有的液晶顯示器中的光路徑示意圖；
[0031]圖2為本發(fā)明實施例提供的防反射膜的制作方法的流程圖；
[0032]圖3a和圖3b分別為本發(fā)明實施例提供的防反射膜在正面和側(cè)面的掃描電子顯微鏡成像圖；
[0033]圖4為本發(fā)明實施例提供的防反射膜的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0034]圖5為本發(fā)明實施例提供的防反射膜與玻璃基板的光透過率曲線；
[0035]圖6為本發(fā)明實施例提供的防反射膜與玻璃基板的反射率曲線；
[0036]圖7和圖8分別為外界環(huán)境中的自然光在本發(fā)明實施例提供的顯示面板中的光路徑示意圖。
【具體實施方式】
[0037]下面結(jié)合附圖，對本發(fā)明實施例提供的一種防反射膜、其制作方法、顯示面板及顯示裝置的【具體實施方式】進(jìn)行詳細(xì)地說明。
[0038]附圖中各膜層的形狀和厚度不反映其真實比例，目的只是示意說明本
【發(fā)明內(nèi)容】
。
[0039]本發(fā)明實施例提供的一種防反射膜的制作方法，如圖2所示，包括如下步驟:
[0040]S201、在襯底上形成氮氧化鋅薄膜；
[0041]S202、對氮氧化鋅薄膜依次進(jìn)行退火處理和刻蝕處理，使氮氧化鋅薄膜的表面形成呈微透鏡結(jié)構(gòu)排列的多個球形或半球形的氮氧化鋅顆粒。
[0042]采用本發(fā)明實施例提供的上述方法形成的防反射膜中的氮氧化鋅顆粒的形狀易于控制，制作工藝易于實現(xiàn)；并且，該防反射膜可以集成于顯示面板中，無需貼合工藝，這樣，不僅不會增加顯示面板的整體厚度和制作成本，還可以避免顯示面板在貼合工藝過程中產(chǎn)生不良。
[0043]在具體實施時，本發(fā)明實施例提供的上述方法中的步驟S201，在襯底上形成氮氧化鋅薄膜，具體可以采用磁控濺射的方式或等離子體化學(xué)氣相沉積的方式形成氮氧化鋅薄膜，在此不做